JP5835357B2 - 電子部品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
近年、環境保護の観点から、コネクタ用端子、半導体集積回路用のリードフレームなどに、従来施されていたSn−Pbはんだめっきに代わって、Pbを含まないSnを主成分とする金属めっきによって皮膜を形成することが検討されている。このようなPbを含まない皮膜は、ウィスカと呼ばれるSnのひげ状結晶が発生しやすくなる。ウィスカの長さは数μmから数十mmにおよび、隣接する電極間で電気的な短絡障害を起こすことがある。また、ウィスカが、皮膜から脱離して飛散すると、飛散したウィスカは、装置内外で短絡を引き起こす原因になる。
特許文献1に開示されている技術では、このようなウィスカの発生を抑制することができる皮膜を有する部材を提供することを目的として、特に、Snを主成分とする皮膜において、Snの結晶粒界に、SnとNiとの合金粒子を形成している。このようなSn−Ni合金粒子を形成すると、ウィスカの成長を抑制することができる。
実験例では、以下に示す実施例1、比較例1、比較例2および比較例3の積層セラミックコンデンサを製造し、それらの積層セラミックコンデンサのめっき皮膜におけるウィスカを評価した。
実施例1では、上述の方法で図1に示す積層セラミックコンデンサ10を製造した。積層セラミックコンデンサの製造方法における外部電極にめっきを施す工程は、具体的には、以下の工程とした。
1.被めっき物の準備
2.電解Niめっき処理(Niめっき皮膜22a、22bの形成)
3.電解Snめっき処理(第1のSnめっき皮膜28a、28bの形成)
4.乾燥
5.フレーク状のSn−Ni合金粒子25の形成(フレーク状のSn−Ni合金粒子を有する第1のSnめっき皮膜28’a、28’bの形成)
6.電解Snめっき処理(第2のSnめっき皮膜30a、30bの形成)
7.乾燥
8.Ni3Sn4からなる金属間化合物層26a、26bの形成(任意)
以下、各工程について説明する。
被めっき物である積層セラミックコンデンサの外形寸法は、長さ2.0mm、幅1.25mm、高さ1.25mmとした。また、セラミック層14(誘電体セラミック)として、チタン酸バリウム系誘電体セラミックを用いた。さらに、内部電極16a、16bの材料としてNiを用いた。さらに、外部電極20a、20bの材料としてCuを用いた。
工程2では、電解Niめっき処理により、Niめっき皮膜22a、22bを形成した(図2(a)参照)。めっき装置として、回転バレルを用いた。Niめっき浴には、硫酸ニッケル240g/L、塩化ニッケル45g/L、ホウ酸30g/L、1,5−ナフタレン・ジスルホン酸ナトリウム8g/L、ゼラチン0.008g/L、pHを4.8、温度を55℃としたものを用いた。電流密度Dkは、3.0A/dm2とした。Niめっき皮膜の厚みは、3.0μmとなるように時間を制御して、Niめっきを施した。
工程3では、電解Snめっき処理により、Niめっき皮膜22a、22b上に第1のSnめっき皮膜28a、28bを形成した(図2(b)参照)。めっき装置として、工程2と同様、回転バレルを用いた。Snめっき浴には、金属塩として硫酸錫、錯化剤としてクエン酸、光沢剤として4級アンモニウム塩またはアルキルベタインを含む界面活性剤のいずれかまたは双方、を添加した弱酸性のSnめっき浴(クエン酸系弱酸性浴)を用いた。電流密度Dkは、0.5A/dm2とした。第1のSnめっき皮膜28a、28bの厚みは、全体のSnめっき皮膜24a、24bが狙いとする厚み4.0μmの50%以下である1.5μmとなるように時間を制御して、Snめっきを施した。
工程4では、80℃、15分間空気中にて乾燥させた。
次に、第1のSnめっき皮膜28a、28b中にフレーク状のSn−Ni合金粒子25を形成するために、90℃で12時間熱処理を施した。熱処理は、大気雰囲気中で行なったが、窒素雰囲気中あるいは真空雰囲気中で行なってもよい。この処理により、第1のSnめっき皮膜28a、28bは、フレーク状のSn−Ni合金粒子を有する第1のSnめっき皮膜28’a、28’bとなった(図2(c)参照)。
工程6では、電解Snめっき処理により、フレーク状のSn−Ni合金粒子を有する第1のSnめっき皮膜28’a、28’b上に第2のSnめっき皮膜30a、30bを形成した(図2(d)参照)。めっき装置として、工程2および工程3と同様、回転バレルを用いた。Snめっき浴には、工程3と同様のSnめっき浴(クエン酸系弱酸性浴)を用いた。電流密度Dkも、工程3と同様の0.5A/dm2とした。第2のSnめっき皮膜30a、30bの厚みは、全体のSnめっき皮膜24a、24bが狙いとする厚み4.0μmの50%以上である2.5μmとなるように時間を制御して、Snめっきを施した。
工程7では、工程4と同様、80℃、15分間空気中にて乾燥させた。
最後に、150℃で10分間熱処理を行い、Niめっき皮膜22a、22bとフレーク状のSn−Ni合金粒子を有する第1のSnめっき皮膜28’a、28’bとの界面に、Ni3Sn4からなる金属間化合物層26aおよび26bを形成した(図2(e)参照)。なお、各めっき処理後には、純水による洗浄を行った。
比較例1は、上記工程6及び工程7がない点で実施例1とは大きく異なる。すなわち、比較例1では、第2のSnめっき皮膜30a、30bを形成する工程がなく、フレーク状のSn−Ni合金粒子を有する第1のSnめっき皮膜28’a、28’bのみが存在するようにした。また、比較例1は、工程3において、第1のSnめっき皮膜28a、28bの厚みが1.5μmではなく、4.0μmとなるように時間を制御して、Snめっきを施している点でも、実施例1と異なる。なお、比較例1のSnめっき皮膜の狙いの厚みは、実施例1の全体のSnめっき皮膜24aおよび24bの狙いの厚みと同じである4.0μmである。これらの点以外は、実施例1と同様の工程とした。
比較例2では、比較例1と同様の工程でめっき皮膜が形成されたが、比較例1とは、工程5でのフレーク状のSn−Ni合金粒子25を形成するための熱処理の時間が異なる。比較例1での工程5での熱処理時間は、実施例1と同様、12時間であったが、比較例2では、6時間とした。他の工程は、比較例1と同じとした。
比較例3もまた、比較例2と同様、工程5でのフレーク状のSn−Ni合金粒子25を形成するための熱処理の時間において、実施例1及び比較例1と異なる。比較例3での工程5での熱処理時間は、90時間とした。他の工程は、比較例1と同じとした。
・試料数(n数):3ロット×6個/ロット=18個
・試験条件:最低温度として−55℃(+0/−10)、最高温度として85℃(+10/−0)、各温度で10分間保持し、気相式で、1500サイクルの熱衝撃を与える。
・観察方法:走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて1000倍の電子顕微鏡写真像で行う。
なお、Niめっき皮膜22a、22bのそれぞれの厚さについては、下地の外部電極20a、20bを被覆できていれば、ウィスカへの影響はないことが確認されており、1μm以上の厚みであれば適用可能である。
12 セラミック素子
14 セラミック層
16a、16b 内部電極
18a、18b 端子電極
20a、20b 外部電極
22a、22b Niめっき皮膜
24a、24b Snめっき皮膜
25 フレーク状のSn−Ni合金粒子
26a、26b 金属間化合物層
28a、28b 第1のSnめっき皮膜
28’a、28’b フレーク状のSn−Ni合金粒子を有する第1のSnめっき皮膜
30a、30b 第2のSnめっき皮膜
Claims (4)
- 外部電極が形成された電子部品素子、前記外部電極上に形成されたNiめっき皮膜、および前記Niめっき皮膜を覆うように形成されたSnめっき皮膜を有する電子部品において、
前記Snめっき皮膜中にフレーク状のSn−Ni合金粒子が形成されており、
前記フレーク状のSn−Ni合金粒子は、前記Niめっき皮膜側における前記Snめっき皮膜の面から、前記Snめっき皮膜の厚みの50%以下の範囲に存在し、かつ、
前記Snめっき皮膜からSnを除去して前記フレーク状のSn−Ni合金粒子のみを残して、Snを除去して現れた前記フレーク状のSn−Ni合金粒子を有する面を平面視して観察した場合に、前記フレーク状のSn−Ni合金粒子の占める領域は、観察される面領域の15%〜60%の範囲にあること、を特徴とする、電子部品。 - さらに、前記Niめっき皮膜と前記Snめっき皮膜との間に形成されるNi3Sn4からなる金属間化合物層を含む、請求項1に記載の電子部品。
- 電子部品を製造するための方法であって、
外部電極が形成された電子部品素子を準備する工程と、
前記外部電極上にNiめっき皮膜を形成する工程と、
前記Niめっき皮膜上に第1のSnめっき皮膜を形成する工程と、
前記第1のSnめっき皮膜中にフレーク状のSn−Ni合金粒子を形成する工程と、
前記フレーク状のSn−Ni合金粒子を有する前記第1のSnめっき皮膜上に第2のSnめっき皮膜を形成して、前記フレーク状のSn−Ni合金粒子を有する前記第1のSnめっき皮膜の厚みが、前記フレーク状のSn−Ni合金粒子を有する前記第1のSnめっき皮膜および前記第2のSnめっき皮膜から構成された全体のSnめっき皮膜の厚みの50%以下の範囲となるようにする工程とを含み、
前記フレーク状のSn−Ni合金粒子を形成する工程において、
前記第1のSnめっき皮膜からSnを除去して前記フレーク状のSn−Ni合金粒子のみを残して、Snを除去して現れた前記フレーク状のSn−Ni合金粒子を有する面を平面視して観察した場合に、前記フレーク状のSn−Ni合金粒子の占める領域が、観察される面領域の15%〜60%の範囲となるように前記フレーク状のSn−Ni合金粒子が形成されることを特徴とする、電子部品の製造方法。
- 前記第2のSnめっき皮膜を形成する工程の後に、前記Niめっき皮膜と前記第1のSnめっき皮膜の間にNi3Sn4からなる金属間化合物層を形成する工程を含む、請求項3に記載の電子部品の製造方法。
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CN102115899B (zh) * | 2010-01-05 | 2015-06-03 | 北京中科三环高技术股份有限公司 | 用于锡镍合金镀液和采用该镀液对钕铁硼永磁材料进行电镀的方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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