JP5738302B2 - 流体圧アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、ケーシングと、ケーシング内に軸線方向に可動であって、圧力媒体によって満たされた圧力室を加圧するピストンとを有するマスタシリンダを備え、スリーブ、ギアスピンドル及びスリーブとギアスピンドルとの間を転動する遊星転動体を有する、回動駆動を軸線方向運動に変換する遊星転がり伝動装置を備え、かつ、ケーシング固定式に結合されたステータ及びステータに対して回動可能なロータを有する、遊星転がり伝動装置を駆動する電気モータを備える、流体静力学アクチュエータに関する。

上位概念部に記載の流体静力学アクチュエータは、ドイツ連邦共和国特許出願第１９７００９３５号明細書において公知である。この明細書において、マスタシリンダのピストンは電気モータにより駆動される。電気モータの回動運動は、ウォームギアの形式の伝動装置により軸線方向の運動に変換される。ピストンは、ウォーム歯車に配置されている偏心ピンにより駆動される。

さらに欧州特許出願公開第０３２０６２１号明細書において基本的に、遊星転がり伝動装置が公知になっている。この遊星転がり伝動装置は、ねじ山付きスピンドルと、このねじ山付きスピンドルに対して同軸的に配置されているスリーブと、ねじ山付きスピンドル及びスリーブの間を転動する遊星歯車とを有している。遊星歯車伝動装置は、電気モータによって回動駆動され、迅速な回動運動を緩慢な軸線方向運動に変換する。

上記背景から本発明の目的は、特に効率の向上、所要構成スペースの減少及びマスタシリンダの運転圧の増大という背景に基づいて、有利には自動車において使用される流体静力学アクチュエータを改良しかつ発展させることにある。

上記目的は、ケーシングと、このケーシング内に軸線方向に可動であって、圧力媒体によって満たされた圧力室を加圧するピストンとを有するマスタシリンダを備え、ギアスピンドル及びスリーブとギアスピンドルとの間を転動する遊星転動体を有する、回動駆動を軸線方向運動に変換する遊星転がり伝動装置を備え、ケーシング固定式に結合されたステータと、このステータに対して回動可能なロータとを有する、遊星転がり伝動装置を駆動する電気モータを備える、流体静力学アクチュエータであって、圧力室は環状に形成されており、遊星転がり伝動装置が圧力室の半径方向内側に配置されていることにより達成される。これに関して、軸線方向に短縮された構造がもたらされる。上記構成に対して択一的には、遊星転がり伝動装置が、Ｅモータのロータに配置されているようになっていてもよい。本発明において提案する遊星転がり伝動装置を、圧力室の半径方向内側に収容することは、上記択一的な構成と比べて、小さな直径を備えた流体静力学アクチュエータを提案することができる、という利点を有する。この理由として、ロータと遊星転がり伝動装置との択一的な入れ子式の構成は、特に遊星転がり伝動装置のスリーブが実質的にピストンのストローク量に相当する場合に、遊星転がり伝動装置及びマスタシリンダの本発明において設けられている入れ子式の構成より大きな構成スペースを必要とするからである。

さらに有利には、電気モータと遊星歯車伝動装置とは、軸線方向に互いに離間されてかつ同軸的に配置される。こうして電気モータの直径を、マスタシリンダの直径に適合させることができるので、電気モータの直径は、マスタシリンダの直径と同じであるか、又はマスタシリンダの直径よりも小さくなっている。スリーブが環状の圧力室の半径方向内側に配置されると、ロータに提供されている内室を小さく形成することができ、電気モータは所定の直径において比較的頑強に設計することができる。マスタシリンダのケーシングに半径方向外側で配置されている圧力室の面積部分は、半径方向内側に小さな面積部分を備えた全面積に対してほんの少しだけ小さいので、圧力室の半径方向内側にある構成スペースをスリーブのために使用することができる。

流体静力学アクチュエータは、例えば自動車のパワートレインにおいて、例えば内燃機関と伝動装置との間に配置されている開放又は閉鎖するように加圧される摩擦クラッチ、伝動装置に配置されている、段を切り換えるためのシフト軸又はシフトドラム、ブレーキを操作するためのブレーキシリンダ等のスレーブシリンダ（Nehmerzylinder）といった構成部品の軸線方向の移動のための従属装置へ、圧力室内の圧力ポート及び圧力管路を介して予め規定可能な圧力を提供するための、制御ユニットによって制御されている供給装置として適している。

この構成において、例えばマスタシリンダのケーシング及び電気モータのケーシングが、例えばアルミニウム又は他の軽金属及びこれらの合金を使用して加圧鋳造といった鋳造法により、又は例えばプラスチックを使用した射出成形法により製造されていることで一体に形成されていると、有利であってよい。ケーシングを一体に構成することにより部品数は減じられ、マスタシリンダと電気モータとの間においてケーシングに支持されているピストンでもって、２つのケーシングの安定性は、特に圧力室の加圧時に高められる。

例えばピストンに負荷がかけられていない状態において、マスタシリンダと、圧力管路と、スレーブシリンダとの間のハイドロリックシステムにおける圧力媒体損失時に、又は圧力室とリザーバとの間の温度変動時に交換される圧力媒体を貯めるためのリザーバが、構成スペースを顕著に大きくすることなく流体静力学アクチュエータ内に組み込まれると、有利であることが分かった。例えば所定の直径の電気モータにおいて、マスタシリンダの直径を電気モータの直径に適合させることができる。この構成において、リザーバは圧力室の半径方向外側の環状室に設けられている。また、この環状室は、回動軸線の長手方向に位置する中空シリンダによって分断することができる。この中空シリンダには、例えば自動車における収納時に流体静力学アクチュエータが不都合に傾いた場合の別体の及び／又は他のリザーバのためのポート、又はリザーバ、ひいては無負荷状態における圧力室と周囲との差圧を補償するために、周囲との圧力補償のための蛇腹が設けられていてよい。

スリーブが相対回動不能にかつ軸線方向に移動可能にケーシング固定式に取り付けられていて、ピストンがスリーブによって駆動されると、電気モータから軸線方向に離間されている、遊星転がり伝動装置のスリーブにおいて、特に有利であると分かった。この構成において、スリーブはケーシングにおいて長手方向に案内されていて、かつピストンに相対回動不能に結合されていてよい。したがって、軸線方向の構成スペースに対して突出しているギアスピンドルは電気モータによって駆動され、ギアスピンドルの位置は軸線方向に不動であるので、ギアスピンドルは、例えば軸線方向の全構成スペースに亘って延びていてよく、流体静力学アクチュエータの両端面において支承することでき、軸線方向に位置固定することができる。この構成において、流体静力学アクチュエータの長さは、ストロークのないねじ山付きスピンドルに合わせて設計することができ、スリーブのストロークは、ピストンのストロークと一致するので、軸線方向の構成スペースはスリーブの軸線方向の移動により増大することもなく、小型の流体静力学アクチュエータを提供することができる。

一方で電気モータを電子的に整流されているモータとして設計することができるようにし、他方でギアスピンドルの回動運動を監視することができるようにするために、流体静力学アクチュエータには、ギアスピンドルの少なくとも一回の回動運動を検知するセンサ装置が設けられている。この構成において、センサ装置は、ホールセンサとして相対角を、又はインクリメンタルセンサとして磁石パルスの数を、ギアスピンドルの一回の回動角を介して検知することができ、角度は検知された磁石パルスの数から算出される。差角といった規定される基準点に合わせてインクリメンタルセンサを構成するために、適切な措置を講じることができる。例えば制御機器によって認知されるストッパが設けられていてよい。ホールセンサは改良された可能な配線に基づいて、有利にはケーシング固定式に配置されているセンサ部分と、このセンサ部分に対して可動な構成部材に配置されている１つ又は複数のセンシング磁石とから形成されている。こうしてギアスピンドルの周面に亘って分配されているセンシング磁石の数に応じて、若しくはセンシング磁石から形成される、磁石パルスを発生させる磁石セグメントから、ギアスピンドルの回動角の十分な角度解析が可能になる。

電気的若しくは電子的なノイズ敏感性に基づき、前置電子機器のプリント基板に少なくとも１つのセンサが、流体静力学アクチュエータの運転データを検知するために配置されている。この構成において、プリント基板はセンサの最適な位置決め部に直接的に配置されていてよいか、又はこの領域において上記構成スペースが提供されていない場合には、信号の算出のために電子的でない値、例えば機械的又は内的な物理的な値を位置決めされたプリント基板の領域に導くことができる。

ギアスピンドルの回動角を検知するために択一的に又は付加的には、例えばホールセンサによるスリーブ若しくはピストンのストロークの算出が有利であることが分かった。このために適切なセンサが、ケーシングとピストン若しくはスリーブとの間の領域に直接的に設けられていてよい。この構成においてケーブルは、必要に応じて設けられている、信号変換のための前置電子機器に向かってケーシングにおいて導かれるか、又はケーシングから導出される。特に構成スペースの理由から空間的に離されている前置電子機器において、センサが前置電子機器の近くに又は前置電子機器に位置決めされ、ピストン又はスリーブの運動がロッドを介してセンサに伝達されると、この種のセンサが電磁的に妨害されにくいという理由から有利であることがまた分かった。特にギアスピンドルの回動角の信号検知、及びピストンの軸線方向の移動から、場合によっては存在する、遊星転がり伝動装置の滑りを算出することができ、かつ補償することができる。

圧力室へのピストンの作用を択一的に又は冗長的に算出するために、圧力室の圧力は、１つの圧力センサにより検知することができる。圧力室から空間的に離されている前置電子機器のプリント基板に配置されている圧力センサにより圧力を直接的に検知できるように、ケーシング内に、特にマスタシリンダと電気モータとの一体のケーシングおいて、圧力室に接続孔が設けられていてよい。この接続孔は前置電子機器にまで延びている。本発明の意図において前置電子機器は、マスタシリンダとは反対の、電気モータのケーシングの側に設けられていてよいか、又はケーシング若しくは流体静力学アクチュエータのケーシングの必要でないフリースペースに位置決めされていてよい。この構成において、前置電子機器が、電気モータ及びこの電気モータのケーシングの側から組み付けられた構成部材の組付け後に閉鎖するカバーの領域又はカバーに配置されていると、有利であることが分かった。この構成において制御機器に対する差込み接続部が、カバー又はケーシングに設けられていてよい。

本発明に係る流体静力学アクチュエータを示す図である。 以下の図面の断面図の断面線を記す、図１に示した流体静力学アクチュエータの平面図である。 図１及び図２に示した流体静力学アクチュエータの、断面線Ａ−Ａの長手方向に沿った断面図である。 図１及び図２に示した流体静力学アクチュエータの、断面線Ｂ−Ｂの長手方向に沿った断面図である。 図１及び図２に示した流体静力学アクチュエータの、断面線Ｃ−Ｃの長手方向に沿った断面図である。

本発明を図１〜５に示した実施の形態に基づいて詳細に説明する。

図１に、電気モータ２のケーシング及びマスタシリンダのケーシングから一体に形成されているケーシング３と、圧力補償開口７を備えたカバーキャップ６により閉鎖されているリザーバドーム５を備えたケーシング区分４とを有する流体静力学アクチュエータ１を三次元的に示す。他のカバーキャップ１１により閉鎖されている組付け開口１２は、構成部材の組付け、及び、特に流体静力学アクチュエータ（流体圧アクチュエータ）１のセンサ装置の機能検査のために働く。

ケーシング３に、流体静力学アクチュエータ１を、例えば自動車の隔壁といった、ケーシング固定型の構成部材に固定するためのホルダ８が固定されている。さらにケーシング３に、マスタシリンダの圧力室に結合されている、スレーブシリンダ（図示せず）に対する結合部を形成する圧力管路１０の圧力ポート９が、例えば迅速継手として取り付けられている。ケーシング区分は、ギアスピンドルを収容するための軸受を内側に有しており、補強リブ１３により外側で補強されている。ケーシング区分４は、加圧鋳造法又は射出成形法により、アルミニウムといった軽金属の素材及び軽金属の合金又はプラスチックから製造されていてよい。

図２に、リザーバドーム５及び組付け開口１２を備えたケーシング区分４と、ケーシング３（図１）に固定されているホルダ８と、圧力ポート９と共に、図１の流体静力学アクチュエータの平面図を示す。断面線Ａ−Ａ，Ｂ−Ｂ，Ｃ−Ｃは、図３，４，５に示す流体静力学アクチュエータの断面図の断面を明示する。

図３に、流体静力学アクチュエータ１を図２の断面線Ａ−Ａに沿った断面図において、電気モータ２のケーシング１４及びマスタシリンダ１６のケーシング１５から一体に形成されているケーシング３と、このケーシング３に、例えばねじ止め、プレス嵌めされているか、又は溶接されて取り付けられたケーシング区分４と共に示す。

電気モータ２のステータ１７は、センタリングスリーブ１８の半径方向内側に収容されている。このセンタリングスリーブ１８は同時に、軸線方向に成形された軸受ドーム２０によるギアスピンドル１９のセンタリング及び支承を担う。ステータ１７は、軸受ディスク２１とセンタリングスリーブ１８との間において軸線方向に緊締されていて、センタリングスリーブ１８内に相対回動不能に収容されている。軸線方向において軸受ディスク２１をケーシング３のストッパ２２に位置固定し、センタリングスリーブ１８自身をストッパディスク２３、及びケーシング３に、例えばねじ止めされて結合されたカバー２４により、センタリングスリーブ１８は軸線方向に位置固定されている。

ステータ１７の半径方向内側に配置されているロータ２５は、半径方向内側において軸線方向に軸受スリーブ２６に不動に取り付けられていてかつセンタリングされている。軸受スリーブ２６は、軸受ディスク２１により軸線方向に不動にかつ回動可能に取り付けられている。このために軸受ディスク２１の両側においてアキシャル軸受２７、本発明においては針状ころ軸受が配置されている。この針状ころ軸受は一方で軸受スリーブ２６の環状つば２８と共に、他方で固定ディスク２９により軸線方向において軸受スリーブ２６に位置固定されているロータ２５と共に軸受シートを形成する。軸受スリーブ２６はギアスピンドル１９と相対回動不能に、例えばギアスピンドル１９に焼嵌めされて結合されているので、軸受スリーブ２６ひいてはロータ２５の半径方向のセンタリングは、ラジアル軸受３０により、センタリングスリーブ１８を介してケーシング３において行われ、また、ケーシングにおけるギアスピンドル１９の軸線方向の支承は、軸受ディスク２１を介して行われる。ギアスピンドル１９の第２の支承は、ケーシング区分４の軸受ドーム３２におけるラジアル軸受３１により行われる。

電気モータ２に対して軸線方向に離間して遊星転がり伝動装置３３が配置されている。この遊星転がり伝動装置３３は、ギアスピンドル１９、スリーブ３４、及びギアスピンドル１９とスリーブ３４との間を転動する遊星転動体３５により形成される。ロータ２５によって回転させられたギアスピンドル１９の回転運動を、スリーブ３４の軸線方向運動へ変更するために、スリーブ３４の粗目の歯列３７を介して噛み合う歯列３６と、ギアスリーブの雄ねじ山３９と噛み合う細目ねじ山３８とが遊星転動体に設けられている。

遊星転がり伝動装置３３の半径方向外側にマスタシリンダ４０が配置されている。このマスタシリンダ４０は、スリーブ３４により軸線方向に動かされるピストン４１と、ケーシング１５及びピストン４１により形成され、圧力ポート９（図１）を備えた圧力室４２とを有する。ピストン４１及び圧力室４２は夫々、スリーブ３４の周囲に環状に配置されている。圧力室４２は、ピストン４１とケーシング１５との間に配置されている溝付き環状シール４３，４４により外方にシールされている。他の溝付き環状シール４５が、ピストン４１をケーシング区分４の内室に対してシールする。２つの溝付き環状シール４３，４４の間に、当接リング（Auflaufring）４６が設けられている。ケーシング区分４はケーシング１５に対して環状シール４７によりシールされている。

図示の実施の形態においてマスタシリンダ４０は、完全に操作された状態において示されている。つまり、ピストン４１は電気モータ２に向かって圧力形成するために、ピストン４１が引っ張られた配置に該当する状態に移動するので、圧力の力回路は電気モータの外側に実現され、もってピストン４１は実質的に軸線方向力によって自由に運転することができる。ピストン４１を移動させるために遊星転がり伝動装置３３によって軸線方向に加えられる力は、軸受ディスク２１によってケーシング３において支持され、ピストン４１によって圧力室４２に加えられる圧力同様にケーシング３にも導入されるので、短い力回路が低い弾性でもって形成される。

牽引・摩擦モーメントに基づくスリーブの回動を防ぐために、スリーブ３４はケーシング１５において回動に対してロックされた状態で収容されかつ案内される。このためにスリーブ３４とケーシング１５との間には長手方向案内部４８が設けられており、この長手方向案内部４８は、周方向に分布している１つ又は複数の長手方向溝から形成されていてよい。この長手方向溝内に、この長手方向溝に対して相補的な長手方向キーが半径方向に係合する。特に溝付き環状シール４３，４４の摩擦学的な挙動を改良するために、長手方向案内部４８は少し螺旋状に形成することができ、例えば小さな度数の、例えば周方向における小さい角度成分を有することができる。

ケーシング３内に一方の側から押し込まれ、次いでケーシングをこの一方の側からカバー２４により閉鎖される構成ユニットを、ステータ１７、ロータ２５及び遊星転がり伝動装置３３から形成することができる。他方の側からマスタシリンダ４０が組み付けられ、ピストン４１はスリーブ３４と少なくとも軸線方向に不動に、例えばかしめられているか、係止されているか、又はスリーブ３４に懸架されて結合される。

図４に、図２の断面線Ｂ−Ｂに沿った流体静力学アクチュエータ１の断面図を示す。この交角から、流体静力学アクチュエータ１が圧力室４２を介して包囲されている流体静力学システムの運転のためのリザーバ４９の配置が明確になる。このリザーバ４９は、ケーシング区分４における圧力室４２の半径方向外側において延在しており、当接リング４６を介して画成される。リザーバ４９及び圧力室４２の体積の交換は、ピストン４１の静止状態において行われ、ピストン４１は図４においては完全に操作された状態において示されている。静止状態においてピストン４１は、このピストン４１が溝付き環状シール４３を通過して、リザーバ４９が当接リング４６に設けられている１つ又は複数の通路５０を介して圧力室４２に接続されるように、軸受ドーム３２に向かって半径方向に移動する。この接続の開閉の移行を良好に制御するために、ピストン４１にいわゆる複数の吸込み溝（Schnueffelnuten）５１を設けることができる。

リザーバ４９に、リザーバドーム５が図示されていない個所で、例えば開口を介して結合されている。リザーバドーム５は、一方の側でリザーバ４９と、他方の側で圧力補償開口７を介して周囲と接続しているベローズ５２を有しているので、リザーバ４９と周囲との差圧が補償される。

さらに図４に示されている断面図から、ケーシング３における圧力室４２の軸線方向の延長部５３が明確になる。この延長部５３は端面側の段部５３ａにまで延在しており、この段部５３ａに前置電子機器（流体静力学アクチュエータ１の電気モータ２が配置されている側の端部に設けられている電子機器）（図示せず）が位置決めされているので、延長部は、前置電子機器のプリント基板に設けられていて、圧力室４２ひいてはマスタシリンダ４０の作動圧を検知するための圧力センサに直接的に通じていて、圧力センサは電気的な線路を用いずに使用することができる。

図５に、センサ装置５４を見える状態で、図２の断面線Ｃ−Ｃに沿った流体静力学アクチュエータ１を示す。センサ装置５４は、電気モータ２を制御しかつ給電し、センサによって検出された測定信号を処理しかつ／又は伝達するために必要な電子構成部材が配置されている、少なくとも電子的なプリント基板５６から形成されている前置電子機器５５に配置されていてよい。前置電子機器５５は、ケーシング３又はカバー２４を通じて案内されていてよいポート５７を有し、かつ信号・給電線路を有し、外部の制御機器に接続されていてよい。前置電子機器５５は、センタリングスリーブ１８とカバー２４との間に配置されていて、位置固定されている。

図示の実施の形態においては、プリント基板５６において流体静力学アクチュエータを制御するための全てのセンサを、ひいては接続線路を用いずに中央に位置決めするようになっている。このために圧力センサ５８はプリント基板５６に取り付けられ、圧力センサ５８は図４の接続孔といった延長部５３に接している圧力を検知し、かつ延長部５３をシールする。さらに、プリント基板５６に配置されている回動角センサ５９は、ギアスピンドル１９の回動角を検知する。回動角センサ５９はホールセンサであってよい。ギアスピンドル１９には付属のセンシング磁石６０が配置されている。ピストン４１の軸線方向ストロークを検知するために、ピストン４１にロッド６１が懸架又は係止されて結合されている。このロッド６１はケーシング区分４の案内部６２において軸線方向に案内されていて、プリント基板５６に接近する。これにより、プリント基板５６に取り付けられていて、ケーシング３に形成されているフリースペース６５内において延在している軸線方向距離センサ（単に示唆する）６３は、この軸線方向距離センサ６３に対して空間的に、例えば軸線方向に離間されている、ピストン４１の軸線方向のストロークを検知する。軸線方向距離センサ６３は、有利にはホールセンサとして形成されており、ロッド６１に組付けられているセンシング磁石６４との間隔に基づいて軸線方向距離を検知する。ロッド６１の組付け及び軸線方向距離センサ６３の機能検査のために、ケーシング区分４に、カバーキャップ１１により閉鎖される組付け開口１２が設けられている。

１ 流体静力学アクチュエータ
２ 電気モータ
３ ケーシング
４ ケーシング区分
５ リザーバドーム
６ カバーキャップ
７ 圧力補償開口
８ ホルダ
９ 圧力ポート
１０ 圧力管路
１１ カバーキャップ
１２ 組付け開口
１３ 補強リブ
１４ ケーシング
１５ ケーシング
１６ マスタシリンダ
１７ ステータ
１８ センタリングスリーブ
１９ ギアスピンドル
２０ 軸受ドーム
２１ 軸受ディスク
２２ ストッパ
２３ ストッパディスク
２４ カバー
２５ ロータ
２６ 軸受スリーブ
２７ アキシャル軸受
２８ 環状つば
２９ 固定ディスク
３０ ラジアル軸受
３１ ラジアル軸受
３２ 軸受ドーム
３３ 遊星転がり伝動装置
３４ スリーブ
３５ 遊星転動体
３６ 歯列
３７ 歯列
３８ 細目ねじ山
３９ 雄ねじ山
４０ マスタシリンダ
４１ ピストン
４２ 圧力室
４３ 溝付き環状シール
４４ 溝付き環状シール
４５ 溝付き環状シール
４６ 当接リング
４７ 環状シール
４８ 長手方向案内部
４９ リザーバ
５０ 通路
５１ 吸込み溝
５２ ベローズ
５３ 延長部
５４ センサ装置
５５ 前置電子機器
５６ プリント基板
５７ ポート
５８ 圧力センサ
５９ 回動角センサ
６０ センシング磁石
６１ ロッド
６２ 案内部
６３ 軸線方向距離センサ
６４ センシング磁石
６５ フリースペース
Ａ−Ａ 断面線
Ｂ−Ｂ 断面線
Ｃ−Ｃ 断面線

Claims (9)

1. ケーシング（１５）と、該ケーシング（１５）内に軸線方向に可動であって、圧力媒体によって満たされた圧力室（４２）を加圧するピストン（４１）とを有するマスタシリンダ（４０）を備え、スリーブ（３４）、ギアスピンドル（１９）及び前記スリーブ（３４）と前記ギアスピンドル（１９）との間を転動する遊星転動体（３５）を有する、回動駆動を軸線方向運動に変換する遊星転がり伝動装置（３３）を備え、かつ、ケーシング固定式に結合されたステータ（１７）及び該ステータ（１７）に対して回動可能なロータ（２５）を有する、前記遊星転がり伝動装置（３３）を駆動する電気モータ（２）を備えた流体圧アクチュエータ（１）において、
   前記圧力室（４２）は環状に形成されており、前記遊星転がり伝動装置（３３）は、前記圧力室（４２）の半径方向内側に配置されており、
   前記圧力室（４２）の半径方向外側に、前記圧力媒体のためのリザーバ（４９）が設けられていることを特徴とする、流体圧アクチュエータ。
2. 前記電気モータ（２）及び前記遊星転がり伝動装置（３３）は、互いに軸線方向に離間されて同軸的に配置されていることを特徴とする、請求項１記載の流体圧アクチュエータ。
3. 前記マスタシリンダ（４０）のケーシング（１５）と前記電気モータ（２）のケーシング（１４）とは、一体に形成されていることを特徴とする、請求項１又は２記載の流体圧アクチュエータ。
4. 前記スリーブ（３４）は相対回動不能にかつ軸線方向に移動可能に取り付けられており、前記ピストン（４１）は前記スリーブ（３４）によって軸線方向に移動することを特徴とする、請求項１から３までのいずれか一項記載の流体圧アクチュエータ。
5. 前記ギアスピンドル（１９）の少なくとも一回の回動運動を検出する回動角センサ（５９）が設けられていることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか一項記載の流体圧アクチュエータ。
6. 前記ピストン（４１）の軸線方向ストロークを検知する軸線方向距離センサ（６３）が設けられていることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか一項記載の流体圧アクチュエータ。
7. 前記圧力室（４２）における圧力を検知する圧力センサ（５８）が設けられていることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか一項に記載の流体圧アクチュエータ。
8. 前記電気モータ（２）のケーシング（１４）の、前記マスタシリンダ（４０）とは反対の側に、電子機器（５５）が設けられていることを特徴とする、請求項５から７までのいずれか一項記載の流体圧アクチュエータ。
9. 前記電子機器（５５）のプリント基板（５６）に、前記流体圧アクチュエータ（１）の運転データを検知するために、少なくとも１つのセンサが配置されていることを特徴とする、請求項８記載の流体圧アクチュエータ。

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