JP5561918B2 - シリコンウェーハの製造方法 - Google Patents
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- H01L21/3221—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to modify their internal properties, e.g. to produce internal imperfections of silicon bodies, e.g. for gettering
- H01L21/3225—Thermally inducing defects using oxygen present in the silicon body for intrinsic gettering
Description
次に、本発明の第1の実施形態に係わるシリコンウェーハの製造方法について図面を参照して説明する。
次に、本発明の第2の実施形態に係わるシリコンウェーハの製造方法について図面を参照して説明する。
CZ法により、P型、結晶面方位(001)、固溶酸素濃度[Oi]1.2×1018atoms/cm3(1970-1979年度版Old ASTMによる換算係数からの算出値)、抵抗23〜25Ω/cmであるシリコン単結晶インゴットを作製した。
・第1のガス雰囲気:アルゴン99.99vol.%、酸素0.01vol.%
・第2のガス雰囲気:酸素100vol.%
・T0:500℃
・T1:未処理、1200℃、1250℃、1300℃、1350℃の5条件(未処理とは、急速加熱・急速冷却熱処理を行わないことをいう。以下同じ)
・ΔTu:75℃/sec
・ΔTd:25℃/sec
・t1:10sec
・t2:10sec
・第1のガス雰囲気:アルゴン99.99vol.%、酸素0.01vol.%
・第2のガス雰囲気:アルゴン80vol.%+酸素20vol.%
・その他は、試験例1と同一条件
・第1のガス雰囲気:アルゴン99.99vol.%、酸素0.01vol.%
・第2のガス雰囲気:アルゴン90vol.%+酸素10vol.%
・その他は、試験例1と同一条件
・第1、2のガス雰囲気:酸素100vol.%
・その他は、試験例1と同一条件
・第1、2のガス雰囲気:アルゴン80vol.%+酸素20vol.%
・その他は、試験例1と同一条件
・第1、2のガス雰囲気:アルゴン100vol.%
・その他は、試験例1と同一条件
実施例1と同様な方法で両面研磨された直径が300mmのシリコンウェーハを作製した。
・第1のガス雰囲気:アルゴンの含有率を、97.00vol.%、98.00vol.%、99.00vol.%、99.50vol.%、99.95vol.%、99.99vol.%、100vol.%の計7条件。アルゴン以外のガスは酸素ガス。
・第2のガス雰囲気:酸素100vol.%
・T0:500℃
・T1:1300℃
・ΔTu:75℃/sec
・ΔTd:25℃/sec
・t1:15sec
・t2:15sec
実施例1と同様な方法で両面研磨された直径が300mmのシリコンウェーハを作製した。
・第1のガス雰囲気:アルゴン100vol.%
・第2のガス雰囲気:酸素100vol.%
・T0:500℃
・T1:1300℃
・T2:800℃
・ΔTu1:75℃/sec
・ΔTd1:10〜170℃/secでの範囲で計15条件
・ΔTu2:25℃/sec
・ΔTd2:25℃/sec
・t1:15sec
・t2:15sec
・t3:15sec
実施例1と同様な方法で両面研磨された直径が300mmのシリコンウェーハを作製した。
・第1のガス雰囲気:アルゴン100vol.%
・第2のガス雰囲気:酸素100vol.%
・T0:500℃
・T1:1300℃
・T2:800℃
・ΔTu1:75℃/sec
・ΔTd1:25℃/sec
・ΔTu2:10〜170℃/secでの範囲で計15条件
・ΔTd2:25℃/sec
・t1:15sec
・t2:15sec
・t3:15sec
20 反応管
30 ランプ
40 ウェーハ支持部
Claims (2)
- チョクラルスキー法により育成されたシリコン単結晶インゴットから製造されたシリコンウェーハに対して、酸素ガスを0.01vol.%以上1.00vol.%以下含有する希ガスからなる第1のガス雰囲気中、第1の昇温速度で1300℃以上シリコンの融点以下の第1の温度まで急速昇温し、前記第1の温度を1秒以上60秒以下保持する第1の熱処理工程と、
前記第1の熱処理工程に続いて、前記第1の温度で、前記第1のガス雰囲気から酸素ガスを20vol.%以上100vol.%以下含有する第2のガス雰囲気に切り替えて、更に、前記第1の温度で1秒以上60秒以下保持した後、第1の降温速度で前記第1の温度から急速降温する第2の熱処理工程と、
を備えたことを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。 - 前記第1の昇温速度は、10℃/sec以上150℃/sec以下であり、前記第1の降温速度は、10℃/sec以上150℃/sec以下であることを特徴とする請求項1に記載のシリコンウェーハの製造方法。
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