KR100573473B1 - 실리콘 웨이퍼 및 그 제조방법 - Google Patents
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- C30B33/00—After-treatment of single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure
Abstract
Description
Claims (14)
- 전면, 후면, 테두리 에지부 및 상기 전면과 후면 사이의 영역을 갖는 실리콘 웨이퍼에서,상기 웨이퍼 전면의 표면으로부터 5㎛ 내지 40㎛ 깊이에서 50nm 내지 100nm 크기의 COP에 대하여 LLS(Localized Light Scattering)의 개수는 100개 이하인 제1 디누드 존;상기 웨이퍼 후면의 표면으로부터 5㎛ 내지 40㎛ 깊이에서 50nm 내지 100nm 크기의 COP에 대하여 LLS(Localized Light Scattering)의 개수는 100개 이하인 제2 디누드 존; 및상기 제1 디누드 존과 상기 제2 디누드 존 사이에 형성되고, BMD(Bulk Micro Defect)의 농도 프로파일이 웨이퍼 전면에서 후면 방향에 걸쳐 전 구간에서 균일하게 유지되는 분포를 갖는 벌크 영역을 포함하며,상기 실리콘 웨이퍼는 1E12 atoms/㎤ 내지 1E14 atoms/㎤ 범위의 질소 농도를 갖는 실리콘 웨이퍼.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 디누드 존과 상기 제2 디누드 존 사이의 영역에서 상기 BMD의 농도는 1.0×108~1.0×1010 ea/㎝3 범위의 농도인 실리콘 웨이퍼.
- 삭제
- (a) 전면, 후면, 테두리 에지부 및 상기 전면과 후면 사이의 영역을 갖는 실리콘 웨이퍼를 준비하는 단계;(b) 상기 실리콘 웨이퍼를 제1 온도로 설정된 열처리 장비에 로딩하는 단계;(c) 상기 실리콘 웨이퍼를 상기 열처리 장비 내의 제1 온도에서 소정 시간동안 유지하여 예열시키는 단계;(d) 상기 열처리 장비 내의 온도를 상기 제1 온도보다 높은 제2 온도까지 제1 온도 상승률로 승온시키는 단계;(e) 상기 열처리 장비 내의 온도를 상기 제2 온도 보다 높은 제3 온도까지 제2 온도 상승률로 승온시키는 단계;(f) 상기 열처리 장비 내의 온도를 상기 제3 온도보다 높은 제4 온도까지 제3 온도 상승률로 승온시키는 단계;(g) 상기 열처리 장비 내의 온도를 제4 온도로 유지하여 상기 실리콘 웨이퍼를 고온 열처리하는 단계; 및(h) 상기 열처리 장비 내의 온도를 상기 제1 온도 정도까지 하강시키는 단계를 포함하며,상기 제2 온도 상승률은 상기 제1 온도 상승률보다 작고, 상기 (c) 단계 및 상기 (f) 단계 내지 상기 (h) 단계는 불활성 가스 분위기에서 수행하고, 상기 (d) 단계 및 상기 (e) 단계는 수소 분위기에서 수행하는 실리콘 웨이퍼의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 실리콘 웨이퍼를 준비하는 단계는,씨드 결정(Seed Crystal)을 용융 실리콘에 담그고 결정성장 속도와 결정의 응고 계면에서의 성장 방향의 온도 구배를 조절하면서 인상하여 실리콘 단결정을 성장시키는 단계;성장된 실리콘 단결정을 웨이퍼의 형태로 슬라이싱하는 단계; 및슬라이싱할 때 발생한 슬라이싱 데미지(damage)를 제거하고 슬라이싱된 웨이퍼의 측면을 라운딩하거나 표면을 식각하기 위한 에칭 공정을 실시하는 단계를 포함하며,상기 실리콘 단결정을 성장시키는 단계에서 실리콘 단결정 내에서 핵생성에 필요한 에너지를 감소시키고 미세한 산소 석출 핵을 증가시키기 위하여 질소를 1E12 atoms/㎤ 내지 1E14 atoms/㎤ 범위의 농도로 도핑시키면서 실리콘 단결정을 성장시키는 실리콘 웨이퍼의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 (h) 단계 후에,상기 실리콘 웨이퍼 표면을 폴리싱하는 단계;상기 실리콘 웨이퍼 표면을 경면화하기 위한 경면 연마 단계; 및상기 실리콘 웨이퍼를 세정하는 단계를 더 포함하는 실리콘 웨이퍼의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 제1 온도는 500℃ 정도의 온도이고, 상기 제2 온도는 950℃ 정도의 온도이며, 상기 제3 온도는 1100℃ 정도의 온도이고, 상기 제4 온도는 1200℃ 정도의 온도인 실리콘 웨이퍼의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 제1 온도 상승률은 10℃/min 정도이고, 상기 제2 온도 상승률은 5℃/min 정도인 실리콘 웨이퍼의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 제3 온도 상승률은 0.1 내지 5℃/min 정도인 실리콘 웨이퍼의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 (g) 단계는 상기 제4 온도에서 1분 내지 120분간 유지하여 열처리하는 실리콘 웨이퍼의 제조방법.
- 제4항에 있어서, 상기 (h) 단계는,상기 열처리 장비 내의 온도를 제1 온도 하강률로 상기 제3 온도까지 하강시키는 단계;상기 열처리 장비 내의 온도를 제2 온도 하강률로 상기 제2 온도까지 하강시키는 단계; 및상기 열처리 장비 내의 온도를 제3 온도 하강률로 상기 제1 온도까지 하강시키는 단계를 포함하는 실리콘 웨이퍼의 제조방법.
- 제11항에 있어서, 상기 제3 온도 하강률은 상기 제2 온도 하강률보다 크도록 설정된 실리콘 웨이퍼의 제조방법.
- 제11항에 있어서, 상기 제1 온도 하강률은 0.1 내지 5℃/min 정도인 실리콘 웨이퍼의 제조방법.
- 제11항에 있어서, 상기 제2 온도 하강률은 5℃/min 정도이고, 상기 제3 온도 하강률은 10℃/min 정도인 실리콘 웨이퍼의 제조방법.
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