JP5301061B1 - 輪郭形状表面粗さ測定装置および輪郭形状表面粗さ測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示すように、輪郭形状表面粗さ測定装置1は、ベース2と、ベース2に設けられた支柱3と、支柱3にZ軸方向に摺動自在に支持されたX軸駆動部4と、X軸方向に移動可能にX軸駆動部4に支持されたXアーム5と、Xアーム5の先端に設けられた測定部6と、ベース2に設けられた載置台8と、を有する。
また、補正回路を有する輪郭形状表面粗さ測定装置では、スケール型検出機構の検出信号に基づいて、差動変圧器型検出機構の検出信号の広範囲の線形性を補正することにより、高分解能で広い測定範囲について高い線形性で、ワークの輪郭形状および表面粗さを測定できるようになる。
このようなチェック機能がない場合、連続的に使用し、精度較正を途中で行なうことができない場合においては、精度ずれが起こっているかどうかの確認をすることができない。
第1実施形態の輪郭形状表面粗さ測定装置は、図8の(A)に示すように、スケール信号処理部61と、差動変圧器信号処理部62と、を有する。輪郭形状表面粗さ測定装置では、触針7をワークWの表面に対して一定速度で移動して測定を行うため、差動変圧器型検出機構51およびスケール型検出機構52の出力する検出信号の時間軸は、ワークWの表面上の距離に対応する。信号処理部における処理では、これを利用して信号処理を行う。
第2実施形態の輪郭形状表面粗さ測定装置は、図10に示すように、スケール信号処理部61と、差動変圧器信号処理部62と、選択部63と、を有する。スケール信号処理部61および差動変圧器信号処理部62は、第1実施例と同じである。
図14の(A)は、スケール型検出機構52の出力するスケール信号またはそれをA/D変換したデジタル信号を示す。この信号に対して第1フィルタ処理65を行うことにより、図14の(B)のような短波長成分を除去した第1変位データが得られる。
測定対象のワークWは、図16の(A)に示すように、表面が平面である程度の粗さを有する。図16の(B)は、このワークWを水平に保持した状態で測定した差動変圧器信号または第2変位データを示す。図16の(C)は、このワークWを水平に保持した状態で測定したスケール信号または第1変位データを示す。
図18の(A)に示すように、スケール81には、支点16を中心として、放射線状に複数の黒線82が、間隔をあけて形成されている。図18の(B)は1本の黒線82を示す図であり、周辺は透明である。
例えば、スケール検出機構52は各種の形式および形状のものが使用可能であり、信号処理も各種変形例が可能である。
7 測定子
8 載物台
12 アーム
13 測定部
14 ホルダ
16 支点
51 差動変圧器型検出機構
52 スケール型検出機構
Claims (7)
- ワークの表面の輪郭形状と表面粗さを測定する輪郭形状表面粗さ測定装置であって、
前記ワークの表面に接触して上下に変位する測定子を有する測定部と、
前記測定子に対して前記ワークを相対的に移動させる送り機構と、
前記測定部を一端に有し、前記測定子の変位量を伝える、支点を中心に回動するアームと、
前記アームの変位量を測定することにより、前記測定子の変位量を測定する差動変圧器型の変位量測定機構およびスケール型の変位量測定機構と、を有し、
前記測定子の変位量を、前記差動変圧器型の変位量測定機構および前記スケール型の変位量測定機構の両方で同時に測定することを特徴とする輪郭形状表面粗さ測定装置。 - 請求項1記載の輪郭形状表面粗さ測定装置であって、
前記差動変圧器型の変位量測定機構および前記スケール型の変位量測定機構は、前記支点に対して前記アームの同じ側の変位量を検出するように配置されていることを特徴とする輪郭形状表面粗さ測定装置。 - 請求項1記載の輪郭形状表面粗さ測定装置であって、
前記差動変圧器型の変位量測定機構は、前記測定子に対して前記ワークを相対的に移動させた時に前記ワークの表面の粗さである微小変位量に対応する高周波成分を測定し、
前記スケール型の変位量測定機構は、前記測定子に対して前記ワークを相対的に移動させた時に前記ワークの表面のうねりに対応する低周波成分を測定することを特徴とする輪郭形状表面粗さ測定装置。 - 請求項1記載の輪郭形状表面粗さ測定装置であって、
前記スケール型の変位量測定機構は、円弧状のスケールを有する輪郭形状表面粗さ測定装置。 - 請求項1記載の輪郭形状表面粗さ測定装置であって、
前記差動変圧器型の変位量測定機構の測定信号および前記スケール型の変位量測定機構の測定信号を合わせて補正変位量信号を生成する補正部を有する輪郭形状表面粗さ測定装置。 - 請求項5記載の輪郭形状表面粗さ測定装置であって、
前記補正部は、前記スケール型の変位量測定機構の測定信号に基づいて、前記差動変圧器型の変位量測定機構の測定信号の広範囲の線形性を補正する輪郭形状表面粗さ測定装置。 - ワークの表面の輪郭形状と表面粗さを測定する輪郭形状表面粗さ測定方法であって、
支点を中心に回動するアームの一端に、前記ワークの表面に接触して上下に変位する測定子を有し、前記測定子の変位量を、前記アームの変位量として測定する差動変圧器型の変位量測定機構とスケール型の変位量測定機構の両方を有し、
前記測定子を前記ワークの表面に当接した状態で、前記ワークを相対的に移動させ、前記アームの変位量を前記差動変圧器型の変位量測定機構と前記スケール型の変位量測定機構の両方で同時に測定し、
前記差動変圧器型の変位量測定機構と前記スケール型の変位量測定機構の測定結果を元に、前記ワークの輪郭表面粗さを測定することを特徴とする輪郭形状表面粗さ測定方法。
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