JP2000018935A - 表面粗さ形状検出器 - Google Patents
表面粗さ形状検出器Info
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- JP2000018935A JP2000018935A JP10202867A JP20286798A JP2000018935A JP 2000018935 A JP2000018935 A JP 2000018935A JP 10202867 A JP10202867 A JP 10202867A JP 20286798 A JP20286798 A JP 20286798A JP 2000018935 A JP2000018935 A JP 2000018935A
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- Japan
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- movable side
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高分解能で電気ノイズに強いとともに、測定
範囲が広く動特性もよくて光学系の調整も容易な表面粗
さ形状検出器を提供する。 【解決手段】 検出器の機構は、上下方向移動自在に構
成された平行リンク機構１０として、可動側の下側に触
針１７を、可動側の上側に反射ミラー２４を取り付け
て、可動側の変位量をレーザ干渉計２０で検出するよう
にした。 【効果】 レーザー干渉計を用いるので高分解能で電気
ノイズに強くなる。平行リンク機構によって可動側が平
行運動するので、可動側に直接反射ミラーを取り付ける
ことができ、測定範囲が広く動特性もよくて光学系の調
整も容易になる。
範囲が広く動特性もよくて光学系の調整も容易な表面粗
さ形状検出器を提供する。 【解決手段】 検出器の機構は、上下方向移動自在に構
成された平行リンク機構１０として、可動側の下側に触
針１７を、可動側の上側に反射ミラー２４を取り付け
て、可動側の変位量をレーザ干渉計２０で検出するよう
にした。 【効果】 レーザー干渉計を用いるので高分解能で電気
ノイズに強くなる。平行リンク機構によって可動側が平
行運動するので、可動側に直接反射ミラーを取り付ける
ことができ、測定範囲が広く動特性もよくて光学系の調
整も容易になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークの表面粗
さ、断面形状、うねり等（本発明ではまとめて「表面粗
さ形状」という。）を求める表面粗さ形状測定機に係わ
り、それに用いる表面粗さ形状検出器に関するものであ
る。
さ、断面形状、うねり等（本発明ではまとめて「表面粗
さ形状」という。）を求める表面粗さ形状測定機に係わ
り、それに用いる表面粗さ形状検出器に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】表面粗さ形状測定機に用いられる検出器
は、一般的に、てこ式の機構を採り検出センサーに差動
トランスが用いられる。図５はその構造を簡潔に示した
もので、てこ支点４１に揺動自在にレバー４２が支持さ
れ、レバー４２の一方の先端には触針４３が取り付けら
れている。そして、レバー４２の他方の端には差動トラ
ンス４４が設けられ、触針４３の変位量が差動トランス
４４で検出される。
は、一般的に、てこ式の機構を採り検出センサーに差動
トランスが用いられる。図５はその構造を簡潔に示した
もので、てこ支点４１に揺動自在にレバー４２が支持さ
れ、レバー４２の一方の先端には触針４３が取り付けら
れている。そして、レバー４２の他方の端には差動トラ
ンス４４が設けられ、触針４３の変位量が差動トランス
４４で検出される。
【０００３】これに対して、最近は、高分解能検出や電
気ノイズ特性の改善を必要性する事例が多くなってお
り、その対策として、差動トランス４４の代わりにレー
ザー干渉計を用いる場合がある。図６は、従来のてこ式
機構にレーザー干渉計を用いた例を示したものである。
レーザー干渉計５０は、レーザー光源５１、コリメート
レンズ５２、ハーフミラー５３、コーナーキューブ５
４、反射ミラー５５、参照ミラー５６、結像レンズ５
７、フォトデテクタ５８から構成されており、コーナー
キューブ５４のみがレバー４２に取り付けられていて可
動、他の部品は固定されている。そして、次のようにし
てレバー４２の変位量を検出する。
気ノイズ特性の改善を必要性する事例が多くなってお
り、その対策として、差動トランス４４の代わりにレー
ザー干渉計を用いる場合がある。図６は、従来のてこ式
機構にレーザー干渉計を用いた例を示したものである。
レーザー干渉計５０は、レーザー光源５１、コリメート
レンズ５２、ハーフミラー５３、コーナーキューブ５
４、反射ミラー５５、参照ミラー５６、結像レンズ５
７、フォトデテクタ５８から構成されており、コーナー
キューブ５４のみがレバー４２に取り付けられていて可
動、他の部品は固定されている。そして、次のようにし
てレバー４２の変位量を検出する。
【０００４】すなわち、光源５１から出た光はコリメー
トレンズ５２を介してハーフミラー５３に入り、ハーフ
ミラー５３で通過してコーナーキューブ５４に向かう光
とハーフミラー５３で反射して参照ミラー５６に向かう
光に分けられる。コーナーキューブ５４に向かった光は
内部で屈折して反射ミラー５５に入り、反射ミラー５５
で反射して再びコーナーキューブ５４で屈折し、今度は
ハーフミラー５３で反射して結像レンズ５７を介しＣＣ
Ｄカメラ５８に入る。また、ハーフミラー５３で反射し
て参照ミラー５６に向かった光は、参照ミラー５６で反
射し今度はハーフミラー５３を通過して結像レンズ５７
を介しフォトデテクタ５８に入る。
トレンズ５２を介してハーフミラー５３に入り、ハーフ
ミラー５３で通過してコーナーキューブ５４に向かう光
とハーフミラー５３で反射して参照ミラー５６に向かう
光に分けられる。コーナーキューブ５４に向かった光は
内部で屈折して反射ミラー５５に入り、反射ミラー５５
で反射して再びコーナーキューブ５４で屈折し、今度は
ハーフミラー５３で反射して結像レンズ５７を介しＣＣ
Ｄカメラ５８に入る。また、ハーフミラー５３で反射し
て参照ミラー５６に向かった光は、参照ミラー５６で反
射し今度はハーフミラー５３を通過して結像レンズ５７
を介しフォトデテクタ５８に入る。
【０００５】この結果、ハーフミラー５３からの反射ミ
ラー５５までの光路長と参照ミラー５６までの距離との
差によって、干渉縞が発生するが、ハーフミラー５３か
ら参照ミラー５６までの距離は固定であるので、干渉縞
の変化によって、ハーフミラー５３から反射ミラー５５
までの光路長を検出することができる。この場合、反射
ミラー５５はハーフミラー５３に対して固定であるの
で、結局、干渉縞の変化によってコーナーキューブ５４
の変位量を検出することができる。
ラー５５までの光路長と参照ミラー５６までの距離との
差によって、干渉縞が発生するが、ハーフミラー５３か
ら参照ミラー５６までの距離は固定であるので、干渉縞
の変化によって、ハーフミラー５３から反射ミラー５５
までの光路長を検出することができる。この場合、反射
ミラー５５はハーフミラー５３に対して固定であるの
で、結局、干渉縞の変化によってコーナーキューブ５４
の変位量を検出することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、コーナ
ーキューブ５４は質量が相対的に大きいためにレバー４
２の動特性が低下したり、光学系が複雑になるため調整
が難しくなるという問題がある。また、コーナーキュー
ブ５４を使用せず反射ミラー５５を直接レバー４２に取
り付ける方法もあるが、そうすると、レバー４２の傾き
が大きくなったときに反射光が戻ってこなくなるので、
測定範囲が制限されるという問題もある。
ーキューブ５４は質量が相対的に大きいためにレバー４
２の動特性が低下したり、光学系が複雑になるため調整
が難しくなるという問題がある。また、コーナーキュー
ブ５４を使用せず反射ミラー５５を直接レバー４２に取
り付ける方法もあるが、そうすると、レバー４２の傾き
が大きくなったときに反射光が戻ってこなくなるので、
測定範囲が制限されるという問題もある。
【０００７】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、高分解能で電気ノイズに強いとともに、測定範
囲が広く動特性もよく、光学系の調整も容易な表面粗さ
形状検出器を提供することを目的とする。
もので、高分解能で電気ノイズに強いとともに、測定範
囲が広く動特性もよく、光学系の調整も容易な表面粗さ
形状検出器を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、表面粗さ形状検出器を、上下方向移動自在
に構成された平行リンク機構として、可動側の下側に触
針を取り付け、可動側の上側に反射ミラーを取り付け
て、その反射ミラーの変位量をレーザ干渉計で検出する
ようにした。
するために、表面粗さ形状検出器を、上下方向移動自在
に構成された平行リンク機構として、可動側の下側に触
針を取り付け、可動側の上側に反射ミラーを取り付け
て、その反射ミラーの変位量をレーザ干渉計で検出する
ようにした。
【００１０】
【発明の実施の形態】実施の形態１ 本発明に係る表面粗さ形状検出器の実施の形態１を、図
１と図２に示す。図１は平行リンク機構部の詳細とレー
ザー干渉計の構成図、図２は図１の平行リンク機構部の
正面図（一部断面図）である。図１に示すように、平行
リンク機構部１０は、本体１１、上アーム１２、下アー
ム１３、可動部１４を基本に構成されており、各連結は
ピボット軸受けとニードル軸で行われている。すなわ
ち、上側は上アーム１２にピボット軸受け１２ａ、本体
１１と可動部１４にニードル軸１１ａ、下側は本体１１
と可動部１４にピボット軸受け１４ａ、下アーム１３に
ニードル軸１３ａが取り付けられている。本体１１と可
動部１４にはバネ掛け１１ａと１４ｃが固着され、本体
１１と可動部１４との間に引っ張りバネ１５がかけられ
ている。また、下アーム１３の右側は軸１３ｂが延長さ
れ、軸１３ｂにウェイト１６が取り付けられている。可
動部１４の先端１４ｂの下側は触針１７が取り付けら
れ、上側には反射ミラー２４が固着されている。
１と図２に示す。図１は平行リンク機構部の詳細とレー
ザー干渉計の構成図、図２は図１の平行リンク機構部の
正面図（一部断面図）である。図１に示すように、平行
リンク機構部１０は、本体１１、上アーム１２、下アー
ム１３、可動部１４を基本に構成されており、各連結は
ピボット軸受けとニードル軸で行われている。すなわ
ち、上側は上アーム１２にピボット軸受け１２ａ、本体
１１と可動部１４にニードル軸１１ａ、下側は本体１１
と可動部１４にピボット軸受け１４ａ、下アーム１３に
ニードル軸１３ａが取り付けられている。本体１１と可
動部１４にはバネ掛け１１ａと１４ｃが固着され、本体
１１と可動部１４との間に引っ張りバネ１５がかけられ
ている。また、下アーム１３の右側は軸１３ｂが延長さ
れ、軸１３ｂにウェイト１６が取り付けられている。可
動部１４の先端１４ｂの下側は触針１７が取り付けら
れ、上側には反射ミラー２４が固着されている。
【００１１】平行リンク機構部１０は、このように構成
されており、本体１１はレーザー干渉計２０と同様にホ
ルダー（図示省略）に取り付けられていて、可動部１４
が上下に移動自在となる。この場合、上アーム１２の２
箇所の軸心Ａ・軸心Ｃ間距離と下アーム１３の２箇所の
軸心Ｂ・軸心Ｄの距離が同一、本体１１の２箇所の軸心
Ａ・軸心Ｂ間距離と可動部１４の２箇所の軸心Ｃ・軸心
Ｄ間距離が同一になっているので、可動部１４は本体１
１の２箇所の軸心Ａと軸心Ｂとを結ぶ方向と平行に上下
動する。反射ミラー２４の上面は可動部１４の２箇所の
軸心Ｃと軸心Ｄとを結ぶ方向に直角に設定されているの
で、結局、反射ミラー２４は本体１１の２箇所の軸心Ａ
と軸心Ｂとを結ぶ方向に、傾くことなく移動自在とな
る。なお、可動部１４の下向きの移動力すなわち測定圧
は、ウェイト１６で調整するが、表面粗さ形状測定では
測定圧が小さいので、ピボット軸受けとニードル軸とで
構成される各支点の回転力を小さくする必要がある。し
かし、各支点の回転力を小さくするとガタツキが出やす
いので、この実施の形態では、本体１１と可動部１４の
間を引っ張りバネ１５で引っ張ってガタツキを押さえる
ようにしている。
されており、本体１１はレーザー干渉計２０と同様にホ
ルダー（図示省略）に取り付けられていて、可動部１４
が上下に移動自在となる。この場合、上アーム１２の２
箇所の軸心Ａ・軸心Ｃ間距離と下アーム１３の２箇所の
軸心Ｂ・軸心Ｄの距離が同一、本体１１の２箇所の軸心
Ａ・軸心Ｂ間距離と可動部１４の２箇所の軸心Ｃ・軸心
Ｄ間距離が同一になっているので、可動部１４は本体１
１の２箇所の軸心Ａと軸心Ｂとを結ぶ方向と平行に上下
動する。反射ミラー２４の上面は可動部１４の２箇所の
軸心Ｃと軸心Ｄとを結ぶ方向に直角に設定されているの
で、結局、反射ミラー２４は本体１１の２箇所の軸心Ａ
と軸心Ｂとを結ぶ方向に、傾くことなく移動自在とな
る。なお、可動部１４の下向きの移動力すなわち測定圧
は、ウェイト１６で調整するが、表面粗さ形状測定では
測定圧が小さいので、ピボット軸受けとニードル軸とで
構成される各支点の回転力を小さくする必要がある。し
かし、各支点の回転力を小さくするとガタツキが出やす
いので、この実施の形態では、本体１１と可動部１４の
間を引っ張りバネ１５で引っ張ってガタツキを押さえる
ようにしている。
【００１２】また、レーザー干渉計２０は、レーザー光
源２１、コリメートレンズ２２、ハーフミラー２３、反
射ミラー２４、参照ミラー２５、結像レンズ２６、フォ
トデテクタ２７から構成されており、反射ミラー２４の
みが可動部１４に取り付けられていて可動、他の部品は
固定されている。そして、次のようにして可動部１４す
なわち触針１７の変位量を検出する。
源２１、コリメートレンズ２２、ハーフミラー２３、反
射ミラー２４、参照ミラー２５、結像レンズ２６、フォ
トデテクタ２７から構成されており、反射ミラー２４の
みが可動部１４に取り付けられていて可動、他の部品は
固定されている。そして、次のようにして可動部１４す
なわち触針１７の変位量を検出する。
【００１３】光源２１から出た光は、コリメートレンズ
２２を介してハーフミラー２３に入り、ハーフミラー２
３で通過して反射ミラー２４に向かう光と、ハーフミラ
ー２３で反射して参照ミラー２５に向かう光に分けられ
る。反射ミラー２４に向かった光はそこで反射し、今度
はハーフミラー２３で反射して結像レンズ２６を介しフ
ォトデテクタ２７に入る。また、ハーフミラー２３で反
射して参照ミラー２５に向かった光は参照ミラー２５で
反射し、今度はハーフミラー２３を通過して結像レンズ
２６を介しフォトデテクタ２７に入る。この結果、ハー
フミラー２３から反射ミラー２４までの距離とハーフミ
ラー２３から参照ミラー２５までの距離との差によっ
て、干渉縞が発生するが、ハーフミラー２３から参照ミ
ラー２５までの距離は固定であるので、干渉縞の変化を
検出することによって、ハーフミラー２３から反射ミラ
ー２４までの距離を検出することができる。
２２を介してハーフミラー２３に入り、ハーフミラー２
３で通過して反射ミラー２４に向かう光と、ハーフミラ
ー２３で反射して参照ミラー２５に向かう光に分けられ
る。反射ミラー２４に向かった光はそこで反射し、今度
はハーフミラー２３で反射して結像レンズ２６を介しフ
ォトデテクタ２７に入る。また、ハーフミラー２３で反
射して参照ミラー２５に向かった光は参照ミラー２５で
反射し、今度はハーフミラー２３を通過して結像レンズ
２６を介しフォトデテクタ２７に入る。この結果、ハー
フミラー２３から反射ミラー２４までの距離とハーフミ
ラー２３から参照ミラー２５までの距離との差によっ
て、干渉縞が発生するが、ハーフミラー２３から参照ミ
ラー２５までの距離は固定であるので、干渉縞の変化を
検出することによって、ハーフミラー２３から反射ミラ
ー２４までの距離を検出することができる。
【００１４】実施の形態２ 本発明に係る表面粗さ形状検出器の実施の形態２を、図
３と図４に示す。図３は平行リンク機構部、図４は図３
の正面図である。レーザー干渉計の構成は実施の形態１
と同じであるので省略している。図３に示すように、平
行リンク機構部３０は、本体３１、上板バネ３２、下板
バネ３３、可動部３４を基本に構成されており、上板バ
ネ３２と下板バネ３３はバネ押さえ３１ａ、３４ａで本
体３１、可動部３４にそれぞれ固定されている。また、
本体３１の延長部３１ｂに取り付けらた板３５にバネ掛
け３５ａが固着され、可動部３４の下側に固着されたバ
ネ掛け３４ｃとの間に引っ張りバネ３６がかけられてい
る。さらに、可動部３４の先端３４ｂの下側には触針１
７が取り付けられ、上側には反射ミラー２４が固着され
ている。
３と図４に示す。図３は平行リンク機構部、図４は図３
の正面図である。レーザー干渉計の構成は実施の形態１
と同じであるので省略している。図３に示すように、平
行リンク機構部３０は、本体３１、上板バネ３２、下板
バネ３３、可動部３４を基本に構成されており、上板バ
ネ３２と下板バネ３３はバネ押さえ３１ａ、３４ａで本
体３１、可動部３４にそれぞれ固定されている。また、
本体３１の延長部３１ｂに取り付けらた板３５にバネ掛
け３５ａが固着され、可動部３４の下側に固着されたバ
ネ掛け３４ｃとの間に引っ張りバネ３６がかけられてい
る。さらに、可動部３４の先端３４ｂの下側には触針１
７が取り付けられ、上側には反射ミラー２４が固着され
ている。
【００１５】平行リンク機構部３０は、このように構成
されており、本体１１はレーザー干渉計２０と同様にホ
ルダー（図示省略）に取り付けられていて、可動部３４
が上下に移動自在となる。この場合、上バネ３２の２箇
所の角Ｅ・角Ｇ間距離と下バネ３３の２箇所の角Ｆ・角
Ｈ間距離が同一、本体３１の２箇所の角Ｅ・角Ｆ間距離
と可動部３４の２箇所の角Ｇ・角Ｈ間距離が同一になっ
ているので、可動部３４は本体３１の２箇所の角Ｅと角
Ｆとを結ぶ方向と平行に上下動する。反射ミラー２４の
上面は可動部３４の２箇所の角Ｇと角Ｈとを結ぶ方向に
直角に設定されているので、結局、反射ミラー２４は本
体３１の２箇所の角Ｅと角Ｆとを結ぶ方向に、傾くこと
なく移動自在となる。可動部３４の下向きの移動力すな
わち測定圧は、バネ３６で調整する。
されており、本体１１はレーザー干渉計２０と同様にホ
ルダー（図示省略）に取り付けられていて、可動部３４
が上下に移動自在となる。この場合、上バネ３２の２箇
所の角Ｅ・角Ｇ間距離と下バネ３３の２箇所の角Ｆ・角
Ｈ間距離が同一、本体３１の２箇所の角Ｅ・角Ｆ間距離
と可動部３４の２箇所の角Ｇ・角Ｈ間距離が同一になっ
ているので、可動部３４は本体３１の２箇所の角Ｅと角
Ｆとを結ぶ方向と平行に上下動する。反射ミラー２４の
上面は可動部３４の２箇所の角Ｇと角Ｈとを結ぶ方向に
直角に設定されているので、結局、反射ミラー２４は本
体３１の２箇所の角Ｅと角Ｆとを結ぶ方向に、傾くこと
なく移動自在となる。可動部３４の下向きの移動力すな
わち測定圧は、バネ３６で調整する。
【００１６】なお、平行リンク機構は実施の形態１や実
施の形態２に示した構造に限らず、これらの変形や他の
支点でもよい。例えば、実施の形態１で上アームにはピ
ボット軸受けを下アームにはニードル軸を取り付けた
が、これと反対の構成や、上下同一の構成でもよい。実
施の形態２の板バネ支点構造についても、本体や可動部
と一体形（一つの材料から削り出す）とすることもでき
る。また、本発明では、表面粗さ形状測定機に用いる検
出器について説明したが、これに限らず、輪郭形状測定
用の検出器についても適用できる。
施の形態２に示した構造に限らず、これらの変形や他の
支点でもよい。例えば、実施の形態１で上アームにはピ
ボット軸受けを下アームにはニードル軸を取り付けた
が、これと反対の構成や、上下同一の構成でもよい。実
施の形態２の板バネ支点構造についても、本体や可動部
と一体形（一つの材料から削り出す）とすることもでき
る。また、本発明では、表面粗さ形状測定機に用いる検
出器について説明したが、これに限らず、輪郭形状測定
用の検出器についても適用できる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、表
面粗さ形状検出器を、上下方向移動自在に構成された平
行リンク機構として、可動側の上側に触針を取り付け、
可動側の下側に反射ミラーを取り付けて、その反射ミラ
ーの変位量をレーザー干渉計で検出するようにした。セ
ンサーにレーザー干渉計を用いることによって、高分解
能化ができ電気ノイズにも強くなる。また、平行リンク
機構にすることによって可動側（被検出側）が傾くこと
がないので、コーナーキューブを付ける必要がない。そ
れによって、測定範囲が広くとれ動特性もよく光学系の
調整も容易となる。
面粗さ形状検出器を、上下方向移動自在に構成された平
行リンク機構として、可動側の上側に触針を取り付け、
可動側の下側に反射ミラーを取り付けて、その反射ミラ
ーの変位量をレーザー干渉計で検出するようにした。セ
ンサーにレーザー干渉計を用いることによって、高分解
能化ができ電気ノイズにも強くなる。また、平行リンク
機構にすることによって可動側（被検出側）が傾くこと
がないので、コーナーキューブを付ける必要がない。そ
れによって、測定範囲が広くとれ動特性もよく光学系の
調整も容易となる。
【図１】本発明に係る実施の形態１の主説明図
【図２】図１の平行リンク機構の正面図
【図３】本発明に係る実施の形態２の主説明図
【図４】図３の正面図
【図５】従来の一般的な表面粗さ形状検出器の説明図
【図６】従来のてこ式機構にレーザー干渉計を設けた場
合の説明図
合の説明図
１０……平行リンク機構部 １１……本体 １２……上アーム １３……下アーム １４……可動部 １６……ウェイト １７……触針 ２０……レーザー干渉計 ２１……レーザー光源 ２３……ハーフミラー ２４……反射ミラー ２５……参照ミラー ２７……フォトデテクタ
Claims (3)
- 【請求項１】上下方向移動自在に構成された平行リンク
機構と、 その平行リンクの可動側の下側に取り付けられた触針
と、 前記平行リンクの可動側の上側に取り付けられた反射ミ
ラーと、 その反射ミラーにレーザー光を照射し光干渉方式で前記
反射ミラーの上下方向変位量を検出するレーザー干渉計
と、から構成されたことを特徴とする表面粗さ形状検出
器 - 【請求項２】前記平行リンク機構の４支点がピボットで
構成されていることを特徴とする請求項１に記載の表面
粗さ形状検出器。 - 【請求項３】前記平行リンク機構の４支点が板バネで構
成されていることを特徴とする請求項１に記載の表面粗
さ形状検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10202867A JP2000018935A (ja) | 1998-07-03 | 1998-07-03 | 表面粗さ形状検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10202867A JP2000018935A (ja) | 1998-07-03 | 1998-07-03 | 表面粗さ形状検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000018935A true JP2000018935A (ja) | 2000-01-21 |
Family
ID=16464519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10202867A Pending JP2000018935A (ja) | 1998-07-03 | 1998-07-03 | 表面粗さ形状検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000018935A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005156417A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Mitsutoyo Corp | 光干渉ユニット、光干渉対物レンズ装置および測定装置 |
| US9074865B2 (en) | 2012-01-04 | 2015-07-07 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Contour and surface texture measuring instrument and contour and surface texture measuring method |
| CN105547201A (zh) * | 2016-01-12 | 2016-05-04 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 平面度测量装置 |
| KR20190085846A (ko) | 2018-01-11 | 2019-07-19 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 평가 장치 및 웨이퍼의 평가 방법 |
| CN112729066A (zh) * | 2019-10-28 | 2021-04-30 | 松下知识产权经营株式会社 | 测定用探测器以及形状测定装置 |
-
1998
- 1998-07-03 JP JP10202867A patent/JP2000018935A/ja active Pending
Cited By (7)
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