JP2008096295A - 三次元センサおよび接触プローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源2からの光を2分割し一方を参照光c1として参照ミラー10に照射し、他方を測定光c2として測定対象物9に照射する第1のPBS3と、参照ミラー10で反射した参照光c1と測定対象物9で反射した測定光c2とを2分割してそれぞれ干渉させる第2のPBS4と、一方の干渉光c5を所定の測定直線14上に導く第1の光学系5と、他方の干渉光c6を光軸を法線とする平面にて90度回転させて前記測定直線14上に導く第2の光学系6と、測定直線14上にて干渉光c5,c6を受光するラインイメージセンサ8とを備えた。
【選択図】図1
Description
タッチ測定では、まず、駆動機構によって接触プローブ300を移動させ、接触部312を被測定物表面Sの測定ポイントに当接させる。更に、接触部312を被測定物表面Sに押し込む方向に接触プローブ300を移動させていき、接触部312の変位として所定の押込量(基準押込量)が検出されたところで、接触部312と被測定物表面Sとの接触を検出する。接触部312と被測定物表面Sとの接触を検出した時点で、接触部312の座標をサンプリングし、その後、タッチバック動作により接触プローブ300を被測定物表面Sから離間させ、改めて接触部312を次の測定ポイントに当接させる。このようなタッチ測定を繰り返し実行して、被測定物表面Sの形状や寸法を測定する。
また、このようなスライダを用いた機械的構成のほかに、PSD(Position Sensitive Light Detector,位置検出素子)や、QPD(quadratic photo diode,4分割フォトダイオード)を用いて、スタイラスの姿勢や変位量を測定する測定装置も提案さている(特許文献2参照)。
第1に、上述した手法では、近時の高速測定へのニーズに対応することが困難である。第2に、PSDやQPDでは、測定対象となるスタイラスなどの姿勢情報が少なく、このために測定の不確かさを軽減することができない、という問題がある。第3に、従来の干渉計を利用した手法では、校正および調整の作業負荷が高く、三次元計測機等で利用するには実際上の困難がある。
このような構成によれば、第2の光学系が、他方の干渉光を回転させて測定直線上に導くため、測定直線上では、一方の干渉光と、一方の干渉光から回転した他方の干渉光とが入射する。ラインイメージセンサは、測定直線に入射する一方および他方の干渉光をそれぞれ受光する。つまり、第2の光学系が、他方の干渉光を回転させて測定直線上に入射させ、一方の干渉光と他方の干渉光とを同一のラインイメージセンサで測定することにより、上記目的を達することができる。
また、エリアCCDではなく、ラインイメージセンサ(例えば、ラインCCD)を使用することができるため、単位時間当たりの測定回数が多く、このため、高速応答を実現することができる。さらに、ラインイメージセンサ1つで測定できるため、安価であり、そして、素子の個体差や装着に応じた補正等にて、2つの素子間を同等するための校正および調整が不要であり、このため、直接に測定対象物の姿勢および変位を測定する外界センサとしてのみならず、接触プローブ等に組み込む内界センサとしても実用上安定して使用することができる。
なお、接触プローブとしては、スタイラスを使用するものや、カンチレバーを使用するものを例として挙げることができる。このようなスタイラスやカンチレバーを有する接触プローブの用途としては、三次元測定機や、走査型プローブ顕微鏡を挙げることができる。
測定直線と平行な軸での略180度の回転は、光軸に直交するすべての直線のいずれかを軸として180度回転させることを含む。第2の光学系が、干渉光を略180度の回転により裏返しながら略90度回転させる構成とすると、プリズム等の光学系の要素数を最小限とし、また、光路長を短くすることができる。これにより、三次元センサ全体をコンパクトとし、外界センサとしても微小な測定対象物の測定が可能となり、内界センサとしても接触プローブ自体をコンパクトとすることができる。
駆動手段としては、例えば、駆動量に応じてピエゾ素子を積層したアクチュエータや、ねじ式の機械的調整によるものが挙げられる。このようにすれば、駆動手段による傾斜角度(ティルト)により分解能を調整することができ、また、参照ミラーの傾斜角度によって、一方の干渉光の干渉縞と他方の干渉光の干渉縞の幅を同一とする調整を行うことができる。
光学変化面とは、例えば、反射ミラーを凹面鏡または凸面鏡とする際の凹凸面や、反射面に放射形状等のパターンを蒸着させる際には、そのパターンを指す。これらの構成では、一方および他方の干渉光の中心位置(基準点)を干渉縞上にのせることができ、従って、干渉縞からの姿勢等の計算が単純化され、また、測定対象物の測定平面内での移動(ドリフト)も測定することができる。この反射ミラーは、三次元センサを外界センサとする際には測定対象物に装着する。
この光学変化面による基準点と、参照ミラーの傾斜とを組み合わせ、ラインイメージセンサの単位長さあたりの分解能にあわせて、測定の用途に応じた干渉縞を得ることもできる。
このようにすれば、参照ミラーを微小移動させつつ白色光にて基準となる姿勢を測定しておき、その後、単色光で測定することで、姿勢および変位量について絶対値を得ることができる。
このような構成によれば、上述した効果を奏する他、カンチレバーの探針を測定対象物に当接させて、相対移動させることで変位量を測定し、また、走査型プローブ顕微鏡にて、カンチレバーの変位量を高速かつ高精度に測定することができる。とくに、走査型プローブ顕微鏡の接触プローブとする際には、測定対象物が微小であることから、接触プローブのコンパクト化が求められているところ、単一のラインセンサの使用により、接触プローブの物理的構成を小さくすることができる。
例えば、スタイラス変位手段としては、ピエゾ素子を積層した圧電素子によるアクチュエーターを例として挙げることができる。三次元センサは、接触部の変位量を測定することができるため、三次元測定でのタッチ測定や倣い測定に際して、この接触部を例えば測定対象物表面の平面の法線方向に離脱させる機能を得ることができる。これにより、高精度で、高応答で、かつ自律的な動作が可能な接触プローブを提供することができる。
(基本構成)
図1〜図3に、本発明の第1実施形態による三次元センサの構成例を示す。図1を参照して基本構成を、図2を参照してアイソレーターを含む光学特性を、図3を参照して解析結果を説明する。
図1に示すように、三次元センサ1は、可干渉の光を出射する光源2と、この光源2からの光(光束)を2分割し一方を参照光c1として参照ミラー10に照射し、他方を測定光c2として測定対象物9に照射する第1のビームスプリッタ3と、参照ミラー10で反射した参照光c1と測定対象物9で反射した測定光c2とを2分割してそれぞれ干渉させる第2のビームスプリッタ4と、第2のビームスプリッタ4の一方の干渉光c5を所定の測定直線14上に導く第1の光学系5と、他方の干渉光c6を光軸を法線とする平面にて90度回転させて測定直線14上に導く第2の光学系6と、測定直線14上にて一方の干渉光c5と他方の干渉光c6とをそれぞれ受光するラインイメージセンサ8と、を備えている。
第1のビームスプリッタ3および第2のビームスプリッタ4は、直角プリズムを斜面で接合し、この斜面に半透明膜を付したものが用いられている。また、光源2と第1のビームスプリッタ3との間に、光源2からの光を平行光とするビームエクスパンダを配置してもよい。
第1のビームスプリッタ3の半透明膜31で反射した一方の光は参照光c1となり参照ミラー10で反射する。参照ミラー10は、参照光c1の光路を法線とする面から任意の角度で傾けられている。参照ミラー10で反射した反射光は、第1のビームスプリッタ3を透過したのち、第2のビームスプリッタ4に入射する。第1のビームスプリッタ3の半透明膜31を透過した他方の光は測定光c2となり、測定対象物9にて反射し、この反射光はビームスプリッタ3の半透明膜31を反射し、第2のビームスプリッタ4に入射する。つまり、本実施形態の三次元センサ1は、マイケルソン干渉計の構成を基礎としている。
三次元センサ1の光学的雑音(ゴースト)を除去するために、アイソレーターが用いられている。例えば、干渉計の光学素子の裏面などからの不要な反射光があると、干渉縞に混入し雑音(ゴースト)となる。これを避けるために、光源2と測定対象物9の反射面との間に、アイソレーターが挿入されている。アイソレーターは、通常、直線偏光子とλ/4板とを組み合わせる。直線偏光子は、電磁波である光の横波の振動方向を直線とし、振動方向が不規則な光を直線偏光とするものである。直線偏光子は、特定の方向の直線偏光を透過し、他を反射する。
λ/4板は、偏光の振動面に対して45度の方位角をもつ。λ/4板は、直線偏光が入射されると、その振幅方向を45度回転させて円偏光とし、この円偏光が入射されると、振幅方向さらに45度回転させて直線偏光とする。また、λ/2板は、直線偏光の方位角をλ/2板の回転角の2倍だけ回転させる。
まず、光源2から偏光方向が不規則な光が第1のビームスプリッタ3に入射すると、第1のビームスプリッタ3の半透明膜31にて、p偏光が透過し直線偏光(測定光c2)となり、この直線偏光(測定光c2)はλ/4板12にて円偏光(測定光c2)となる。測定対象物9で反射した円偏光(測定光c2)は、再度λ/4板12を透過する際にs偏光(測定光c2)となり、第1のビームスプリッタ3で反射し、λ/2板13に入射する。
光源2から入射する光は、第1のビームスプリッタ3の半透明膜31にて、s偏光が反射し直線偏光(参照光c1)となり、この直線偏光(参照光c1)はλ/4板11にて円偏光(参照光c1)となる。参照ミラー10で反射した円偏光(参照光c1)は、再度λ/4板11を透過する際に、p偏光(参照光c1)となり、第1のビームスプリッタ3を透過し、λ/2板13に入射する。
この第2のビームスプリッタ4で始めて、垂直成分による干渉と、水平成分による干渉が生じる。すなわち、直交した偏光ビームc3をλ/2板13で45度回転させつつ、それを再度p偏光とs偏光とに分離して透過及び反射させることで、参照光と測定光とを干渉させる。
これは、z軸で180度回転させ、反時計回りに90度回転させると表記してもよい。このような「裏返し」を含む光路とすると、2回の反射で測定直線14に導くことができる。この点、第1の光学系5でも同一回数の反射をさせつつ測定直線14に導くことができる。
なお、偏光させる光学素子として、λ/4板と偏光ビームスプリッタとの組み合わせを用いたが、これに限定されず、例えば、ワイヤグリットポラライザを使った方法としても良いし、直線偏光素子を用いてもよい。
第2のビームスプリッタ4にて分光された一方の干渉光c5および他方の干渉光c6はラインイメージセンサ8上に照射される。これを参照ミラー10側からみると、図3(A)に示すような相対関係となる。説明のための1から4のアドレスを示すように、図3(A)の図中左側の干渉縞c6がx軸に関する測定対象物9の姿勢の情報を示し、図中右側の干渉縞c5がy軸に関する姿勢情報となる。
(光学素子の一体化)
図4は、図1および図2に示した三次元センサ1を一体化したものである。各光学素子(3,11,12,13,4,5,6)は、接着により一体化されている。このような構成により、三次元センサ1のコンパクト化を図ることができる。また、光学要素および光路に空気が介在しないので、より安定した測定ができる。
三次元センサ1を内界センサとして使用する際には、測定対象物に測定光c2を反射させる反射ミラー9Aを装着するとよい。三次元センサ1としては、反射ミラー9Aが測定対象物9(図4参照)となる。さらに、反射ミラー9Aが、測定光c2の光束を予め定められた特性に変化させる光学変化面を備えると、干渉縞のパターンを種々変化させることができる。
上述した図5までの説明は、測定対象物の基準位置と、変位した後の測定対象物の位置の相対姿勢変化を捉えるものであったが、図6に示すように、2つの異なる波長の光源を用いれば、絶対姿勢を計測することが可能となる。光源2としては、白色を出射する第1の光源15と、特定波長を出射する第2の光源16とを備える。例えば、第1の光源15に白色光を用いた場合、基準位置での参照ミラー10の絶対姿勢を測定し、これを記憶させ、その後は、1波長の第2の光源16を用いて相対測定すれば効率的な絶対測定が可能となる。
なお、反射ミラー9Aは、測定の前提とする自由度に応じて、支持部30により三次元の変位方向や回転が制限されている。
図6に示すように、三次元センサ1が、参照ミラー10の反射面を、参照光c1の光軸に対して傾斜させる駆動手段19を備えるようにしてもよい。この参照ミラー10の傾斜(ティルト)により、干渉縞の縞数を変化させることができる。従って、第1に、光学系の設置誤差等を調整し、一方の干渉光c5と他方の干渉光c6の干渉縞の分解能を一致させるために、この参照ミラー10の傾斜を調整することができる。第2に、ラインイメージセンサ8の分解能と、測定の目的とに応じて、傾斜角度の調整により測定分解能を定めることができる。駆動手段19としては、駆動量に応じてピエゾ素子を積層したアクチュエータを用いてもよいし、機械的にねじにより微調整する駆動機構としてもよい。
図7に、第1実施形態の光学要素の他の配置構成を示す。
図7に示す三次元センサ1は、第1実施形態の三次元センサ1(図1,図2に示す三次元センサ)に対して、第1のλ/4波長板11、第2のλ/4波長板12およびλ/2板12が省略されている点が異なる。また、第1実施形態の三次元センサでは、第1のビームスプリッタ3および第2のビームスプリッタ4に偏光ビームスプリッタを用いたが、図7ではビームスプリッタを用いた点が、第1実施形態とは異なる。
このような光学要素の配置によれば、偏光による分離を行わない分ゴーストが発生し、分解能が低下するが、安価である利点がある。
なお、図7に示す三次元センサ1についても、図4に示すように、各光学素子を接着などにより一体化することもできる。
この図7に示す構成でも、三次元センサとして、上記の効果を奏する。
図8に、ラインイメージセンサを2つ使用する比較例を示す。この例では、第2のPBS4に第1のラインイメージセンサ8Aと、第2のラインイメージセンサ8Bとを装着している。第1のラインイメージセンサ8Aおよび第2のラインイメージセンサ8Bは、干渉光の中心位置を通り、干渉光を円とした際に直交する2つの直径が入射する位置に配置される。ラインイメージセンサ8A,8Bを2つ使用することで、第1の光学系および第2の光学系を不要としているが、この構成では、ラインイメージセンサ8A,8Bの設置誤差をそれぞれ別途調整しなければならない点が不利となる。
(スタイラス)
図9に、図4に示した三次元センサ1を内界センサとして、スタイラスに装着した接触プローブの一例を示す。
この接触プローブ300は、三次元センサ1と、測定光c2を反射させる反射ミラー91と、この反射ミラー91と一体に動作するスタイラス311と、このスタイラス311の先端に装着され被測定物表面に近接または当接する接触部312と、反射ミラー91およびスタイラス311を三次元的に動作可能に支持する支持部30と、を備えている。
支持部30は、スタイラス311を揺動可能に支持するとともに、その動作(自由度)を制限する弾性体を備えるとよい。弾性体としては、例えば、板ばねを採用することができるが、その構造は限定されるものではない。本実施例では、xθ,yθ,zにのみ自由度を有している。厳密には、ばねの平面方向(x、y)と、スタイラス軸回転方向zθの自由度は拘束されている弾性体構造とする。また、接触プローブ300の設置は、軸対象構造であることが望ましい。
図10および図11に、三次元測定システムの構成例を示す。図10および図11に示すように、三次元測定システム100は、三次元測定機200と、接触プローブ300と、ジョイスティック111を有する操作部110と、三次元測定機の動作を制御するモーションコントローラー500と、モーションコントローラーを介して三次元測定機200を駆動制御するともに測定値を解析するホストコンピュータ600とを備えている。
図10および図11に示す三次元測定システムでは、接触部312を基準押込量だけ押し込みながらタッチ測定し、または倣い測定することで、測定対象物の表面形状を安定して確実に測定する。しかし、基準押込量を極度に超過して接触部312を押し込むと、また、高速に倣い測定する際に測定終了ポイントを経過した後にも押し込みを継続すると、測定対象物や接触部312にダメージを与えかねず、このため、測定の高速化等の障害要因となっていた。
ここで、V=(Δx,Δy,Δz)
(カンチレバー)
図14に、第1実施形態の三次元センサ1をカンチレバーに装着した接触プローブの一例を示す。
この接触プローブは、第1実施形態の三次元センサ1と、測定光c2を反射させる反射ミラー92と、この反射ミラー92と一体に動作するカンチレバー700と、このカンチレバー700の先端に装着され被測定物表面に近接または当接する探針701と、反射ミラー92およびカンチレバー700を動作可能に支持する支持部としての支点702とを備える。なお、カンチレバー700を被測定物表面から離間させるカンチレバー変位手段を設けるようにしてもよい。カンチレバー変位手段としては、例えば、支点702付近にカンチレバー700の先端(探針701)が被測定物表面から離間する方向へカンチレバー700を揺動させる機構などを設けることにより実現できる。
図14に示す接触プローブは、探針701を測定対象物表面と相対移動させることで、測定対象物の表面形状を測定する形状測定装置に使用することができる。この形状測定装置は、カンチレバー700の上下動のみならず、たわみや回転も干渉縞にあらわれるため、上下動のみを測定する接触プローブと比較して、極めて高精度で安定した測定を行うことができる。
また、形状測定機用の接触プローブのみならず、走査型プローブ顕微鏡に装着されるカンチレバー700の変位を測定することもできる。この場合、反射ミラー92がカンチレバー700の背面であり、素材がシリコンの場合、背面は概ね鏡面であるが表面に粗さがある。この粗さの影響はナノメートル・オーダーの測定を行う走査型顕微鏡に装着されるカンチレバーの問題の1つである。この場合でも、本実施形態による三次元センサ1は、干渉縞測定、つまり線測定であるため、平均化処理により問題を解決できる。
(1)単一のラインイメージセンサを使用するため、ラインイメージセンサの設置誤差の調整が容易である。
(2)ラインイメージセンサを用い、測定光と参照光の光学系を同一として測定環境の影響による誤差を低減したため、安定した高速測定が可能である。
(3)接触プローブの小型化によりプローブ固有振動数が高周波化した場合に求められる高応答化にも適応可能である。
(4)干渉縞を2つに分割しつつ、測定対象物や反射ミラーの姿勢であるxθ、yθと、z軸方向の変位量zを測定する際には、冗長した測定値を得ることができ、2つの干渉縞により別々に変位量zを算出して平均し、また、多数の測定値から測定対象物や反射ミラーの平面形状を前提として最小二乗法等により傾きを算出することができ、これによっても、正確な測定を行うことができる。
例えば、マイケルソンタイプや、ミロータイプの干渉計ではなく、測定対象物とビームスプリッタとの間に半透明板を設けるフィゾータイプの干渉計を用いてもよい。
2…光源
3…第1のビームスプリッタ
4…第2のビームスプリッタ
5…第1の光学系
6…第2の光学系
6A,6B…プリズム
8…ラインイメージセンサ
9…測定対象物
9A…反射ミラー
10…参照ミラー
15…第1の光源
16…第2の光源
19…駆動手段
30…支持部
300…接触プローブ
311…スタイラス
312…接触部
313…センサ本体部
441〜443…スタイラス変位手段
700…カンチレバー
701…探針。
Claims (9)
- 可干渉の光を出射する光源と、この光源からの光を2分割し一方を参照光として参照ミラーに照射し、他方を測定光として測定対象物に照射する第1のビームスプリッタと、前記参照ミラーで反射した参照光と前記測定対象物で反射した測定光とを2分割してそれぞれ干渉させる第2のビームスプリッタと、第2のビームスプリッタの一方の干渉光を所定の測定直線上に導く第1の光学系と、他方の干渉光を回転させて前記測定直線上に導く第2の光学系と、前記測定直線上にて前記一方の干渉光と前記他方の干渉光とをそれぞれ受光するラインイメージセンサと、を備えたことを特徴とする三次元センサ。
- 請求項1に記載の三次元センサにおいて、
前記第2の光学系は、前記第2のビームスプリッタからの他方の干渉光を前記測定直線と平行な軸にて略180度回転させつつ、前記測定直線および前記一方の干渉光が前記ラインイメージセンサへ入射する光路を含む平面にて略90度回転させる光路を備えた、ことを特徴とする三次元センサ。 - 請求項1または請求項2に記載の三次元センサにおいて、
前記参照ミラーの反射面を、前記参照光の光軸に対して傾斜させる駆動手段を備えた、ことを特徴とする三次元センサ。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の三次元センサにおいて、
前記測定対象物に装着され前記測定光を反射させる反射ミラーを備え、
この反射ミラーは、前記測定光の光束を予め定められた特性に変化させる光学変化面を備えた、ことを特徴とする三次元センサ。 - 請求項1〜請求項4のいずれかに記載の三次元センサにおいて、
前記光源は、白色を出射する第1の光源と、特定波長を出射する第2の光源とを備えた、ことを特徴とする三次元センサ。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の三次元センサと、
前記測定光を反射させる反射ミラーと、この反射ミラーと一体に動作するスタイラスと、このスタイラスの先端に装着され被測定物表面に近接または当接する接触部と、前記反射ミラーおよび前記スタイラスを三次元的に動作可能に支持する支持部と、を備えたことを特徴とする接触プローブ。 - 請求項6に記載の接触プローブにおいて、
前記支持部には、前記スタイラスを前記被測定物表面から離間させるスタイラス変位手段が備えられている、ことを特徴とする接触プローブ。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の三次元センサと、
前記測定光を反射させる反射ミラーと、この反射ミラーと一体に動作するカンチレバーと、このカンチレバーの先端に装着され被測定物表面に近接または当接する探針と、前記反射ミラーおよび前記カンチレバーを動作可能に支持する支持部と、を備えたことを特徴とする接触プローブ。 - 請求項8に記載の接触プローブにおいて、
前記カンチレバーを前記被測定物表面から離間させるカンチレバー変位手段が備えられている、ことを特徴とする接触プローブ。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011022204A (ja) * | 2009-07-13 | 2011-02-03 | Nikon Corp | 軸外しホログラフィック顕微鏡 |
EP2613121A1 (en) | 2012-01-06 | 2013-07-10 | Mitutoyo Corporation | Image sensor, attitude detector, contact probe, and multi-sensing probe |
JP2017161493A (ja) * | 2016-03-04 | 2017-09-14 | 富士電機株式会社 | 分光装置及び分光方法 |
JP2017173078A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 | 光干渉長さ測定装置 |
WO2019118327A1 (en) | 2017-12-11 | 2019-06-20 | Quality Vision International Inc. | Interferometric touch probe |
JP2022138127A (ja) * | 2021-03-09 | 2022-09-22 | ハルビン インスティテュート オブ テクノロジー | デュアルラインスキャンカメラに基づく単一ビーム3自由度レーザー干渉計 |
CN117054951A (zh) * | 2023-10-13 | 2023-11-14 | 深圳市道格特科技有限公司 | 一种探针性能测试系统及其测试方法 |
US11835742B2 (en) | 2018-02-05 | 2023-12-05 | Nec Corporation | Sensor device |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5079353A (ja) * | 1973-10-12 | 1975-06-27 | Aga Ab | |
JPS58225304A (ja) * | 1982-06-25 | 1983-12-27 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 光学式機械量測定装置 |
JPS58225305A (ja) * | 1982-06-24 | 1983-12-27 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 光学式形状測定装置 |
JPS626102A (ja) * | 1985-06-13 | 1987-01-13 | Fujitsu Ltd | 視覚認識方法及びその装置 |
JPS6344102A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-25 | Fujitsu Ltd | 視覚認識装置 |
JPH01136913A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-30 | Nkk Corp | 鉄の溶融還元方法 |
JPH03223609A (ja) * | 1989-08-30 | 1991-10-02 | Renishaw Plc | タッチプローブ |
JPH04171646A (ja) * | 1990-11-06 | 1992-06-18 | Toshiba Corp | 原子間力顕微鏡装置 |
JPH0560542A (ja) * | 1991-09-04 | 1993-03-09 | Canon Inc | 触針プローブ |
JPH06111086A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Unitec:Kk | 部品の計数装置 |
JPH0755418A (ja) * | 1993-08-13 | 1995-03-03 | Ono Sokki Co Ltd | 変位計 |
JPH08184414A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Kosaka Kenkyusho:Kk | 表面形状測定方法 |
JPH08201034A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 非接触表面形状測定方法及び装置 |
JPH08304058A (ja) * | 1995-05-11 | 1996-11-22 | Mitsutoyo Corp | スタイラス支持装置 |
JP2000146515A (ja) * | 1998-11-09 | 2000-05-26 | Nikon Corp | シアリング干渉計及びシアリング干渉方法 |
JP2000258142A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 非接触表面形状測定方法 |
JP2002062121A (ja) * | 2000-08-17 | 2002-02-28 | Kaneko Denki Kk | 光学式検査装置 |
-
2006
- 2006-10-12 JP JP2006278616A patent/JP2008096295A/ja active Pending
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5079353A (ja) * | 1973-10-12 | 1975-06-27 | Aga Ab | |
JPS58225305A (ja) * | 1982-06-24 | 1983-12-27 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 光学式形状測定装置 |
JPS58225304A (ja) * | 1982-06-25 | 1983-12-27 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 光学式機械量測定装置 |
JPS626102A (ja) * | 1985-06-13 | 1987-01-13 | Fujitsu Ltd | 視覚認識方法及びその装置 |
JPS6344102A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-25 | Fujitsu Ltd | 視覚認識装置 |
JPH01136913A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-30 | Nkk Corp | 鉄の溶融還元方法 |
JPH03223609A (ja) * | 1989-08-30 | 1991-10-02 | Renishaw Plc | タッチプローブ |
JPH04171646A (ja) * | 1990-11-06 | 1992-06-18 | Toshiba Corp | 原子間力顕微鏡装置 |
JPH0560542A (ja) * | 1991-09-04 | 1993-03-09 | Canon Inc | 触針プローブ |
JPH06111086A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Unitec:Kk | 部品の計数装置 |
JPH0755418A (ja) * | 1993-08-13 | 1995-03-03 | Ono Sokki Co Ltd | 変位計 |
JPH08184414A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Kosaka Kenkyusho:Kk | 表面形状測定方法 |
JPH08201034A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-08-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 非接触表面形状測定方法及び装置 |
JPH08304058A (ja) * | 1995-05-11 | 1996-11-22 | Mitsutoyo Corp | スタイラス支持装置 |
JP2000146515A (ja) * | 1998-11-09 | 2000-05-26 | Nikon Corp | シアリング干渉計及びシアリング干渉方法 |
JP2000258142A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 非接触表面形状測定方法 |
JP2002062121A (ja) * | 2000-08-17 | 2002-02-28 | Kaneko Denki Kk | 光学式検査装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011022204A (ja) * | 2009-07-13 | 2011-02-03 | Nikon Corp | 軸外しホログラフィック顕微鏡 |
EP2613121A1 (en) | 2012-01-06 | 2013-07-10 | Mitutoyo Corporation | Image sensor, attitude detector, contact probe, and multi-sensing probe |
CN103292686A (zh) * | 2012-01-06 | 2013-09-11 | 株式会社三丰 | 图像传感器、姿势检测器、接触探头以及多传感探头 |
US9062958B2 (en) | 2012-01-06 | 2015-06-23 | Mitutoyo Corporation | Image sensor, attitude detector, contact probe, and multi-sensing probe |
CN103292686B (zh) * | 2012-01-06 | 2017-03-01 | 株式会社三丰 | 图像传感器、姿势检测器、接触探头以及多传感探头 |
JP2017161493A (ja) * | 2016-03-04 | 2017-09-14 | 富士電機株式会社 | 分光装置及び分光方法 |
JP2017173078A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 | 光干渉長さ測定装置 |
WO2019118327A1 (en) | 2017-12-11 | 2019-06-20 | Quality Vision International Inc. | Interferometric touch probe |
US10794684B2 (en) | 2017-12-11 | 2020-10-06 | Quality Vision International Inc. | Interferometric touch probe |
US11835742B2 (en) | 2018-02-05 | 2023-12-05 | Nec Corporation | Sensor device |
JP2022138127A (ja) * | 2021-03-09 | 2022-09-22 | ハルビン インスティテュート オブ テクノロジー | デュアルラインスキャンカメラに基づく単一ビーム3自由度レーザー干渉計 |
CN117054951A (zh) * | 2023-10-13 | 2023-11-14 | 深圳市道格特科技有限公司 | 一种探针性能测试系统及其测试方法 |
CN117054951B (zh) * | 2023-10-13 | 2024-03-29 | 深圳市道格特科技有限公司 | 一种探针性能测试系统及其测试方法 |
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