JP6104708B2 - 追尾式レーザ干渉計 - Google Patents
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Description
図1に示す装置は、被測定体である第1のレトロリフレクタ105が3次元測定機のZ軸先端などに取り付けられ、空間中を移動する第1のレトロリフレクタ105を追尾しつつ、空間中に固定された真球度の良好な基準球101に関して、基準球101の中心点Cから第1のレトロリフレクタ105までの距離Lの変化量ΔLを、高精度に測定する装置である。
ΔL=ΔL1+ΔL2
また、本発明の第2の目的は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、追尾式レーザ干渉計において、キャリッジに熱膨張が生じた場合においても、距離の変化量を高精度に測定可能な追尾式レーザ干渉計を提供することを課題とする。
図2、図3、及び図4を参照して、本発明の第1実施形態について説明する。図2は本実施形態に係る追尾式レーザ干渉計の主要部分構成を示す模式図である。図3は本実施形態に係る追尾式レーザ干渉計の内部構成の模式図である。図4は本実施形態に係る追尾式レーザ干渉計の全体構成斜視図である。
支持枠406は、ベース板409上に設けられた方位角回転用モータ408によって、基準球201の中心Cを中心として方位角方向(図4のY軸まわりの回転方向)に回動するように構成されている。また、支持枠406には仰角回転用モータ407が設けられており、仰角回転用モータ407の回転駆動によって、キャリッジ202が仰角方向(図2及び図4のX軸まわりの回転方向)に回転されるように構成されている。
仰角回転用モータ407、及び方位角回転用モータ408は、データ処理装置411に接続されている。このデータ処理装置411によってキャリッジ202の回動が制御されるように構成されている。
キャリッジ202には、測定光(レーザビーム)を出射するレーザ干渉計203が取り付けられている。レーザビームは、X軸及びY軸に共に直交するZ軸を光軸方向として出射される。
また、キャリッジ202には、基準球201とレーザ干渉計203の間で、且つ、レーザビームと同軸上に第1の変位計204が設けられている。この第1の変位計204とレーザ干渉計203の間には、レーザビームと同軸上で、且つ、キャリッジ202上に、第2のレトロリフレクタ205が設けられている。
なお、第1の変位計204及びレーザ干渉計203は、データ処理装置411に接続されている。
基準球201は、例えば、等級がG3、直径が5〜25.4mmの大きさとすることができる。また、基準球201は、例えば、高炭素クロム軸受鋼や、スーパーインバ、貴金属などを用いてコーティングすることで導電性を付与した合成石英、導電性を付与したコーディライト系セラミクス、及び導電性を付与したBK7を素材として使用した球などを用いることができる。また、基準球201は、スーパーインバやコーディライト系セラミクスなどの線膨張係数が小さな素材を用いて製作された棒状或いは円錐状のホルダ410を介して、スーパーインバ、コーディライト系セラミクス、又はアルミニウム合金を用いて製作されたベース板409に固定することにより、空間中に固定することができる。
無偏光ビームスプリッタ(NPBS)304と、λ/4板305と、λ/4板306と、
変位検出手段である位相計307と、位置検出手段である2次元位置検出器(2次元PSD)308と、を備えている。
ΔL=ΔL1+ΔL2
図5は、本実施形態に係る追尾式レーザ干渉計の主要部分構成を示す模式図である。なお、以降の実施形態の説明に当たり、既に説明した構成については同符号を付し、その説明を省略、又は簡略化する。図5に示すように、本実施の形態に係る追尾式レーザ干渉計は、さらに、変位計測手段の一例としての、第2の変位計501及び第2の変位計のターゲット502を備える。
レーザ干渉計203により変化量ΔL1が測定され、また、第1の変位計204により変化量ΔL2が測定されるのと同時に、第2の変位計501により距離L3の変化量ΔL3が測定される。データ処理装置411は、第1の変位計204を用いて測定した変化量ΔL2と、レーザ干渉計203を用いて測定した変化量ΔL1とに加えて、さらに、第2の変位計501を用いて測定した変化量ΔL3を加算することにより、以下に示すようにして、キャリッジ202の熱膨張による変化量ΔL3を補正して、距離Lの変化量ΔLを求めることができる。
ΔL=ΔL1+ΔL2+ΔL3
図6は、本実施形態に係る追尾式レーザ干渉計の主要部分構成を示す模式図である。なお、以降の実施形態の説明に当たり、既に説明した構成については同符号を付し、その説明を省略、又は簡略化する。図6に示すように、本実施の形態に係る追尾式レーザ干渉計は、上述した実施の形態1と比較して、さらに、変位計測手段の他の一例としての、第3の変位計601及びホルダ602を備える。
レーザ干渉計203により変化量ΔL1が測定され、また、第1の変位計204により変化量ΔL2が測定されるのと同時に、第3の変位計601により距離L3の変化量ΔL3の一部分であるΔL3Aが測定される。データ処理装置411は、第1の変位計204を用いて測定した変化量ΔL2と、レーザ干渉計203を用いて測定した変化量ΔL1とに加えて、さらに、第3の変位計601を用いて測定した変化量ΔL3Aを加算することにより、以下に示すようにして、キャリッジ202の熱膨張による変化量ΔL3の一部分の変化量ΔL3Aを補正して、距離Lの変化量ΔLを求めることができる。
ΔL=ΔL1+ΔL2+ΔL3
図7は、本実施形態に係る追尾式レーザ干渉計の主要部分構成を示す模式図である。なお、以降の実施形態の説明に当たり、既に説明した構成については同符号を付し、その説明を省略、又は簡略化する。図7に示すように、本実施の形態に係る追尾式レーザ干渉計は、上述した実施の形態1と比較して、さらに、第4の変位計701を備える。
レーザ干渉計203により変化量ΔL1が測定され、また、第1の変位計204により変化量ΔL2が測定されるのと同時に、第4の変位計701により距離L5の変化量ΔL5が測定される。データ処理装置411は、第1の変位計204を用いて測定した変化量ΔL2と、レーザ干渉計203を用いて測定した変化量ΔL1とに加えて、さらに、第4の変位計701を用いて測定した変化量ΔL5を加算することにより、以下に示すようにして、基準球201の熱膨張による変化量ΔL5を補正して、距離Lの変化量ΔLを求めることができる。
102 キャリッジ、
103 変位計、
104 レーザ干渉計、
105 第1のレトロリフレクタ、
201 基準球、
202 キャリッジ、
203 レーザ干渉計、
204 第1の変位計、
205 第2のレトロリフレクタ、
206 第1のレトロリフレクタ、
301 光ファイバ、
302 コリメートレンズ、
303 偏光ビームスプリッタ(PBS)、
304 無偏光ビームスプリッタ(NPBS)、
305 λ/4板、
306 λ/4板、
307 位相計、
308 2次元位置検出器(2次元PSD)、
406 支持枠、
407 仰角回転用モータ、
408 方位角回転用モータ、
409 ベース板、
410 ホルダ、
411 データ処理装置、
501 第2の変位計、
502 第2の変位計のターゲット、
601 第3の変位計、
602 ホルダ、
701 第4の変位計
Claims (7)
- 被測定体である第1のレトロリフレクタに向けて出射され、当該第1のレトロリフレクタによって戻り方向に反射されるレーザビームの干渉を利用して前記第1のレトロリフレクタの変位を検出すると共に、前記レーザビームの光軸の位置の変化を用いてトラッキングを行うようにした追尾式レーザ干渉計であって、
固定配設された基準球と、
前記基準球との間の相対的な変位に応じた変位信号を出力する第1の変位計を備えたキャリッジと、
前記キャリッジに設けられた第2のレトロリフクレクタと、
前記第1のレトロリフレクタと前記第2のレトロリフクレタとの相対的な変位に応じた変位信号を出力するレーザ干渉計と、
前記第1の変位計が出力する変位信号と、前記レーザ干渉計が出力する変位信号とから、前記基準球を基準とした前記第1のレトロリフレクタの変位を算出するデータ処理装置と、
を備えたことを特徴とする追尾式レーザ干渉計。 - 前記キャリッジに設けられ、前記第1の変位計と前記第2のレトロリフレクタの間の距離の変化量を測定する変位計測手段を更に備え、
前記データ処理装置は、
前記第1の変位計が出力する変位信号と、前記レーザ干渉計が出力する変位信号と、前記変位計測手段が測定する前記変化量とから、前記基準球を基準とした前記第1のレトロリフレクタの変位を算出する、
ことを特徴とする請求項1に記載の追尾式レーザ干渉計。 - 前記変位計測手段は、
ターゲットと、
前記ターゲットの位置から、前記第1の変位計と前記第2のレトロリフレクタの間の距離離して配置され、前記ターゲットとの間の相対的な変位に応じた変位信号を出力する第2の変位計と、を備える、
ことを特徴とする請求項2に記載の追尾式レーザ干渉計。 - 前記変位計測手段は、
前記第1の変位計と前記第2のレトロリフクレタの間に配置され、前記第2のレトロリフレクタとの間の相対的な変位に応じた変位信号を出力する第3の変位計を備える、
ことを特徴とする請求項2に記載の追尾式レーザ干渉計。 - 前記変位計測手段は、
前記第2のレトロリフレクタの表面を覆うように配置されたホルダを更に備える、
ことを特徴とする請求項4に記載の追尾式レーザ干渉計。 - 前記キャリッジに設けられ、且つ、前記基準球を挟んで前記第1の変位計に対向するように配置され、前記基準球との間の相対的な変位に応じた変位信号を出力する第4の変位計を更に備え、
前記データ処理装置は、
前記第1の変位計が出力する変位信号と、前記レーザ干渉計が出力する変位信号と、前記第4の変位計が出力する変位信号とから、前記基準球を基準とした前記第1のレトロリフレクタの変位を算出する、
ことを特徴とする請求項1乃至5いずれか1項に記載の追尾式レーザ干渉計。 - 前記第1のレトロリフレクタから反射されて前記レーザ干渉計に戻ってくるレーザビームが、その光軸と直交する方向にずれたとき、そのずれ量に応じた位置信号を出力する位置検出手段と、
前記位置検出手段からの位置信号に基づいて、前記ずれ量がゼロになるように前記キャリッジの回動を制御する制御手段と、を更に備える、
ことを特徴とする請求項1乃至6いずれか1項に記載の追尾式レーザ干渉計。
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