JP5224206B2 - 角度測定方法及び角度測定システム - Google Patents
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Description
図9は、第2実施形態における角度測定システムの一例の全体構成図である。図9にて、図1〜8に示した第1実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付した。以下では、第1実施形態で説明した内容については説明を省略し、主として第1実施形態と異なる点を説明する。
Claims (10)
- 回転が一定範囲内とされた支持基準体と、前記支持基準体に対し全周回転自在に軸支された駆動する回転体とを有し、前記支持基準体に対する前記回転体の相対的な回転角度を連続的に検出する相対角度検出手段と、
前記回転体および前記支持基準体から切り離されて、前記支持基準体の回転角度を光学的に検出する光学式角度検出手段と、
を備えたことを特徴とする角度測定システム。 - 前記光学式角度検出手段は、前記相対角度検出手段による相対的な回転角度の検出と同時に前記支持基準体の回転角度を検出する請求項1に記載の角度測定システム。
- 前記相対角度検出手段が検出した回転角度を、前記光学式角度検出手段で検出した回転角度に基づいて補正する補正手段を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の角度測定システム。
- 前記相対角度検出手段は、ロータリエンコーダであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の角度測定システム。
- 前記光学式角度検出手段は、レーザ干渉計を用いたものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の角度測定システム。
- 前記支持基準体の回転角度を一定範囲内に規制する規制部材を備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の角度測定システム。
- 前記規制部材は、前記支持基準体の基準位置を鉛直下方に付勢する錘部材からなることを特徴とする請求項6に記載の角度測定システム。
- 回転が一定範囲内とされた支持基準体と、前記支持基準体に対し全周回転自在に軸支された駆動する回転体との相対的な回転角度を検出する相対角度検出ステップと、
前記回転体および前記支持基準体から切り離されて、前記支持基準体の回転角度を光学的に検出する光学式角度検出ステップと、
を含むことを特徴とする角度測定方法。 - 前記光学式角度検出ステップは、前記相対角度検出ステップにおける相対的な回転角度の検出と同時に前記支持基準体の回転角度を検出する請求項8に記載の角度測定方法。
- 前記相対角度検出ステップで検出した回転角度を、前記光学式角度検出ステップで検出した回転角度に基づいて補正する補正ステップを含むことを特徴とする請求項8または9に記載の角度測定方法。
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