JP5633981B2 - 回転角度測定方法及び回転角度測定システム - Google Patents
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Description
図9は、第2実施形態における角度測定システムの一例の全体構成図である。図9にて、図1〜8に示した第1実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付した。以下では、第1実施形態で説明した内容については説明を省略し、主として第1実施形態と異なる点を説明する。
Claims (8)
- 回転駆動される回転体の回転角を測定する回転角度測定システムにおいて、
基準体と、前記基準体に対して回転可能に構成された前記回転駆動される回転体との相対的な回転角を、前記基準体を基準に検出するロータリエンコーダと、
前記基準体及び前記回転駆動される回転体から切り離された静止位置から、前記基準体の回転角を検出するレーザ干渉式検出手段と、
を備えたことを特徴とする回転角度測定システム。 - 前記レーザ干渉式検出手段は、前記ロータリエンコーダによる相対的な回転角の検出と同時に前記基準体の回転角を検出することを特徴とする請求項1に記載の回転角度測定システム。
- 前記ロータリエンコーダが検出した回転角を、前記レーザ干渉式検出手段で検出した回転角に基づいて補正する補正手段を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の回転角度測定システム。
- 前記基準体の回転角を一定範囲内に規制する規制部材を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の回転角度測定システム。
- 前記規制部材は、前記基準体の基準位置を鉛直下方に付勢する錘部材からなることを特徴とする請求項4に記載の回転角度測定システム。
- 回転駆動される回転体の回転角を測定する回転角度測定方法において、
基準体と、前記基準体に対して回転可能に構成された前記回転駆動される回転体との相対的な回転角を、前記基準体を基準に検出するロータリエンコーダと、前記基準体及び前記回転駆動される回転体から切り離された静止位置から、前記基準体の回転角を検出するレーザ干渉式検出手段と、を備える回転角度測定システムにおける回転角度測定方法であって、
前記ロータリエンコーダにより前記基準体に対する前記回転駆動される回転体の相対的な回転角を検出する第1の検出ステップと、
前記レーザ干渉式検出手段により前記基準体の回転角を検出する第2の検出ステップと、
を含むことを特徴とする回転角度測定方法。 - 前記第2の検出ステップは、前記第1の検出ステップにおける相対的な回転角度の検出と同時に前記基準体の回転角を検出する請求項6に記載の回転角度測定方法。
- 前記第1の検出ステップで検出した回転角を、前記第2の検出ステップで検出した回転角に基づいて補正する補正ステップを含むことを特徴とする請求項6または7に記載の回転角度測定方法。
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