JP2008304332A - 表面粗さ/形状測定装置及び表面粗さ/形状測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】触針7を測定面にて摺動させ触針7の変位を検出することにより測定面の表面形状を測定する表面粗さ/形状測定装置1は、触針7の変位量を検出する変位検出器6と、変位検出器6が出力する変位信号を周波数領域信号へ変換する第1の信号変換部13と、触針7を測定面にて摺動させないときの変位信号を第1の信号変換部13で変換して得られる測定前周波数成分を、触針7を測定面にて摺動させているときの変位信号を第1の信号変換部13で変換して得られる測定スペクトル信号から除去するスペクトル成分除去部15と、測定スペクトル信号から測定前周波数成分を除去した信号を時間領域信号へ変換する第2の信号変換部16と、を備える。
【選択図】図3
Description
水平に設置された定盤2の上には、支柱3が垂直に立設されている。支柱3にはX軸駆動部4が摺動自在に支持されており、図示しないX軸駆動部駆動手段に駆動されて垂直に上下動する。
ここで、定盤2の表面をX−Y平面とし、このX−Y平面において、触針7が移動する直線をX軸とする。そして、このX−Y平面において、X軸に直交する直線をY軸とし、このY軸とX軸との交点(原点O)を通り、X−Y平面に直交する直線をZ軸とする。このように設定された空間直交座標系をO−XYZ座標系とする。
ワークテーブル8は、図示しないワークテーブル駆動手段に駆動されてY軸方向に移動する。ワークテーブル8がY軸方向に移動することによって、触針7によるワークWの表面の走査位置を変えX−Y平面内におけるワークWの表面粗さ又は形状を測定することができる。
上記問題点に鑑み、本発明では、触針を被測定物の表面にて摺動させて表面形状を測定する表面粗さ/形状測定において、外部から被測定物や測定装置に加えられた振動が、測定データに与える影響を除去することを目的とする。
可搬型装置などのように除振手段を設けることができない表面粗さ/形状測定装置においても、外部からの振動による測定データへの影響を除去することができる。
ステップS1において、移動機構駆動部11は、X軸駆動部4、Xアーム5及びワークテーブル8を駆動することにより、触針7をワークWの測定面に接触させる。
ステップS2において、触針7を測定面上で摺動させない状態のまま、所定の期間において変位検出器6が出力する触針7の変位信号の信号をADC12へ入力し、所定のサンプリング周期でサンプリングしディジタル形式の信号列に変換する。
ステップS6において、触針7をワークWの測定面で摺動させている間、変位検出器6が逐次出力する触針7の変位信号をADC12へ入力し、ディジタル形式の信号列へ変換する。
ステップS8において、検出信号処理制御部17は、ステップS4で記憶した測定前周波数成分をメモリ14から取り出しノイズ成分除去部15へ出力する。ノイズ成分除去部15は、測定スペクトル信号から測定前周波数成分を除去する処理を行う。
測定スペクトル信号から測定前周波数成分を除去する処理を行う際に、ノイズ成分除去部15は、例えば、測定前周波数成分が存在する周波数帯域を特定して、この特定された周波数帯域の周波数成分を測定スペクトル信号から除去するフィルタリング処理を行う。
図5の(C)に示すように測定スペクトル信号に信号成分Sと測定前周波数成分Nが存在する場合には、このフィルタリング処理によって、測定スペクトル信号から測定前周波数成分Nが除去される。
ステップS10において、検出信号処理制御部17は、触針7の変位信号列が示す各時刻における触針7の変位量と、それぞれの時刻における移動機構(X軸駆動部4、Xアーム5及びワークテーブル8)の位置情報とを対応付けて、ワークWの測定面の粗さ又は形状測定データを生成する。
測定中に変位検出器6から出力される変位信号のスペクトル分布はこれらの信号が重畳されるため、図6の(C)に示すように、周波数f1において強度S1’=N1+S1を示し、周波数f2において強度S2’=N2+S2を示す。
k1=(S1’−N1)/S1’
k2=(S2’−N2)/S2’
により決定する。
そしてこれらの係数k1及びk2を、周波数f1及びf2における測定スペクトル信号の周波数成分にそれぞれ乗じることによって、測定スペクトル信号から測定前周波数成分を除去する。
2 定盤
3 支柱
4 X軸駆動部
5 Xアーム
6 変位検出器
7 触針
8 ワークテーブル
10 測定制御部
W ワーク
Claims (4)
- 触針を測定面にて摺動させ前記測定面の凹凸により生じる前記触針の変位を検出することにより前記測定面の表面形状を測定する表面粗さ/形状測定装置であって、
前記触針の変位量を検出する変位検出器と、
前記変位検出器が出力する変位信号を周波数領域信号へ変換する第1の信号変換部と、
前記触針を前記測定面にて摺動させないときの前記変位信号を前記第1の信号変換部で変換して得られる測定前周波数成分を、前記触針を前記測定面にて摺動させているときの前記変位信号を前記第1の信号変換部で変換して得られる測定スペクトル信号から除去するスペクトル成分除去部と、
前記測定スペクトル信号から前記測定前周波数成分を除去した信号を時間領域信号へ変換する第2の信号変換部と、
を備えることを特徴とする表面粗さ形状測定装置。 - 前記測定前周波数成分は、前記触針を前記測定面に接触させたときの前記周波数領域信号である請求項1に記載の表面粗さ形状測定装置。
- 触針を測定面にて摺動させ前記測定面の凹凸により生じる前記触針の変位を検出することにより前記測定面の表面形状を測定する表面粗さ/形状測定方法であって、
前記触針を前記測定面にて摺動させないときの前記触針の変位量を示す変位信号を周波数領域信号へ変換して測定前周波数成分を生成し、
前記触針を前記測定面にて摺動させているときの前記触針の変位量を示す変位信号を周波数領域信号へ変換して測定スペクトル信号を生成し、
前記測定スペクトル信号から前記測定前周波数成分を除去し、
前記測定スペクトル信号から前記測定前周波数成分を除去した信号を時間領域信号へ変換する、
ことを特徴とする表面粗さ形状測定方法。 - 前記触針を前記測定面にて摺動させないときの前記触針の変位量を示す前記変位信号を、前記触針を前記測定面に接触させた状態で検出する請求項3に記載の表面粗さ形状測定方法。
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