JP7186109B2 - 粗度断面曲線評価方法、粗度解析装置及び粗度解析プログラム並びに粗度計測方法及び粗度計測装置 - Google Patents
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Description
前記測定対象の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記測定対象の粗度スペクトルを生成し、
予め測定した基準面の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記基準面の粗度スペクトルを生成し、
前記測定対象の粗度スペクトルから、前記基準面の粗度スペクトルを減算することによって、前記測定対象の粗度スペクトルからノイズ除去を行い、
ノイズ除去後の前記測定対象の粗度スペクトルを逆フーリエ変換することによって、前記測定対象の断面曲線を生成する、粗度断面曲線評価方法。
前記測定対象の測定断面曲線を特定可能な測定断面曲線特定データをデータ入力可能な入力手段と、
前記測定断面曲線特定データに基づき、前記測定対象の測定断面曲線を生成するとともに、前記測定対象の測定断面曲線から表面粗度パラメーターを算出する演算装置と、
を備え、
前記演算装置が、
前記測定対象の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記測定対象の粗度スペクトルを取得し、
予め測定した基準面の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記基準面の粗度スペクトルを取得し、
前記測定対象の粗度スペクトルから、前記基準面の粗度スペクトルを減算することによって、前記測定対象の粗度スペクトルからノイズ除去を行い、
ノイズ除去後の前記測定対象の粗度スペクトルを逆フーリエ変換することによって、前記測定対象の断面曲線を取得するように構成される、粗度解析装置。
前記測定対象の断面曲線について、パラメーター解析することによって、前記測定対象の表面粗度パラメーターを算出するように構成される、項[5]に記載の粗度解析装置。
変位計によって、X軸方向の一定間隔毎に変位を測定することにより変位データを取得することによって、前記測定対象の測定断面曲線を生成し、
前記測定対象の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記測定対象の粗度スペクトルを生成し、
予め測定した基準面の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記基準面の粗度スペクトルを生成し、
前記測定対象の粗度スペクトルから、前記基準面の粗度スペクトルを減算することによって、前記測定対象の粗度スペクトルからノイズ除去を行い、
ノイズ除去後の前記測定対象の粗度スペクトルを逆フーリエ変換することによって、前記測定対象の断面曲線を生成する、粗度計測方法。
前記変位計をX軸方向に移動させる移動機構と、
前記変位計のX軸方向の移動距離を読み取る移動距離計測装置と、
前記変位計により取得された変位データと、前記移動距離計測装置により取得された移動距離データとに基づき、測定対象の測定断面曲線を生成するとともに、前記測定対象の測定断面曲線から表面粗度パラメーターを算出する演算装置と、
を備える粗度計測装置であって、
前記演算装置が、
前記測定対象の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記測定対象の粗度スペクトルを取得し、
予め測定した基準面の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記基準面の粗度スペクトルを取得し、
前記測定対象の粗度スペクトルから、前記基準面の粗度スペクトルを減算することによって、前記測定対象の粗度スペクトルからノイズ除去を行い、
ノイズ除去後の前記測定対象の粗度スペクトルを逆フーリエ変換することによって、前記測定対象の断面曲線を取得するように構成される、粗度計測装置。
前記測定対象の断面曲線について、パラメーター解析することによって、前記測定対象の表面粗度パラメーターを算出するように構成される、項[9]に記載の粗度計測装置。
図1は、本発明の粗度解析装置を含む粗度計測装置の一例を説明するための概略構成図であり、図1(a)は概略側面図、図1(b)は概略正面図である。
これにより、測定対象22の粗度スペクトルから、粗度計測装置10固有のノイズが除去されることになる(S4)。
このように構成される本実施形態の粗度計測装置10による測定対象22の表面粗度評価の具体例を以下に示す。
図4は、粗面A~Dのノイズ除去後の粗度スペクトルを示すグラフである。なお、図4でも、図3と同様に、粗度スペクトルのピークを詳細に確認するため、縦軸をH/λとしている。
実施例1と同一の条件で、粗面A~Dの測定断面曲線を取得した。
このように取得した測定断面曲線に対して、ノイズ除去の方法としてISO4287:1997で規定されるように、カットオフ値λs(=1000μm)以下の短波長ガウシアンフィルタを適用した。
12 二次元レーザー変位計
14 移動機構
16 移動距離計測装置
18 演算装置
19 データ入力手段
20 可搬型バッテリー
22 測定対象
Claims (10)
- 測定対象の測定断面曲線から該測定対象の表面粗度評価を行う粗度断面曲線評価方法であって、
前記測定対象の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記測定対象の粗度スペクトルを生成し、
予め測定した基準面の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記基準面の粗度スペクトルを生成し、
前記測定対象の粗度スペクトルから、前記基準面の粗度スペクトルを減算することによって、前記測定対象の粗度スペクトルからノイズ除去を行い、
ノイズ除去後の前記測定対象の粗度スペクトルを逆フーリエ変換することによって、前記測定対象の断面曲線を生成する、粗度断面曲線評価方法。 - 前記測定対象の断面曲線について、パラメーター解析することによって、前記測定対象の表面粗度パラメーターを算出する、請求項1に記載の粗度断面曲線評価方法。
- 請求項1または2に記載の粗度断面曲線評価方法をコンピュータにより実行させるための粗度解析プログラム。
- 請求項3に記載の粗度解析プログラムを記録したコンピュータ可読記録媒体。
- 測定対象の測定断面曲線から該測定対象の表面粗度評価を行う粗度解析装置であって、
前記測定対象の測定断面曲線を特定可能な測定断面曲線特定データをデータ入力可能な入力手段と、
前記測定断面曲線特定データに基づき、前記測定対象の測定断面曲線を生成するとともに、前記測定対象の測定断面曲線から表面粗度パラメーターを算出する演算装置と、
を備え、
前記演算装置が、
前記測定対象の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記測定対象の粗度スペクトルを取得し、
予め測定した基準面の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記基準面の粗度スペクトルを取得し、
前記測定対象の粗度スペクトルから、前記基準面の粗度スペクトルを減算することによって、前記測定対象の粗度スペクトルからノイズ除去を行い、
ノイズ除去後の前記測定対象の粗度スペクトルを逆フーリエ変換することによって、前記測定対象の断面曲線を取得するように構成される、粗度解析装置。 - 前記演算装置が、
前記測定対象の断面曲線について、パラメーター解析することによって、前記測定対象の表面粗度パラメーターを算出するように構成される、請求項5に記載の粗度解析装置。 - 測定対象の表面粗度を計測する粗度計測方法であって、
変位計によって、X軸方向の一定間隔毎に変位を測定することにより変位データを取得することによって、前記測定対象の測定断面曲線を生成し、
前記測定対象の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記測定対象の粗度スペクトルを生成し、
予め測定した基準面の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記基準面の粗度スペクトルを生成し、
前記測定対象の粗度スペクトルから、前記基準面の粗度スペクトルを減算することによって、前記測定対象の粗度スペクトルからノイズ除去を行い、
ノイズ除去後の前記測定対象の粗度スペクトルを逆フーリエ変換することによって、前記測定対象の断面曲線を生成する、粗度計測方法。 - 前記測定対象の断面曲線について、パラメーター解析することによって、前記測定対象の表面粗度パラメーターを算出する、請求項7に記載の粗度計測方法。
- 変位計と、
前記変位計をX軸方向に移動させる移動機構と、
前記変位計のX軸方向の移動距離を読み取る移動距離計測装置と、
前記変位計により取得された変位データと、前記移動距離計測装置により取得された移動距離データとに基づき、測定対象の測定断面曲線を生成するとともに、前記測定対象の測定断面曲線から表面粗度パラメーターを算出する演算装置と、
を備える粗度計測装置であって、
前記演算装置が、
前記測定対象の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記測定対象の粗度スペクトルを取得し、
予め測定した基準面の測定断面曲線をフーリエ変換することによって、前記基準面の粗度スペクトルを取得し、
前記測定対象の粗度スペクトルから、前記基準面の粗度スペクトルを減算することによって、前記測定対象の粗度スペクトルからノイズ除去を行い、
ノイズ除去後の前記測定対象の粗度スペクトルを逆フーリエ変換することによって、前記測定対象の断面曲線を取得するように構成される、粗度計測装置。 - 前記演算装置が、
前記測定対象の断面曲線について、パラメーター解析することによって、前記測定対象の表面粗度パラメーターを算出するように構成される、請求項9に記載の粗度計測装置。
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