JP6831250B2 - リニアゲージと加工装置 - Google Patents
リニアゲージと加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6831250B2 JP6831250B2 JP2017010202A JP2017010202A JP6831250B2 JP 6831250 B2 JP6831250 B2 JP 6831250B2 JP 2017010202 A JP2017010202 A JP 2017010202A JP 2017010202 A JP2017010202 A JP 2017010202A JP 6831250 B2 JP6831250 B2 JP 6831250B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- plate
- stylus
- detecting means
- position detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 20
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims description 55
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 14
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
5:枠体 5a:基準面 6:カバー部 7:研削手段 70:スピンドル
71:スピンドルハウジング 72:ホルダ 73:モータ 74:マウント
75:研削ホイール 76:研削砥石 8:研削送り手段 80:ボールネジ
81:モータ 82:ガイドレール 83:昇降板 9:接続部
90,91:水平支持部 10,10a:リニアゲージ 100 上板 101:下板
11:測定子 12:シャフト 13:支持手段 130:枠体 131:支持面
132:噴き出し口 133:エア流入口 134:流路
14:回転規制手段 140:第1の磁石 141:第2の磁石 142:ガイド棒
15:上昇手段 150:シリンダ 151:ピストン 152,153:エア流入口
16:第1の位置検出手段 160:スケール 161:支持部 162:読取部
17:第2の位置検出手段 170:第1スリット板 171:第2スリット板
172:第1支持部 173:発光部 174:第2支持部 175:受光部
18:エア供給源 19,19a:バルブ
20:第1の記憶部 21:第2の記憶部 22:判断部
Claims (2)
- 保持テーブルが保持した板状ワークの上面に対して垂直方向に移動して該上面の変位を測定するリニアゲージであって、
先端が板状ワークの上面に接触する測定子を備えるシャフトと、
該シャフトの側面を囲繞して該シャフトの軸方向を該上面に対して垂直方向と同方向で昇降可能に支持する支持手段と、
該支持手段が支持した該シャフトの該軸方向を回転軸とする回転を規制する回転規制手段と、
該シャフトに接続され板状ワークの上面に接触した該測定子の該軸方向での位置を検出する少なくとも2つの第1の位置検出手段と、第2の位置検出手段とを備え、
該第1の位置検出手段は、該シャフトの該軸方向に平行に延在し該シャフトとともに同方向に昇降可能に目盛りを有するスケールと、該スケールの目盛りに測定光を投光する第1投光部と、該スケールで反射した反射光を受光する第1受光部とを備え、該第1受光部の受光量によって該測定子の軸方向の位置を検出していて、
該第2の位置検出手段は、該シャフトの該軸方向に平行に延在し該シャフトとともに同方向に昇降可能な第1スリット板と、該支持手段を支持する基台に固定され該第1スリット板に平行に対峙する第2スリット板と、該第1スリット板と該第2スリット板とを透過する光を投光する第2投光部と、該第1スリット板と該第2スリット板とを透過した光を受光する第2受光部と、を備え、該第2受光部の受光量によって該測定子の軸方向の位置を検出していて、
該第1の位置検出手段が検出した該測定子の位置の値と、該第2の位置検出手段が検出した該測定子の位置の値とが異なったときに故障と判断可能にすることを特徴とするリニアゲージ。 - 請求項1記載のリニアゲージを装着した加工装置であって、
前記第1の位置検出手段が検出した前記測定子の位置の値を記憶する第1の記憶部と、
前記第2の位置検出手段が検出した該測定子の位置の値を記憶する第2の記憶部と、
該第1の記憶部が記憶した値と該第2の記憶部が記憶した値とを比較してそれぞれの値の差があらかじめ設定した許容範囲以上であったら該リニアゲージが故障していると判断する判断部とを備える加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017010202A JP6831250B2 (ja) | 2017-01-24 | 2017-01-24 | リニアゲージと加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017010202A JP6831250B2 (ja) | 2017-01-24 | 2017-01-24 | リニアゲージと加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018119824A JP2018119824A (ja) | 2018-08-02 |
JP6831250B2 true JP6831250B2 (ja) | 2021-02-17 |
Family
ID=63043721
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017010202A Active JP6831250B2 (ja) | 2017-01-24 | 2017-01-24 | リニアゲージと加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6831250B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7274998B2 (ja) * | 2019-10-04 | 2023-05-17 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08278103A (ja) * | 1995-04-05 | 1996-10-22 | Daido Kikai Seisakusho:Kk | ワーク端面の平面度測定方法および装置 |
JPH11344360A (ja) * | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Tokai Rika Co Ltd | 回転位置検出装置及び回転位置検出センサ |
CN104040288B (zh) * | 2012-01-04 | 2016-12-14 | 株式会社东京精密 | 轮廓形状表面粗糙度测定装置以及轮廓形状表面粗糙度测定方法 |
JP6302711B2 (ja) * | 2014-03-17 | 2018-03-28 | 株式会社ディスコ | リニアゲージ |
JP2015184079A (ja) * | 2014-03-21 | 2015-10-22 | 日本精工株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
-
2017
- 2017-01-24 JP JP2017010202A patent/JP6831250B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018119824A (ja) | 2018-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10286520B2 (en) | Grinding apparatus and grinding method | |
JP3949910B2 (ja) | エアーベアリングを用いた駆動装置 | |
JP5956287B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2018083266A (ja) | 研削装置及び粗さ測定方法 | |
CN115922469A (zh) | 磨削装置 | |
JP2022041491A (ja) | ウェーハの研削方法 | |
JP6831250B2 (ja) | リニアゲージと加工装置 | |
JP7274998B2 (ja) | 研削装置 | |
JP7393977B2 (ja) | 微調整ネジおよび加工装置 | |
KR102427972B1 (ko) | 높이 측정용 지그 | |
KR20230059720A (ko) | 셋업 방법 | |
JP5898983B2 (ja) | 研削装置 | |
JP7252837B2 (ja) | 研削装置 | |
JP7348037B2 (ja) | 加工装置 | |
JP6171048B1 (ja) | 研削装置 | |
JP7474144B2 (ja) | 研削装置および研削方法 | |
KR20210027071A (ko) | 하이트 게이지 | |
TW202023753A (zh) | 研削裝置 | |
JP2020118503A (ja) | リニアゲージ | |
JP2023157205A (ja) | 研削装置 | |
JP7405650B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2017007054A (ja) | 加工装置 | |
JP2022041489A (ja) | 加工装置 | |
JP6788416B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2022040984A (ja) | 研削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191108 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200901 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210128 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6831250 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |