JP5898983B2 - 研削装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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Description
図1に示す研削装置1は、被加工物を保持する2つの保持手段2a、2bを備えるとともに、保持手段2a、2bに保持された被加工物を研削する1つの研削手段3を備えている。
(第1の記憶部の値)−(第3の記憶部の値)+(第2の記憶部の値)・・計算式(1)
Z0A=ΔZ0−ΔZ1a+Z02
Z0B=ΔZ0−ΔZ1b+Z02
例えば、研削ホイール34のみ交換した時は、研削送り手段5によって基準テーブル8の上面8aに研削砥石35の研削面35aを接触させ、その状態でさらに研削手段3を下降させて検知部83が検知した第2の研削送り位置Z02xを第2の記憶部92に記憶第2の記憶部92を更新するだけで
Z0Ax=ΔZ0−ΔZ1a+Z02x
Z0Bx=ΔZ0−ΔZ1b+Z02x
となり、ターンテーブル4に配設される全ての保持手段の保持面22と研削手段3の研削面35aとが接する時の研削手段3の高さ位置である研削送り位置を求めることができる。
Z0Ax=ΔZ0−ΔZ1ax+Z02
Z0B =ΔZ0−ΔZ1b+Z02
となり、ターンテーブル4に配設される全ての保持手段の保持面22と研削手段3の研削面35aとが接する時の研削手段3の高さ位置である研削送り位置を求めることができる。
本実施形態においては、第1の実施形態と共通する部位については、同一の符号を付し、詳細な説明は省略することとする。
(第2の記憶部の値)−(第4の記憶部の値)・・・計算式(2)
(第1の記憶部の値)−(第3の記憶部の値)+(第2の記憶部の値)・・計算式(1)
よって、それぞれの研削手段の研削面35aがターンテーブル4に配設されるすべての保持手段の上面22に接触する時の研削送り位置が算出可能となっている。
2a、2b、2c、2d、2e:保持手段
20:保持部 21:回転軸 22:保持面 23:吸引源 24:ベルト
25:モータ
3、3a、3b、3c、3d、3e:研削手段
30:スピンドル 31:スピンドルハウジング 32:モータ 33:マウント
34:研削ホイール 35:研削砥石 35a:研削面
4:ターンテーブル 40:モータ 4a:搬出入領域 4b:研削領域
5、5a、5b、5c、5d、5e:研削送り手段
50:ボールネジ 51:サーボモータ 52:軸受け部 53:ガイドレール
54:移動基台 55:位置基準部
6:固定基台
7:高さゲージ 70:ベース部 71:回動部 72:測定部
8:基準テーブル 80:昇降駆動部 81:軸部 82:板部材 83:検知部
9:制御手段 91:第1の記憶部 92:第2の記憶部 93:第3の記憶部
94:第4の記憶部 95:算出部
Claims (2)
- 自転可能なターンテーブルと、
該ターンテーブルの回転中心を中心として均等角度離間して該ターンテーブルに複数配設され被加工物を保持する保持手段と、
下部に研削面を有する研削砥石が環状に配列され該保持手段に保持された被加工物を研削加工する研削ホイールを着脱可能に支持する研削手段と、
該保持手段の上面に垂直な方向である研削送り方向に該研削手段を動作させる研削送り手段と、
該研削送り手段を下方から支持する固定基台と、
を備えた研削装置において、
該固定基台に配設され該保持手段の上面に測定部を当接させて該保持手段の高さを測定する高さゲージと、
該ターンテーブルに配設され、上下に動作可能で該高さゲージによって高さの測定が可能な基準テーブルと、
該基準テーブルが一定距離下降したことを検知する検知部と、
上限位置に位置する該基準テーブルの上面と該研削砥石の研削面とが接した時の該研削手段の高さ位置である第1の研削送り位置と、該上限位置から一定距離下降したことが該検知部によって検知され該基準テーブルの上面と該研削砥石の研削面とが接している時の該研削手段の高さ位置である第2の研削送り位置と、の高低差を記憶する第1の記憶部と、
該第2の研削送り位置を記憶する第2の記憶部と、
上限位置に位置する該基準テーブルの上面の高さ位置を高さゲージを用いて測定して求めた基準テーブル高さ値から、該ターンテーブルを所定角度回転させ該ターンテーブルに配設されたすべての保持手段の上面の高さを該高さゲージを用いて測定して求めたそれぞれの該保持手段の高さ値を引いた値を記憶する第3の記憶部と、
(第1の記憶部の値)―(第3の記憶部の値)+(第2の記憶部の値)によって該ターンテーブルに配設される全ての該保持手段の上面と該研削手段の該研削面とが接する時のそれぞれの研削手段の高さ位置である研削送り位置を算出する算出部と、
を備えた研削装置。 - 前記ターンテーブルを所定角度回転させるとともに前記研削手段を前記研削送り手段によって研削送り方向に動作させて、前記固定基台に複数配設される研削手段のうちの指定する1つの指定研削手段の研削面を該基準テーブル上面に接触させ、該基準テーブルを押し下げ該検知部が検知する時の研削送り位置を記憶する第2の記憶部と、
該指定研削手段以外の該研削手段の該研削面を該基準テーブル上面に接触させ、該基準テーブルを押し下げ該検知部が検知した時のそれぞれの研削送り位置を記憶する第4の記憶部と、を備え、
(第2の記憶部の値)―(第4の記憶部の値)によって、それぞれの研削手段の研削面が該ターンテーブルに配設される全ての該保持手段の上面に接触する該研削送り位置を算出可能とする請求項1記載の研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012021946A JP5898983B2 (ja) | 2012-02-03 | 2012-02-03 | 研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012021946A JP5898983B2 (ja) | 2012-02-03 | 2012-02-03 | 研削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013158872A JP2013158872A (ja) | 2013-08-19 |
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ID=49171561
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012021946A Active JP5898983B2 (ja) | 2012-02-03 | 2012-02-03 | 研削装置 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5898983B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6803187B2 (ja) * | 2016-10-05 | 2020-12-23 | 株式会社ディスコ | 研削砥石のドレッシング方法 |
JP7089136B2 (ja) * | 2018-03-22 | 2022-06-22 | 株式会社デンソー | ウエーハの研削方法 |
JP2020097089A (ja) | 2018-12-19 | 2020-06-25 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11309666A (ja) * | 1998-04-27 | 1999-11-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハの平面加工装置 |
JP4851227B2 (ja) * | 2006-04-12 | 2012-01-11 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
JP4916833B2 (ja) * | 2006-10-02 | 2012-04-18 | 株式会社ディスコ | 研削加工方法 |
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2012
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013158872A (ja) | 2013-08-19 |
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