JP6133169B2 - 研削装置のセットアップ方法 - Google Patents
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Description
最初に、第1測定工程211では、図3に示すように、まず、保持テーブル12aが板状ワークを保持していない状態で、位置付け手段183がターンテーブル11を回転させ、保持テーブル12aを第1の研削位置に位置付ける。
第2測定工程213では、図4に示すように、まず、位置付け手段183がターンテーブル11を反時計回りに60度回転させて、当接部材13cを第1の当接位置に位置付ける。そして、研削送り手段15aが+Z方向に退避していた研削手段14aを−Z方向に移動させ、研削手段14aに装着されている研削ホイール30aの研削砥石31aの研削面を、第1の当接位置に位置付けられた当接部材13cの上端に当接させ、その時の研削手段14aの±Z方向における位置Pa2を測定手段19が測定する。例えば、研削送り手段15aのねじ軸151を回転させるサーボモータ152の駆動電力を測定し、駆動電力が既定の上限値を超えたことを検出することにより、研削面が当接部材13cの上端に当接したと判断する。また、当接部材13cの上端に圧力センサを設け、圧力センサが検出した圧力が既定の上限値を超えたことを検出することにより、研削面が当接部材13cの上端に当接したことを判定する構成であってもよい。
次に、補正値算出工程214において、算出部182は、第2測定工程213で測定した第2の位置Pa2から、第1測定工程211で測定した第1の位置Pa1を差し引くことにより、補正値ΔPa=Pa2−Pa1を算出する。記憶部181は、算出された補正値ΔPaを記憶する。
研削工程22では、記憶部181に記憶された基準位置に基づいて、研削送り手段15aが研削手段14aを移動させる。例えば、保持テーブル12aに保持された板状ワークを厚さd1まで粗研削したい場合、研削送り手段15aが研削手段14aを−Z方向に移動させて研削しながら、測定手段19が研削手段14aの位置を測定し、基準位置Paaよりも+Z方向に厚さd1だけ高い位置で、研削手段14aの−Z方向の移動を停止し、粗研削を終了する。なお、高さ測定手段17a,17bによる保持面121の高さ及び板状ワークの被研削面の高さの測定をすることにより板状ワークの厚さを監視し、板状ワークの厚さが厚さd1になったら、研削手段14aの移動を停止する構成であってもよい。
(5)第3測定工程
研削により研削砥石31a,31bが磨耗した場合は、研削ホイール30a、30bを交換した後に、第3測定工程243を実施する。第3測定工程243では、図5に示すように、位置付け手段183がターンテーブル11を回転させ、第2測定工程213と同じように、当接部材13cを第1の当接位置に位置付ける。この状態において、各保持テーブル12a〜12cには、板状ワーク50が保持されている。保持テーブル12bに保持されている板状ワーク50は、これから粗研削をするところである。保持テーブル12cに保持されている板状ワーク50は、研削手段14aによる粗研削が終わり、これから仕上げ研削をするところである。保持テーブル12aに保持されている板状ワーク50は、仕上げ研削が終わったところである。
次に、第2基準位置算出工程244において、算出部182は、第3測定工程243で測定された位置Pa3よりも、記憶部181に記憶された補正値ΔPaの分だけ−Z方向に低い位置Pa0を算出する。記憶部181は、記憶している基準位置Paaを、算出部182が算出した位置Pa0に置き換えて記憶する。
研削工程22では、研削により発生した研削屑を保持面121が吸ってしまうので、適切な間隔で(例えば板状ワークを所定の枚数研削するごとに)、保持面121を研削する。
まず、第1高さ測定工程231では、図7に示すように、研削送り手段15aが研削手段14aを+Z方向に退避させ、第1の研削位置に位置付けられた保持テーブル12aの保持面121の研削前の高さHa1を高さ測定手段17aが測定する。記憶部181は、測定された高さHa1を記憶する。
次に、保持面研削工程232では、研削手段14aに装着された研削ホイール30aを保持面研削用のものに交換する。そして、研削砥石31aを回転させるとともに、研削送り手段15aが研削手段14aを−Z方向に移動させ、回転する研削砥石を保持面121に接触させて平坦に研削する。この場合における研削量は、基準位置Paaを基準位置として制御する。その後、研削手段14aに装着された研削ホイールを、板状ワーク研削用の研削ホイール30aに交換する。
次に、第2高さ測定工程233では、図8に示すように、第1の研削位置に位置付けられた保持テーブル12aの研削後の保持面121の高さHa2を高さ測定手段17aが測定する。
保持面研削量算出工程234において、算出部182は、記憶部181に記憶された保持テーブル12aの保持面121の高さHa1から、測定された新たな高さHa2を差し引くことにより、研削による保持面121の高さの変化量ΔHa=Ha1−Ha2を算出する。記憶部181は、算出部182が算出した変化量ΔHaを、保持面研削量として記憶する。
まず、図2に示した第3測定工程243では、前述したとおり、研削手段14aに装着された研削ホイール30aの研削砥石31aの研削面が、第1の当接位置に位置付けられた当接部材13bの上端に接する位置Pa3を、測定手段19が測定する。
また、ΔPaは、測定手段もしくは当接部材のいずれかが交換されない限り、一度測定した値を記憶して使うことを可能としている。
101 搬出入ロボット、102 位置合わせテーブル、103 洗浄装置、
11 ターンテーブル、12a〜12c 保持テーブル、121 保持面、
13a〜13c 当接部材、14a,14b 研削手段、
15a,15b 研削送り手段、
151 ねじ軸、152 サーボモータ、153 移動部、
16a,16b 搬送手段、17a〜17d 高さ測定手段、
181 記憶部、182 算出部、183 位置付け手段、19 測定手段、
20 研削処理、
21 第1セットアップ処理、211 第1測定工程、
213 第2測定工程、214 補正値算出工程、
22 研削工程、23 保持面研削処理、231 第1高さ測定工程、
232 保持面研削工程、233 第2高さ測定工程、234 保持面研削量算出工程、
24 第2セットアップ処理、
243 第3測定工程、244 第2基準位置算出工程、
30a,30b 研削ホイール、31a,31b 研削砥石、
50 板状ワーク、61 供給カセット、62 回収カセット
Claims (2)
- 板状ワークを保持面に保持する複数の保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された板状ワークを研削面で研削する研削砥石が装着される研削手段と、
該保持テーブルに対して接近及び離反するZ軸方向に該研削手段を移動させる研削送り手段と、
該研削送り手段によって移動した該研削手段のZ軸方向の位置を測定する測定手段と、
該複数の保持テーブルが配設されたターンテーブルと、
該ターンテーブル上に配設され、上端が、該保持テーブルの保持面よりも高い位置にある当接部材と、
該ターンテーブルを回転させることにより、該保持テーブルに保持される板状ワークを該研削砥石が研削可能な研削位置に該保持テーブルを位置付け、該ターンテーブルを回転させることにより、該当接部材の上端が該研削砥石の研削面に当接可能な当接位置に該当接部材を位置付ける位置付け手段と、
を備えた研削装置において、該研削面が該保持面に接触するときの該研削手段の該Z軸方向における基準位置を算出するセットアップ方法であって、
該位置付け手段が該保持テーブルを該研削位置に位置付け、該研削送り手段が該研削手段を該Z軸方向に移動させて、該研削砥石の研削面を該保持テーブルの保持面に接触させた時の該研削手段の該Z軸方向の位置を該測定手段が測定して第1の位置とする第1測定工程と、
該位置付け手段が該当接部材を該当接位置に位置付け、該研削送り手段が該研削手段を該Z軸方向に移動させて、該研削砥石の研削面を該当接部材の上端に当接させた時の該研削手段の該Z軸方向の位置を該測定手段が測定して第2の位置とする第2測定工程と、
該第1の位置と該第2の位置との差を算出して補正値とする補正値算出工程と、
該補正値算出工程の後、該位置付け手段が該当接部材を該当接位置に位置付け、該研削送り手段が該研削手段を該Z軸方向に移動させて、該研削砥石の研削面を該当接部材の上端に当接させた時の該研削手段の該Z軸方向の位置を該測定手段が測定して第3の位置とする第3測定工程と、
該第3の位置と該補正値との差をとることにより、該基準位置を算出する基準位置算出工程と、
を備える、セットアップ方法。 - 前記研削装置は、前記保持面の前記Z軸方向における高さを測定する高さ測定手段を備え、
前記セットアップ方法は、
該高さ測定手段が、該保持面の該Z軸方向における高さを測定して第1の高さとする第1高さ測定工程と、
該第1の高さを測定した後、前記研削手段が、該保持面を研削する保持面研削工程と、
該保持面を研削した後、該高さ測定手段が、該保持面の該Z軸方向における高さを測定して第2の高さとする第2高さ測定工程と、
該第1の高さと該第2の高さとの差を算出して保持面研削量とする保持面研削量算出工程と、
を備え、
前記基準位置算出工程において、前記第3の位置と、前記補正値と該保持面研削量との和との差をとることにより、前記基準位置を算出する、
請求項1記載のセットアップ方法。
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