JP5679171B2 - ダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents
ダイシング装置及びダイシング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5679171B2 JP5679171B2 JP2010239725A JP2010239725A JP5679171B2 JP 5679171 B2 JP5679171 B2 JP 5679171B2 JP 2010239725 A JP2010239725 A JP 2010239725A JP 2010239725 A JP2010239725 A JP 2010239725A JP 5679171 B2 JP5679171 B2 JP 5679171B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spindle
- blade
- work table
- distance
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 21
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 1
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
スピンドル、ワークテーブル、カッターセット機構の設けられた部材が異なり、熱等の影響により各位置が変位しても、測定手段で相対的位置を容易に検知し、計測された距離に基づき相対位置のズレが補正され、高い精度を保って加工を行うことが可能となる。
Claims (3)
- 円盤状のブレードと、
前記ブレードを回転させるスピンドルと、
前記ブレードにより加工されるワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、
前記ブレードの外周端を検知するセンサを備え、前記ブレードの外周端の変位を測定するカッターセット機構と、
前記カッターセット機構が設けられた部材と同じ部材に設けられる基準位置部材と、
前記カッターセット機構により前記ブレードの外周端の変位を測定する際同時に前記スピンドルと前記基準位置部材との間の距離、前記スピンドルと前記ワークテーブルとの間の距離、または前記スピンドルと前記ワークとの間の距離のいずれか1つを測定する該スピンドルに設けられた測定手段と、
前記測定手段により測定された距離に基づき、前記スピンドルと前記ワークテーブル、前記スピンドルと前記ブレード、前記スピンドルと前記ワークとの相対的な位置を算出し、前記ブレードの位置を調整するコントローラと、を備え、
前記測定手段はエアを用いたセンサであって、前記基準位置部材は表面に常に水が供給され、前記水により該基準位置部材表面に出来る水膜面を該測定手段で測定していることを特徴とするダイシング装置。 - 前記測定手段はレーザ、エア、静電容量のいずれかを用いた非接触式のセンサ、または測定用接触端子を備えた接触式のセンサであることを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。
- 円盤状のブレードと、前記ブレードを回転させるスピンドルと、前記ブレードにより加工されるワークを保持するワークテーブルと、前記ワークテーブルと前記ブレードとを相対的に移動させる移動軸と、前記ブレードの外周端を検知するセンサを備え、前記ブレードの外周端の変位を測定するカッターセット機構と、前記カッターセット機構が設けられた部材と同じ部材に設けられる基準位置部材と、前記カッターセット機構により前記ブレードの外周端の変位を測定する際同時に前記スピンドルと前記基準位置部材との間の距離、前記スピンドルと前記ワークテーブルとの間の距離、または前記スピンドルと前記ワークとの間の距離のいずれか1つを測定する該スピンドルに設けられた測定手段と、前記測定手段により測定された距離に基づき、前記スピンドルと前記ワークテーブル、前記スピンドルと前記ブレード、前記スピンドルと前記ワークとの相対的な位置を算出し、前記ブレードの位置を調整するコントローラと、を備え、前記測定手段はエアを用いたセンサであって、前記基準位置部材は表面に常に水が供給され、前記水により該基準位置部材表面に出来る水膜面を該測定手段で測定しているダイシング装置におけるダイシング方法において、
前記カッターセット機構により前記ブレードの外周端の変位を測定する際同時に前記測定手段により前記スピンドルと前記基準位置部材との間の距離を測定する、前記スピンドルと前記ワークテーブルとの間の距離を前記測定手段で測定する、または前記スピンドルと前記ワークとの間の距離を前記測定手段により測定することにより、
前記スピンドルと前記ワークテーブル、前記スピンドルと前記ブレード、前記スピンドルと前記ワークとの相対的な位置を前記コントローラにより算出することを特徴とするダイシング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010239725A JP5679171B2 (ja) | 2010-10-26 | 2010-10-26 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010239725A JP5679171B2 (ja) | 2010-10-26 | 2010-10-26 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012094632A JP2012094632A (ja) | 2012-05-17 |
JP5679171B2 true JP5679171B2 (ja) | 2015-03-04 |
Family
ID=46387665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010239725A Active JP5679171B2 (ja) | 2010-10-26 | 2010-10-26 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5679171B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6057853B2 (ja) * | 2013-07-19 | 2017-01-11 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2021125592A (ja) * | 2020-02-06 | 2021-08-30 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
CN112539706B (zh) * | 2020-12-09 | 2022-09-30 | 深圳友讯达科技股份有限公司 | 一种晶圆薄片切割质量检测设备 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3049465B2 (ja) * | 1993-11-26 | 2000-06-05 | セイコー精機株式会社 | ダイシング装置 |
JPH10223573A (ja) * | 1997-01-31 | 1998-08-21 | Hitachi Ltd | ダイシング方法および装置 |
JP4675451B2 (ja) * | 2000-04-14 | 2011-04-20 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
-
2010
- 2010-10-26 JP JP2010239725A patent/JP5679171B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012094632A (ja) | 2012-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4441823B2 (ja) | 面取り砥石のツルーイング方法及び面取り装置 | |
KR102154719B1 (ko) | 판형물의 가공 방법 | |
JP5858684B2 (ja) | 切削方法 | |
JP6405098B2 (ja) | 研磨マシンのドレスツールのトポグラフィ偏差を特定する方法およびこれに対応して構成されたcnc制御マシン | |
TW200950922A (en) | Blade breakage and abrasion detecting device | |
CN108857086B (zh) | 激光加工方法 | |
JP4748357B2 (ja) | ダイシング装置及び方法 | |
TW201436949A (zh) | 研磨加工方法 | |
JP5762005B2 (ja) | 加工位置調製方法及び加工装置 | |
JP5679171B2 (ja) | ダイシング装置及びダイシング方法 | |
KR20150032827A (ko) | 연삭 가공 장치 및 그 제어 방법 | |
JP6643654B2 (ja) | 溝深さ検出装置及び溝深さ検出方法 | |
JP5321813B2 (ja) | 面取り加工装置及び面取り加工方法 | |
JP2008062353A (ja) | 研削加工方法および研削加工装置 | |
JP6457327B2 (ja) | セットアップ方法 | |
JP4591830B2 (ja) | ウェーハ面取り装置 | |
JP2018114580A (ja) | ウエーハの加工方法及び切削装置 | |
JP2009078326A (ja) | ウェーハ面取り装置、及びウェーハ面取り方法 | |
JP2016186958A (ja) | ダイシング装置及びダイシング装置によるダイシング方法 | |
JP2017183503A (ja) | ウェーハの面取り方法 | |
JP2023033302A (ja) | 加工装置 | |
JP2010274405A (ja) | 回転体の表面粗さの測定方法、砥石における砥粒の突き出し量の測定方法、及び研削盤 | |
JP5387887B2 (ja) | 面取り加工方法及び面取り加工装置 | |
JP5154884B2 (ja) | レンズの連続加工方法 | |
JP5757806B2 (ja) | 被加工物の切削方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131001 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140916 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141211 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5679171 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141224 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |