JPS59192457A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
- Publication number
- JPS59192457A JPS59192457A JP6633283A JP6633283A JPS59192457A JP S59192457 A JPS59192457 A JP S59192457A JP 6633283 A JP6633283 A JP 6633283A JP 6633283 A JP6633283 A JP 6633283A JP S59192457 A JPS59192457 A JP S59192457A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- tool
- position detector
- spindle
- grindstone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/12—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、横軸ロータリー形平面研削盤などにおける砥
石と被加工物の位置決めおよび被加工物取付は精度の検
査を行なう位置決め装置に関するものである。
石と被加工物の位置決めおよび被加工物取付は精度の検
査を行なう位置決め装置に関するものである。
（従来例の構成とその問題点）
小型の横軸ロータリー形平面研削盤では、高精度の位置
決め装置を備えたものはほとんど見られず、前に加工し
７た被加工物の寸法と工具の位置から工具の切込み量を
決定ｌ〜、テーブルの送り機構を用いて工具の切込みを
行なっている。このため被加工物の機械への取付は状態
や、砥石の摩耗状態などによって加工精度が左右される
という問題があった。
決め装置を備えたものはほとんど見られず、前に加工し
７た被加工物の寸法と工具の位置から工具の切込み量を
決定ｌ〜、テーブルの送り機構を用いて工具の切込みを
行なっている。このため被加工物の機械への取付は状態
や、砥石の摩耗状態などによって加工精度が左右される
という問題があった。
比較的大きなロータリー形平面研削盤では、第１図に示
すように、砥石１からはなれた場所に測定用ヘッド２，
３が設けられ、被加工物４の高さを演算し、モータ５に
より砥石軸の位置を制御していた。し、かじながら上記
のような構成では、テーブルの小さい機械において、測
定用ヘッドの設置場所が少ない、スピンドルを高速回転
させたとき砥石につれ寸わる空気や研削液の影響を受け
るため測定精度が悪くなる、さらに被加工物の高さが異
なるたびに測定用ヘッドの位置調整を行なう必要がある
などの問題があった。
すように、砥石１からはなれた場所に測定用ヘッド２，
３が設けられ、被加工物４の高さを演算し、モータ５に
より砥石軸の位置を制御していた。し、かじながら上記
のような構成では、テーブルの小さい機械において、測
定用ヘッドの設置場所が少ない、スピンドルを高速回転
させたとき砥石につれ寸わる空気や研削液の影響を受け
るため測定精度が悪くなる、さらに被加工物の高さが異
なるたびに測定用ヘッドの位置調整を行なう必要がある
などの問題があった。
（発明の目的）
本発明は、上記従来例の欠点に鑑み、小型の機械におい
ても高精度の位置決めが行なえ、かつ被加工物の高さが
異なっても測定用ヘッドの取付は位置を変える必要が無
く、寸だ、被加工物の機械への取付は精度の測定をも行
なうことが可能な位置決め装置を提供するものである。
ても高精度の位置決めが行なえ、かつ被加工物の高さが
異なっても測定用ヘッドの取付は位置を変える必要が無
く、寸だ、被加工物の機械への取付は精度の測定をも行
なうことが可能な位置決め装置を提供するものである。
（発明の構成）
上ａヒ目的を達成するために、本発明は、位置検出端及
びその背面に基準面余有する位置検出器と、位置検出の
際は、この位置検出器を工具と被加工物との間に挿入し
、基準面を工具の先端部に接触させて設置する手段と、
被加工中細ｌスピンドルを移動させて被加工物取付治具
面を検出端に接触させたときのスピンドルの位置を測定
する位詮測定器と、被加工物取付治具面を回動させて検
出端による検出位置を複数箇所設定するための角度割り
出し装置と、各種情報を入力する入力装置と、その情報
に従ってスピンドルの移動距離等を計算する演算部とか
ら構成されている１、 この構成によれば、小型の機械においても加工中の雰囲
気等の影響を受けることなく、前記目的を達成すること
ができる。
びその背面に基準面余有する位置検出器と、位置検出の
際は、この位置検出器を工具と被加工物との間に挿入し
、基準面を工具の先端部に接触させて設置する手段と、
被加工中細ｌスピンドルを移動させて被加工物取付治具
面を検出端に接触させたときのスピンドルの位置を測定
する位詮測定器と、被加工物取付治具面を回動させて検
出端による検出位置を複数箇所設定するための角度割り
出し装置と、各種情報を入力する入力装置と、その情報
に従ってスピンドルの移動距離等を計算する演算部とか
ら構成されている１、 この構成によれば、小型の機械においても加工中の雰囲
気等の影響を受けることなく、前記目的を達成すること
ができる。
（実施例の説明）
以下、実施例について図面を参照しながら説明する。
第２図ないし第４図は、本発明の一実施例における位置
決め装置を示したものであり、月はカップ型砥石、１２
は被加工物、］３は被加工物貼付は治具、】４はチャッ
ク、１５はテーブル、】６はオートスイノチンリング、
】７は腕、１８は位置検出器、１９ハモータ、２Ｑｉｄ
リニアエンコーク、２１はフォトカプラ、２２は切欠き
を有する円板、２３はボールネジである。
決め装置を示したものであり、月はカップ型砥石、１２
は被加工物、］３は被加工物貼付は治具、】４はチャッ
ク、１５はテーブル、】６はオートスイノチンリング、
】７は腕、１８は位置検出器、１９ハモータ、２Ｑｉｄ
リニアエンコーク、２１はフォトカプラ、２２は切欠き
を有する円板、２３はボールネジである。
第５図に位置検出器１８を示す。３１は基準面、３２は
位置検出端で、微少変位泪を使用している。
位置検出端で、微少変位泪を使用している。
以上のように構成された位置決め装置について以下にそ
の動作を説明する。最初に、位置検出端３２と基準面３
１との距離、被加工物の仕上げ寸法および被加工物貼付
は治具を機械に取付けたときの治具面の振れの最大許容
値を演算部に入力しておく（入力部と演算部は図示省略
）。被加工物１２を貼付けた被加工物貼付は冶具１３を
チャック１４て取付ける。位置決めの動作は次のように
して行なわれる。
の動作を説明する。最初に、位置検出端３２と基準面３
１との距離、被加工物の仕上げ寸法および被加工物貼付
は治具を機械に取付けたときの治具面の振れの最大許容
値を演算部に入力しておく（入力部と演算部は図示省略
）。被加工物１２を貼付けた被加工物貼付は冶具１３を
チャック１４て取付ける。位置決めの動作は次のように
して行なわれる。
１ず、被加工物側のスピンドルに設けられているＮ個の
切り欠きを有する円板２２の切り欠き部がフォトカブラ
２１の位置と一致し７た位置でスピンドル回転を停止さ
せその状態を保持する。それから、第３図に示したよう
に、腕１７がオートスイッチシリングを内蔵した軸１６
を介して連結されているモータ１９によってその腕１７
を砥石側に回動Ｌ、位置検出端３２が被加工物貼付は治
具面−５〜 に、そして位置検出器の基準面３１がカップ型砥石加工
面に接触可能々範囲に移動させる。
切り欠きを有する円板２２の切り欠き部がフォトカブラ
２１の位置と一致し７た位置でスピンドル回転を停止さ
せその状態を保持する。それから、第３図に示したよう
に、腕１７がオートスイッチシリングを内蔵した軸１６
を介して連結されているモータ１９によってその腕１７
を砥石側に回動Ｌ、位置検出端３２が被加工物貼付は治
具面−５〜 に、そして位置検出器の基準面３１がカップ型砥石加工
面に接触可能々範囲に移動させる。
次如、第４図に示すようにオートスイッチシリング１６
が働き位置検出器基準面３１をカップ型砥石１１に接触
させた状態に保持した１寸、テーブル１５を、位置検出
端３２と被加工物貼付は治具１３が接触する１で移動さ
せる。位置検出端３２と被加工物貼付は治具１３が接触
した点をリニアエンコーダ２０士の原点とする。続いて
テーブルを移動させ、位置検出端３２と被加工物貼付は
治具１３を十分に離す。次に被加工物側スピンドルを回
転させ円板２２に設けられた次の切り欠き部々フォトカ
プラ２１の位置が一致した位置でスピンドル回転を停止
させその状態を保持する。テーブル１５を位置検出端３
２と被加工物貼付は治具１３が接触するまで移動させる
。位動検出端３２と被加工中貼イ」け治具１３が接触し
た点をリニアエンコーダ２０上で読み取る。この動作を
（Ｎ−１）回繰返し、読み取ったテークから被加工物貼
付は治具面の振れ量を演算して最初に入力した治具面の
６一 振れの最大許容値と比較する。振れ量が許容値内でアレ
ばリニアエンコーク２０で読み取った値の平均値を新ら
しい原点とする。テーブルを移動させ位置検出端３２と
被加工物貼付は治具】３を十分に離し、オートスイッチ
ンリンタを働かせて位置検出器基準面３１とカップ型砥
石１１が接触しないようにしてから腕１７全回動させ、
位置検出器】８を最初の位置にもどす。加工を開始し７
、入力しである位置検出端と基準面との距離から被加工
物の仕上げ寸法を減じた値だけ新らしい原点から砥石１
Ｉｌｌｌ Ｋテーブルを移動させた位置で加工を完了す
る。
が働き位置検出器基準面３１をカップ型砥石１１に接触
させた状態に保持した１寸、テーブル１５を、位置検出
端３２と被加工物貼付は治具１３が接触する１で移動さ
せる。位置検出端３２と被加工物貼付は治具１３が接触
した点をリニアエンコーダ２０士の原点とする。続いて
テーブルを移動させ、位置検出端３２と被加工物貼付は
治具１３を十分に離す。次に被加工物側スピンドルを回
転させ円板２２に設けられた次の切り欠き部々フォトカ
プラ２１の位置が一致した位置でスピンドル回転を停止
させその状態を保持する。テーブル１５を位置検出端３
２と被加工物貼付は治具１３が接触するまで移動させる
。位動検出端３２と被加工中貼イ」け治具１３が接触し
た点をリニアエンコーダ２０上で読み取る。この動作を
（Ｎ−１）回繰返し、読み取ったテークから被加工物貼
付は治具面の振れ量を演算して最初に入力した治具面の
６一 振れの最大許容値と比較する。振れ量が許容値内でアレ
ばリニアエンコーク２０で読み取った値の平均値を新ら
しい原点とする。テーブルを移動させ位置検出端３２と
被加工物貼付は治具】３を十分に離し、オートスイッチ
ンリンタを働かせて位置検出器基準面３１とカップ型砥
石１１が接触しないようにしてから腕１７全回動させ、
位置検出器】８を最初の位置にもどす。加工を開始し７
、入力しである位置検出端と基準面との距離から被加工
物の仕上げ寸法を減じた値だけ新らしい原点から砥石１
Ｉｌｌｌ Ｋテーブルを移動させた位置で加工を完了す
る。
なお、上記実施例では、位置検出器の基準面を工具側に
接触させだが、被加工物側に接触させるようにしてもよ
い。この場合、被加工物側が固定され、工具側が移動す
る。
接触させだが、被加工物側に接触させるようにしてもよ
い。この場合、被加工物側が固定され、工具側が移動す
る。
（発明の効果）
゛） 以上のように本発明は、工具と被加工物との
間に挿入、設置する手段を備えた位置検出器と、スピン
ドルの角度割出し装置および位置測定器と、演算部を設
けることにより、小型の機械においても被加工物の数例
は精度を考慮した高寸法精度の加工が行なえるとともに
、被加工物の高さが犬きく異なっても測定用ヘッドなど
の調整を必要としない等の効果がある。
間に挿入、設置する手段を備えた位置検出器と、スピン
ドルの角度割出し装置および位置測定器と、演算部を設
けることにより、小型の機械においても被加工物の数例
は精度を考慮した高寸法精度の加工が行なえるとともに
、被加工物の高さが犬きく異なっても測定用ヘッドなど
の調整を必要としない等の効果がある。
第１図は、従来の縦軸平面研削盤の正面図、第２図は、
本発明の一実施例の横軸ロータリ一平面研削盤の斜視図
、第３図、第４図は、位置検出器の動作説明図、第５図
は、位置検出器の正面図である。 １１・・・・・・カップ型砥石、１２・・・・・・・
被加工物、１３・・・−・・ 被加工物貼付治具、 １
６・・・・・・・・オートスイノチシリンタ、１７・・
・・・・・・腕、１．８・・・・・・・・位置検出器、
２０・・・・・・・ リニアエンコーダ、２１・・・・
・・・・フォトカプラ、２２ ・・・・・・・切欠きを
有する円板。 第１図 第２図 第３図
本発明の一実施例の横軸ロータリ一平面研削盤の斜視図
、第３図、第４図は、位置検出器の動作説明図、第５図
は、位置検出器の正面図である。 １１・・・・・・カップ型砥石、１２・・・・・・・
被加工物、１３・・・−・・ 被加工物貼付治具、 １
６・・・・・・・・オートスイノチシリンタ、１７・・
・・・・・・腕、１．８・・・・・・・・位置検出器、
２０・・・・・・・ リニアエンコーダ、２１・・・・
・・・・フォトカプラ、２２ ・・・・・・・切欠きを
有する円板。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 平面研削盤等における工具と液加］−物の位置決め装置
において、位置検出端及び該検出端の背面に基準面を有
する位置検出器と、位置検出時に、前記位置検出器を工
具と被加工物との間に挿入し、その基準面を工具の先端
部又は被加工物取付治具面のいずれか一方の固定側に接
触させて設置する手段と、前記位置検出器の検出端に被
加工物取付治具面又は工具の先端部を接触させるように
移動側スピンドルを移動させたときのスピンドルの位置
を測定する位置測定器と、前記被加工物取付治具面を回
動させて検出位置を２箇所以上設定するだめの角度割り
出し装置と、前記位置検出器の検出端と基準面との距離
及び被加工物の仕トげ寸法等の情報を入力する入力部と
、入力した各種データから前古ピ移動側スピンドルの移
動距離及び被加工物の傾き等を計算する演算部とを備え
たことを特徴とする位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6633283A JPS59192457A (ja) | 1983-04-16 | 1983-04-16 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6633283A JPS59192457A (ja) | 1983-04-16 | 1983-04-16 | 位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59192457A true JPS59192457A (ja) | 1984-10-31 |
| JPS6260223B2 JPS6260223B2 (ja) | 1987-12-15 |
Family
ID=13312783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6633283A Granted JPS59192457A (ja) | 1983-04-16 | 1983-04-16 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59192457A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61148556U (ja) * | 1985-03-05 | 1986-09-12 | ||
| EP0505787A2 (de) * | 1991-03-28 | 1992-09-30 | MSB Maschinenbau Schmitt | Vorrichtung zur Justierung einer CNC-gesteuerten Schleifmaschine |
| JP2008114295A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-22 | Okuma Corp | 研削盤 |
| JP2012135853A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-19 | Disco Corp | 研削装置 |
| JP2015039755A (ja) * | 2013-08-23 | 2015-03-02 | 株式会社ディスコ | 研削装置のセットアップ方法 |
| JP2016140922A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社東京精密 | ウェハ研削装置及びウェハ研削方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01164725U (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54143991A (en) * | 1978-04-28 | 1979-11-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Controlling method for grinding |
-
1983
- 1983-04-16 JP JP6633283A patent/JPS59192457A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54143991A (en) * | 1978-04-28 | 1979-11-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Controlling method for grinding |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61148556U (ja) * | 1985-03-05 | 1986-09-12 | ||
| EP0505787A2 (de) * | 1991-03-28 | 1992-09-30 | MSB Maschinenbau Schmitt | Vorrichtung zur Justierung einer CNC-gesteuerten Schleifmaschine |
| JP2008114295A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-22 | Okuma Corp | 研削盤 |
| JP2012135853A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-19 | Disco Corp | 研削装置 |
| JP2015039755A (ja) * | 2013-08-23 | 2015-03-02 | 株式会社ディスコ | 研削装置のセットアップ方法 |
| JP2016140922A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社東京精密 | ウェハ研削装置及びウェハ研削方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6260223B2 (ja) | 1987-12-15 |
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