JP5122514B2 - スパッタリングターゲット及びその製造方法 - Google Patents
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Description
スパッタリング法自体は上記の分野で、よく知られた方法であるが、最近では、特に超微細加工技術の分野において、複雑な形状の被膜の形成に適合するスパッタリングターゲットが要求されている。
上記スパッタリング法は成膜法としては優れたものであるが、ターゲットの組成、組織、性質等が薄膜の性状に直接反映されるため、アモルファス膜又はそれに準じた膜が容易に形成できる金属ガラス製のターゲット材料が要求される。
しかし、これらの製造方法はいずれも溶融金属からの製造方法であり、急冷を条件としているので、装置がそのような急冷の条件に合わせるように工夫する必要があるため、極めてコスト高になる欠点を有していた。また、製造できる形状も限られており、数cmφのターゲットしか作製できないという問題があった。
1)平均結晶子サイズが1nm〜5nmの組織を備え、Cuを主成分として原子比率で50at%以上含有する3元系以上の合金からなり、主成分に対する他成分が12%以上の原子半径差を有すると共に負の混合熱を満たす金属ガラスの要件を備え、当該3元系以上の合金はTi及びZrを含有し、かつ96.4%以上の相対密度を有し、ガスアトマイズ粉を焼結することによって得られた非晶質体であることを特徴とするスパッタリングターゲット
2)平均結晶子サイズが1nm〜5nmの組織を備え、Cuを主成分として原子比率で50at%以上含有する3元系以上の合金からなり、当該3元系以上の合金は主成分に対して12%以上の原子半径差を有するTi及びZrを含有すると共に負の混合熱を満たす金属ガラスの要件を備え、かつ96.4%以上の相対密度を有し、ガスアトマイズ粉を焼結することによって得られた非晶質体であって、前記3元系以上の合金は、さらにCr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Te、Hf、Ta、Wから選択した1成分以上を含有することを特徴とするスパッタリングターゲット
3)非晶質形成能を確保する3元系のうち第2成分(2番目に原子比率の大きな成分)の元素は原子比率で5at%以上であることを特徴とする請求項1又は2記載のスパッタリングターゲット
4)前記3元系以上の合金は、さらにAl、Si、P、S、B、C、Nからそれぞれ1成分以上を含有することを特徴とする上記2)又は3)記載のスパッタリングターゲット
5)平均結晶子サイズが1nm〜2nmの組織を備えていることを特徴とする上記1)〜4)のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット
6)ガスアトマイズ粉を焼結することによって製造することを特徴とする上記1)〜5)のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲットの製造方法、を提供する。
ターゲット自体の結晶粒径が細かければ、スパッタエロージョンされた表面の粗さが平滑になり、製品の歩留まりを悪化させるパーティクルの発生が抑制される効果が得られる。
特に、非晶質状態はパーティクル低減においては究極の組織形態である。さらに、組織の非晶質化又は超微細化は、ターゲットの組織及び組成の均一性が向上し、これを用いた製品は組成などの不均一性の問題を生じさせることがない。
これらの元素は強磁性体薄膜、高機械強度薄膜、高耐腐食性薄膜、高電気伝導性などの用途により適宜選択する。また、これらの諸特性を発揮させるために、主成分の原子比率は50at%以上が望ましい。
また、非晶質形成能を確保するために、3元系のうち第2成分(2番目に原子比率の大きな成分)の元素は原子比率で5at%以上であることが望ましい。
本願発明は、Feを主成分とする場合が中心となるが、下記に述べる他の主成分については、類似特性を備えており、本願発明の参考のために説明する。
この金属ガラス製ターゲットの代表的なものとして、Zr65−Cu17.5−Ni10−Al7.5(原子比率)を挙げることができる。
この金属ガラス製ターゲットの代表的なものとして、Fe70−Zr10−B20(原子比率)を挙げることができる。
この金属ガラス製ターゲットの代表的なものとして、Co72.5−Al12.5−B15(原子比率)を挙げることができる。
この合金粉末をホットプレスやプラズマ焼結(SPS)法などを用いてターゲットを製造する。
このようなターゲットを用いてスパッタリングを行うと、膜の均一性(ユニフォーミティ)を良好にし、またアーキングやパーティクルの発生を抑制し、さらにスパッタ成膜の品質を向上させるという著しい効果が得られる。
本発明のスパッタリングターゲットは、超微細加工技術の成膜に限定される必要はなく、通常のアモルファス薄膜又は結晶性薄膜に利用できることは勿論である。
Zr65−Cu17.5−Ni10−Al7.5(原子比率)合金を溶解し、この溶湯を噴射ガスにアルゴンガスを使用して0.8mmφの石英ノズルから噴射してアトマイズ粉を製造した。この時のアトマイズガス圧は80kgf/cm2であり、溶湯ガス圧0.3kgf/cm2で実施した。
次に、このアトマイズ粉を用いて、結晶化近くの温度である410°C、600MPaの条件でプラズマ焼結法(SPS法)により焼結し、216mmφ、8.4mmtの焼結体を得た。密度は6.70g/cm3(アルキメデス法による)であり溶解品の密度6.716g/cm3であった。したがって、相対密度は99.8%であり、緻密化していた。
このターゲットの組織観察写真を図1に示す。図1において結晶粒界は観察されず(非晶質状態にある)、アトマイズ粉がそのままプレスされてバルク体となっている様子が分かる。
このXRDプロファイルを図2に示す。なお、アトマイズ前の母合金では、結晶化しており、粒内に2相のラメラ構造が観察された。
スパッタリング後のターゲットの表面を観察した結果、図3(エロージョン面のSEM像)に示すように、滑らかなエロージョン面が得られた。なお、図3の縦スジは旋盤加工跡である。図4は、エロージョン面の表面粗さを測定した結果である。スパッタリング後のターゲット表面粗さは0.25μmであった。
実施例と同組成のZr65−Cu17.5−Ni10−Al7.5(原子比率)材料をアーク溶解によりインゴットとし、これを旋盤加工してターゲットを作製した。ターゲットの密度は6.716g/cm3であった。
このターゲットの組織観察写真を図5に示す。図5において2相のラメラ(共晶)構造を持つ組織が観察された。このXRDプロファイルを図6に示す。
次に、このターゲットを用いて10mTorr、純Ar中、300Wの条件でスパッタリングを実施した。この結果、膜の均一性(ユニフォーミティ)が悪く、アーキングやパーティクルの発生も観察された。
以上から、溶解品(結晶質)と本件発明の実施例である非晶質材とはターゲットの特性上に大きな相違があることが分かる。
次に、本発明の範囲で、各種組成を変えて参考例1と同様な条件でアトマイズ粉を作製し、これを焼結してターゲットとした。この製造条件と結晶状態、平均結晶子サイズ、スパッタリング後のターゲットの表面粗さを表1に示す(但し、例2、例6は削除)。なお、表1には、前記参考例1及び比較例1の条件とその結果をも対比して示す。
次に、このターゲットを用いて10mTorr、純Ar中、300Wの条件でスパッタリングを実施した。この結果、いずれの場合も参考例1と同様に、膜の均一性(ユニフォーミティ)が良好であり、アーキングやパーティクルの発生が殆どなかった。
また、スパッタリング後のターゲットの表面を観察した結果、滑らかなエロージョン面が得られた。図3と同等のものが得られた。エロージョン面の表面粗さを測定した結果は、表1に示すように、いずれも小さいことが分かった。
次に、本発明の範囲を外れる範囲の各種組成を変えた比較例2−14を示す。いずれも焼結してターゲットとしたものである。この製造条件と結晶状態、平均結晶子サイズ、スパッタリング後のターゲットの表面粗さを、同様に表1に示す。
比較例2は参考例1と同様にアトマイズ粉であるが、結晶子サイズが80nmを有するものである。この場合には、スパッタリング後のターゲットの表面粗さが1.42μmとなり、膜の均一性(ユニフォーミティ)が悪く、アーキングやパーティクルの発生も観察された。
比較例3−7は2成分系、比較例8−12は3成分系である。いずれも結晶質ターゲットである。
比較例14は、アトマイズ粉の径が103μmである粗い粉を使用した場合である。この場合は。スパッタ後のターゲット表面が粗くなり、膜の均一性も悪くなるので好ましくない。
Claims (6)
- 平均結晶子サイズが1nm〜5nmの組織を備え、Cuを主成分として原子比率で50at%以上含有する3元系以上の合金からなり、主成分に対する他成分が12%以上の原子半径差を有すると共に負の混合熱を満たす金属ガラスの要件を備え、当該3元系以上の合金はTi及びZrを含有し、かつ96.4%以上の相対密度を有し、ガスアトマイズ粉を焼結することによって得られた非晶質体であることを特徴とするスパッタリングターゲット。
- 平均結晶子サイズが1nm〜5nmの組織を備え、Cuを主成分として原子比率で50at%以上含有する3元系以上の合金からなり、当該3元系以上の合金は主成分に対して12%以上の原子半径差を有するTi及びZrを含有すると共に負の混合熱を満たす金属ガラスの要件を備え、かつ96.4%以上の相対密度を有し、ガスアトマイズ粉を焼結することによって得られた非晶質体であって、前記3元系以上の合金は、さらにCr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Te、Hf、Ta、Wから選択した1成分以上を含有することを特徴とするスパッタリングターゲット。
- 非晶質形成能を確保する3元系のうち第2成分(2番目に原子比率の大きな成分)の元素は原子比率で5at%以上であることを特徴とする請求項1又は2記載のスパッタリングターゲット。
- 前記3元系以上の合金は、さらにAl、Si、P、S、B、C、Nからそれぞれ1成分以上を含有することを特徴とする請求項2又は3記載のスパッタリングターゲット。
- 平均結晶子サイズが1nm〜2nmの組織を備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- ガスアトマイズ粉を焼結することによって製造することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲットの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009118275A JP5122514B2 (ja) | 2003-08-05 | 2009-05-15 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003286876 | 2003-08-05 | ||
JP2003286876 | 2003-08-05 | ||
JP2009118275A JP5122514B2 (ja) | 2003-08-05 | 2009-05-15 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005512480A Division JP4351212B2 (ja) | 2003-08-05 | 2004-07-14 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009263795A JP2009263795A (ja) | 2009-11-12 |
JP5122514B2 true JP5122514B2 (ja) | 2013-01-16 |
Family
ID=34113984
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005512480A Active JP4351212B2 (ja) | 2003-08-05 | 2004-07-14 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
JP2009118275A Active JP5122514B2 (ja) | 2003-08-05 | 2009-05-15 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
JP2009118277A Active JP5133940B2 (ja) | 2003-08-05 | 2009-05-15 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
JP2009118276A Active JP5122515B2 (ja) | 2003-08-05 | 2009-05-15 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005512480A Active JP4351212B2 (ja) | 2003-08-05 | 2004-07-14 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009118277A Active JP5133940B2 (ja) | 2003-08-05 | 2009-05-15 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
JP2009118276A Active JP5122515B2 (ja) | 2003-08-05 | 2009-05-15 | スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8430978B2 (ja) |
EP (1) | EP1652960B1 (ja) |
JP (4) | JP4351212B2 (ja) |
KR (2) | KR100812943B1 (ja) |
CN (1) | CN100457963C (ja) |
TW (1) | TW200506077A (ja) |
WO (1) | WO2005012591A1 (ja) |
Families Citing this family (57)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
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-
2004
- 2004-07-14 US US10/566,116 patent/US8430978B2/en active Active
- 2004-07-14 WO PCT/JP2004/010361 patent/WO2005012591A1/ja active Application Filing
- 2004-07-14 EP EP04747777.3A patent/EP1652960B1/en active Active
- 2004-07-14 KR KR1020077014504A patent/KR100812943B1/ko active IP Right Grant
- 2004-07-14 KR KR1020067002328A patent/KR100749658B1/ko active IP Right Grant
- 2004-07-14 JP JP2005512480A patent/JP4351212B2/ja active Active
- 2004-07-14 CN CNB2004800219920A patent/CN100457963C/zh active Active
- 2004-07-27 TW TW093122376A patent/TW200506077A/zh unknown
-
2009
- 2009-05-15 JP JP2009118275A patent/JP5122514B2/ja active Active
- 2009-05-15 JP JP2009118277A patent/JP5133940B2/ja active Active
- 2009-05-15 JP JP2009118276A patent/JP5122515B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2005012591A1 (ja) | 2005-02-10 |
US8430978B2 (en) | 2013-04-30 |
EP1652960A1 (en) | 2006-05-03 |
KR20070070264A (ko) | 2007-07-03 |
EP1652960B1 (en) | 2017-08-30 |
EP1652960A4 (en) | 2007-11-07 |
CN1829820A (zh) | 2006-09-06 |
JP2009263796A (ja) | 2009-11-12 |
CN100457963C (zh) | 2009-02-04 |
JP5133940B2 (ja) | 2013-01-30 |
KR100812943B1 (ko) | 2008-03-11 |
JP5122515B2 (ja) | 2013-01-16 |
KR20060037420A (ko) | 2006-05-03 |
TWI296013B (ja) | 2008-04-21 |
JP4351212B2 (ja) | 2009-10-28 |
JPWO2005012591A1 (ja) | 2006-09-21 |
KR100749658B1 (ko) | 2007-08-14 |
JP2009242947A (ja) | 2009-10-22 |
TW200506077A (en) | 2005-02-16 |
US20060185771A1 (en) | 2006-08-24 |
JP2009263795A (ja) | 2009-11-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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