JP5377901B2 - 垂直磁気記録媒体におけるNi−W−(Si,B)系中間層膜製造用スパッタリングターゲット材 - Google Patents
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富士時報(vol,77,No.2,2004,P121「垂直磁気記録膜の構造制御」
(1)at%で、Wを1〜20%、SiおよびBを総量として0.1〜10%含み、残部Niからなる垂直磁気記録媒体におけるNi−W−(Si,B)系中間層膜を製造するスパッタリングターゲット材。
(3)ガスアトマイズ法により作製した原料粉末を固化成形したことを特徴とする前記(2)に記載のスパッタリングターゲット材。
本発明に係る成分組成として、at%で、W:1〜20%に限定した理由は、1%未満ではスパッタ薄膜の格子定数が3.53(×10-10 m)未満となり、また、20%を超えると格子定数が3.61(×10-10 m)を超えることから、その範囲を1〜20%とした。好ましくは5〜15%とする。
冷却速度の小さい溶製法ではSiやBはNiに固溶しにくく、粗大なNi系珪化物、もしくはNi系ホウ化物を晶出してしまう。これらの粗大化合物がスパッタリングターゲット材中に存在すると、スパッタ時に異常放電を起こしパーティクルを多く発生するなど不具合を生じる。これに対し、原料粉末をガスアトマイズ法により作製すると、急冷凝固されているため粗大な化合物が晶出せず、これを用いて固化成形したスパッタリングターゲット材は、パーティクルの発生が少なく、より好ましい。
表1に示すNi−W−(Si,B)系合金粉末をガスアトマイズにより作製し、これを原料粉末とし、SC製の缶に脱気封入した粉末充填ビレットを、750〜1300℃でHIP法およびアップセット法にて固化成形し、機械加工によりNi−W−(Si,B)系合金のスパッタリングターゲット材を作製した。また、比較として鋳造法によりNi−W−(Si,B)系合金スパッタリングターゲット材を作製した。
特許出願人 山陽特殊製鋼株式会社
代理人 弁理士 椎 名 彊
Claims (4)
- at%で、Wを1〜20%、SiおよびBを総量として0.1〜10%含み、残部Niからなる垂直磁気記録媒体におけるNi−W−(Si,B)系中間層膜を製造するスパッタリングターゲット材。
- SiおよびBの組成比が2:8〜6:4である、請求項1に記載の組成を持つスパッタリングターゲット材。
- ガスアトマイズ法により作製した原料粉末を固化成形したことを特徴とする請求項2に記載のスパッタリングターゲット材。
- 800℃以上、1250℃以下で固化成形したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のスパッタリングターゲット材。
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