JP5107331B2 - オブジェクト表面の特徴を求める干渉計 - Google Patents
オブジェクト表面の特徴を求める干渉計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5107331B2 JP5107331B2 JP2009268962A JP2009268962A JP5107331B2 JP 5107331 B2 JP5107331 B2 JP 5107331B2 JP 2009268962 A JP2009268962 A JP 2009268962A JP 2009268962 A JP2009268962 A JP 2009268962A JP 5107331 B2 JP5107331 B2 JP 5107331B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- detector
- light
- interference
- interferometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 265
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 122
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 55
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 37
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 30
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 30
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 116
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 abstract description 23
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 15
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 abstract 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 65
- 239000010408 film Substances 0.000 description 44
- 230000006870 function Effects 0.000 description 35
- 239000000463 material Substances 0.000 description 31
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 27
- 230000008569 process Effects 0.000 description 26
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 24
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 23
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 21
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 15
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 14
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 12
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 11
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 9
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 8
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 4
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 4
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 description 3
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 2
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 238000001314 profilometry Methods 0.000 description 2
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 2
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 1
- 238000012897 Levenberg–Marquardt algorithm Methods 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000013208 measuring procedure Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000009022 nonlinear effect Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 1
- -1 refractive index Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/021—Interferometers using holographic techniques
- G01B9/023—Interferometers using holographic techniques for contour producing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0675—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating using interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02002—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies
- G01B9/02004—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies using frequency scans
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02027—Two or more interferometric channels or interferometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02041—Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques
- G01B9/02043—Imaging of the Fourier or pupil or back focal plane, i.e. angle resolved imaging
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02041—Interferometers characterised by particular imaging or detection techniques
- G01B9/02044—Imaging in the frequency domain, e.g. by using a spectrometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
- G01B9/02057—Passive reduction of errors by using common path configuration, i.e. reference and object path almost entirely overlapping
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/0207—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer
- G01B9/02072—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer by calibration or testing of interferometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/0207—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer
- G01B9/02072—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer by calibration or testing of interferometer
- G01B9/02074—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer by calibration or testing of interferometer of the detector
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02083—Interferometers characterised by particular signal processing and presentation
- G01B9/02084—Processing in the Fourier or frequency domain when not imaged in the frequency domain
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02083—Interferometers characterised by particular signal processing and presentation
- G01B9/02088—Matching signals with a database
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/0209—Low-coherence interferometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
- G01N21/211—Ellipsometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/45—Multiple detectors for detecting interferometer signals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/70—Using polarization in the interferometer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Databases & Information Systems (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
概括すると、一の態様では、システムは、(i)検査電磁光線を検査表面に、かつ基準電磁光線を基準表面に振り向け、次にこれらの電磁光線を合成して干渉パターンを形成するように構成される干渉計であって、電磁光線が共通光源から放出される構成の干渉計と、(ii)マルチエレメント検出器と、(iii)干渉パターンを検出器に結像させて検出器の異なる要素が、検査表面を照射する検査電磁光線の異なる照射角に対応するように構成される一つ以上の光学系と、を備える。
干渉計は瞳面を有する干渉対物レンズを含む。更に、一つ以上の光学系は瞳面の干渉パターンをマルチエレメント検出器に結像させる。更に、干渉計は、共通光源から放出されるEM電磁光線を干渉対物レンズの瞳面に結像させるように構成される。例えば、干渉対物レンズはミラウ(Mirau)型対物レンズ、またはマイケルソン型干渉対物レンズ(Michelson objective)である。
干渉計は、検査EM光線及び基準EM光線が光干渉パターンを形成するときに検査EM光線及び基準EM光線の相対光路長を調整する走査ステージを含む。
システムは更に、検出器に接続される電子プロセッサを備え、電子プロセッサは、干渉パターンに関する情報を解析して検査表面を有する検査オブジェクトに関する角度分解された情報を求めるように構成される。例えば、検査オブジェクトは、検査表面に隣接する少なくとも一つの層を有する。
干渉計は、共通光源から放出される入力光を検査光及び基準光に分離するように構成されるビームスプリッタと、検査光と合成される前に基準光を反射する位置に設けられる基準表面と、を含む。検査光は検査表面によって反射されるように構成され、そして干渉計のビームスプリッタは検査光及び基準光を、これらの光が該当する検査表面及び基準表面によって反射された後に再合成する位置に設けられる。
共通光源から放出される検査光及び基準光は電磁スペクトルの可視部分の光とすることができる。別の構成として、検査光及び基準光は、電磁スペクトルの紫外線部分の光、近赤外線部分の光、または赤外線部分の光とすることができる。
本装置は更に並進ステージを含むことができ、並進ステージは、検査光及び基準光が干渉パターンを形成するときに検査光及び基準光の相対光路長を調整するように構成される。例えば、本装置は更に、検査表面を有する検査オブジェクトを支持するベースを含むことができ、そして並進ステージは、干渉計の少なくとも一部分(干渉計の干渉対物レンズのような)をベースに対して移動させるように構成することができる。
本装置は、第1動作モードと第2動作モードとの間の切り替えを調整することができるように構成することができ、第1動作モードでは、合成光を検出器に振り向けて検出器の異なる領域が、検査表面を照射する検査光の異なる照射角に対応するようにし、そして第2動作モードでは、検出器の異なる領域が検査光によって照射される検査表面の異なる領域に対応することによって形状測定動作モードが有効になる。
合成光は、検査光の瞳面を検出器に結像させることにより検出器に振り向けることができる。
検査光、基準光、及び合成光は選択的に偏光させることができる。
概括すると、別の態様では装置が開示され、この装置は、検査表面の反射率を或る範囲の角度及び波長に渡って測定する第1モード、及び検査表面の一つ以上の特性を、或る範囲の検査表面位置に渡って測定する第2モードの各モードで動作するように構成される干渉計システムを備える。
本装置は、第1モードと第2モードとの間の切り替えを選択的に行なうように構成することができる。別の構成として、本装置は、測定を両方のモードで同時に行なうように構成することができる。
概括すると、別の態様では方法が開示され、この方法は、(i)干渉計システムを使用して検査表面を、検査表面の反射率を或る範囲の角度及び波長に渡って測定する第1動作モードで測定するステップと、(ii)同じ干渉計システムを使用して検査表面を、検査表面の形状の特徴を干渉法により測定する第2動作モードで測定するステップと、を含む。
本明細書において使用するように、「光(light)」という用語は、可視スペクトル領域の電磁光線に制限されず、紫外線領域、近赤外線領域、または赤外線領域のいずれかの領域の電磁光線を広く指すことができる。
図面において、異なる図における同様の参照番号は共通の構成要素を指す。
図1は干渉計システム100の模式図である。拡張光源102は入力光104を干渉対物レンズ106に、中継光学系108及び110、及びビームスプリッタ112を通して振り向ける。中継光学系108及び110は、拡張光源102からの入力光104を開口絞り115、及び干渉対物レンズ106の該当する瞳面114に結像させる(点線の両側光線116及び実線の中心光線117で示すように)。
干渉計システム100によって取得される干渉信号の解析を行なうために、偏光素子140及び144が直線偏光板であり、偏光素子142及び146を設けず、かつビームスプリッタ112が非偏光ビームスプリッタである構成の実施形態について考察する。直線偏光板140の機能は、同じ直線偏光状態を瞳面114の全てのポイントで生じさせることである。その結果、検査表面124に入射する光の偏光は直線偏光であるが、入射平面に対する偏光の向きは、瞳面での点光源の方位角位置によって変わる。例えば、瞳面における直線偏光の方向に平行な瞳直径に沿って位置する点光源は、検査表面での入射平面内で直線偏光される(この状態をP偏光状態と呼ぶ)照射光を生成する。同様に、瞳面における直線偏光の方向に直交する直径に沿って位置する点光源は、入射平面に直交して直線偏光される(この状態をS偏光状態と呼ぶ)照射光を生成する。これらの直径に沿って位置しない点光源は、P偏光状態及びS偏光状態が混在する照射光を検査表面に生成する。この原理は、検査表面の反射係数はP偏光光及びS偏光光に対して異なるので、重要となる。
matrix)」法を用いて検査表面の反射率を当該表面の未知のパラメータ(屈折率、膜厚、層粗度、屈折率勾配など)の関数として計算することができる。反射率関数を適用して偏光解析パラメータΨmodel及びΔmodelを、未知パラメータの値を推定するために計算する。次に、反復アルゴリズムを使用してこれらのパラメータを変更して、次式によって表わされる、測定エリプソメトリ係数及び該当するモデル係数の2乗差の和を最小にする。
或る実施形態では、システム校正の第1ステップでは、検査表面でのビーム束の入射角を、瞳面における点光源の位置に基づいて計算する。別の表現をすると、入射角αを、瞳面の像に対応する検出器の各画素に割り当てるように操作する。この操作は、例えば測定を狭帯域フィルタを用いて行なって検出器が検出する光がほぼ単色光になり、かつ既知の波長を持つようにすることにより行なわれる。この場合、式(3)は、干渉信号の周波数が光源波長及び入射角に関係項kcosαに従って比例することを示している。信号周波数は、信号をフーリエ変換することにより計算することができ、そして入射角は並進ステージの走査速度及び光源波長に関する情報に基づいて求めることができる。
或る実施形態では、校正の別のステップでは、検出器から眺めたときの瞳での座標系における偏光板の正確な方位角を決定する。この操作は、例えば式(9)がθに関して周期πの周期性を持つことに注目することにより行なうことができる。比zをフーリエ変換した後の比の偶数成分の位相は偏光板の角度ずれの直接測定値であることになる。従って、この計算はzsαλ及びταλを求める前に行なうことができる。
或る実施形態では、保存校正情報を使用することにより、電子プロセッサは未知の検査オブジェクトの特徴を次のようにして測定することができる。未知のオブジェクト表面に関して記録される干渉データは校正に関して処理され、そして添え字cが未知の検査オブジェクトを指す場合に、干渉データによってリング状のデータが式(4)に従って生成される。
上の解析の節では、偏光素子140及び144が互いに平行な向きの直線偏光板であり、偏光素子142及び146を設けず、そしてビームスプリッタ112が非偏光ビームスプリッタである実施形態を用いて説明が行なわれた。別の実施形態においては、直線偏光板の平行度を保証する解析的に等価な構成では、偏光素子140及び144を取り外し、そして偏光素子142を直線偏光板とするが、これは、偏光素子142が干渉対物レンズに振り向けられる入力光、及び検出器に振り向けられる合成光の両方の光路に位置するからである。別の実施形態では、偏光素子140及び144は、向きが互いに直交する直線偏光板とすることができ、この場合、オブジェクトから戻ってくる光の量は、方位角位置を変数とする周期関数に、S反射率及びP反射率の、方位角方向依存性のない重み付け合計を乗算した値である。このような情報を処理して検査オブジェクトに関する情報を求めることもできる。
更に別の実施形態では、偏光素子140,142,144,及び146は全て設けず、かつビームスプリッタは非偏光ビームスプリッタとする。ハロゲンバルブのフィラメント、または白色発光LEDの発光材料のような通常の広帯域光源の場合、照射入力光は偏光されないが、これは、瞳における全ての点光源に関して、偏光状態はS偏光成分及びP偏光成分が同じ量だけ混在する状態として表現することができることを意味する。この場合、測定信号はここでも同じように、光源の方位角位置に対して1次依存性を持たないと予測される。この場合、システムは、オブジェクトによって反射される光の量を、異なる入射角に関して反射率計と同じように測定する機能を備える。しかしながら、1回に光の一つの波長しか捉えない従来の反射率計とは異なり、干渉計システム100は全ての光源波長を1回の測定の過程で捉えることができる。これらのスペクトル成分は、信号の解析を上に説明した周波数領域で行なうことにより分離される。この反射率測定動作モードによって、上に説明した偏光解析モードと同程度の量の情報が検査表面反射率に関して提供されることはないが、反射率測定情報は検査オブジェクトの特性の変化に対する感度が非常に高い。例えば、反射率測定データを検査オブジェクトのモデルと比較して均質サンプルの所定位置での材料組成、屈折率、膜厚、及び/又は欠陥の有無を判断することができる。
検査オブジェクトが一つ以上の膜を含む場合、複数の界面によって複数の反射が生じ、これらの反射は各検出器要素で測定される干渉信号に影響する。広帯域光源の場合、瞳面内の種々の位置で測定される干渉信号は、図2及び図4(左側)の信号包絡線に示されるように、コヒーレンス長が短い。膜の厚さが十分に厚く、光が往復する時間によって測定される光学膜厚がコヒーレンス長よりも大きいような状態である場合、測定信号は分離可能な複数の信号から成り、各信号は2つの材料の間の界面に対応する。
上に説明したように、干渉計システム100は、検査表面に関する反射率情報を求める偏光解析(または、反射率測定)モードから、例えば検査表面の形状を求める形状測定モードに切り替えることができる。図3に示すように、この切り替えは、例えば中継レンズ136を、検査表面を検出器に結像させる(瞳面を検出器に結像させるのではなく)別のレンズ236に置き換えることにより行なうことができる。この構成は、表面形状測定を行なう従来の走査型干渉計に対応する。以下の記述では、表面形状測定動作の数学的表現について説明する。
中継レンズ136を取り外すのではなく、更に別の実施形態では、例えば中継レンズをそのままにしておき、かつ検出器134を、検査表面に焦点が合う位置に並進移動させることができる。この様子は図7に模式的に示され、この図は、検出器134がモータ駆動並進ステージ760に電子プロセッサ770による制御の下に接続されて、干渉計システム700の残りの部分に対する、合成光132を受信する検出器の位置を調整する様子を示している。並進ステージによってシステムは、瞳面が検出器に結像する偏光解析モードに対応する第1位置と、検査表面が検出器に結像する形状測定モードに対応する第2位置との間の切り替えを行なうことができる。
図9は、干渉計システム100の種々のコンポーネントをどのようにして電子プロセッサ970による制御の下に自動化することができるかを示す模式図を示し、電子プロセッサはここに説明する実施形態では、数学的解析を行なう解析プロセッサ972と、干渉計システム100の種々のコンポーネントを制御するデバイスコントローラ974と、ユーザインターフェース976(例えば、キーボード及びディスプレイ)と、そして校正情報、データファイル、サンプルモデル、及び/又は自動プロトコルを保存する記憶媒体978と、を含むことができる。
干渉計システム100の一つの革新的な特徴は、検査オブジェクトに関する情報を迅速かつ自動的に種々の測定モードに関して収集することができるだけでなく、一つの動作モードから求めた当該情報を使用して他の動作モードにおける測定の精度を上げることができることである。
更に別の実施形態では、図1のシステム100の光源102は、電子プロセッサによって制御される可変波長単色光源に置き換えることができる。例えば、光源は可変波長レーザダイオード、または可変波長スペクトルフィルタ(例えば、単色光分光器、スペクトルフィルタホイール、または可変波長液晶フィルタ)を組み込んで可変波長スペクトル出力を生成する広帯域光源とすることができる。更に、基準ミラー122の位置を調整して、検査表面が干渉対物レンズの焦点に位置するときの検査光と基準光との間の光路長差がゼロにならないようにする。検出器134は、光源の波長を掃引するときに合成光によって生成される干渉パターンを記録する。この場合、干渉対物レンズに対するオブジェクトの機械運動は発生しない。基準ミラーの位置を調整し、そしてその結果、干渉計の検査脚と基準脚との間の光路長差がゼロにならないので、光源周波数を掃引することによって、各検出器要素の位置で測定される干渉信号が生成される。この干渉信号は「チャネルスペクトラム(channel spectrum)」と表記される場合がある。
更に別の実施形態
図1及び3に示す実施形態ではミラウ(Mirau)型の干渉対物レンズを用い、この場合、干渉対物レンズのビームスプリッタによって基準光を、検査光の光軸に沿って戻す方向に振り向ける。他の実施形態では、干渉計システム100は図1及び3に示す干渉対物レンズではなく、マイケルソン型干渉対物レンズのような異なるタイプの干渉対物レンズを使用することができ、この場合、ビームスプリッタによって基準光を、検査光の光軸から遠ざかるように振り向ける(例えば、ビームスプリッタを入力光に対して45度だけ傾け、検査光及び基準光が互いに対して直角に伝搬するようにする)。このような場合、基準表面を検査光の光路の外側に位置させることができる。
ソフトウェア
上に説明した解析ステップはコンピュータプログラムで標準のプログラミング技術を使用して実行することができる。このようなプログラムは、複数のプログラム可能なコンピュータ、または複数の専用設計集積回路で実行されるように構成され、これらのコンピュータまたは集積回路の各々は、電子プロセッサと、データ保存システム(メモリ及び/又は記憶素子を含む)と、少なくとも一つの入力デバイスと、そしてディスプレイまたはプリンタのような少なくとも一つの出力デバイスと、を備える。プログラムコードを入力データ(例えば、検出器からの画像)に適用して本明細書に説明する機能を実行し、そして出力情報(例えば、屈折率情報、膜厚測定値(群)、表面プロファイル(群)など)を生成し、出力情報は一つ以上の出力デバイスに送信される。このようなコンピュータプログラムの各々は、高位プロシージャ言語またはオブジェクト指向プログラミング言語、或いはアセンブリ言語またはマシン言語で実行することができる。更に、言語はコンパイル言語または解釈言語とすることができる。このようなコンピュータプログラムの各々は、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体(例えば、CD ROMまたは磁気ディスケット)に格納することができ、このコンピュータプログラムをコンピュータが読み取ると、コンピュータプログラムによってコンピュータのプロセッサは本明細書に記載する解析及び制御機能を実行することができる。
Claims (11)
- 広帯域光源と、
前記広帯域光源から放出される検査電磁光線(検査EM光線)を検査表面に振り向け、かつ前記広帯域光源から放出される基準電磁光線(基準EM光線)を基準表面に振り向け、次にこれらの電磁光線を合成して光干渉パターンを形成するように構成される干渉計であって、瞳面を有する干渉対物レンズと、前記検査EM光線及び前記基準EM光線が前記光干渉パターンを形成するときに前記検査EM光線及び基準EM光線の相対光路長を調整する走査ステージとを含み、かつ前記走査ステージは前記光路長を前記広帯域光源のコヒーレンス長よりも長い距離に亘って変化させるように構成される、前記干渉計と
マルチエレメント検出器と、
前記瞳面の前記干渉パターンを前記マルチエレメント検出器に結像させて前記検出器の異なる要素が、前記検査表面を照射する前記検査EM光線の異なる照射角に対応するように構成される一つ以上の光学系と、
前記検出器に接続される電子プロセッサであって、前記電子プロセッサは、前記干渉パターンに関する情報を解析して、前記検査表面を有する検査オブジェクトに関する角度分解された情報を求めるように構成される、前記電子プロセッサと
を備え、
前記電子プロセッサは、各要素により測定された干渉信号をフーリエ変換し、該フーリエ変換された周波数領域の干渉信号を解析し、前記広帯域光源の様々なスペクトル成分の位相及び振幅情報を抽出して、或る範囲の角度及び波長に渡る検査表面の複素反射率を提供するように更に構成される、システム。 - 前記干渉計は、前記広帯域光源から放出されるEM電磁光線を前記干渉対物レンズの前記瞳面に結像させる、請求項1に記載のシステム。
- 前記干渉対物レンズはミラウ型対物レンズである、請求項1に記載のシステム。
- 前記干渉対物レンズはマイケルソン型干渉対物レンズである、請求項1に記載のシステム。
- 前記干渉計は、前記一つ以上の光学系を選択的に調整して前記検査表面を前記検出器に結像させるように構成される、請求項1〜4のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記検査EM光線は前記検査表面によって反射される、請求項1に記載のシステム。
- 前記検査EM光線は前記検査表面を透過する、請求項1に記載のシステム。
- 前記干渉計は更に一つ以上の偏光素子を含み、前記偏光素子は、前記検出器が測定する前記干渉パターンの偏光成分を調整可能に制御する位置に設けられる、請求項1〜7のいずれか1項に記載のシステム。
- 前記検査オブジェクトは、前記検査表面に隣接する少なくとも一つの層を有する、請求項1に記載のシステム。
- 前記干渉計は更に前記検出器の位置を選択的に調整して検査表面を前記検出器上に結像するように構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記システムは更に第2の検出器を備え、前記干渉計は検査表面を前記第2の検出器上に結像するように構成される、請求項1に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US64544805P | 2005-01-20 | 2005-01-20 | |
US60/645,448 | 2005-01-20 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007552232A Division JP4768754B2 (ja) | 2005-01-20 | 2006-01-19 | オブジェクト表面の特徴を求める干渉計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010101898A JP2010101898A (ja) | 2010-05-06 |
JP5107331B2 true JP5107331B2 (ja) | 2012-12-26 |
Family
ID=36218638
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007552232A Active JP4768754B2 (ja) | 2005-01-20 | 2006-01-19 | オブジェクト表面の特徴を求める干渉計 |
JP2009268962A Active JP5107331B2 (ja) | 2005-01-20 | 2009-11-26 | オブジェクト表面の特徴を求める干渉計 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007552232A Active JP4768754B2 (ja) | 2005-01-20 | 2006-01-19 | オブジェクト表面の特徴を求める干渉計 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US7428057B2 (ja) |
EP (2) | EP2108919B1 (ja) |
JP (2) | JP4768754B2 (ja) |
KR (2) | KR101006422B1 (ja) |
AT (1) | ATE441831T1 (ja) |
DE (1) | DE602006008896D1 (ja) |
TW (2) | TWI409451B (ja) |
WO (1) | WO2006078718A1 (ja) |
Families Citing this family (158)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7139081B2 (en) | 2002-09-09 | 2006-11-21 | Zygo Corporation | Interferometry method for ellipsometry, reflectometry, and scatterometry measurements, including characterization of thin film structures |
US7869057B2 (en) | 2002-09-09 | 2011-01-11 | Zygo Corporation | Multiple-angle multiple-wavelength interferometer using high-NA imaging and spectral analysis |
US7324214B2 (en) | 2003-03-06 | 2008-01-29 | Zygo Corporation | Interferometer and method for measuring characteristics of optically unresolved surface features |
US7102758B2 (en) | 2003-05-06 | 2006-09-05 | Duke University | Fourier domain low-coherence interferometry for light scattering spectroscopy apparatus and method |
EP1664932B1 (en) * | 2003-09-15 | 2015-01-28 | Zygo Corporation | Interferometric analysis of surfaces |
TWI335417B (en) | 2003-10-27 | 2011-01-01 | Zygo Corp | Method and apparatus for thin film measurement |
WO2005119169A2 (en) * | 2004-04-19 | 2005-12-15 | Arist Instruments, Inc. | Beam profile complex reflectance system and method for thin film and critical dimension measurements |
WO2005114096A2 (en) * | 2004-05-18 | 2005-12-01 | Zygo Corporation | Methods and systems for determining optical properties using low-coherence interference signals |
GB0415766D0 (en) * | 2004-07-14 | 2004-08-18 | Taylor Hobson Ltd | Apparatus for and a method of determining a characteristic of a layer or layers |
US7884947B2 (en) * | 2005-01-20 | 2011-02-08 | Zygo Corporation | Interferometry for determining characteristics of an object surface, with spatially coherent illumination |
US7428057B2 (en) * | 2005-01-20 | 2008-09-23 | Zygo Corporation | Interferometer for determining characteristics of an object surface, including processing and calibration |
DE102005022819A1 (de) * | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Nanofocus Ag | Verfahren zur Bestimmung der absoluten Dicke von nicht transparenten und transparenten Proben mittels konfokaler Messtechnik |
US20070002336A1 (en) * | 2005-06-30 | 2007-01-04 | Asml Netherlands B.V. | Metrology apparatus, lithographic apparatus, process apparatus, metrology method and device manufacturing method |
US20080296477A1 (en) * | 2005-08-31 | 2008-12-04 | U.S.A. as represented by the Administrator of the National Aeronautics and Space Adm. | Optical system for inducing focus diversity |
US8537366B2 (en) | 2005-10-11 | 2013-09-17 | Duke University | Systems and methods for endoscopic angle-resolved low coherence interferometry |
US7636168B2 (en) * | 2005-10-11 | 2009-12-22 | Zygo Corporation | Interferometry method and system including spectral decomposition |
US7595889B2 (en) * | 2005-10-11 | 2009-09-29 | Duke University | Systems and methods for endoscopic angle-resolved low coherence interferometry |
CN1971256A (zh) * | 2005-11-25 | 2007-05-30 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 透光薄膜瑕疵的检验方法 |
US8882270B2 (en) | 2006-01-20 | 2014-11-11 | Clarity Medical Systems, Inc. | Apparatus and method for operating a real time large diopter range sequential wavefront sensor |
US8356900B2 (en) * | 2006-01-20 | 2013-01-22 | Clarity Medical Systems, Inc. | Large diopter range real time sequential wavefront sensor |
CN101479563A (zh) * | 2006-04-28 | 2009-07-08 | 麦克罗尼克激光系统公司 | 用于记录图像以及表面研究的方法和装置 |
DE102006028238B3 (de) * | 2006-06-20 | 2007-07-19 | Benecke-Kaliko Ag | Verfahren zur Analyse der Reflexionseigenschaften |
CN101500472B (zh) * | 2006-07-21 | 2014-02-12 | 昂科斯科公司 | 特别是用于内窥镜应用的光纤探头的保护探头尖端 |
KR101519932B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2015-05-13 | 지고 코포레이션 | 표면 특징물의 특성을 측정하기 위한 장치 및 방법 |
US7889355B2 (en) | 2007-01-31 | 2011-02-15 | Zygo Corporation | Interferometry for lateral metrology |
US8213021B2 (en) * | 2007-06-29 | 2012-07-03 | Veeco Metrology, Inc. | Interferometric measurement of non-homogeneous multi-material surfaces |
TWI336767B (en) | 2007-07-05 | 2011-02-01 | Ind Tech Res Inst | Method for calibration of image and apparatus for acquiring image |
US7619746B2 (en) * | 2007-07-19 | 2009-11-17 | Zygo Corporation | Generating model signals for interferometry |
EP2188587A4 (en) * | 2007-09-13 | 2017-01-18 | Duke University | Apparatuses, systems, and methods for low-coherence interferometry (lci) |
US8072611B2 (en) | 2007-10-12 | 2011-12-06 | Zygo Corporation | Interferometric analysis of under-resolved features |
US7978337B2 (en) | 2007-11-13 | 2011-07-12 | Zygo Corporation | Interferometer utilizing polarization scanning |
KR100917912B1 (ko) * | 2007-11-13 | 2009-09-16 | 한국표준과학연구원 | 단일 편광자 초점 타원계측기 |
KR20090049951A (ko) * | 2007-11-14 | 2009-05-19 | 한국표준과학연구원 | 선형 초점 타원계측기 |
FR2923905B1 (fr) * | 2007-11-19 | 2014-09-05 | Centre Nat Etd Spatiales | Procede et dispositif pour l'inversion interferometrique a echantillonnage libre |
KR101254161B1 (ko) | 2007-12-14 | 2013-04-18 | 지고 코포레이션 | 주사 간섭계를 사용해서 표면 구조를 분석하는 방법 및 장치 |
US20090177094A1 (en) * | 2008-01-08 | 2009-07-09 | Oncoscope, Inc. | Systems and methods for tissue examination, diagnostic, treatment, and/or monitoring |
KR100988454B1 (ko) * | 2008-01-31 | 2010-10-18 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 두께 측정방법 |
US8248617B2 (en) * | 2008-04-22 | 2012-08-21 | Zygo Corporation | Interferometer for overlay measurements |
KR101556430B1 (ko) | 2008-06-03 | 2015-10-01 | 환 제이. 정 | 간섭 결함 검출 및 분류 |
US7864334B2 (en) * | 2008-06-03 | 2011-01-04 | Jzw Llc | Interferometric defect detection |
US7986412B2 (en) | 2008-06-03 | 2011-07-26 | Jzw Llc | Interferometric defect detection and classification |
JP5336772B2 (ja) | 2008-06-04 | 2013-11-06 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム、及び、変倍方法 |
US8618508B2 (en) * | 2008-09-25 | 2013-12-31 | Koninklijke Philips N.V. | Detection system and method |
US8004688B2 (en) | 2008-11-26 | 2011-08-23 | Zygo Corporation | Scan error correction in low coherence scanning interferometry |
US8130904B2 (en) | 2009-01-29 | 2012-03-06 | The Invention Science Fund I, Llc | Diagnostic delivery service |
US8116429B2 (en) | 2009-01-29 | 2012-02-14 | The Invention Science Fund I, Llc | Diagnostic delivery service |
US8107084B2 (en) | 2009-01-30 | 2012-01-31 | Zygo Corporation | Interference microscope with scan motion detection using fringe motion in monitor patterns |
TWI447351B (zh) * | 2009-02-24 | 2014-08-01 | Univ Nat Taipei Technology | 正交偏極式Mirau干涉術以及其分光模組與干涉系統 |
WO2010100644A1 (en) * | 2009-03-04 | 2010-09-10 | Elie Meimoun | Wavefront analysis inspection apparatus and method |
EP2454554B1 (en) * | 2009-06-19 | 2015-08-12 | Zygo Corporation | Equal-path interferometer |
US8189202B2 (en) * | 2009-08-04 | 2012-05-29 | Zygo Corporation | Interferometer for determining overlay errors |
US8559014B2 (en) * | 2009-09-25 | 2013-10-15 | Hwan J. Jeong | High-resolution, common-path interferometric imaging systems and methods |
TWI408331B (zh) * | 2009-12-17 | 2013-09-11 | Ind Tech Res Inst | 雙面光學膜片量測裝置與方法 |
DE102010015944B4 (de) * | 2010-01-14 | 2016-07-28 | Dusemund Pte. Ltd. | Dünnungsvorrichtung mit einer Nassätzeinrichtung und einer Überwachungsvorrichtung sowie Verfahren für ein in-situ Messen von Waferdicken zum Überwachen eines Dünnens von Halbleiterwafern |
US9823127B2 (en) | 2010-01-22 | 2017-11-21 | Duke University | Systems and methods for deep spectroscopic imaging of biological samples with use of an interferometer and spectrometer |
WO2011091369A1 (en) | 2010-01-22 | 2011-07-28 | Duke University | Multiple window processing schemes for spectroscopic optical coherence tomography (oct) and fourier domain low coherence interferometry |
TWI398623B (zh) * | 2010-03-11 | 2013-06-11 | Chroma Ate Inc | Measurement method of interference system |
TWI407078B (zh) * | 2010-06-08 | 2013-09-01 | Chung Shan Inst Of Science | Micro - lens array surface profile detection system and its detection method |
KR101174274B1 (ko) | 2010-09-13 | 2012-08-16 | 케이맥(주) | 간섭계와 2차원-반사광도계의 측정이 가능한 복합시편 표면특성 측정장치 |
US8854628B2 (en) | 2010-09-22 | 2014-10-07 | Zygo Corporation | Interferometric methods for metrology of surfaces, films and underresolved structures |
DE102010041556A1 (de) | 2010-09-28 | 2012-03-29 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie und Verfahren zur mikrolithographischen Abbildung |
TWI448789B (zh) * | 2010-10-07 | 2014-08-11 | Innolux Corp | 光配向製程與使用此光配向製程的液晶顯示裝置 |
US20120089365A1 (en) * | 2010-10-08 | 2012-04-12 | Zygo Corporation | Data interpolation methods for metrology of surfaces, films and underresolved structures |
JP2012122768A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | National Central Univ | 光学マルチ波長インターフェロメトリーを使用した薄膜素子測定方法 |
JP5794664B2 (ja) * | 2011-01-20 | 2015-10-14 | キヤノン株式会社 | 断層画像生成装置及び断層画像生成方法 |
US8890073B2 (en) | 2011-03-28 | 2014-11-18 | Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. | Systems and methods for detecting and/or identifying materials based on electromagnetic radiation |
JP5821029B2 (ja) * | 2011-07-22 | 2015-11-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 偏光解析装置 |
KR20130028370A (ko) * | 2011-09-09 | 2013-03-19 | 삼성전자주식회사 | 영상 모델링 시스템에서 형상 정보, 재질 정보 및 조명 정보를 획득하는 장치 및 방법 |
TW201326737A (zh) * | 2011-12-30 | 2013-07-01 | Metal Ind Res & Dev Ct | 孔洞表面形貌量測系統及方法 |
JP5965167B2 (ja) * | 2012-03-16 | 2016-08-03 | 株式会社ミツトヨ | 白色光干渉測定装置 |
US9121705B2 (en) * | 2012-04-20 | 2015-09-01 | Massachusetts Institute Of Technology | Sensor for simultaneous measurement of thickness and lateral position of a transparent object |
EP2662661A1 (de) * | 2012-05-07 | 2013-11-13 | Leica Geosystems AG | Messgerät mit einem Interferometer und einem ein dichtes Linienspektrum definierenden Absorptionsmedium |
US20130301056A1 (en) * | 2012-05-10 | 2013-11-14 | Robert E. Parks | Noncontact interferometric sensor and method of use |
US8896827B2 (en) | 2012-06-26 | 2014-11-25 | Kla-Tencor Corporation | Diode laser based broad band light sources for wafer inspection tools |
US9036157B2 (en) * | 2012-10-19 | 2015-05-19 | National Applied Research Laboratories | System of computing surface reconstruction, in-plane and out-of-plane displacements and strain distribution |
US9879977B2 (en) | 2012-11-09 | 2018-01-30 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and method for optical metrology with optimized system parameters |
JP2014095642A (ja) * | 2012-11-09 | 2014-05-22 | Mitsutoyo Corp | 干渉対物レンズ光学系及び当該干渉対物レンズ光学系を備えた光干渉測定装置 |
US11099068B2 (en) * | 2016-03-04 | 2021-08-24 | Filmetrics, Inc. | Optical instrumentation including a spatially variable filter |
US20180252518A1 (en) * | 2013-01-16 | 2018-09-06 | Scott A. Chalmers | Optical profilometer |
US20170314914A1 (en) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | Scott A. Chalmers | Optical profilometer |
US10398306B2 (en) * | 2013-03-07 | 2019-09-03 | Nanyang Technological University | Optical imaging device and method for imaging a sample |
US9909982B2 (en) * | 2013-03-08 | 2018-03-06 | Kla-Tencor Corporation | Pupil plane calibration for scatterometry overlay measurement |
WO2014138522A1 (en) * | 2013-03-08 | 2014-09-12 | Kla-Tencor Corporation | Pupil plane calibration for scatterometry overlay measurement |
DE102013005187A1 (de) * | 2013-03-20 | 2014-09-25 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zur Ermittlung von Rauheit- und/oder Topographiedaten von Oberflächen in der Materialmikroskopie |
DE102013205115A1 (de) * | 2013-03-22 | 2014-09-25 | Leica Microsystems Cms Gmbh | SPIM-Anordnung |
US9619878B2 (en) * | 2013-04-16 | 2017-04-11 | Kla-Tencor Corporation | Inspecting high-resolution photolithography masks |
JP2015031649A (ja) | 2013-08-06 | 2015-02-16 | セイコーエプソン株式会社 | 測色装置 |
US9494531B2 (en) * | 2013-08-09 | 2016-11-15 | Kla-Tencor Corporation | Multi-spot illumination for improved detection sensitivity |
US9857160B1 (en) | 2013-09-24 | 2018-01-02 | TVS Holdings, LLC | Multi-mode frequency sweeping interferometer and method of using same |
KR101479249B1 (ko) * | 2013-11-08 | 2015-01-05 | 한국표준과학연구원 | 간섭성 구조조명 이미징 방법 및 간섭성 구조조명 현미경 시스템 |
US9851433B2 (en) * | 2013-12-19 | 2017-12-26 | DSCG Solutions, Inc. | Single laser LIDAR system |
CN106030241B (zh) * | 2014-01-09 | 2019-10-01 | 齐戈股份有限公司 | 测量非球面和其它非平坦表面的形貌 |
US9335146B1 (en) | 2014-01-29 | 2016-05-10 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Dimensional measurement apparatus for a cylindrical object |
US9651356B1 (en) | 2014-01-29 | 2017-05-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Measuremental evaluation of dimensional tolerancing compliance of a cylindrical object |
CN105992934B (zh) * | 2014-02-21 | 2020-09-22 | Abb电网瑞士股份公司 | 干涉测定传感器 |
TWI479119B (zh) * | 2014-03-06 | 2015-04-01 | Nat Univ Chung Hsing | Optical measuring device and optical measuring method |
US10161885B2 (en) * | 2014-04-07 | 2018-12-25 | Nova Measuring Instruments Ltd. | Optical phase measurement method and system |
WO2015183994A1 (en) | 2014-05-28 | 2015-12-03 | Santec Corporation | Non-invasive optical measurement of blood analyte |
CN104034271B (zh) * | 2014-06-19 | 2016-08-24 | 清华大学 | 一种横向分辨率达到1nm的干涉旋转映射检测方法 |
TWI599758B (zh) | 2014-08-12 | 2017-09-21 | 賽格股份有限公司 | 校正掃描干涉術成像系統之方法、掃描干涉術成像系統、非暫態電腦可讀取媒體、以及校正具有寬頻光源之掃描干涉術成像系統之方法 |
GB2529251A (en) * | 2014-08-15 | 2016-02-17 | Taylor Hobson Ltd | Apparatus for and a method of determining a characteristic of a sample |
KR101711192B1 (ko) | 2014-08-19 | 2017-03-14 | 삼성전자 주식회사 | 전기-광학 변조기, 및 그 전기-광학 변조기를 포함한 검사 장치 |
US9976947B1 (en) | 2014-11-24 | 2018-05-22 | TVS Holdings, LLC | Position measurement device |
CN107209116B (zh) | 2014-12-23 | 2020-08-07 | 苹果公司 | 包括考虑样本内的光学路径长度的变化的光学检查系统和方法 |
US10548520B2 (en) | 2015-04-01 | 2020-02-04 | Santec Corporation | Non-invasive optical measurement of blood analyte |
US20180143147A1 (en) * | 2015-05-11 | 2018-05-24 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Optical-coherence-tomography guided additive manufacturing and laser ablation of 3d-printed parts |
US10426336B2 (en) | 2015-06-01 | 2019-10-01 | Santec Corporation | Optical coherence tomography system combining two wavelengths |
JP6815336B2 (ja) * | 2015-06-30 | 2021-01-20 | コーニング インコーポレイテッド | 静的縞パターンを使用した干渉ロールオフ測定 |
WO2017040431A1 (en) | 2015-09-01 | 2017-03-09 | Bribbla Dynamics Llc | Reference switch architectures for noncontact sensing of substances |
TWI701459B (zh) * | 2015-09-23 | 2020-08-11 | 美商克萊譚克公司 | 用於多波束掃描式電子顯微系統之聚焦調整之方法及系統 |
DE102015118483B3 (de) * | 2015-10-29 | 2017-05-04 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Interferenzobjektiv nach Mirau |
US9574992B1 (en) * | 2016-01-22 | 2017-02-21 | Kla-Tencor Corporation | Single wavelength ellipsometry with improved spot size capability |
JP6692658B2 (ja) * | 2016-02-25 | 2020-05-13 | 株式会社ミツトヨ | 内壁測定装置及びオフセット量算出方法 |
GB2550539A (en) | 2016-03-21 | 2017-11-29 | Res Center Pharmaceutical Engineering Gmbh | Monitoring dissolution of a dosage form in progress during dissolution by low coherence interferometry |
US10107615B2 (en) | 2016-04-20 | 2018-10-23 | Quality Vision International, Inc. | Remote probe for optical measuring machine |
AU2017253712B8 (en) | 2016-04-21 | 2019-11-21 | Apple Inc. | Optical system for reference switching |
US10677580B2 (en) | 2016-04-27 | 2020-06-09 | Santec Corporation | Optical coherence tomography system using polarization switching |
GB2551968A (en) | 2016-06-28 | 2018-01-10 | Oclaro Tech Ltd | Optical locker |
JP6767790B2 (ja) * | 2016-06-30 | 2020-10-14 | 株式会社ディスコ | 計測装置及び色収差光学系 |
US9993153B2 (en) | 2016-07-06 | 2018-06-12 | Santec Corporation | Optical coherence tomography system and method with multiple apertures |
JP6730125B2 (ja) * | 2016-08-01 | 2020-07-29 | 株式会社ディスコ | 計測装置 |
JP6730124B2 (ja) * | 2016-08-01 | 2020-07-29 | 株式会社ディスコ | 厚み計測装置 |
CN110836633B (zh) * | 2016-11-18 | 2022-06-14 | 齐戈股份有限公司 | 用于优化干涉仪的光学性能的方法及设备 |
US10288408B2 (en) * | 2016-12-01 | 2019-05-14 | Nanometrics Incorporated | Scanning white-light interferometry system for characterization of patterned semiconductor features |
JP6905357B2 (ja) * | 2017-03-09 | 2021-07-21 | 株式会社ディスコ | ウエーハのうねり検出方法及び研削装置 |
US10107614B1 (en) | 2017-04-18 | 2018-10-23 | Quality Vision International, Inc. | Optical pen for interferometric measuring machine |
US10422700B1 (en) * | 2017-04-24 | 2019-09-24 | Apre Instruments, Inc. | Optical alignment based on spectrally-controlled interferometry |
US10426337B2 (en) | 2017-06-01 | 2019-10-01 | Santec Corporation | Flow imaging in an optical coherence tomography (OCT) system |
US10408600B2 (en) * | 2017-06-22 | 2019-09-10 | Santec Corporation | Optical coherence tomography with a fizeau-type interferometer |
US10206567B2 (en) | 2017-07-12 | 2019-02-19 | Santec Corporation | Dual wavelength resampling system and method |
DE102017115922C5 (de) * | 2017-07-14 | 2023-03-23 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zur Messung und Einstellung eines Abstands zwischen einem Bearbeitungskopf und einem Werkstück sowie dazugehöriges Verfahren zur Regelung |
US10705105B2 (en) | 2017-07-21 | 2020-07-07 | Applied Concepts, Inc. | Absolute speed detector |
CN116893160A (zh) | 2017-09-29 | 2023-10-17 | 苹果公司 | 路径解析的光学采样架构 |
US10948284B1 (en) * | 2017-10-06 | 2021-03-16 | Filmetrics, Inc. | Optical profilometer with color outputs |
US10502546B2 (en) | 2017-11-07 | 2019-12-10 | Santec Corporation | Systems and methods for variable-range fourier domain imaging |
EP3752873A1 (en) | 2018-02-13 | 2020-12-23 | Apple Inc. | Integrated photonics device having integrated edge outcouplers |
US11213200B2 (en) | 2018-03-22 | 2022-01-04 | Santec Corporation | Topographical imaging using combined sensing inputs |
US11067671B2 (en) | 2018-04-17 | 2021-07-20 | Santec Corporation | LIDAR sensing arrangements |
US10838047B2 (en) | 2018-04-17 | 2020-11-17 | Santec Corporation | Systems and methods for LIDAR scanning of an environment over a sweep of wavelengths |
US11262191B1 (en) * | 2018-07-12 | 2022-03-01 | Onto Innovation Inc. | On-axis dynamic interferometer and optical imaging systems employing the same |
CA3103494A1 (en) * | 2018-07-16 | 2020-01-23 | Max-Planck-Gesellschaft Zur Forderung Der Wissenschaften E.V. | Interferometry with an achromatic interferometric superposition of electromagnetic fields |
DE102018211853A1 (de) | 2018-07-17 | 2020-01-23 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung der Oberflächenform eines optischen Elements |
US10295476B1 (en) * | 2018-08-14 | 2019-05-21 | Applied Materials Israel Ltd. | System and method for multiple mode inspection of a sample |
JP2020122930A (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-13 | キヤノン株式会社 | 計測装置、露光装置及び物品の製造方法 |
JP7296844B2 (ja) * | 2019-10-08 | 2023-06-23 | 株式会社ミツトヨ | 解析装置、解析方法、干渉測定システム、およびプログラム |
TWI733442B (zh) * | 2019-11-14 | 2021-07-11 | 財團法人工業技術研究院 | 光學量測系統 |
US11507020B2 (en) | 2019-11-14 | 2022-11-22 | Industrial Technology Research Institute | Optical measurement system for obtaining and analyzing surface topography of object |
JP7469867B2 (ja) * | 2019-11-26 | 2024-04-17 | 三星電子株式会社 | エリプソメータ及び半導体装置の検査装置 |
JP7277610B2 (ja) * | 2019-12-12 | 2023-05-19 | 株式会社エビデント | 試料構造測定装置及び試料構造測定方法 |
US11530952B2 (en) | 2020-01-17 | 2022-12-20 | Spectrove Inc. | MEMS device for interferometric spectroscopy |
JP7471938B2 (ja) | 2020-07-03 | 2024-04-22 | 三星電子株式会社 | エリプソメータ及び半導体装置の検査装置 |
JP7420667B2 (ja) | 2020-07-03 | 2024-01-23 | 三星電子株式会社 | エリプソメータ及び半導体装置の検査装置 |
KR20220032922A (ko) | 2020-09-08 | 2022-03-15 | 삼성전자주식회사 | 퓨필 타원 편광 계측 장치 및 방법, 및 그 방법을 이용한 반도체 소자 제조방법 |
EP4176304A1 (en) | 2020-09-09 | 2023-05-10 | Apple Inc. | Optical system for noise mitigation |
KR102305193B1 (ko) * | 2021-01-28 | 2021-09-27 | 에이치비솔루션(주) | 백색광주사간섭계를 이용한 투명막 굴절률 측정 방법 |
US11761753B2 (en) | 2021-07-30 | 2023-09-19 | Svarog LLC | Thin films and surface topography measurement using polarization resolved interferometry |
US20230236125A1 (en) * | 2022-01-21 | 2023-07-27 | Onto Innovation Inc. | Dynamic phase-shift interferometer utilizing a synchronous optical frequency-shift |
TWI827032B (zh) * | 2022-04-30 | 2023-12-21 | 合盈光電科技股份有限公司 | 光學元件相位疊合系統 |
Family Cites Families (189)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2612074A (en) | 1949-03-30 | 1952-09-30 | Prec Mecanique Paris Soc | Interferometer |
US4199219A (en) | 1977-04-22 | 1980-04-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Device for scanning an object with a light beam |
US4188122A (en) | 1978-03-27 | 1980-02-12 | Rockwell International Corporation | Interferometer |
US4340306A (en) | 1980-02-04 | 1982-07-20 | Balasubramanian N | Optical system for surface topography measurement |
US4355903A (en) | 1980-02-08 | 1982-10-26 | Rca Corporation | Thin film thickness monitor |
DE3145633A1 (de) | 1981-11-17 | 1983-08-11 | Byk-Mallinckrodt Chemische Produkte Gmbh, 4230 Wesel | Vorrichtung zur farbmessung |
US4576479A (en) | 1982-05-17 | 1986-03-18 | Downs Michael J | Apparatus and method for investigation of a surface |
US4523846A (en) | 1982-09-10 | 1985-06-18 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Integrated optics in an electrically scanned imaging Fourier transform spectrometer |
JPS60127403A (ja) | 1983-12-13 | 1985-07-08 | Anritsu Corp | 厚み測定装置 |
US4618262A (en) | 1984-04-13 | 1986-10-21 | Applied Materials, Inc. | Laser interferometer system and method for monitoring and controlling IC processing |
US4710642A (en) | 1985-08-20 | 1987-12-01 | Mcneil John R | Optical scatterometer having improved sensitivity and bandwidth |
US4639139A (en) * | 1985-09-27 | 1987-01-27 | Wyko Corporation | Optical profiler using improved phase shifting interferometry |
US4818110A (en) | 1986-05-06 | 1989-04-04 | Kla Instruments Corporation | Method and apparatus of using a two beam interference microscope for inspection of integrated circuits and the like |
US4806018A (en) | 1987-07-06 | 1989-02-21 | The Boeing Company | Angular reflectance sensor |
US4869593A (en) | 1988-04-22 | 1989-09-26 | Zygo Corporation | Interferometric surface profiler |
US4923301A (en) | 1988-05-26 | 1990-05-08 | American Telephone And Telegraph Company | Alignment of lithographic system |
US5151752A (en) * | 1988-06-16 | 1992-09-29 | Asahi Kogaku Kogyo K.K. | Method of measuring refractive indices of lens and sample liquid |
US4964726A (en) | 1988-09-27 | 1990-10-23 | General Electric Company | Apparatus and method for optical dimension measurement using interference of scattered electromagnetic energy |
US4948253A (en) | 1988-10-28 | 1990-08-14 | Zygo Corporation | Interferometric surface profiler for spherical surfaces |
GB8903725D0 (en) | 1989-02-18 | 1989-04-05 | Cambridge Consultants | Coherent tracking sensor |
US5042949A (en) | 1989-03-17 | 1991-08-27 | Greenberg Jeffrey S | Optical profiler for films and substrates |
US4999014A (en) * | 1989-05-04 | 1991-03-12 | Therma-Wave, Inc. | Method and apparatus for measuring thickness of thin films |
US5042951A (en) | 1989-09-19 | 1991-08-27 | Therma-Wave, Inc. | High resolution ellipsometric apparatus |
US5073018A (en) | 1989-10-04 | 1991-12-17 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Correlation microscope |
DE3942896A1 (de) | 1989-12-23 | 1991-06-27 | Zeiss Carl Fa | Interferometrischer sensor zur messung von abstandsaenderungen einer kleinen flaeche |
US5112129A (en) | 1990-03-02 | 1992-05-12 | Kla Instruments Corporation | Method of image enhancement for the coherence probe microscope with applications to integrated circuit metrology |
US5135307A (en) | 1990-05-30 | 1992-08-04 | Hughes Danbury Optical System, Inc. | Laser diode interferometer |
US5241369A (en) | 1990-10-01 | 1993-08-31 | Mcneil John R | Two-dimensional optical scatterometer apparatus and process |
EP0566657B1 (en) * | 1991-01-11 | 1998-08-05 | Rudolph Research Corporation | Simultaneous multiple angle/multiple wavelength ellipsometer and method |
US5129724A (en) | 1991-01-29 | 1992-07-14 | Wyko Corporation | Apparatus and method for simultaneous measurement of film thickness and surface height variation for film-substrate sample |
US5164790A (en) | 1991-02-27 | 1992-11-17 | Mcneil John R | Simple CD measurement of periodic structures on photomasks |
DE69231715D1 (de) | 1991-03-04 | 2001-04-12 | At & T Corp | Herstellungsverfahren von integrierten Halbleiterschaltungen unter Anwendung von latenten Bildern |
DE4108944A1 (de) | 1991-03-19 | 1992-09-24 | Haeusler Gerd | Verfahren und einrichtung zur beruehrungslosen erfassung der oberflaechengestalt von diffus streuenden objekten |
US5153669A (en) | 1991-03-27 | 1992-10-06 | Hughes Danbury Optical Systems, Inc. | Three wavelength optical measurement apparatus and method |
JPH04313006A (ja) * | 1991-04-10 | 1992-11-05 | Toyobo Co Ltd | 膜厚測定方法 |
US5194918A (en) | 1991-05-14 | 1993-03-16 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Method of providing images of surfaces with a correlation microscope by transforming interference signals |
US5173746A (en) | 1991-05-21 | 1992-12-22 | Wyko Corporation | Method for rapid, accurate measurement of step heights between dissimilar materials |
US5133601A (en) | 1991-06-12 | 1992-07-28 | Wyko Corporation | Rough surface profiler and method |
US5204734A (en) | 1991-06-12 | 1993-04-20 | Wyko Corporation | Rough surface profiler and method |
JPH05304627A (ja) | 1991-08-19 | 1993-11-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | ビデオカメラのサイドグリップ |
US5181080A (en) | 1991-12-23 | 1993-01-19 | Therma-Wave, Inc. | Method and apparatus for evaluating the thickness of thin films |
US5390023A (en) | 1992-06-03 | 1995-02-14 | Zygo Corporation | Interferometric method and apparatus to measure surface topography |
US5402234A (en) | 1992-08-31 | 1995-03-28 | Zygo Corporation | Method and apparatus for the rapid acquisition of data in coherence scanning interferometry |
US5539571A (en) * | 1992-09-21 | 1996-07-23 | Sdl, Inc. | Differentially pumped optical amplifer and mopa device |
US5384717A (en) | 1992-11-23 | 1995-01-24 | Ford Motor Company | Non-contact method of obtaining dimensional information about an object |
US5398113A (en) | 1993-02-08 | 1995-03-14 | Zygo Corporation | Method and apparatus for surface topography measurement by spatial-frequency analysis of interferograms |
US5777742A (en) | 1993-03-11 | 1998-07-07 | Environmental Research Institute Of Michigan | System and method for holographic imaging with discernible image of an object |
DE4309056B4 (de) | 1993-03-20 | 2006-05-24 | Häusler, Gerd, Prof. Dr. | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der Entfernung und Streuintensität von streuenden Punkten |
US5386119A (en) | 1993-03-25 | 1995-01-31 | Hughes Aircraft Company | Apparatus and method for thick wafer measurement |
JPH074922A (ja) | 1993-06-21 | 1995-01-10 | Jasco Corp | 半導体多層薄膜膜厚測定装置およびその測定方法 |
EP0767361B1 (en) | 1993-07-22 | 2000-02-23 | Applied Spectral Imaging Ltd. | Method and apparatus for spectral imaging |
US5856871A (en) | 1993-08-18 | 1999-01-05 | Applied Spectral Imaging Ltd. | Film thickness mapping using interferometric spectral imaging |
US5481811A (en) | 1993-11-22 | 1996-01-09 | The Budd Company | Universal inspection workpiece holder |
US5483064A (en) | 1994-01-21 | 1996-01-09 | Wyko Corporation | Positioning mechanism and method for providing coaxial alignment of a probe and a scanning means in scanning tunneling and scanning force microscopy |
US5459564A (en) * | 1994-02-18 | 1995-10-17 | Chivers; James T. | Apparatus and method for inspecting end faces of optical fibers and optical fiber connectors |
US5471303A (en) | 1994-04-29 | 1995-11-28 | Wyko Corporation | Combination of white-light scanning and phase-shifting interferometry for surface profile measurements |
US5633714A (en) | 1994-12-19 | 1997-05-27 | International Business Machines Corporation | Preprocessing of image amplitude and phase data for CD and OL measurement |
US5555471A (en) | 1995-05-24 | 1996-09-10 | Wyko Corporation | Method for measuring thin-film thickness and step height on the surface of thin-film/substrate test samples by phase-shifting interferometry |
US5589938A (en) | 1995-07-10 | 1996-12-31 | Zygo Corporation | Method and apparatus for optical interferometric measurements with reduced sensitivity to vibration |
US5703692A (en) | 1995-08-03 | 1997-12-30 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Lens scatterometer system employing source light beam scanning means |
US5748318A (en) | 1996-01-23 | 1998-05-05 | Brown University Research Foundation | Optical stress generator and detector |
US5602643A (en) | 1996-02-07 | 1997-02-11 | Wyko Corporation | Method and apparatus for correcting surface profiles determined by phase-shifting interferometry according to optical parameters of test surface |
US5640270A (en) | 1996-03-11 | 1997-06-17 | Wyko Corporation | Orthogonal-scanning microscope objective for vertical-scanning and phase-shifting interferometry |
GB9610471D0 (en) * | 1996-05-18 | 1996-07-24 | Univ Nottingham | Optical measurement |
US5880838A (en) * | 1996-06-05 | 1999-03-09 | California Institute Of California | System and method for optically measuring a structure |
JP3459327B2 (ja) | 1996-06-17 | 2003-10-20 | 理化学研究所 | 積層構造体の層厚および屈折率の測定方法およびその測定装置 |
US5923423A (en) | 1996-09-12 | 1999-07-13 | Sentec Corporation | Heterodyne scatterometer for detecting and analyzing wafer surface defects |
US5956141A (en) | 1996-09-13 | 1999-09-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Focus adjusting method and shape measuring device and interference microscope using said focus adjusting method |
US5757502A (en) | 1996-10-02 | 1998-05-26 | Vlsi Technology, Inc. | Method and a system for film thickness sample assisted surface profilometry |
US5774224A (en) | 1997-01-24 | 1998-06-30 | International Business Machines Corporation | Linear-scanning, oblique-viewing optical apparatus |
US5777740A (en) | 1997-02-27 | 1998-07-07 | Phase Metrics | Combined interferometer/polarimeter |
US5867276A (en) | 1997-03-07 | 1999-02-02 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Method for broad wavelength scatterometry |
US5784164A (en) | 1997-03-20 | 1998-07-21 | Zygo Corporation | Method and apparatus for automatically and simultaneously determining best focus and orientation of objects to be measured by broad-band interferometric means |
JP3275797B2 (ja) | 1997-09-10 | 2002-04-22 | 松下電器産業株式会社 | 低圧水銀蒸気放電ランプ |
US20020015146A1 (en) * | 1997-09-22 | 2002-02-07 | Meeks Steven W. | Combined high speed optical profilometer and ellipsometer |
US6392749B1 (en) | 1997-09-22 | 2002-05-21 | Candela Instruments | High speed optical profilometer for measuring surface height variation |
US6665078B1 (en) | 1997-09-22 | 2003-12-16 | Candela Instruments | System and method for simultaneously measuring thin film layer thickness, reflectivity, roughness, surface profile and magnetic pattern in thin film magnetic disks and silicon wafers |
US6031615A (en) * | 1997-09-22 | 2000-02-29 | Candela Instruments | System and method for simultaneously measuring lubricant thickness and degradation, thin film thickness and wear, and surface roughness |
US5912741A (en) | 1997-10-10 | 1999-06-15 | Northrop Grumman Corporation | Imaging scatterometer |
US5963329A (en) | 1997-10-31 | 1999-10-05 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for measuring the profile of small repeating lines |
US5900633A (en) | 1997-12-15 | 1999-05-04 | On-Line Technologies, Inc | Spectrometric method for analysis of film thickness and composition on a patterned sample |
US6124141A (en) | 1998-01-07 | 2000-09-26 | International Business Machines Corporation | Non-destructive method and device for measuring the depth of a buried interface |
US6028670A (en) | 1998-01-19 | 2000-02-22 | Zygo Corporation | Interferometric methods and systems using low coherence illumination |
US5953124A (en) | 1998-01-19 | 1999-09-14 | Zygo Corporation | Interferometric methods and systems using low coherence illumination |
US6407816B1 (en) | 1998-02-23 | 2002-06-18 | Zygo Corporation | Interferometer and method for measuring the refractive index and optical path length effects of air |
US6483580B1 (en) | 1998-03-06 | 2002-11-19 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
DE19814057B4 (de) | 1998-03-30 | 2009-01-02 | Carl Zeiss Meditec Ag | Anordnung zur optischen Kohärenztomographie und Kohärenztopographie |
US6242739B1 (en) | 1998-04-21 | 2001-06-05 | Alexander P. Cherkassky | Method and apparatus for non-destructive determination of film thickness and dopant concentration using fourier transform infrared spectrometry |
US6275297B1 (en) | 1998-08-19 | 2001-08-14 | Sc Technology | Method of measuring depths of structures on a semiconductor substrate |
USH1972H1 (en) | 1998-10-06 | 2001-07-03 | Nikon Corporation | Autofocus system using common path interferometry |
JP2000121317A (ja) | 1998-10-12 | 2000-04-28 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 光干渉計の干渉位相検出方式 |
US6159073A (en) * | 1998-11-02 | 2000-12-12 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for measuring substrate layer thickness during chemical mechanical polishing |
JP3569726B2 (ja) | 1998-12-15 | 2004-09-29 | 独立行政法人理化学研究所 | 試料の幾何学的厚さおよび屈折率測定装置およびその測定方法 |
US6184984B1 (en) | 1999-02-09 | 2001-02-06 | Kla-Tencor Corporation | System for measuring polarimetric spectrum and other properties of a sample |
KR100290086B1 (ko) | 1999-03-23 | 2001-05-15 | 윤덕용 | 백색광주사간섭법을 이용한 투명한 박막층의 3차원 두께 형상 측정 및 굴절률 측정 방법 및 그 기록매체 |
US6449066B1 (en) | 1999-04-29 | 2002-09-10 | Kaiser Optical Systems, Inc. | Polarization insensitive, high dispersion optical element |
US6888638B1 (en) | 1999-05-05 | 2005-05-03 | Zygo Corporation | Interferometry system having a dynamic beam steering assembly for measuring angle and distance |
TW477897B (en) | 1999-05-07 | 2002-03-01 | Sharp Kk | Liquid crystal display device, method and device to measure cell thickness of liquid crystal display device, and phase difference plate using the method thereof |
US6507405B1 (en) | 1999-05-17 | 2003-01-14 | Ultratech Stepper, Inc. | Fiber-optic interferometer employing low-coherence-length light for precisely measuring absolute distance and tilt |
US6249351B1 (en) | 1999-06-03 | 2001-06-19 | Zygo Corporation | Grazing incidence interferometer and method |
US6381009B1 (en) | 1999-06-29 | 2002-04-30 | Nanometrics Incorporated | Elemental concentration measuring methods and instruments |
US6160621A (en) | 1999-09-30 | 2000-12-12 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for in-situ monitoring of plasma etch and deposition processes using a pulsed broadband light source |
US6259521B1 (en) | 1999-10-05 | 2001-07-10 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for controlling photolithography parameters based on photoresist images |
JP3642996B2 (ja) | 1999-11-18 | 2005-04-27 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 光干渉法による測定対象物の屈折率と厚さの同時測定方法及びそのための装置 |
US6545761B1 (en) * | 1999-11-30 | 2003-04-08 | Veeco Instruments, Inc. | Embedded interferometer for reference-mirror calibration of interferometric microscope |
AU2001260975A1 (en) | 2000-01-25 | 2001-08-20 | Zygo Corporation | Optical systems for measuring form and geometric dimensions of precision engineered parts |
JP4673955B2 (ja) | 2000-03-24 | 2011-04-20 | オリンパス株式会社 | 光学装置 |
US6429943B1 (en) | 2000-03-29 | 2002-08-06 | Therma-Wave, Inc. | Critical dimension analysis with simultaneous multiple angle of incidence measurements |
LU90580B1 (fr) | 2000-05-08 | 2001-11-09 | Europ Economic Community | M-thode d'identification d'un objet |
US6449048B1 (en) | 2000-05-11 | 2002-09-10 | Veeco Instruments, Inc. | Lateral-scanning interferometer with tilted optical axis |
US6597460B2 (en) | 2000-05-19 | 2003-07-22 | Zygo Corporation | Height scanning interferometer for determining the absolute position and surface profile of an object with respect to a datum |
US6417109B1 (en) | 2000-07-26 | 2002-07-09 | Aiwa Co., Ltd. | Chemical-mechanical etch (CME) method for patterned etching of a substrate surface |
US6847029B2 (en) | 2000-07-27 | 2005-01-25 | Zetetic Institute | Multiple-source arrays with optical transmission enhanced by resonant cavities |
EP1303778A2 (en) | 2000-07-27 | 2003-04-23 | Zetetic Institute | Differential interferometric scanning near-field confocal microscopy |
US7317531B2 (en) | 2002-12-05 | 2008-01-08 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Apparatus and methods for detecting overlay errors using scatterometry |
JP2002093094A (ja) * | 2000-09-11 | 2002-03-29 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 磁気ヘッド浮上量測定装置 |
US6917419B2 (en) * | 2000-09-20 | 2005-07-12 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for determining flatness, a presence of defects, and a thin film characteristic of a specimen |
US6694284B1 (en) | 2000-09-20 | 2004-02-17 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for determining at least four properties of a specimen |
US6891627B1 (en) | 2000-09-20 | 2005-05-10 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for determining a critical dimension and overlay of a specimen |
US6798511B1 (en) | 2000-10-18 | 2004-09-28 | Regents Of The University Of Minnesota | Imaging ellipsometry |
ATE464534T1 (de) | 2000-11-02 | 2010-04-15 | Zygo Corp | Verfahren und vorrichtung zur höhenabtastenden interferometrie mit phasendifferenz-analyse |
US6633389B1 (en) | 2000-11-28 | 2003-10-14 | Nanometrics Incorporated | Profiling method |
US6909509B2 (en) | 2001-02-20 | 2005-06-21 | Zygo Corporation | Optical surface profiling systems |
US6721094B1 (en) | 2001-03-05 | 2004-04-13 | Sandia Corporation | Long working distance interference microscope |
US6624894B2 (en) * | 2001-06-25 | 2003-09-23 | Veeco Instruments Inc. | Scanning interferometry with reference signal |
US7382447B2 (en) * | 2001-06-26 | 2008-06-03 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Method for determining lithographic focus and exposure |
US6867866B1 (en) | 2001-08-10 | 2005-03-15 | Therma-Wave, Inc. | CD metrology analysis using green's function |
US6741357B2 (en) | 2001-08-14 | 2004-05-25 | Seagate Technology Llc | Quadrature phase shift interferometer with unwrapping of phase |
EP1430270A4 (en) * | 2001-09-21 | 2006-10-25 | Kmac | METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THE THICK PROFILE AND THE DISTRIBUTION OF THIN FILM MULTI-LAYER REFRACTIVE INDICES BY TWO-DIMENSIONAL REFLECTOMETRY |
US6714307B2 (en) | 2001-10-16 | 2004-03-30 | Zygo Corporation | Measurement of complex surface shapes using a spherical wavefront |
KR100437024B1 (ko) | 2001-10-18 | 2004-06-23 | 엘지전자 주식회사 | 박막 검사 방법 및 그 장치 |
US6630982B2 (en) * | 2001-10-18 | 2003-10-07 | Motorola, Inc. | Color and intensity tunable liquid crystal device |
KR100354613B1 (ko) * | 2001-11-06 | 2002-10-11 | 박헌휘 | 교체 가능한 침지형 중공사막 모듈 |
US7030995B2 (en) * | 2001-12-10 | 2006-04-18 | Zygo Corporation | Apparatus and method for mechanical phase shifting interferometry |
US6856384B1 (en) | 2001-12-13 | 2005-02-15 | Nanometrics Incorporated | Optical metrology system with combined interferometer and ellipsometer |
US6934035B2 (en) * | 2001-12-18 | 2005-08-23 | Massachusetts Institute Of Technology | System and method for measuring optical distance |
KR100434445B1 (ko) * | 2001-12-28 | 2004-06-04 | (주) 인텍플러스 | 3차원 형상/표면조도 측정장치 |
CN1320334C (zh) | 2002-03-14 | 2007-06-06 | 泰勒·霍布森有限公司 | 表面成型设备和获得数据方法,数据处理设备及其相关器 |
GB2385417B (en) | 2002-03-14 | 2004-01-21 | Taylor Hobson Ltd | Surface profiling apparatus |
US7068376B2 (en) * | 2002-04-19 | 2006-06-27 | Zygo Corporation | Interferometry method and apparatus for producing lateral metrology images |
AU2003241356A1 (en) | 2002-05-02 | 2003-11-17 | Zygo Corporation | Phase gap analysis for scanning interferometry |
DE10392828T5 (de) * | 2002-06-17 | 2005-07-21 | Zygo Corp., Middlefield | Interferometrieverfahren und -systeme mit gekoppelter Hohlraumgeometrie zur Verwendung mit einer erweiterten Quelle |
WO2003106921A1 (en) * | 2002-06-17 | 2003-12-24 | Zygo Corporation | Interferometric optical system and methods providing simultaneously scanned optical path length and focus |
WO2004003463A2 (en) * | 2002-07-01 | 2004-01-08 | Lightgage, Inc. | Interferometer system of compact configuration |
JP2004069651A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Omron Corp | 膜厚測定装置 |
JP4313006B2 (ja) | 2002-08-30 | 2009-08-12 | コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 | 画像形成方法 |
WO2004023071A1 (en) * | 2002-09-09 | 2004-03-18 | Zygo Corporation | Interferometry method for ellipsometry, reflectometry, and scatterometry measurements, including characterization of thin film structures |
US7139081B2 (en) * | 2002-09-09 | 2006-11-21 | Zygo Corporation | Interferometry method for ellipsometry, reflectometry, and scatterometry measurements, including characterization of thin film structures |
US7869057B2 (en) * | 2002-09-09 | 2011-01-11 | Zygo Corporation | Multiple-angle multiple-wavelength interferometer using high-NA imaging and spectral analysis |
US6925860B1 (en) | 2003-02-21 | 2005-08-09 | Nanometrics Incorporated | Leveling a measured height profile |
US7106454B2 (en) * | 2003-03-06 | 2006-09-12 | Zygo Corporation | Profiling complex surface structures using scanning interferometry |
US7271918B2 (en) * | 2003-03-06 | 2007-09-18 | Zygo Corporation | Profiling complex surface structures using scanning interferometry |
US7324214B2 (en) | 2003-03-06 | 2008-01-29 | Zygo Corporation | Interferometer and method for measuring characteristics of optically unresolved surface features |
WO2004079294A2 (en) * | 2003-03-06 | 2004-09-16 | Zygo Corporation | Characterizing and profiling complex surface structures using scanning interferometry |
US6985232B2 (en) * | 2003-03-13 | 2006-01-10 | Tokyo Electron Limited | Scatterometry by phase sensitive reflectometer |
US7049156B2 (en) * | 2003-03-19 | 2006-05-23 | Verity Instruments, Inc. | System and method for in-situ monitor and control of film thickness and trench depth |
US6999180B1 (en) * | 2003-04-02 | 2006-02-14 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Optical film topography and thickness measurement |
DE10327019A1 (de) | 2003-06-12 | 2004-12-30 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Verfahren zur Bestimmung der Abbildungsgüte eines optischen Abbildungssystems |
US7102761B2 (en) | 2003-06-13 | 2006-09-05 | Zygo Corporation | Scanning interferometry |
US6956716B2 (en) | 2003-07-30 | 2005-10-18 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Magnetic head having multilayer heater for thermally assisted write head and method of fabrication thereof |
FI20031143A0 (fi) | 2003-08-08 | 2003-08-08 | Wallac Oy | Optinen fokusointimenetelmä ja -järjestely |
US7061623B2 (en) * | 2003-08-25 | 2006-06-13 | Spectel Research Corporation | Interferometric back focal plane scatterometry with Koehler illumination |
EP1664932B1 (en) * | 2003-09-15 | 2015-01-28 | Zygo Corporation | Interferometric analysis of surfaces |
TWI335417B (en) * | 2003-10-27 | 2011-01-01 | Zygo Corp | Method and apparatus for thin film measurement |
WO2005067579A2 (en) * | 2004-01-06 | 2005-07-28 | Zygo Corporation | Multi-axis interferometers and methods and systems using multi-axis interferometers |
US20050179911A1 (en) * | 2004-02-17 | 2005-08-18 | Digital Optics Corporation | Aspheric diffractive reference for interferometric lens metrology |
US7492469B2 (en) | 2004-03-15 | 2009-02-17 | Zygo Corporation | Interferometry systems and methods using spatial carrier fringes |
WO2005119169A2 (en) * | 2004-04-19 | 2005-12-15 | Arist Instruments, Inc. | Beam profile complex reflectance system and method for thin film and critical dimension measurements |
US7277183B2 (en) * | 2004-04-22 | 2007-10-02 | Zygo Corporation | Vibration resistant interferometry |
US7177030B2 (en) * | 2004-04-22 | 2007-02-13 | Technion Research And Development Foundation Ltd. | Determination of thin film topography |
WO2005114096A2 (en) | 2004-05-18 | 2005-12-01 | Zygo Corporation | Methods and systems for determining optical properties using low-coherence interference signals |
US7119909B2 (en) | 2004-06-16 | 2006-10-10 | Veeco Instruments, Inc. | Film thickness and boundary characterization by interferometric profilometry |
US20060012582A1 (en) * | 2004-07-15 | 2006-01-19 | De Lega Xavier C | Transparent film measurements |
US20060066842A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-03-30 | Saunders Winston A | Wafer inspection with a customized reflective optical channel component |
US7884947B2 (en) * | 2005-01-20 | 2011-02-08 | Zygo Corporation | Interferometry for determining characteristics of an object surface, with spatially coherent illumination |
US7428057B2 (en) * | 2005-01-20 | 2008-09-23 | Zygo Corporation | Interferometer for determining characteristics of an object surface, including processing and calibration |
JP2006214856A (ja) | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Canon Inc | 測定装置及び方法 |
EP1883781B1 (en) | 2005-05-19 | 2019-08-07 | Zygo Corporation | Analyzing low-coherence interferometry signals for thin film structures |
US7595891B2 (en) * | 2005-07-09 | 2009-09-29 | Kla-Tencor Corporation | Measurement of the top surface of an object with/without transparent thin films in white light interferometry |
US7636168B2 (en) * | 2005-10-11 | 2009-12-22 | Zygo Corporation | Interferometry method and system including spectral decomposition |
EP1946412A2 (en) | 2005-10-11 | 2008-07-23 | Clear Align LLC | Apparatus and method for generating short optical pulses |
US7408649B2 (en) * | 2005-10-26 | 2008-08-05 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Method and apparatus for optically analyzing a surface |
US20070127036A1 (en) * | 2005-12-07 | 2007-06-07 | Chroma Ate Inc. | Interference measurement system self-alignment method |
US7612891B2 (en) * | 2005-12-15 | 2009-11-03 | Veeco Instruments, Inc. | Measurement of thin films using fourier amplitude |
WO2007101026A2 (en) * | 2006-02-24 | 2007-09-07 | The General Hospital Corporation | Methods and systems for performing angle-resolved fourier-domain optical coherence tomography |
US7522288B2 (en) * | 2006-07-21 | 2009-04-21 | Zygo Corporation | Compensation of systematic effects in low coherence interferometry |
KR101519932B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2015-05-13 | 지고 코포레이션 | 표면 특징물의 특성을 측정하기 위한 장치 및 방법 |
US7619746B2 (en) * | 2007-07-19 | 2009-11-17 | Zygo Corporation | Generating model signals for interferometry |
US7978337B2 (en) * | 2007-11-13 | 2011-07-12 | Zygo Corporation | Interferometer utilizing polarization scanning |
-
2006
- 2006-01-19 US US11/334,949 patent/US7428057B2/en active Active
- 2006-01-19 EP EP09164936.8A patent/EP2108919B1/en active Active
- 2006-01-19 JP JP2007552232A patent/JP4768754B2/ja active Active
- 2006-01-19 US US11/335,871 patent/US7616323B2/en active Active
- 2006-01-19 TW TW095102023A patent/TWI409451B/zh active
- 2006-01-19 TW TW101144263A patent/TWI428582B/zh active
- 2006-01-19 WO PCT/US2006/001740 patent/WO2006078718A1/en active Application Filing
- 2006-01-19 KR KR1020077019011A patent/KR101006422B1/ko active IP Right Grant
- 2006-01-19 EP EP06718763A patent/EP1853874B1/en active Active
- 2006-01-19 KR KR1020097009642A patent/KR101006423B1/ko active IP Right Grant
- 2006-01-19 DE DE602006008896T patent/DE602006008896D1/de active Active
- 2006-01-19 US US11/335,873 patent/US7446882B2/en active Active
- 2006-01-19 AT AT06718763T patent/ATE441831T1/de not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-10-15 US US12/579,626 patent/US7952724B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-11-26 JP JP2009268962A patent/JP5107331B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006078718A1 (en) | 2006-07-27 |
US20060158657A1 (en) | 2006-07-20 |
KR20070104615A (ko) | 2007-10-26 |
JP4768754B2 (ja) | 2011-09-07 |
US20060158658A1 (en) | 2006-07-20 |
TWI409451B (zh) | 2013-09-21 |
EP2108919A3 (en) | 2010-05-05 |
US20060158659A1 (en) | 2006-07-20 |
JP2008528972A (ja) | 2008-07-31 |
US7446882B2 (en) | 2008-11-04 |
US7616323B2 (en) | 2009-11-10 |
JP2010101898A (ja) | 2010-05-06 |
EP2108919B1 (en) | 2015-03-11 |
KR101006422B1 (ko) | 2011-01-06 |
TW201312094A (zh) | 2013-03-16 |
KR101006423B1 (ko) | 2011-01-06 |
TW200632306A (en) | 2006-09-16 |
ATE441831T1 (de) | 2009-09-15 |
US20100134786A1 (en) | 2010-06-03 |
TWI428582B (zh) | 2014-03-01 |
US7952724B2 (en) | 2011-05-31 |
US7428057B2 (en) | 2008-09-23 |
EP1853874B1 (en) | 2009-09-02 |
EP2108919A2 (en) | 2009-10-14 |
KR20090073221A (ko) | 2009-07-02 |
EP1853874A1 (en) | 2007-11-14 |
DE602006008896D1 (de) | 2009-10-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5107331B2 (ja) | オブジェクト表面の特徴を求める干渉計 | |
US7884947B2 (en) | Interferometry for determining characteristics of an object surface, with spatially coherent illumination | |
TWI439661B (zh) | 用於在干涉儀產生規格信號之方法及系統 | |
US7924435B2 (en) | Apparatus and method for measuring characteristics of surface features | |
US8248617B2 (en) | Interferometer for overlay measurements | |
JP5352506B2 (ja) | 薄膜構造の特性評価を含む、偏光解析、反射光測定および散乱光測定のための干渉計法 | |
US8854628B2 (en) | Interferometric methods for metrology of surfaces, films and underresolved structures | |
US20120089365A1 (en) | Data interpolation methods for metrology of surfaces, films and underresolved structures | |
WO2008151266A2 (en) | Interferometry for determining characteristics of an object surface, with spatially coherent illumination |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110705 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111005 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111011 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111130 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120517 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120628 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120925 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121003 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5107331 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151012 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |