JP7296844B2 - 解析装置、解析方法、干渉測定システム、およびプログラム - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る干渉測定システム1000の構成例を測定対象物10と共に示す。干渉測定システム1000は、フィゾー型の干渉計を構成しており、測定対象物10の表面の形状を測定する。測定対象物10は、例えば、Si、GaAs、GaN等を含む半導体ウェハ、高精度ミラー、金属等の固体である。干渉測定システム1000は、干渉測定装置100と解析装置200とを備える。干渉測定装置100は、光源部110と、光学系120と、参照対象物130と、撮像部140と、制御部150とを有する。
図2は、本実施形態に係る解析装置200の構成例を示す。解析装置200は、一例として、サーバ等のコンピュータである。解析装置200は、参照面132および測定対象物10の表面に複数の異なる波長の光を照射して反射された参照光および測定光の干渉画像を生成する波長走査型の干渉測定装置100の干渉画像を解析する。なお、解析装置200は、干渉測定装置100の制御部150の少なくとも一部の動作を実行してもよい。解析装置200は、取得部210と、記憶部220と、除去部230と、変換部240と、算出部250と、出力部260とを備える。
図3は、本実施形態に係る解析装置200の動作フローの一例を示す。解析装置200は、図3のS310からS380の動作を実行することにより、複数の干渉画像から光源部110の光の波長走査に基づく誤差を補正した測定対象物10の表面形状を算出して出力する。
110 光源部
120 光学系
122 拡大レンズ
124 コリメートレンズ
126 ビームスプリッタ
128 結像レンズ
130 参照対象物
132 参照面
140 撮像部
150 制御部
200 解析装置
210 取得部
220 記憶部
230 除去部
240 変換部
250 算出部
252 瞬時位相算出部
254 位相勾配算出部
256 距離算出部
260 出力部
1000 干渉測定システム
Claims (6)
- 参照面および測定対象物の表面に複数の異なる波長の光を照射して反射された参照光および測定光の干渉画像を生成する波長走査型の干渉測定装置の前記干渉画像を解析する解析装置であって、
前記干渉測定装置から複数の異なる波長の光に基づく複数の前記干渉画像を取得する取得部と、
複数の前記干渉画像における画素毎の干渉信号に含まれる非干渉成分を除去して干渉成分を出力する除去部と、
前記干渉成分をヒルベルト変換して解析信号を生成する変換部と、
前記干渉成分および前記解析信号に基づき、前記参照面と前記測定対象物の表面に照射した光の波長の位相勾配を特定して、前記参照面と前記測定対象物の表面との間の距離を算出する算出部と
を備える、解析装置。 - 前記算出部は、
前記干渉成分および前記解析信号に基づき、前記干渉成分の瞬時位相を算出する瞬時位相算出部と、
前記瞬時位相に基づき、前記干渉信号の位相勾配を算出する位相勾配算出部と、
前記位相勾配に基づき、前記参照面と前記測定対象物の表面との間の距離を画素毎に算出する距離算出部と
を有する、請求項1に記載の解析装置。 - 前記位相勾配算出部は、前記干渉測定装置の波長分散特性を校正してから、前記干渉信号の前記位相勾配を算出する、請求項2に記載の解析装置。
- 参照面および測定対象物の表面に複数の異なる波長の光を照射して反射された参照光および測定光の干渉画像を生成する波長走査型の干渉測定装置の前記干渉画像を解析する解析方法であって、
前記干渉測定装置から複数の異なる波長の光に基づく複数の前記干渉画像を取得するステップと、
複数の前記干渉画像における画素毎の干渉信号に含まれる非干渉成分を除去して干渉成分を出力するステップと、
前記干渉成分をヒルベルト変換して解析信号を生成するステップと、
前記干渉成分および前記解析信号に基づき、前記参照面と前記測定対象物の表面との間の距離を算出するステップと
を備える、解析方法。 - 波長走査型の干渉測定装置と、
前記干渉測定装置が撮像した複数の前記干渉画像を解析する、請求項1から3のいずれか一項に記載の前記解析装置と
を備え、
前記干渉測定装置は、
前記測定対象物の表面に複数の異なる波長の光を照射する光源部と、
前記異なる波長の光の光軸上に設けられている前記参照面と、
前記参照面で反射された参照光と、前記測定対象物の表面で反射された測定光との前記干渉画像を撮像する撮像部と
を有する、
干渉測定システム。 - コンピュータにより実行されると、前記コンピュータを請求項1から3のいずれか一項に記載の前記解析装置として機能させる、プログラム。
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