KR100434445B1 - 3차원 형상/표면조도 측정장치 - Google Patents
3차원 형상/표면조도 측정장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (1)
- 제1 렌즈(212), 제2 렌즈(213), 제3 렌즈(214)를 통과한 광원(211)의 백색광을 전반사 미러(215)를 통해 광분할기(216)로 인가되게 되고, 상기 광분할기(216)로 인가된 백색광은 대물렌즈(217)와 기준면(218) 및 광분할기(219)를 통해 측정물(P)로 조사되어 간섭을 일으키게 하며, 이 간섭무늬는 결상렌즈(220)를 통해 CCD카메라(221)로 촬상하여 3차원 형상을 측정할 수 있도록 구성됨에 있어서,상기 광분할기(216)와 결상렌즈(220) 사이에 특정 파장대만 반사시키는 제1 반사필터(1)가 경사 설치되고, 상기 대물렌즈(217)의 상부측에는 대물렌즈(217)와 동일 광축을 이루면서 연동되는 특정 파장대의 제2 반사필터(2)가 수평 설치되며, 상기 제1 반사필터(1) 및 제2 반사필터(2)의 광축과 직각을 이루는 광축 상의 제1 반사필터(1) 측방에 레이저 간섭계(3)가 구비되어 상기 레이저 간섭계(3)의 발광 및 제1 반사필터(1) 및 제2 반사필터(2)를 통한 수광에 의해 대물렌즈(217)의 이동량을 감지할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한 3차원 형상/표면조도 측정장치.
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