JPS6173003A - レ−ザ測長器 - Google Patents
レ−ザ測長器Info
- Publication number
- JPS6173003A JPS6173003A JP19550284A JP19550284A JPS6173003A JP S6173003 A JPS6173003 A JP S6173003A JP 19550284 A JP19550284 A JP 19550284A JP 19550284 A JP19550284 A JP 19550284A JP S6173003 A JPS6173003 A JP S6173003A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- beam splitter
- interference fringes
- laser light
- directions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02056—Passive reduction of errors
- G01B9/02061—Reduction or prevention of effects of tilts or misalignment
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/15—Cat eye, i.e. reflection always parallel to incoming beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ）、産業上の利用分計
本発明は光の干渉縞をカウントすることにより移動する
被測定物の速度、移動量、振れ量等を測定するレーザ測
長器に関する。
被測定物の速度、移動量、振れ量等を測定するレーザ測
長器に関する。
（ｂ）、従来の技術
従来、この種のレーザ測長器としては、互いに直角方向
に振動する、周波数の１かに異なる２つのレーザ光のビ
ート周波数を基準波として用い、移動する被測定物に反
射して生じるドツプラー７７トを検出測定して、被測定
物の速度、移動量等を測定する方法が知られていた。
に振動する、周波数の１かに異なる２つのレーザ光のビ
ート周波数を基準波として用い、移動する被測定物に反
射して生じるドツプラー７７トを検出測定して、被測定
物の速度、移動量等を測定する方法が知られていた。
（Ｃ）０発明が解決しようとする問題点、 しかし、こ
の方法では基準波としてビート周波数を用いることから
、被測定物の移動速度が速くなり、ドツプラーシフトに
よる周波数の変動がビート周波数以上になると、被測定
物の測定が不可能になる不都合があった。
の方法では基準波としてビート周波数を用いることから
、被測定物の移動速度が速くなり、ドツプラーシフトに
よる周波数の変動がビート周波数以上になると、被測定
物の測定が不可能になる不都合があった。
また、こうした方法を用いると、可動する被測定物側と
、固定側に、２つのレーザビームを傷向ビームスプリッ
タでそれぞれ分割する必要が有るが、偏向ビームスプリ
ッタはその製作が難がしく、従って極めて高価であり、
レーザ測長器の製作コストを高める不都合が有轟っな。
、固定側に、２つのレーザビームを傷向ビームスプリッ
タでそれぞれ分割する必要が有るが、偏向ビームスプリ
ッタはその製作が難がしく、従って極めて高価であり、
レーザ測長器の製作コストを高める不都合が有轟っな。
本発明は、前述の欠点を解消すへく、高速で被測定物が
移動しても、測定が可能で、しかも偏向ビームスプリッ
タを使用しない安価な構造のレーザ測長器を提供するこ
とを目的とするものである。
移動しても、測定が可能で、しかも偏向ビームスプリッ
タを使用しない安価な構造のレーザ測長器を提供するこ
とを目的とするものである。
（ｄ）０問題点を解決するための手段
即ち、本発明は、レーザ光を射出し得るレーザ発振器を
有し、前記レーザ発振器から射出されろレーザ光を２方
向に分光するビームスブリνりを設け、前記ビームスプ
リシタにより２方向に分光されたレーザ光を再度ビーム
スプリッタ側に反射させる反射鏡を設け、更に前記反射
鏡のうち、少な（とも一方をリトロレフレクタとして、
移動する被測定物上に搭載し、更に前記ビームスプリッ
タにより分光された２つのレーザ光がビームスプリッタ
内で再結合する際に、レーザ光の光軸が所定角度だけズ
レろようにレーザ光を制御する光軸の制御手段を設け、
前記ビームスプリッタ内で再結合したレーザ光の干渉縞
を検出する干渉縞の検出手段及び、該検出手段が検出し
た干渉縞の明暗の変化をカウントするカウンタを設けて
構成されろ。
有し、前記レーザ発振器から射出されろレーザ光を２方
向に分光するビームスブリνりを設け、前記ビームスプ
リシタにより２方向に分光されたレーザ光を再度ビーム
スプリッタ側に反射させる反射鏡を設け、更に前記反射
鏡のうち、少な（とも一方をリトロレフレクタとして、
移動する被測定物上に搭載し、更に前記ビームスプリッ
タにより分光された２つのレーザ光がビームスプリッタ
内で再結合する際に、レーザ光の光軸が所定角度だけズ
レろようにレーザ光を制御する光軸の制御手段を設け、
前記ビームスプリッタ内で再結合したレーザ光の干渉縞
を検出する干渉縞の検出手段及び、該検出手段が検出し
た干渉縞の明暗の変化をカウントするカウンタを設けて
構成されろ。
（ｅ）６作用
上記した構成により、本発明は、ビームスプリッタによ
り２方向に分光されたレーザ光は、再度ビームスプリッ
タ内で結合する際に、その先軸のズレにより干渉作用を
起こし、前記光軸のずれに対応した干渉縞を生成し、更
に分光されたレーザ光の光路長が被測定物の移動により
相対的に変動すると、生成される干渉縞の明暗が変化す
る。
り２方向に分光されたレーザ光は、再度ビームスプリッ
タ内で結合する際に、その先軸のズレにより干渉作用を
起こし、前記光軸のずれに対応した干渉縞を生成し、更
に分光されたレーザ光の光路長が被測定物の移動により
相対的に変動すると、生成される干渉縞の明暗が変化す
る。
そこで、干渉縞の検出手段及びカウンタにより干渉縞の
明暗の変化を検出カウントし、被測定物の移動量を計測
するように作用する。
明暗の変化を検出カウントし、被測定物の移動量を計測
するように作用する。
（ｆ）、実施例
以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。
第１図は本発明によろレーザ測長器の一実施例を旋盤に
用いた一例を示す図、第２図はフォトディテクタアレイ
上に形成されろ干渉縞を示す図、第３図は本発明の別の
実施例を示す図、第４図は本発明の更に別の実施例を示
す図、第５図は本発明を移動物体の振れの測定用として
用いた例を示す図である。
用いた一例を示す図、第２図はフォトディテクタアレイ
上に形成されろ干渉縞を示す図、第３図は本発明の別の
実施例を示す図、第４図は本発明の更に別の実施例を示
す図、第５図は本発明を移動物体の振れの測定用として
用いた例を示す図である。
旋ｉｆは、第１図に示すように、ベット２を有してお吟
、ベット２上には被測定物である刃物台３が矢印Ａ、Ｂ
方向に（Ｕ動駆動自在に設けられている。刃物台３には
、後述のプリズムミラ７等と共に本発明によろレーザ測
長器１１を構成するビームスプリッタ１２が設けられて
おり、ビームスブリνり１２の図中上方にはりトロレフ
レククであるコーナーキューブ１３が設けられている。
、ベット２上には被測定物である刃物台３が矢印Ａ、Ｂ
方向に（Ｕ動駆動自在に設けられている。刃物台３には
、後述のプリズムミラ７等と共に本発明によろレーザ測
長器１１を構成するビームスプリッタ１２が設けられて
おり、ビームスブリνり１２の図中上方にはりトロレフ
レククであるコーナーキューブ１３が設けられている。
また、刃物台３の図中右方には、機体６にチャック５が
回転駆動自在に設けられており、チャック５にはプリズ
ムミラ７が装着されている。プリズムミラ７の反ＱＪ面
７ａの角度αは９０°よりも僅かに小さく （または大
きく）形成されており、従って入射光９に対する反射光
１０の光軸の角度は、反射光１０が入射光９に対して、
入射光９に平行な状態よりも図中上下方向に僅かな角度
θだけずれる形となる。
回転駆動自在に設けられており、チャック５にはプリズ
ムミラ７が装着されている。プリズムミラ７の反ＱＪ面
７ａの角度αは９０°よりも僅かに小さく （または大
きく）形成されており、従って入射光９に対する反射光
１０の光軸の角度は、反射光１０が入射光９に対して、
入射光９に平行な状態よりも図中上下方向に僅かな角度
θだけずれる形となる。
一方、ベット２の図中左方には、レーザ受発光部１５が
設けられており、レーザ受発光部１５にはレーザ発振器
１６がレーザ光１８を発振射出自在に設けられている。
設けられており、レーザ受発光部１５にはレーザ発振器
１６がレーザ光１８を発振射出自在に設けられている。
また、レーザ受発光部１５には受光部１４を構成する対
物レンズ１７、ンリンドリカルレンズ１９及びフォトデ
ィテクタアレイ２０が直列に設けられており、フォトデ
ィテクタアレイ２０には増幅器２１を介してカウンタ２
２及び測定制御部２５が接続されている。
物レンズ１７、ンリンドリカルレンズ１９及びフォトデ
ィテクタアレイ２０が直列に設けられており、フォトデ
ィテクタアレイ２０には増幅器２１を介してカウンタ２
２及び測定制御部２５が接続されている。
旋盤１は以上のような構成を有するので、刃物台３が矢
印Ａ、Ｂ方向に、移動する場合において、その移動量を
測定する場合には、まず、レーザ発振器１６を駆動して
レーザ光１８を刃物台３のビームスプリッタ１２に向け
て射出ずろ。ビームスブリνり１２はレーザ発振器１６
からのレーザ光１８を、コーナーキューブ１３側に９０
°の反射角度で反射させろものと、そのままプリズムミ
ラ７側に透過させるものとに分割する。コーナーキュー
ブ１３側に反射されたレーザ光１８Ａは、コーナーキュ
ーブ１３で再度ビームスプリッタ１２側に反射され、更
にプリズムミラ７側に透過されたレーザ光１８８はプリ
ズムミラ７で再度コーナーキューブ１３側に反射される
。こうして、コーナーキューブ１３及びプリズムミラ７
により反射されたレーザ光１８は、再度ビームスプリッ
タ１２に入射して再結合する。この際、プリズムミラ７
から反射されたレーザ光１８８は、プリズムミラ７の反
射面７ａの角度αにより、その光軸が、再結合したレー
ザ光１８Ａの光軸に対して、既に述へたようにθｔ！け
傾いているので、両レーザ光１８Ａ１１８ は干渉して
干渉縞を生ずる。
印Ａ、Ｂ方向に、移動する場合において、その移動量を
測定する場合には、まず、レーザ発振器１６を駆動して
レーザ光１８を刃物台３のビームスプリッタ１２に向け
て射出ずろ。ビームスブリνり１２はレーザ発振器１６
からのレーザ光１８を、コーナーキューブ１３側に９０
°の反射角度で反射させろものと、そのままプリズムミ
ラ７側に透過させるものとに分割する。コーナーキュー
ブ１３側に反射されたレーザ光１８Ａは、コーナーキュ
ーブ１３で再度ビームスプリッタ１２側に反射され、更
にプリズムミラ７側に透過されたレーザ光１８８はプリ
ズムミラ７で再度コーナーキューブ１３側に反射される
。こうして、コーナーキューブ１３及びプリズムミラ７
により反射されたレーザ光１８は、再度ビームスプリッ
タ１２に入射して再結合する。この際、プリズムミラ７
から反射されたレーザ光１８８は、プリズムミラ７の反
射面７ａの角度αにより、その光軸が、再結合したレー
ザ光１８Ａの光軸に対して、既に述へたようにθｔ！け
傾いているので、両レーザ光１８Ａ１１８ は干渉して
干渉縞を生ずる。
こうしてビームスプリッタ１２で再結合して干渉作用を
起こしたレーザ光１８は、レーザ受発光部１５の対物し
・ンズ１７及びンリンドリカルレンズ１９によりそのビ
ームが測定に便利なように整形されてフォトディテクク
アレイ２０に入射シ、フォトディテクタアレイ２０上に
、第２図に示すように、干渉に４２３を形成する。この
時、刃物台３が矢印Ａ、Ｂ方向に移動して、固定側のプ
リズムミラ７に対して移動すると、ビームスプリッタ１
２とプリズムミラ７との間の距離、従って光路長Ｌ１が
変動し、光路長の変動が生じないレーザ光１８Ａに対し
てレーザ光１８．に位相差が生じる。
起こしたレーザ光１８は、レーザ受発光部１５の対物し
・ンズ１７及びンリンドリカルレンズ１９によりそのビ
ームが測定に便利なように整形されてフォトディテクク
アレイ２０に入射シ、フォトディテクタアレイ２０上に
、第２図に示すように、干渉に４２３を形成する。この
時、刃物台３が矢印Ａ、Ｂ方向に移動して、固定側のプ
リズムミラ７に対して移動すると、ビームスプリッタ１
２とプリズムミラ７との間の距離、従って光路長Ｌ１が
変動し、光路長の変動が生じないレーザ光１８Ａに対し
てレーザ光１８．に位相差が生じる。
すると、フォトディテクタアレイ２０上に形成される干
渉に４２３の明暗が、光路長Ｌ１がレーザ光１８の波長
λの棒に相当する距離だけ変化する毎に変化し、全体的
には刃物台３の移動方向に応じて、干渉縞２３が第２図
右又は左の方向に流れる形で移動する。そこで、フォト
ディテクタアレイ２０上の特定の点り、Ｅ、Ｆで、干渉
縞２３の流れる方向と、干渉縞２３の変化サイクル数を
カウントすると、刃物台３の移動方向及び移動量が求め
られろ。具体的には、測定制御部２５が、干渉縞２３の
フォトディテクタアレイ２０上での移動方向、即ち刃物
台３の移動方向を判定し、カウンタ２２が干渉縞２３の
変化サイクルをカウントする。なお、干渉縞２３の幅Ｗ
は、二つのレーザ光１８Ａ、１８．がビームスプリッタ
１２において再結合する時の光軸のズレ角θにより決定
される。
渉に４２３の明暗が、光路長Ｌ１がレーザ光１８の波長
λの棒に相当する距離だけ変化する毎に変化し、全体的
には刃物台３の移動方向に応じて、干渉縞２３が第２図
右又は左の方向に流れる形で移動する。そこで、フォト
ディテクタアレイ２０上の特定の点り、Ｅ、Ｆで、干渉
縞２３の流れる方向と、干渉縞２３の変化サイクル数を
カウントすると、刃物台３の移動方向及び移動量が求め
られろ。具体的には、測定制御部２５が、干渉縞２３の
フォトディテクタアレイ２０上での移動方向、即ち刃物
台３の移動方向を判定し、カウンタ２２が干渉縞２３の
変化サイクルをカウントする。なお、干渉縞２３の幅Ｗ
は、二つのレーザ光１８Ａ、１８．がビームスプリッタ
１２において再結合する時の光軸のズレ角θにより決定
される。
また、上述の実施例は、移動する刃物台３上にビームス
プリッタ１２を搭載した場合について説明したが、ビー
ムスプリッタ１２は移動側に限らず、第３図に示すよう
に、チャック５等の固定側に搭載してもよいことは勿論
である。なお、移動側には、ビームスプリッタ１２から
のレーザ光１８Ｂを入射光に対して同一方向に確実にビ
ームスゴリνり１２に戻すために、コーナーキューブ１
３等のりトロレフレククを用いる必要が有る。
プリッタ１２を搭載した場合について説明したが、ビー
ムスプリッタ１２は移動側に限らず、第３図に示すよう
に、チャック５等の固定側に搭載してもよいことは勿論
である。なお、移動側には、ビームスプリッタ１２から
のレーザ光１８Ｂを入射光に対して同一方向に確実にビ
ームスゴリνり１２に戻すために、コーナーキューブ１
３等のりトロレフレククを用いる必要が有る。
更に、第４図に示すように、レーザ発振器１６からのレ
ーザ光１８を、２個のビームスプリッタ２６及びプリズ
ムミラ２８等により、Ｘ、Ｙ。
ーザ光１８を、２個のビームスプリッタ２６及びプリズ
ムミラ２８等により、Ｘ、Ｙ。
Ｚ軸等の直行ｒろ３方向に分光し、各分光されたし・−
ザ光１８について、ビームスプリッタ１２Ａ１１２８．
１２．、コーナーキューブ１３Ａ、１３８．１３゜、７
°す【ムミラ７Ａ、７．．７ｏ及び対物レンズ１７、フ
ォトディテクタアレイ２０上受光部１４Ａ１１４゜、１
４ｏを設け、矢印方向に空間中を移動する被測定物３０
の３次元的な位置を測定するように構成することも可能
である。
ザ光１８について、ビームスプリッタ１２Ａ１１２８．
１２．、コーナーキューブ１３Ａ、１３８．１３゜、７
°す【ムミラ７Ａ、７．．７ｏ及び対物レンズ１７、フ
ォトディテクタアレイ２０上受光部１４Ａ１１４゜、１
４ｏを設け、矢印方向に空間中を移動する被測定物３０
の３次元的な位置を測定するように構成することも可能
である。
また、第５図に示すように、移動する被測定物３０に２
個のコーナーキューブ１３を設け、固定側にビームスプ
リッタ１２及びプリズムミラ２７を設けて、被測定物３
０が矢印Ｇ、Ｈ方向に移動する際に、被測定物３０が矢
印■、ｊ方向に振れると、その相対的な光路長Ｌ１、Ｌ
２が変動するのを利用して、被測定物３０が移動する際
のピッチングやヨーイング更には、被測定物３０が移動
する面の平面度等の測定も可能である。なお、この際の
、レーザ光１８Ａ、１８．における光軸のズレ角θは、
プリズムミラ２７の反射角を適宜に設定することにより
得ることが出来る。
個のコーナーキューブ１３を設け、固定側にビームスプ
リッタ１２及びプリズムミラ２７を設けて、被測定物３
０が矢印Ｇ、Ｈ方向に移動する際に、被測定物３０が矢
印■、ｊ方向に振れると、その相対的な光路長Ｌ１、Ｌ
２が変動するのを利用して、被測定物３０が移動する際
のピッチングやヨーイング更には、被測定物３０が移動
する面の平面度等の測定も可能である。なお、この際の
、レーザ光１８Ａ、１８．における光軸のズレ角θは、
プリズムミラ２７の反射角を適宜に設定することにより
得ることが出来る。
（ｇ）０発明の効果
以上、説明したように、本発明によれば、レーザ光１８
を射出し得るレーザ発振器１６を有し、前記レーザ発振
器１６から射出されろレーザ光１８を２方向に分光する
ビームスプリッタ１２を設け、前記ビームスプリッタ１
２により２方向に分光されたレーザ光１８Ａ、１８８を
再度ビームスプリッタ１２側に反射させるプリズムミラ
７、コーナーキューブ１３等の反射鏡を設け、更に前記
反射鏡のうち、少なくとも一方をコーナーキューブ１３
等のりトロレフレククとして、移動するＭｌ測定物３０
上に搭載し、更に前記ビームスプリッタ１２により分光
された２つのレーザ光１８Ａ、１８、がビームスブリν
り１２内で再結合する際に、レーザ光１８Ａ、１８８の
光軸が所定角度θだけズレるようにレーザ光１８を制御
するプリズムミラ７．２７等の光軸の制御手段を設け、
前記ビームスプリッタ１２内で再結合したレーザ光１８
の干渉縞２３を検出する対物レンズ１７、シリンドリヵ
ルレノズ１９、フォトディテクタアレイ２０等の干渉縞
２３の検出手段及び、該検出手段が検出した干渉縞２３
の明暗の変化をカウントするカウンタ２２を設けたので
、レーザ光１８の干渉作用を利用して、干＄ｋｈ２３の
明暗の変化をカウントすることにより、被測定物３０の
移動量、振れ等の測定が可能となり、従来のビート周波
数を用いて測定する方法に比して、トンプラーソフトに
よる周波数の変化がビート周波数を越えることによる測
定限界とは無関係に、極めて高速で移動する被測定物３
０に対しても測定が可能となり、汎用性の高いレーザ測
長器１１の提供が可能となる。更に、単−波長のレーザ
光１８を用いるので、従来の互いに直角方向に振動する
僅かに周波数の異なるレーザ光を用いる方法に比して、
製作が困難で高価な偏向ビームスプリッタを用いる必要
が無く、安画で高性能のレーザ測長器１１の製作が可能
となる。
を射出し得るレーザ発振器１６を有し、前記レーザ発振
器１６から射出されろレーザ光１８を２方向に分光する
ビームスプリッタ１２を設け、前記ビームスプリッタ１
２により２方向に分光されたレーザ光１８Ａ、１８８を
再度ビームスプリッタ１２側に反射させるプリズムミラ
７、コーナーキューブ１３等の反射鏡を設け、更に前記
反射鏡のうち、少なくとも一方をコーナーキューブ１３
等のりトロレフレククとして、移動するＭｌ測定物３０
上に搭載し、更に前記ビームスプリッタ１２により分光
された２つのレーザ光１８Ａ、１８、がビームスブリν
り１２内で再結合する際に、レーザ光１８Ａ、１８８の
光軸が所定角度θだけズレるようにレーザ光１８を制御
するプリズムミラ７．２７等の光軸の制御手段を設け、
前記ビームスプリッタ１２内で再結合したレーザ光１８
の干渉縞２３を検出する対物レンズ１７、シリンドリヵ
ルレノズ１９、フォトディテクタアレイ２０等の干渉縞
２３の検出手段及び、該検出手段が検出した干渉縞２３
の明暗の変化をカウントするカウンタ２２を設けたので
、レーザ光１８の干渉作用を利用して、干＄ｋｈ２３の
明暗の変化をカウントすることにより、被測定物３０の
移動量、振れ等の測定が可能となり、従来のビート周波
数を用いて測定する方法に比して、トンプラーソフトに
よる周波数の変化がビート周波数を越えることによる測
定限界とは無関係に、極めて高速で移動する被測定物３
０に対しても測定が可能となり、汎用性の高いレーザ測
長器１１の提供が可能となる。更に、単−波長のレーザ
光１８を用いるので、従来の互いに直角方向に振動する
僅かに周波数の異なるレーザ光を用いる方法に比して、
製作が困難で高価な偏向ビームスプリッタを用いる必要
が無く、安画で高性能のレーザ測長器１１の製作が可能
となる。
第１図は本発明によるレーザ測長器の一実施例を旋盤に
用いた一例を示す図、第２図はフォトディテクタアレイ
上に形成される干渉縞を示す図、第３図は本発明の別の
実施例を示す図、第４図は本発明の更に別の実施例を示
す図、第５図は本発明を移動物体の振れの測定用として
用いた例を示す図である。 ３ 被測定物（刃物台） ７ ・反射鏡、光軸の制御手段 （プリズムミラ） １１ レーザ測長器 １２ ビームスプリッタ １３ ・リトロレフレクタ （コーナーキューブ） １６・−レーザ発振器 １７ ・ 干渉縞の検出手段（対物レンズ）１８ ・レ
ーザ光 １９ 干渉縞の検出手段 （ノリレドリカルレンズ） ２０ 干渉縞の検出手段 （フォトディテクタアレイ） ２２ カウンタ ２３・−干渉縞 ２７ 光軸の制御手段（プリズムミラ）３０ ・被
測定物
用いた一例を示す図、第２図はフォトディテクタアレイ
上に形成される干渉縞を示す図、第３図は本発明の別の
実施例を示す図、第４図は本発明の更に別の実施例を示
す図、第５図は本発明を移動物体の振れの測定用として
用いた例を示す図である。 ３ 被測定物（刃物台） ７ ・反射鏡、光軸の制御手段 （プリズムミラ） １１ レーザ測長器 １２ ビームスプリッタ １３ ・リトロレフレクタ （コーナーキューブ） １６・−レーザ発振器 １７ ・ 干渉縞の検出手段（対物レンズ）１８ ・レ
ーザ光 １９ 干渉縞の検出手段 （ノリレドリカルレンズ） ２０ 干渉縞の検出手段 （フォトディテクタアレイ） ２２ カウンタ ２３・−干渉縞 ２７ 光軸の制御手段（プリズムミラ）３０ ・被
測定物
Claims (1)
- レーザ光を射出し得るレーザ発振器を有し、前記レーザ
発振器から射出されるレーザ光を２方向に分光するビー
ムスプリッタを設け、前記ビームスプリッタにより２方
向に分光されたレーザ光を再度ビームスプリッタ側に反
射させる反射鏡を設け、更に前記反射鏡のうち、少なく
とも一方をリトロレフレクタとして、移動する被測定物
上に搭載し、更に前記ビームスプリッタにより分光され
た２つのレーザ光がビームスプリッタ内で再結合する際
に、レーザ光の光軸が所定角度だけズレるようにレーザ
光を制御する光軸の制御手段を設け、前記ビームスプリ
ッタ内で再結合したレーザ光の干渉縞を検出する干渉縞
の検出手段及び、該検出手段が検出した干渉縞の明暗の
変化をカウントするカウンタを設けて構成したレーザ測
長器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19550284A JPS6173003A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | レ−ザ測長器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19550284A JPS6173003A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | レ−ザ測長器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6173003A true JPS6173003A (ja) | 1986-04-15 |
Family
ID=16342147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19550284A Pending JPS6173003A (ja) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | レ−ザ測長器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6173003A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04109039U (ja) * | 1991-03-01 | 1992-09-21 | 株式会社リングストン | 包装用袋 |
| JP2015230259A (ja) * | 2014-06-05 | 2015-12-21 | 日本電信電話株式会社 | 距離計測装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54115262A (en) * | 1978-02-28 | 1979-09-07 | Nec Corp | Precision length measuring apparatus |
| JPS5786007A (en) * | 1980-09-22 | 1982-05-28 | Philips Nv | Interference gauge |
-
1984
- 1984-09-18 JP JP19550284A patent/JPS6173003A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54115262A (en) * | 1978-02-28 | 1979-09-07 | Nec Corp | Precision length measuring apparatus |
| JPS5786007A (en) * | 1980-09-22 | 1982-05-28 | Philips Nv | Interference gauge |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04109039U (ja) * | 1991-03-01 | 1992-09-21 | 株式会社リングストン | 包装用袋 |
| JP2015230259A (ja) * | 2014-06-05 | 2015-12-21 | 日本電信電話株式会社 | 距離計測装置 |
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