KR100593783B1 - 진동에 둔감한 간섭계 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진동에 둔감한 간섭계에 관한 것으로, 측정물체의 진동이 기준파면과 측정파면에 공통적으로 존재함으로써 움직이는 물체의 형상을 안정적으로 측정할 수 있으며, 기준면으로 인해 생성되는 오차를 없애기 위해 단일모드 광섬유에서 조사되는 구면파를 직접 기준파면으로 사용함으로써 시스템 오차를 최소화 할 수 있다. 따라서, 본 발명의 장치는 정밀한 측정을 위한 공간위상천이 장치가 구비되며, 실시간으로 측정대상 물체의 임의 형상을 측정할 수 있다.
간섭계, 광섬유, 공간위상천이,

Description

진동에 둔감한 간섭계{Vibration insensitive Interferometer}
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 진동에 둔감한 간섭계를 보여주는 도면,
도 2는 도 1의 간섭계에 사용된 공간위상천이장치의 구조와 위상천이 원리를 도시한 도면,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진동에 둔감한 간섭계를 보여주는 도면,
도 4a는 도 3의 유리 평판의 앞, 뒷면에서 반사되는 형태를 도시한 도면,
도 4b는 코너큐브의 스캐닝을 통해 측정광과 기준광을 간섭시키는 원리를 도시한 도면,
도 5는 도 1의 간섭계의 광경로상에 나타나는 광의 편광상태를 보여주는 도면
본 발명은 진동에 둔감한 간섭계에 관한 것으로, 시스템 오차를 최소화 할 수 있는 단일모드 광섬유를 이용한 점회절 간섭계에 관한 것이다.
일반적으로 광학부품이나 웨이퍼, 유리제품 등의 제조시 제작된 광학부품의 형상을 측정하기 위하여 간섭의 원리에 기초한 피조 간섭계, 점회절 간섭계 등이 사용되고 있는데, 렌즈나 거울 등의 광학부품을 가공하는 방법이 기존의 단순 연마과정을 넘어서 이제는 다양한 곡률의 구면 또는 비구면의 자유곡면을 가공할 수 있는 자동화가 널리 보급되어 있는 추세이다. 하지만 가공기술은 자동화되어 있는 반면에 이를 위한 측정 장비는 자동화되어 있지 못하기 때문에 가공기와 측정기가 되먹임에 의한 제어관계에 있지 못하고 서로 독립적이다. 그리고 반도체 웨이퍼나 LCD, PDP 등의 디스플레이 분야에서도 점점 그 크기가 커지면서 대영역을 한번에 측정할 수 있는 측정기가 필요함에도 불구하고 적절한 대응을 할 수 없는 것이 현실이다. 이러한 문제들의 가장 큰 원인으로 측정기로 사용되는 광 간섭계가 환경, 특히 진동에 상당히 취약하다는 점을 들 수 있는데, 이로 인해 측정결과를 제대로 얻어낼 수가 없고, 결과적으로 진동이 심한 광학부품의 생산 공정에는 적용을 할 수가 없었다.
이러한 문제를 해결하기 위해서 다양한 방법으로 진동의 영향을 덜 받는 간섭계에 대한 연구가 있었다.
그 중 하나는 진동에 의한 간섭무늬의 흔들림을 직접 센서로 측정하고 이를 기준 반사면의 구동에 되먹임으로써 간섭무늬를 안정화시키는 방법이다(T. Yoshino et al., Opt. Lett., 23, p.1576 참조). 하지만 이 방법은 센서와 구동기의 대역폭에 따라서 제어가 가능한 진동 주파수가 제한을 받기 때문에 그 이상의 고주파 진 동에 의해 간섭무늬가 평균화되는 것은 막을 수가 없다.
또 다른 방법으로 공간위상천이 방식은 실시간으로 간섭무늬의 해석이 가능하기 때문에 진동의 영향을 덜 받는다고 알려져 있다(R. A. Smythe et al., Opt. Eng., 23, p.361 참조). 하지만 이 방식도 측정 시 사용되는 카메라의 대역폭에 따라 제어가 가능한 진동 주파수가 제한을 받게 되고, 반복측정 시 서로 다른 진동영향으로 연속된 측정결과 간 반복능이 상당히 떨어지기 때문에 신뢰할 수 있는 측정치를 얻을 수 없는 단점이 있다.
또 다른 방법으로 공통경로(common path)방식의 간섭계는 진동성분이 기준파면과 측정파면에 동일하게 존재하기 때문에 간섭무늬가 근본적으로 안정화 될 수 있다.
또한, 회절격자와 핀홀을 이용한 간섭계는 공통경로임과 동시에 3개의 공간 위상천이된 간섭무늬를 동시에 얻을 수 있기 때문에 전술한 모든 간섭계들의 장점을 살리고 단점을 극복할 수 있는 해결책이 될 수 있다(Osuk Y. Kwon et al., Opt. Lett., 12, p.855 참조). 하지만 실제적인 구현에 많은 어려움이 따르고, 핀홀에서 생성되는 기준파면으로 왜곡된 측정파면의 일부를 사용하기 때문에 정확한 측정결과를 얻기가 어렵다.
따라서, 본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결할 수 있도록 공통경로, 공간위상천이, 그리고 완벽한 기준파면 생성의 조건들을 만족하도록 시스템의 오차를 최소화하는 진동에 둔감한 간섭계를 제공함에 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진동에 둔감한 간섭계는 광섬유로부터의 기준광과 측정물체로부터의 측정광을 통해 간섭신호를 획득하기 위한 점회절 간섭계에 있어서, 측정물체로부터 반사되어 온 기준광을 편광시켜 구면파를 형성하여 출사하는 광섬유와, 광섬유를 통과한 기준광과 상기 측정물체로부터의 측정광이 동일경로로 만나되 두개의 광이 서로 직교하여 출사하는 편광분할기와, 편광분할기로부터의 두개의 광을 공간위상천이시키기 위한 공간위상천이기, 및 공간위상천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 획득하기 위한 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 측정물체로부터의 측정광이 상기 편광분할기 쪽으로 향하도록 하는 광경로 변경수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 광경로변경수단은 코너큐브인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 공간위상천이기는 입사되는 광을 반사 및 투과시키기위한 광분할기와, 상기 반사된 광을 위상천이하기 위한 1/4파장판과, 상기 투과된 광을 그대로 통과하기 위한 평판과, 상기 1/4파장판을 통과한 광을 반사 및 투과하고 상기 평판을 통과한 광을 반사 및 투과하기 위한 편광분할기와, 상기 편광분할기에서 투과된 광들을 반사하기 위한 미러를 포함하며, 편광분할기에서 반사된 2개의 광과 상기 미러에서 반사된 2개의 광을 출사하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 진동에 둔감한 간섭계는 광섬유으로부터의 기준광과 측정물체로부터의 측정광을 통해 간섭신호를 획득하기 위해 측정물체로부터의 기준광과 측정광이 동일경로로 만나되 두개의 광이 서로 직교하여 출사하는 편광분할기를 포함하는 점회절 간섭계에 있어서, 편광분할기로부터의 광을 반사 및 투과시키기 위한 광분할기와, 상기 반사된 광을 위상천이하기 위한 1/4파장판과, 상기 투과된 광을 그대로 통과하기 위한 평판과, 상기 1/4파장판을 통과한 광을 반사 및 투과하고 상기 평판을 통과한 광을 반사 및 투과하기 위한 편광분할기와, 상기 편광분할기에서 투과된 광들을 반사하기 위한 미러를 포함하는 공간위상천이장치; 및 편광분할기에서 반사된 2개의 광과 상기 미러에서 반사된 2개의 광으로부터 4개의 간섭신호를 획득하는 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 진동에 둔감한 간섭계는 광섬유로부터의 기준광과 측정물체로부터의 측정광을 통해 간섭신호를 획득하기 위한 점회절 간섭계에 있어서, 광원수단과 측정물체 사이에 위치하며, 측정물체에 조사되는 조사면을 넓게하고 평면파를 입사시키기 위한 시준렌즈와, 측정물체로부터 반사되어 온 기준광을 편광시켜 구면파를 형성하여 출사하는 광섬유와, 광섬유를 통과한 기준광과 상기 측정물체로부터의 측정광이 동일경로로 만나되 두개의 광이 서로 직교하여 출사하는 편광분할기와, 편광분할기로부터의 두개의 광을 공간위상천이시키기 위한 공간위상천이기, 및 공간위상천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 검출하기 위한 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따르면, 측정물체로부터의 측정광이 상기 편광분할기 쪽으로 향하도록 하는 광경로 변경수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따르면, 광경로변경수단은 코너큐브인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따르면, 공간위상천이기는 입사되는 광을 반사 및 투과시키기위한 광분할기와, 상기 반사된 광을 위상천이하기 위한 1/4파장판과, 상기 투과된 광을 그대로 통과하기 위한 평판과, 상기 1/4파장판을 통과한 광을 반사 및 투과하고 상기 평판을 통과한 광을 반사 및 투과하기 위한 편광분할기와, 상기 편광분할기에서 투과된 광들을 반사하기 위한 미러를 포함하며, 편광분할기에서 반사된 2개의 광과 상기 미러에서 반사된 2개의 광을 출사하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따르면, 측정광은 상기 측정물체의 앞면반사광과 뒷면반사광으로부터의 측정물체의 표면형상정보를 포함하며, 코너큐브를 이용한 광경로 일치 과정을 통해 광경로차로부터 두께정보 또는 굴절률을 획득하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부한 도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 기술하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 진동에 둔감한 간섭계를 보여주는 도면이고, 도 5는 도 1의 간섭계의 광경로상에 나타나는 광의 편광상태를 보여준다.
도 1을 참조하면, 광원수단(101)으로부터 출사된 광은 광차단기(102)를 지나 렌즈(103)에 의해 공간필터(104)에 수렴된다. 여기서, 광차단기(102)는 광원수단(101)로부터 출사된 광이 반대방향으로 반사되어 되돌아가는 것을 막기 위한 것이 다. 공간필터(104)를 통과한 광은 시준렌즈(105)에 의해 평행광이 된다. 여기까지의 광은 임의의 각도로 입사된 입사광(501)으로 도 5a에 도시한다. 이러한 평행광이 1/2파장판(106)을 지나면 도 5b의 출사광(502)형태로 출사되어 편광분할기(107)를 거치고 편광분할기(107)를 투과한 광은 1/4파장판(108)을 거쳐 광분할기(109)에서 90%반사되어 측정물체(111)로 전파해간다. 여기서 1/2파장판(106)은 선형 편광되어 전파하는 광의 편광 방향을 회전시키는 것으로 회전된 편광방향이 편광분할기(107)의 투과 편광 방향과 이루는 각도에 따라서 투과되는 전체 광량이 변한다. 편광분할기(107)에서 투과된 광은 1/4파장판(108)을 거쳐 광분할기(109)에서 반사된다. 광분할기(109)는 90%의 반사도를 갖는 것으로 한다. 또한, 1/4파장판(108)은 편광분할기(109)에서 광이 반사되도록 하며, 이후 측정물체(111)에서 반사되어 돌아오는 광의 편광모드를 바꾸는 역할을 한다. 광분할기(109)에서 반사된 광은 렌즈(110)를 통해 측정물체(111)에서 반사된다. 측정물체(111)로부터 반사된 광은 광분할기(109)에서 반사 및 투과되어 두개의 광경로로 진행한다.
우선, 광분할기(109)에서 반사된 광(이하 기준광)은 1/4파장판(108)을 지나면서 도 5c에 도시된 것처럼 S편광인 출사광(504)를 출사하고 편광분할기(107)에서 반사되어 광섬유(114)로 입사된다. 광섬유(114)를 통과한 광은 완벽에 가까운 구면파가 된다. 그리고, 도 5d에 도시된 것처럼 광섬유(114)를 통과한 광은 P편광인 출사광(505)가 된다. 광섬유(114)에 의해 광의 손실이 크기 때문에 90%의 반사도를 갖는 광분할기(109)를 사용하며, 광섬유(114)내의 편광방향의 회전을 조절하여 광섬유(114)를 통과한 광이 편광분할기(114)를 통해 최대한 많이 투과하도록 한다.
한편, 광분할기(109)에서 투과된 광(이하 측정광)은 1/4파장판(112)을 통과하면 도 5d에 도시된 것처럼 S편광인 출사광(506)이 된다. 그리고 코너큐브(113)에 의해 광경로가 변경되어 편광분할기(115)로 입사된다.
편광분할기(115)에서는 광섬유(114)를 통과한 기준광과 측정물체(111)에서 반사되어 코너큐브(113)를 통과한 측정광이 만나게 된다. 도 5d에 도시된 것처럼 이때의 기준광(505)과 측정광(506)은 편광상태가 서로 수직이 된다. 이러한 기준광(506)과 측정광(505)은 편광분할기(115)를 투과하면 두개의 광이 결합되어 출사된다. 이는 도 5e에 도시된 바와 같다. 기준광은 편광분할기(115)에 의해 투과되어 1/2파장판(116)에서 편광상태가 45도 돌아가게 되고 측정광은 편광분할기(115)에 의해 반사되어 1/2파장판(116)에서 편광상태가 45도 돌아간다. 이는 도 5f에 도시된 바와 같다. 따라서, 두개의 광은 공간위상천이장치(117)로 입사하여 그 내부의 편광분할기를 투과하거나 반사되어 존재하게 된다. 이러한 두개의 광간의 간섭무늬는 공간위상천이장치(117)를 통해 90도씩 위상천이된 4개의 간섭무늬로 나타난다. 즉, 생성된 4개의 간섭신호(119, 120, 121, 122)는 하나의 광검출기(118)의 표면상에서 동시에 검출된다. 이렇게 하여 검출된 간섭신호는 간섭무늬 알고리즘을 통해 측정 대상물의 형상정보로 나타난다.
여기서 간섭계로부터 얻은 간섭무늬를 통해 측정물의 정보를 얻는 과정을 간략히 설명한다.
전술한 것처럼 광섬유로부터 공기 중으로 진행하는 기준광은 측정 대상물로부터 반사된 측정광과 합쳐져 간섭무늬를 생성한다. 간섭무늬는 측정 대상물의 형 상정보를 포함하고 있기는 하지만 상기 간섭무늬 하나만을 가지고는 측정대상물의 정확한 형상정보를 얻기 어렵다. 연산을 통해 정확한 측정대상물의 형상정보를 얻기 위해서는 측정광 혹은 기준광의 위상을 변화시켜 여러 개의 간섭무늬를 획득해야 한다. 상기 획득한 여러 개의 간섭무늬를 사용하여 측정대상물의 형상정보를 얻는 해석 알고리즘은 이미 많은 연구를 통해 발표되었다. 이미 발표된 많은 알고리즘은 사용 환경과 측정물의 특성에 따라 장단점을 가지고 있기 때문에 사용자는 필요에 따라 측정에 유리한 알고리즘을 선택한다. 사용자는 알고리즘을 선택한 후 상기 알고리즘이 요구하는 개수만큼 간섭무늬를 획득한다. 상기 알고리즘 처리과정은 이미 여러 문헌에 소개되어 있으므로 상세한 설명은 생략한다.
도 2는 도 1의 간섭계에 사용된 공간위상천이장치의 구조와 위상천이 원리를 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 광경로를 따라 광분할기(201)와 1/4파장판(203)과 두께를 맞춰주기 위한 평판(202), 편광분할기(204), 및 미러(205)로 구성되어 입사되는 광으로부터 위상천이되어 4개의 간섭무늬를 얻을 수 있다.
즉 입사되는 광은 광분할기(201)에서 반사 및 투과된다. 광분할기(201)에서 반사된 광은 1/4파장판(203)에서 90도 위상천이되어 편광분할기(204)로 입사한다. 편광분할기(204)로 입사된 광은 반사 및 투과되는데 반사된 광은 출사광(207)으로 출사되고, 투과된 광은 미러(205)를 통해 반사되어 출사광(208)으로 출사된다. 이때 편광분할기(204)를 통과한 출사광(208)은 180도의 위상천이되어 간섭하게 된다.
한편, 광분할기(201)에서 투과된 광은 평판(202)을 그대로 투과하여 편광분 할기(204)로 입사한다. 편광분할기(204)로 입사된 광은 반사 및 투과되는데 반사된 광은 출사광(206)으로 출사되고, 투과된 광은 미러(205)를 통해 반사되어 출사광(209)으로 출사된다. 마찬가지로 편광분할기(204)를 통과한 출사광(209)은 180도의 위상천이되어 간섭하게 된다.
따라서, 결과적으로 네 개의 출사광(206, 207, 208, 209)은 90도씩 위상천이된 4개의 간섭무늬를 얻을 수 있다.
이렇게 획득된 4개의 간섭무늬는 아래의 수학식 1과 같다.
Figure 112004037275170-pat00001
그리고 아래의 수학식 2를 통해서 측정물체의 위상정보만을 추출할 수 있다.
Figure 112004037275170-pat00002
최종적으로 수학식 2의 위상정보는 수학식 3을 통해 측정물체의 형상정보로 나타나게 된다.
Figure 112004037275170-pat00003
이렇게 하여, 위상천이장치를 통과한 광으로부터 4개의 간섭무늬를 하나의 광검출기에서 검출할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진동에 둔감한 간섭계를 보여주는 도면이다.
도 3은 유리평판(312)의 표면형상 및 두께를 측정하기 위한 것으로 전체적인 구성은 도 1의 간섭계와 동일하다. 이러한 유리평판(312)의 앞면 또는 뒷면의 표면형상은 도 4a에 도시된 것처럼 유리평판(401)의 앞면과 뒷면에서 각각 반사되어 오는 앞면반사광(402)과 뒷면반사광(403)들에 의해 구할 수 있다. 구체적으로 도 4b를 통해 살펴보면, 광섬유로부터 앞면반사광(404)과 뒷면반사광(405)을 획득할 수 있고, 다른 쪽 경로로부터 측정광으로 사용되는 앞면반사광(406)과 뒷면반사광(407)을 획득할 수 있다. 유리 평판의 앞면의 형상을 측정하고자 할 때는 도 4b에 도시한 바와 같이 코너큐브의 스캐닝을 통해 앞면에서 반사된 측정광(406)과 뒷면에서 반사된 기준광(405)의 광경로를 일치시켜주게 되고, 뒷면의 형상을 측정하고자 할 때는 뒷면에서 반사된 측정광(407)과 앞면에서 반사된 기준광(404)의 광경로를 일치시켜주게 된다. 즉, 가간섭 거리가 짧은 광원을 사용하게 되면 다중간섭에 의한 잡음을 효과적으로 막을 수 있기 때문에 앞서 언급한 유리 평판의 앞면과 뒷면에서 반사되어 나오는 광들 사이의 간섭을 제거할 수 있다. 결과적으로 코너큐브 (314)의 스캐닝을 통해 유리평판의 앞면과 뒷면에 각각 광경로를 일치시켜 독립적으로 각 면의 형상정보를 추출할 수 있다. 또한, 코너큐브(314)의 이동 거리로부터 유리평판의 두께 정보를 알아냄으로써 측정물체의 3차원형상 정보 획득이 가능하다.
본 발명은 단일모드 광섬유를 이용하여 공통경로(common path)방식의 간섭계를 통해 간섭무늬를 안정화시킬 수 있다. 또한, 공간위상천이 방식을 사용함으로써 간섭무늬의 실시간 해석을 통해 진동에 따른 영향을 줄일 수 있다. 또한, 단일모드 광섬유를 통한 완벽한 기준파면의 생성으로부터 보다 정확한 측정 결과를 얻는 것이 가능하므로 간섭계로의 활용도가 매우 크다고 할 수 있다.

Claims (10)

  1. 측정물체로부터의 기준광과 측정광을 통해 간섭신호를 획득하기 위한 점회절 간섭계에 있어서,
    상기 측정물체로부터 반사되어 온 기준광을 편광시켜 구면파를 형성하여 출사하는 광섬유;
    상기 광섬유를 통과한 기준광과 상기 측정물체로부터의 측정광이 동일경로로 만나되 두개의 광이 서로 직교하여 출사하는 편광분할기;
    상기 편광분할기로부터의 두개의 광을 공간위상천이시키기 위한 공간위상천이기; 및
    상기 공간위상천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 획득하기 위한 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 측정물체로부터의 측정광이 상기 편광분할기 쪽으로 향하도록 하는 광경로 변경수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 광경로변경수단은 코너큐브인 것을 특징으로 하는 간섭계
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 공간위상천이기는
    입사되는 광을 반사 및 투과시키기위한 광분할기와, 상기 반사된 광을 위상천이하기 위한 1/4파장판과, 상기 투과된 광을 그대로 통과하기 위한 평판과, 상기 1/4파장판을 통과한 광을 반사 및 투과하고 상기 평판을 통과한 광을 반사 및 투과하기 위한 편광분할기와, 상기 편광분할기에서 투과된 광들을 반사하기 위한 미러를 포함하며,
    상기 편광분할기에서 반사된 2개의 광과 상기 미러에서 반사된 2개의 광을 출사하는 것을 특징으로 하는 간섭계.
  5. 측정물체로부터의 기준광과 측정과을 통해 간섭신호를 획득하기 위해 측정물체로부터의 기준광과 측정광이 동일경로로 만나되 두개의 광이 서로 직교하여 출사하는 편광분할기를 포함하는 점회절 간섭계에 있어서,
    상기 편광분할기로부터의 광을 반사 및 투과시키기 위한 광분할기와, 상기 반사된 광을 위상천이하기 위한 1/4파장판과, 상기 투과된 광을 그대로 통과하기 위한 평판과, 상기 1/4파장판을 통과한 광을 반사 및 투과하고 상기 평판을 통과한 광을 반사 및 투과하기 위한 편광분할기와, 상기 편광분할기에서 투과된 광들을 반사하기 위한 미러를 포함하는 공간위상천이장치; 및
    상기 편광분할기에서 반사된 2개의 광과 상기 미러에서 반사된 2개의 광으로부터 4개의 간섭신호를 획득하는 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계.
  6. 측정물체로부터의 기준광과 측정광을 통해 간섭신호를 획득하기 위한 점회절 간섭계에 있어서,
    상기 측정물체에 조사되는 조사면을 넓게하고 평면파를 입사시키기 위한 시준렌즈;
    상기 측정물체로부터 반사되어 온 기준광을 편광시켜 구면파를 형성하여 출사하는 광섬유;
    상기 광섬유를 통과한 기준광과 상기 측정물체로부터의 측정광이 동일경로로 만나되 두개의 광이 서로 직교하여 출사하는 편광분할기;
    상기 편광분할기로부터의 두개의 광을 공간위상천이시키기 위한 공간위상천이기; 및
    상기 공간위상천이된 복수개의 간섭신호를 동시에 검출하기 위한 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 측정물체로부터의 측정광이 상기 편광분할기 쪽으로 향하도록 하는 광경로 변경수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 광경로변경수단은 코너큐브인 것을 특징으로 하는 간섭계.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 공간위상천이기는
    입사되는 광을 반사 및 투과시키기위한 광분할기와, 상기 반사된 광을 위상천이하기 위한 1/4파장판과, 상기 투과된 광을 그대로 통과하기 위한 평판과, 상기 1/4파장판을 통과한 광을 반사 및 투과하고 상기 평판을 통과한 광을 반사 및 투과하기 위한 편광분할기와, 상기 편광분할기에서 투과된 광들을 반사하기 위한 미러를 포함하며,
    상기 편광분할기에서 반사된 2개의 광과 상기 미러에서 반사된 2개의 광을 출사하는 것을 특징으로 하는 간섭계.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 측정광은 상기 측정물체의 앞면반사광과 뒷면반사광으로부터의 측정물체의 표면형상정보를 포함하며, 코너큐브를 이용한 광경로 일치 과정을 통해 광경로차로부터 두께정보 또는 굴절률을 획득하는 것을 특징으로 하는 간섭계.
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