JP7471938B2 - エリプソメータ及び半導体装置の検査装置 - Google Patents
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Description
実施形態1に係るエリプソメータを説明する。図1は、実施形態1に係るエリプソメータを例示した側面図である。図2は、実施形態1に係るエリプソメータを例示した上面図である。
次に、実施形態2に係るエリプソメータを説明する。本実施形態のエリプソメータ2では、干渉部材40として、偏光板の代わりに、偏光ビームスプリッタを用いる。図9は、実施形態2に係るエリプソメータを例示した側面図である。図10は、実施形態2に係るエリプソメータにおいて、受光光学系20を例示した図である。図11は、実施形態2に係るエリプソメータにおいて、画像検出器50上で干渉した反射光R10の干渉縞を例示した図である。
次に、実施形態3に係るエリプソメータを説明する。本実施形態は、光源11として、レーザを出射するコヒーレント光源を用いて線状照明領域LLAを照明する。図14は、実施形態3に係るエリプソメータを例示した側面図である。図15は、実施形態3に係るエリプソメータを例示した上面図である。
次に、実施形態4に係るエリプソメータを説明する。本実施形態のエリプソメータは、試料70の測定面71の共役面にウォラストンプリズムを配置し、時系列で干渉縞情報を得る構成である。図18は、実施形態4に係るエリプソメータを例示した側面図である。図19は、実施形態4に係るエリプソメータにおいて、試料70の測定面71における面状照明領域及び面状照明領域からの反射光R10による干渉縞51を例示した図である。
10 照明光学系
11 光源
12 ファイバー
13、13b 照明レンズ
13a 変換レンズ
14 偏光子
15 光源
16、16a、16b コヒーレンス低減素子
20 受光光学系
21、21a 受光レンズ
21h 位置
21z 位置
30 偏光光学素子
40、41 干渉部材
42 偏光ビームスプリッタ
50 画像検出器
51、51a、51b 干渉縞
60 解析装置
70 試料
71 測定面
72 ステージ
A1、A2、A3 点
C 光軸
DS スキャン方向
L10 照明光
LB、LB1、LB2、LB3、LB4、LB5 ビーム
LLA 線状照明領域
MLA 面状照明領域
R10 反射光
SA 検出領域
TXa、TX1、TX2 透過軸
Claims (20)
- 直線偏光からなる照明光が試料の測定面で反射した反射光を、互いに直交する偏光方向の2つの直線偏光に分離する偏光光学素子と、
各前記偏光方向と異なる方向における前記2つの直線偏光の成分を干渉させた干渉縞を形成する干渉部材と、
前記干渉縞を検出する画像検出器と、
検出した前記干渉縞から、直接、エリプソメトリ係数Ψ及びΔを算出する解析装置と、
を備えたエリプソメータ。 - 前記測定面に入射する前記照明光の光軸、及び、前記測定面で反射した前記反射光の光軸は、前記測定面の法線に対して傾斜した、
請求項1に記載のエリプソメータ。 - 前記照明光を生成する光源と、
前記光源から生成された前記照明光が入射され、一方向の直線偏光からなる前記照明光を透過させる偏光子と、
前記直線偏光からなる前記照明光で前記測定面を照明する照明レンズと、
前記反射光を透過させ、前記偏光光学素子に入射させる受光レンズと、
をさらに備えた、
請求項2に記載のエリプソメータ。 - 前記照明光は、前記測定面において、線状の線状照明領域を照明し、
前記画像検出器は、入射面に直交する側方から見て、前記受光レンズの瞳位置と共役な瞳共役位置に配置され、反射面に直交する上方から見て、前記測定面の像位置に配置された、
請求項3に記載のエリプソメータ。 - 一方向の直線偏光からなる前記照明光を生成するレーザ光源と、
前記直線偏光からなる前記照明光で前記測定面を照明する照明レンズと、
前記反射光を透過させ、前記偏光光学素子に入射させる受光レンズと、
をさらに備えた、
請求項2に記載のエリプソメータ。 - 前記照明光は、前記測定面において、線状に延びた線状照明領域を照明し、
前記画像検出器は、入射面に直交する側方から見て、前記受光レンズの瞳位置と共役な瞳共役位置に配置され、反射面に直交する上方から見て、前記測定面の像位置に配置された、
請求項5に記載のエリプソメータ。 - 前記照明光を平行光に変換する変換レンズと、
前記平行光に変換された前記照明光を透過させるコヒーレンス低減素子と、
を備え、
前記コヒーレンス低減素子は、反射面に直交する上方から見て、前記線状照明領域が延びた方向に沿って、前記照明光を複数のビームに分割し、分割された各ビームの光路長を異ならせた、
請求項6に記載のエリプソメータ。 - 前記コヒーレンス低減素子は、反射面に直交する上方から見て、前記線状照明領域が延びた方向に沿って、前記光軸の方向の長さが階段状に異なる階段プリズムであり、
前記光軸の方向の長さが異なる各階段部分を前記各ビームが透過することにより、前記各ビームの光路長を異ならせた、
請求項7に記載のエリプソメータ。 - 前記コヒーレンス低減素子は、ハーフミラー膜及び反射膜を含み、
前記ハーフミラー膜を透過した第1ビームと、
前記ハーフミラー膜で反射し、前記反射膜で反射し、前記ハーフミラー膜を透過した第2ビームと、
前記ハーフミラー膜及び前記反射膜で複数のN回反射し、前記ハーフミラー膜を透過した第Nビームと、を含む前記各ビームの光路長を異ならせた、
請求項7に記載のエリプソメータ。 - 前記照明レンズは、シリンドリカルレンズを含む、
請求項3~9のいずれか1項に記載のエリプソメータ。 - 前記干渉部材は、各前記偏光方向と45[deg]傾いた方向における前記2つの直線偏光の成分を透過させる偏光板を含み、
前記画像検出器は、前記偏光板を透過した各前記成分の前記干渉縞を検出する、
請求項1~10のいずれか1項に記載のエリプソメータ。 - 前記干渉部材は、各前記偏光方向と所定角度だけ傾いた第1方向における前記2つの直線偏光の第1成分と、前記所定角度と90[deg]傾いた第2方向における前記2つの直線偏光の第2成分と、に分離する偏光ビームスプリッタを含み、
前記画像検出器は、前記2つの直線偏光の前記第1成分の第1干渉縞、及び、前記2つの直線偏光の前記第2成分の第2干渉縞を検出する、
請求項1~10のいずれか1項に記載のエリプソメータ。 - 前記所定角度は、0[deg]よりも大きく、45[deg]未満であるか、または、45[deg]よりも大きく、90[deg]未満である、
請求項12に記載のエリプソメータ。 - 前記偏光光学素子は、ノマルスキープリズムを含む、
請求項1~13のいずれか1項に記載のエリプソメータ。 - 前記試料は、入射面及び反射面に直交するスキャン方向に移動するステージ上に配置され、
前記画像検出器は、前記スキャン方向にスキャンされた前記干渉縞を検出する、
請求項1~14のいずれか1項に記載のエリプソメータ。 - 前記2つの直線偏光は、P偏光及びS偏光である、
請求項1~15のいずれか1項に記載のエリプソメータ。 - 前記照明光は、白色光を含み、
前記解析装置は、前記干渉縞をフーリエ変換し、フーリエ変換された前記干渉縞から前記エリプソメトリ係数Ψ及びΔを算出する、
請求項1~16のいずれか1項に記載のエリプソメータ。 - 前記照明光は、前記測定面において、所定の広がりを有する面状の面状照明領域を照明する、
請求項3に記載のエリプソメータ。 - 前記偏光光学素子は、ウォラストンプリズムを含む、
請求項18に記載のエリプソメータ。 - 請求項1~19のいずれか1項に記載の前記エリプソメータを備えた半導体装置の検査装置。
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