JP6730124B2 - 厚み計測装置 - Google Patents
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Description
以下、制御手段20が上述した分光干渉波形に基づいて実行する波形解析に基づき、ウエーハ10の厚み、及び高さを算出する例について説明する。
2:装置ハウジング
3:研削ユニット
4:スピンドルユニット
5:研削ホイール
7:チャックテーブル機構
8:厚み計測装置
8d:第1の経路
8e:第2の経路
8f:第3の経路
80:計測ハウジング
81:発光源
82:分光器
83:ポリゴンミラー(分配手段)
86:光分岐手段
87:測定端子
88:対物レンズ
89:ミラー
90:ラインイメージセンサー
Claims (2)
- 板状物の厚みを計測する厚み計測装置であって、
板状物に対して透過性を有する波長域の光を発するブロードバンド光源と、
該ブロードバンド光源が発した光を波長域に分光する分光器と、
該分光器によって分光された各波長の光を時間経過で分配方向を変更する分配手段と、
該分配手段によって分配された各波長の光を集光する集光レンズと、
該集光レンズと対面し、複数の光ファイバーの一方の端面が列をなして配設され該集光レンズによって集光された各波長の光を伝達する光伝達手段と、
該光伝達手段を構成する複数の光ファイバーの他方の端面が該板状物に対面して列をなし各端面に対応して該板状物との間に配設される複数の対物レンズを備えた測定端子と、
該板状物の上面で反射した光と板状物を透過して下面で反射した光とが干渉し各光ファイバーを逆行した戻り光を、該光伝達手段の光の伝達経路上に配設されて各光ファイバーから分岐する光分岐手段と、
該光分岐手段で分岐した各光ファイバーに対応した該戻り光の波長を該分配手段によって各光ファイバーに対して分配した時間から求め各波長の光強度を検出して各光ファイバーに対応して分光干渉波形を生成する分光干渉波形生成手段と、
該分光干渉波形生成手段が生成した各光ファイバーに対応した分光干渉波形を波形解析して、各光ファイバーに対応した板状物の厚みを算出する厚み算出手段と、
から少なくとも構成される厚み計測装置。 - 該板状物を保持する保持手段を備え、
該測定端子と該保持手段とはX軸方向に相対的に移動可能に構成され、
該測定端子を構成する各光ファイバーの端面に対応して配設された対物レンズの列は、X軸方向と直交するY軸方向に位置付けられ、
該測定端子と該保持手段との相対的なX軸方向の移動と、Y軸方向に位置付けられた対物レンズとで特定されるX座標、Y座標において、該厚み算出手段で算出された板状物の厚みを記憶する記録手段を備える請求項1に記載の厚み計測装置。
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