JP4847048B2 - ツイストビットライン構造を有するメモリ装置の冗長回路及び不良セルの救済方法 - Google Patents

ツイストビットライン構造を有するメモリ装置の冗長回路及び不良セルの救済方法 Download PDF

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Description

本発明は、半導体メモリ装置に係り、特に、ツイストビットライン構造を有するメモリ装置の冗長回路及び不良セルの救済方法に関する。
半導体メモリ装置、特に、DRAMのセル密度が高集積化されるにつれて、ビットラインの間隔が狭まる。それにより、メモリセルデータセンシング時にビットラインカップリングノイズが急増し、それを解決するためのツイストビットライン構造が開発された。
ツイストビットライン構造は、ビットラインBLと相補ビットライン
Figure 0004847048
が一定の間隔をおいて位置が置換される構造であって、奇数列と偶数列との配列を適当に調節して、任意のビットラインBLと相補ビットライン
Figure 0004847048
で発生するビットラインカップリングノイズを、隣接した列のビットラインで印加されるビットラインカップリングノイズを利用して互いに相殺させることで相互に除去する。
そのようなツイストビットライン構造を有するメモリセルアレイで不良セルが発生すれば、それをスペアセル(または、冗長セル)に置換するリペア技術が使用されている。それにより、半導体生産収率(歩留り)を向上させている。ところが、ツイストビットライン構造は、ビットラインがツイストされているため、一本のワードラインと連結されるメモリセルの位置によってデータスクランブルが異なる。
図1は、ツイストビットライン構造とフォールデッドビットライン構造とにおけるリペア時にデータスクランブル様相を説明する図面である。図1で、第1ビットライン及び相補ビットラインBL0、
Figure 0004847048
はツイストビットライン構造を、そして、第2ビットライン及び相補ビットラインBL1、
Figure 0004847048
はフォールデッドビットライン構造を示す。第1ビットライン及び相補ビットラインBL0、
Figure 0004847048
と第2ビットライン及び相補ビットラインBL1、
Figure 0004847048
とクロス配列される第1ないし第4ワードラインWL0ないしWL3の間にメモリセルが配列されている。メモリセルに保存されるデータパターンが“1”である時をT(True)と示し、“0”である時をC(Complement)と示す。
ツイストビットライン構造で、第1ないし第4ワードラインWL0ないしWL3に連結されるメモリセルに“TCCT”データパターンを保存したと仮定する。それらのメモリセルが不良であるために、第1ワードラインWL0ないし第4ワードラインWL3を第1スペアワードラインSWL0ないし第4スペアワードラインSWL3にリペアすれば、ビットラインがツイストされていることに起因して、第1ないし第4スペアワードラインSWL0ないしSWL3に連結されるスペアセルには“CTTC”データパターンが保存されるように示される。それにより、不良セルをリペアした後に、最終的に不良セルをスクリーンするテスト過程でそのようにデータスクランブルが異なる部分については、それについてのデータスクランブル情報がないため、不良セルがスクリーンされないか、または正常のセルが不良セルと誤判断されるおそれがある。
それに対し、フォールデッドビットライン構造では、第1ワードラインWL0ないし第4ワードラインWL3に連結されたメモリセルが不良であるために、それらを第1スペアワードラインSWL0ないし第4スペアワードラインSWL3に連結されたスペアセルにリペアすれば、第1ワードラインWL0ないし第4ワードラインWL3に連結されたメモリセルに保存された“TCCT”データパターンが第1スペアワードラインSWL0ないし第4スペアワードラインSWL3に連結されるスペアセルでも“TCCT”データパターンとして示される。
したがって、ツイストビットライン構造で不良セルをリペアするには、ビットラインがツイストされる地点を基準に、例えば、ビットライン上でツイストされる地点が1箇所あるならば、不良セルが連結されたワードライン(以下“不良ワードライン”という)をリペアするためのスペアワードラインは、ツイストされる地点を基準に両側で2箇所に存在せねばならない。それにより、フォールデッドビットライン構造のように、不良セルのデータスクランブルの通りに、スペアワードラインに連結されるスペアセルにデータが保存される。
ところが、ツイストビットライン構造で、ツイスト地点を基準にして不良ワードラインをスペアワードラインに置換するには、不良ワードラインに該当するアドレスをスペアワードラインのアドレスに置換するためのアドレスヒューズ切断部を、該当スペアワードラインごとにそれぞれ備えねばならない。アドレスヒューズ切断部は大きなレイアウト面積を占めるため、データスクランブルが異なる個所が多いほど、メモリ装置のチップサイズが比例的に大きくなるという問題点がある。
したがって、ツイストビットライン構造でチップ面積を広げず、冗長効率を柔軟に維持できる方案が要求される。
本発明の目的は、ツイストビットライン構造を有するメモリ装置の冗長回路を提供するところにある。
本発明の他の目的は、ツイストビットライン構造を有するメモリ装置の不良セルを救済する方法を提供するところにある。
前記目的を達成するために、本発明は、複数のツイストビットライン構造を有するメモリ装置内の不良セルを救済する冗長回路において、複数のヒューズを含み、不良セルのアドレスに相応するように前記ヒューズをプログラミングしてリペアアドレスを発生させるヒューズ部と、ツイストビットラインを基準に分けられるメモリ装置内のメモリセルアレイブロックをそれぞれアドレッシングするブロックアドレスを発生させるブロックアドレッシング部と、リペアアドレスと不良セルとが発生したメモリセルアレイブロックを選択するブロックアドレスに応答してスペアワードラインを選択するコーディング部と、を含む。
好ましくは、本発明の冗長回路はメモリセルアレイブロックに共有される。ヒューズ部は、不良セルのアドレスによってヒューズを切断または短絡させてプログラミングし、コーディング部は、リペアアドレスとブロックアドレスとのそれぞれを入力するNANDゲートより構成される。スペアワードラインは、メモリセルアレイブロックごとに配列される。
前記他の目的を達成するために、本発明は、複数のツイストビットライン構造を有するメモリ装置の不良セルを救済する方法において、不良セルのアドレスに相応するようにヒューズをプログラミングしてリペアアドレス信号を発生させる段階と、ツイストビットラインを基準に分けられる前記メモリ装置内のメモリセルアレイブロックのうち。不良セルが発生したメモリセルアレイブロックを選択するブロックアドレス信号を発生させる段階と、リペアアドレス信号及びブロックアドレス信号に応答して不良セルが発生したメモリセルアレイブロック内のスペアワードラインを選択する段階と、を含む。 更に好ましくは、本発明のツイストビットライン構造の不良セルの救済方法は、不良セルを選択するアドレスラインが遮断される段階を更に含む。
本発明によれば、ツイストされたビットラインが配列された複数のメモリセルアレイブロックが一つの冗長回路を共有するため、メモリ装置のチップ面積を広げない。また、本発明の一つの冗長回路は、ツイストされたビットラインを基準にして分けられたメモリセルアレイブロックごとに備えられる従来の冗長回路と同一の冗長効率を維持する。
本発明と本発明の動作上の利点、及び本発明の実施によって達成される目的を充分に理解するには、本発明の好ましい実施例を例示する添付図面及び添付図面に記載された内容を参照せねばならない。
以下、添付した図面を参照して本発明の好ましい実施例を説明することで本発明を詳細に説明する。各図面に提示された同じ参照符号は同じ部材を示す。
図2は、本発明に係る冗長回路を共有する第1類型のツイストビットライン構造を有するメモリ装置を説明する図面である。それを参照すれば、メモリ装置200は、ツイストされたビットラインが第1メモリセルアレイブロック210aと第2メモリセルアレイブロック210bとにわたって配列されている。第1メモリセルアレイブロック210aと第2メモリセルアレイブロック210bとは、ビットラインがツイストされているので、そのデータスクランブルが相異なる。第1及び第2メモリセルアレイブロック210a、210b内で発生する不良セルを救済するために、そして、テスト時に不良セルのデータスクランブルと同じデータスクランブルをスペアセルに持たせるために、第1メモリセルアレイブロック210aで発生した不良セルと連結されたワードライン(図示せず)は、冗長回路230によって第1メモリセルアレイブロック210aに配置された第1スペアワードラインSWLaに置換され、第2メモリセルアレイブロック210bで発生した不良セルと連結されたワードライン(図示せず)は、冗長回路230によって第2メモリセルアレイブロック(210b)に配置された第2スペアワードラインSWLbに置換される。それにより、不良セルがスペアワードラインに連結されたスペアセルに置換される。
第1類型のツイストビットライン構造は、ツイストビットラインの単位配列210において、第1メモリセルアレイブロック210aで順次に第1ビットライン212−第2ビットライン214−第3ビットライン216−第4ビットライン218の配列が、第2メモリセルアレイブロック201bでは第3ビットライン216−第1ビットライン212−第4ビットライン218−第2ビットライン214の順に配列されている。第2ビットライン214と第3ビットライン216とは、第1メモリセルアレイブロック210a側の第1ビットラインセンスアンプ220aと連結され、第1ビットライン212と第4ビットライン218とは、第2メモリセルアレイ210b側の第2ビットラインセンスアンプ220bと連結される。第1ビットラインセンスアンプ220aは、第2ビットライン214と第3ビットライン216との電圧差を感知増幅し、第2ビットラインセンスアンプ220bは、第1ビットライン212と第4ビットライン218との電圧差を感知増幅する。
冗長回路230は、ヒューズ部232、第1及び第2ブロックアドレッシング部234、236、及び第1及び第2コーディング部238、239を含む。第1及び第2ブロックアドレッシング部234、236は、第1及び第2メモリセルアレイブロック210a、210bを選択するブロックアドレスをそれぞれ第1及び第2コーディング部238、239に提供する。ヒューズ部232は、アドレス信号ラインと連結される複数のヒューズを含み、第1または第2メモリセルアレイブロック210a、210b内の不良セルのワードラインを選択するアドレスに相応するようにヒューズを短絡または切断して、リペアアドレスを第1及び第2コーディング部238、239に提供する。第1及び第2コーディング部238、239は、リペアアドレスと第1及び第2ブロックアドレッシング部234、236との出力にそれぞれ応答して、第1及び第2スペアワードラインSWEa、SWEbをそれぞれ選択する。
第1スペアワードラインSWLaは、第1メモリセルアレイブロック210aで発生した不良セルが連結されたワードラインが選択される時、その不良ワードラインに代わって選択される。そして、第2スペアワードラインSWLbは、第2メモリセルアレイブロック210bで発生した不良セルが連結されたワードラインが選択される時、その不良ワードラインに代わって選択される。その時、不良ワードラインと連結されるアドレスデコーダーの出力ラインは遮断された状態となる。
したがって、本実施例の冗長回路230は、第1メモリセルアレイブロック210aと第2メモリセルアレイブロック210bとに共有され、不良セルが発生したメモリセルアレイブロックを選択する第1または第2ブロックアドレッシング部234、236の出力によって選択的に第1または第2スペアワードラインSWLa、SWLbを選択する。それにより、テスト時に不良セルに印加されるデータパターンと同じデータスクランブルが、第1または第2スペアワードラインSWLa、SWLbに連結されるスペアセルにそのまま再現される。それにより、共有された一つの冗長回路230は、メモリ装置のチップ面積を広げない。また、従来のツイストされたビットラインを基準に両側に備えねばならなかった冗長回路が有する冗長効率を同一に維持する。
図3は、本発明に係る冗長回路を共有する第2類型のツイストビットライン構造を有するメモリ装置を説明する図面である。それを参照すれば、メモリ装置300は、図2で説明した冗長回路230により第2類型のツイストビットライン構造の第1または第2メモリセルアレイブロック310a、310b内の不良セルが連結されたワードラインを、第1または第2ブロックアドレッシング部234、236の出力によって選択的に第1または第2スペアワードラインSWLa、SWLbに置換する。
第2類型のツイストビットライン構造は、ツイストビットラインの単位配列310において、第1メモリセルアレイブロック310aで順次に第1ビットライン312−第2ビットライン314−第3ビットライン316−第4ビットライン318の配列が、第2メモリセルアレイブロック301bでは第1ビットライン312−第3ビットライン316−第2ビットライン314−第4ビットライン318の順に配列されている。第2ビットライン314と第3ビットライン316とは、第1メモリセルアレイブロック310a側のビットラインセンスアンプ320aと連結され、第1ビットライン312と第4ビットライン318とは、第2メモリセルアレイ310b側のビットラインセンスアンプ320bと連結される。第1ビットラインセンスアンプ320aは、第2ビットライン314と第3ビットライン316との電圧差を感知増幅し、第2ビットラインセンスアンプ320bは、第1ビットライン312と第4ビットライン318との電圧差を感知増幅する。
図4は、本発明に係る冗長回路を共有する第3類型のツイストビットライン構造を有するメモリ装置を説明する図面である。それを参照すれば、メモリ装置400は、図2で説明した冗長回路230により第3類型のツイストビットライン構造の第1または第2メモリセルアレイブロック410a、410b内の不良セルが連結されたワードラインを、第1または第2ブロックアドレッシング部234、236の出力によって選択的に第1または第2スペアワードラインSWLa、SWLbに置換する。
第3類型のツイストビットライン構造は、ツイストビットライン等の単位配列410において、第1メモリセルアレイブロック410aで順次に第1ビットライン412−第2ビットライン414−第3ビットライン416−第4ビットライン418の配列が、第2メモリセルアレイブロック401bでは第1ビットライン412−第3ビットライン416−第4ビットライン418−第2ビットライン414の順に配列されている。第2ビットライン414と第3ビットライン416とは、第1メモリセルアレイブロック410a側のビットラインセンスアンプ420aと連結され、第1ビットライン412と第4ビットライン418とは、第2メモリセルアレイ410b側のビットラインセンスアンプ420bと連結される。第1ビットラインセンスアンプ420aは、第2ビットライン414と第3ビットライン416との電圧差を感知増幅し、第2ビットラインセンスアンプ420bは、第1ビットライン412と第4ビットライン418との電圧差を感知増幅する。
図5は、本発明に係る冗長回路を共有する第4類型のツイストビットライン構造を有するメモリ装置を説明する図面である。それを参照すれば、メモリ装置500は、図2で説明した冗長回路230により、ダミービットラインを含む第4類型のツイストビットライン構造の第1または第2メモリセルアレイブロック510a、510b内の不良セルが連結されたワードラインを、第1または第2ブロックアドレッシング部234、236の出力によって選択的に第1または第2スペアワードラインSWLa、SWLbに置換する。
図6は、本発明の冗長回路を共有する第5類型のツイストビットライン構造を有するメモリ装置を説明する図面である。それを参照すれば、メモリ装置600は、第5類型のツイストビットラインがメモリセルアレイブロック610a、610b、610c、610dにわたって配列されている。第5類型のツイストビットライン構造は、ツイストビットラインの単位配列610で、第1及び第3ビットライン612、616が第1メモリセルアレイブロック610aと第2メモリセルアレイブロック610bとの間で1回ツイストされ、そして、第3メモリセルアレイブロック610cと第4メモリセルアレイブロック610dとの間で更に1回ツイストされており、第2及び第4ビットライン614、618が第2メモリセルアレイブロック610bと第3メモリセルアレイブロック610cとの間で1回ツイストされている。それにより、第1ないし第4メモリセルアレイブロック610a、610b、610c、610dは、ツイストされたビットラインのためにそのデータスクランブルが相異なる。
第1ないし第4メモリセルアレイブロック610a、610b、610b、610dで発生する不良セルを救済するために、そして、テスト時に不良セルのデータスクランブルと同じデータスクランブルを持たせるために、冗長回路630により第1メモリセルアレイブロック610aで発生した不良セルと連結されたワードライン(図示せず)は、第1メモリセルアレイブロック610aに配置された第1スペアワードラインSWLaに置換され、第2メモリセルアレイブロック610bで発生した不良セルと連結されたワードライン(図示せず)は、第2メモリセルアレイブロック610bに配置された第2スペアワードラインSWLbに置換される。そして、第3メモリセルアレイブロック610cで発生した不良セルと連結されたワードライン(図示せず)は、第3メモリセルアレイブロック610cに配置された第3スペアワードラインSWLcに置換され、第4メモリセルアレイブロック610dで発生した不良セルと連結されたワードライン(図示せず)は、第4メモリセルアレイブロック610dに配置された第4スペアワードラインSWLdに置換される。それにより、第1ないし第4メモリセルアレイブロック610a、610b、610b、610dの不良セルが、スペアワードラインSWLa、SWLb、SWLc、SWLdに連結されたスペアセルに置換される。
冗長回路630は、ヒューズ部631、第1ないし第4ブロックアドレッシング部632、633、634、635、及び第1ないし第4コーディング部636、637、638、639を含む。第1ないし第4ブロックアドレッシング部632、633、634、635は、第1ないし第4メモリセルアレイブロック610a、610b、610c、610dを選択するブロックアドレスをそれぞれ第1ないし第4コーディング部636、637、638、639に提供する。
ヒューズ部631は、アドレス信号ラインと連結される複数のヒューズを含み、第1または第4メモリセルアレイブロック610a、610b、610c、610d内の不良セルのワードラインを選択するアドレスに相応するようにヒューズを短絡または切断して、リペアアドレスを第1ないし第4コーディング部636、637、638、639に提供する。第1ないし第4コーディング部636、637、638、639は、リペアアドレスと第1ないし第4ブロックアドレッシング部632、633、634、635との出力にそれぞれ応答して、第1ないし第4スペアワードラインSWLa、SWLb、SWLc、SWLdをそれぞれ選択する。
それにより、テスト時に不良セルに印加されるデータパターンと同じデータスクランブルが第1ないし第4スペアワードラインSWLa、SWLb、SWLc、SWLdに連結されるスペアセルにそのまま再現される。それにより、共有された一つの冗長回路630は、メモリ装置のチップ面積を広げず、従来のツイストされたビットラインを基準に第1ないし第4メモリセルアレイブロック610a、610b、610c、610dごとに備えねばならなかった冗長回路が有する冗長効率を同一に維持する。
本発明は、図面に示された一実施例を参考にして説明されたが、それは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これから多様な変形及び均等な他実施例が可能であるということが理解できる。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想により決まらねばならない。
本発明は、ツイストビットライン構造を有するメモリ装置に関連した技術分野に好適に適用され得る。
ツイストビットライン構造とフォールデッドビットライン構造とにおけるリペア時のデータスクランブルを説明する図面である。 本発明に係る冗長回路を共有する第1類型のツイストビットライン構造を有するメモリ装置を説明する図面である。 本発明に係る冗長回路を共有する第2類型のツイストビットライン構造を有するメモリ装置を説明する図面である。 本発明に係る冗長回路を共有する第3類型のツイストビットライン構造を有するメモリ装置を説明する図面である。 本発明に係る冗長回路を共有する第4類型のツイストビットライン構造を有するメモリ装置を説明する図面である。 本発明に係る冗長回路を共有する第5類型のツイストビットライン構造を有するメモリ装置を説明する図面である。
符号の説明
200 メモリ装置
210 ツイストビットラインの単位配列
210a 第1メモリセルアレイブロック
210b 第2メモリセルアレイブロック
212 第1ビットライン
214 第2ビットライン
216 第3ビットライン
218 第4ビットライン
220a 第1ビットラインセンスアンプ
220b 第2ビットラインセンスアンプ
230 冗長回路
232 ヒューズ部
234 第1ブロックアドレッシング部
236 第2ブロックアドレッシング部
238 第1コーディング部
239 第2コーディング部
SWLa 第1スペアワードライン
SWLb 第2スペアワードライン

Claims (16)

  1. 集積回路メモリ装置のための冗長回路において、
    前記集積回路メモリ装置は、
    複数のメモリセルにそれぞれ連結される複数の主要ワードラインと一つのスペアワードラインとを含む第1メモリセルブロックと、
    複数のメモリセルにそれぞれ連結される複数の主要ワードラインと一つのスペアワードラインとを含む第2メモリセルブロックと、
    前記第1及び第2メモリセルブロックの全域にわたって配置され、前記第1メモリセルブロックと前記第2メモリセルブロックとの間でビットラインがツイストされ、前記第1及び第2メモリセルブロック内ではツイストされないビットライン構造を有する複数のビットラインと、を備え、
    前記冗長回路は、
    前記第1メモリセルブロックと関連するアドレスを発生させる第1ブロックアドレス部と、
    前記第2メモリセルブロックと関連するアドレスを発生させる第2ブロックアドレス部と、
    不良セルを置換するためのスペアワードラインと関連するリペアアドレスを発生させるプログラム部と、
    前記プログラム部の前記リペアアドレスと前記第1ブロックアドレス部のアドレスとに対応する不良セルと関連した前記第1メモリセルブロックの前記主要ワードラインのうち一つを置換するために、前記第1メモリセルブロックの前記スペアワードラインを選択し、前記プログラム部の前記リペアアドレスと前記第2ブロックアドレス部のアドレスとに対応する不良セルと関連した前記第2メモリセルブロックの前記主要ワードラインのうち一つを置換するために、前記第2メモリセルブロックの前記スペアワードラインを選択するコーディング部と、を備え、前記不良セルと代替されるスペアセルは、前記不良セルが含まれるブロックアドレス部のスペアワードラインとビットラインによって選択されることを特徴とする冗長回路。
  2. 前記第1及び第2メモリセルブロックは、複数のスペアワードラインを備えることを特徴とする請求項1に記載の冗長回路。
  3. 前記集積回路装置は、
    少なくとも3つのメモリセルブロックと、
    前記少なくとも3つのメモリセルブロックの全域にわたって配置され、前記少なくとも3つのメモリセルブロックの隣接した領域で前記ビットラインがツイストされ、前記それぞれのメモリセルブロック内ではツイストされない前記複数のビットラインと、を備え、
    前記冗長回路は、前記少なくとも3つのメモリセルブロックのそれぞれと連結され、不良セルと連結される少なくとも3つのメモリセルブロックのうち、一つの前記主要ワードラインのうち一つを置換するために、前記少なくとも3つのメモリセルブロックのうち、該当するメモリセルブロックの前記スペアワードラインを選択し、選択されたスペアワードラインと連結されるスペアセルに保存されたデータは、前記置換される主要ワードラインのうち、一つと連結されるセルと同じデータスクランブルを有することを特徴とする請求項2に記載の冗長回路。
  4. プログラム部は、
    前記リペアアドレスを発生させるためにプログラムされるように構成される複数のヒューズを含むヒューズ部を備えることを特徴とする請求項1に記載の冗長回路。
  5. 前記ヒューズ部は、
    不良セルのアドレスによって前記ヒューズを短絡または切断させることで前記ヒューズをプログラムすることを特徴とする請求項4に記載の冗長回路。
  6. 前記コーディング部は、
    前記第1メモリセルブロックと連結され、前記リペアアドレスと前記第1ブロックアドレッシング部からのアドレスを受信する第1ANDゲートと、
    前記第2メモリセルブロックと連結され、前記リペアアドレスと前記第2ブロックアドレッシング部からのアドレスを受信する第2ANDゲートと、を備えることを特徴とする請求項1に記載の冗長回路。
  7. 前記冗長回路は、
    前記不良セルを選択するアドレス線は遮断されることを特徴とする請求項1に記載の冗長回路。
  8. 複数のツイストビットライン構造を有するメモリ装置内の不良セルを救済する冗長回路において、
    複数のヒューズを含み、前記不良セルのアドレスに相応するように前記ヒューズをプログラミングしてリペアアドレスを発生させるヒューズ部と、
    前記ツイストビットラインを基準に分けられる前記メモリ装置のメモリセルアレイブロックをそれぞれアドレッシングするブロックアドレスを発生させるブロックアドレッシング部と、
    前記リペアアドレスと前記不良セルとが発生した前記メモリセルアレイブロックを選択する前記ブロックアドレスに応答してスペアワードラインを選択するコーディング部と、
    を備え、前記不良セルと代替されるスペアセルは、前記不良セルが含まれるブロックアドレスのスペアワードラインとビットラインによって選択されることを特徴とする冗長回路。
  9. 前記冗長回路は、
    前記メモリセルアレイブロックに共有されることを特徴とする請求項8に記載の冗長回路。
  10. 前記ヒューズ部は、
    前記不良セルのアドレスによって前記ヒューズを切断または短絡させて前記プログラミングすることを特徴とする請求項8に記載の冗長回路。
  11. 前記コーディング部は、
    前記リペアアドレスと前記ブロックアドレスとのそれぞれを入力するANDゲートより構成されることを特徴とする請求項8に記載の冗長回路。
  12. 前記冗長回路は、
    前記不良セルを選択するアドレスラインが遮断されることを特徴とする請求項8に記載の冗長回路。
  13. 前記スペアワードラインは、前記メモリセルアレイブロックごとに配列されることを特徴とする請求項8に記載の冗長回路。
  14. 複数のツイストビットライン構造を有するメモリ装置の不良セルを救済する方法において、
    前記不良セルのアドレスに相応するようにヒューズをプログラミングしてリペアアドレスを発生させる段階と、
    前記ツイストビットラインを基準に分けられる前記メモリ装置のメモリセルアレイブロックのうち、前記不良セルが発生した前記メモリセルアレイブロックを選択するブロックアドレス信号を発生させる段階と、
    前記リペアアドレス及び前記ブロックアドレスに応答して、前記不良セルが発生した前記メモリセルアレイブロック内のスペアワードラインを選択する段階と、を備え、前記不良セルと代替されるスペアセルは、前記不良セルが含まれるブロックアドレスのスペアワードラインとビットラインによって選択されることを特徴とするツイストビットライン構造の不良セルの救済方法。
  15. 前記ツイストビットライン構造の不良セルの救済方法は、前記不良セルを選択するアドレスラインが遮断される段階を更に備えることを特徴とする請求項14に記載のツイストビットライン構造の不良セルの救済方法。
  16. 前記ヒューズをプログラミングする段階は、
    前記不良セルのアドレスによって前記ヒューズを切断または短絡させる段階であることを特徴とする請求項14に記載のツイストビットライン構造の不良セルの救済方法。
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