KR100630519B1 - 디멘젼프로그램가능퓨즈뱅크및그것의제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 교정 가능한 반도체 메모리 어레이이다. 교정 가능한 반도체 메모리 어레이는 메인 메모리 어레이(210)를 포함한다. 한 세트의 리던던트 로우(212) 및 한 세트의 리던던트 칼럼(214)이 메인 메모리 어레이의 로우 엘리먼트 또는 칼럼 엘리먼트를 교정한다. 리던던트 로우 세트 및 리던던트 칼럼 세트에 퓨즈뱅크 그룹(216)이 전기적으로 배선된다. 교정 가능한 반도체 메모리 어레이는 퓨즈뱅크 그룹 내에 포함된 다수의 퓨즈뱅크(218)를 더 포함한다. 다수의 퓨즈뱅크의 각각의 퓨즈뱅크는 메인 메모리 어레이의 칼럼 엘리먼트 또는 로우 엘리먼트를 어드레싱하도록 프로그램 가능하고, 상기 어드레스된 칼럼 엘리먼트 또는 로우 엘리먼트는 리던던트 로우 세트 중 하나 또는 리던던트 칼럼 세트 중 하나로 교체된다.

Description

디멘젼 프로그램가능 퓨즈뱅크 및 그것의 제조 방법{DIMENSION PROGRAMMABLE FUSEBANKS AND METHODS FOR MAKING THE SAME}
본 발명은 반도체 장치의 설계 및 제조에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 메모리 회로에서 회로 밀도를 증가시키기 위한 개선된 방법에 관한 것이다.
메모리 회로, 예를 들어, 다이내믹 랜덤 액세스 메모리 또는 필드 프로그램 가능 논리 장치에서, 메모리 셀은 통상적으로 어드레스용 로우 및 칼럼에 배치된다. 예를 들어, 통상적인 다이내믹 랜덤 액세스 메모리(DRAM) 칩은 육천사백만개에 이르는 셀을 가지며 상기 셀은 워드 라인 및 비트 라인에 의해 어드레스될 로우 및 칼럼으로 배열된다. 다이내믹 랜덤 액세스 메모리 회로 및 설계는 종래 기술에 공지되어 있고 본 명세서에서는 상세히 기술하지 않는다.
통상적인 DRAM 칩의 제조 동안, 메인 어레이에서 백만 개 이상의 셀에 결함이 발견될 수 있다. 전체 칩을 버리는 대신, 종래 설계자들은 결함 있는 셀을 대체할 수 있도록 칩 상에 리던던트(redundant) 셀을 제공하여 결함 있는 셀을 바이패스하고 메모리 회로가 결함이 없는 것처럼 사용되게 한다.
보다 구체적으로, 제조 동안 메인 메모리 어레이 셀에 결함이 발견될 때, 결함 셀을 포함하는 전체 로우 또는 칼럼은 일반적으로 리던던트 로우 또는 칼럼으로 교체될 수 있다. 참고를 위하여, 여기서 셀의 전체적인 로우 또는 칼럼은 "엘리먼트"로 불린다. 또한, 배경 목적에 대하여, 비록 논의된 문제가 똑같이 칼럼 및 그것의 교체 문제에 적용되는 것을 바탕으로 할지라도 여기서의 논의는 로우 및 그것의 교체에 대해 이루어질 것이다.
리던던트 엘리먼트가 메인 어레이의 결함 엘리먼트를 대체하기 위하여 사용될 때, 종래 교체 기술은 리던던트 엘리먼트가 메인 어레이 엘리먼트 중 하나의 엘리먼트 대신 사용되는 것을 지시하도록 제조 동안 리던던트 회로의 인에이블 퓨즈를 세팅하는 것을 포함한다. 상기 리던던트 엘리먼트로 교체되는 결함 메인 어레이 엘리먼트의 어드레스는 리던던트 회로의 어드레스 퓨즈를 세팅함으로써 제조 동안 지정될 수 있다.
운행 시간 동안, 인에이블 퓨즈 및 어드레스 퓨즈의 값은 인에이블 래치 및 어드레스 래치 각각에 로딩된다. 만약 리던던트 엘리먼트가 사용되는 것을 나타내는 값을 인에이블 래치가 포함하면, 상기 리던던트 엘리먼트는 어드레스가 어드레스 래치에 의해 지정되는 결함 메인 어레이 엘리먼트 대신 사용될 것이다. 예를 들어, 도 1a는 메인 어레이(14)를 가지는 매우 간략화된 DRAM 셀(10)을 도시한다. 메인 어레이(14)는 비록 실제적으로 메인 어레이가 통상적으로 보다 많은 엘리먼트를 가질지라도 논의를 쉽게 하기 위하여 단지 4개의 로우 또는 엘리먼트(0-3)만을 도시한다. 임의의 엘리먼트(0-3)를 대체하기 위하여 사용될 수 있는 리던던트 엘리먼트(16)가 도시된다.
도 1b는 다수의 리던던트 로우 및 칼럼 엘리먼트를 가지는 독립적으로 교정 가능한 블록(100)을 도시한다. 실질적으로, DRAM 칩은 몇 개의 독립적으로 교정 가능한 블록(100)으로 분할되고, 분할된 각각의 블록은 메인 메모리 어레이 블록(110)의 하나 이상의 로우 또는 칼럼을 교체하기 위하여 사용될 수 있는 한 세트의 리던던트 로우 엘리먼트(112) 및 한 세트의 리던던트 칼럼 엘리먼트(114)를 가진다. 예로서, 메인 메모리 어레이 블록(110)은 256개의 로우 엘리먼트 및 64개의 칼럼 엘리먼트를 포함한다고 가정한다. 이런 가정에 따라, 로우를 어드레싱하기 위하여 적어도 8개의 퓨즈 비트(즉, 28=256)가 필요하고, 칼럼을 어드레싱하기 위하여 적어도 6개의 퓨즈 비트(즉, 26=64)가 필요하다. 이런 이유로, 퓨즈뱅크 그룹(116)은 각각의 리던던트 로우(112')에 대한 로우 지정 퓨즈(118a)뿐 아니라, 각각의 리던던트 칼럼(114')에 대한 칼럼 지정 퓨즈(118b)를 가져야 한다. 그러므로 퓨즈뱅크 그룹(116)은 메인 메모리 어레이 블록(110)에서 엘리먼트 결함을 교체하도록 실시될 수 있는 총 12개의 퓨즈뱅크를 가질 것이다(칼럼에 대하여 4개의 퓨즈뱅크(118b) 및 로우에 대하여 8개의 퓨즈뱅크(118a)).
도 1a 및 도 1b와 관련하여 기술된 종래 기술이 결함 메인 어레이 엘리먼트를 교체하기 위하여 적당하게 작용하지만 단점이 있다. 예를 들어, DRAM 셀은 용량이 증가할 때, 상당수의 메인 어레이 메모리 엘리먼트를 소정 크기의 칩에 끼워 넣을 필요가 생긴다. 비록 퓨즈뱅크가 DRAM과 같은 메모리 장치의 효과적인 교정에 필수적이지만, 메인 메모리 어레이 블록(110)에서 가능한 결함을 교정하는데 필요한 로우/칼럼 지정 퓨즈뱅크의 시어(shear) 수는 칩 크기를 증가시킨다. 그러나 실질적으로 설계자는 교정 작업이 완료된 후 약 50%의 이용 가능한 리던던트 로우 및 칼럼 엘리먼트가 사용되지 않고 남는다는 것을 인식한다. 결과적으로, 퓨즈뱅크 그룹(116)과 연관된 큰 사용되지 않은 퓨즈뱅크(118a 및 118b)는 매우 귀중한 칩 공간을 차지하게 될 뿐이다. 공지된 바와 같이, 매우 높은 가격 경쟁적인 DRAM 시장에서, 모든 낭비되는 칩 공간 비율은 보다 적은 칩이 각각의 반도체 웨이퍼로부터 제조될 수 있기 때문에, 제조 회사에 수백만 달러의 손실을 유발한다.
그러므로 본 발명의 목적은 교정 가능한 메모리 블록에서 사용되지 않는 로우/칼럼 지정 퓨즈뱅크 수를 줄일 수 있는 프로그램 가능 퓨즈뱅크를 제공하는 것이다.
따라서 기존의 리던던트 엘리먼트를 사용하여 결함 메모리 어레이 엘리먼트에 대해 융통성 있고 신뢰적인 교정능력을 제공하면서 퓨즈뱅크 수를 감소시키는 것이 바람직하다.
총괄적으로, 본 발명은 리던던트 로우 엘리먼트 또는 리던던트 칼럼 엘리먼트를 어드레싱하기 위하여 사용할 수 있는 프로그램 가능 퓨즈뱅크를 보다 적게 제공하는 동시에 칩 공간을 줄임으로써 이들 조건을 충족한다. 본 발명은 처리, 장치, 시스템, 디바이스 또는 방법을 포함하는 다수의 방식으로 수행될 수 있다는 것이 인식된다. 본 발명의 몇몇 발전적인 실시예는 아래에 기술된다.
일 실시예에서, 교정 가능한 반도체 메모리 어레이가 개시된다. 교정 가능한 반도체 메모리 어레이는 메인 메모리 어레이를 포함한다. 한 세트의 리던던트 로우 및 한 세트의 리던던트 칼럼은 메인 메모리 어레이의 로우 엘리먼트 또는 칼럼 엘리먼트를 교정할 수 있다. 퓨즈뱅크 그룹은 리던던트 로우 세트 및 리던던트 칼럼 세트에 전기적으로 배선된다. 교정 가능한 반도체 메모리 어레이는 퓨즈뱅크 그룹 내에 포함된 다수의 퓨즈뱅크를 더 포함한다. 다수의 퓨즈뱅크 각각은 메인 메모리 어레이의 칼럼 엘리먼트 또는 로우 엘리먼트를 어드레싱하도록 프로그램 가능하고, 어드레싱된 칼럼 엘리먼트 또는 로우 엘리먼트는 리던던트 로우 세트 중 하나의 로우 또는 리던던트 칼럼 세트 중 하나의 칼럼으로 교체된다.
다른 실시예에서, 교정 가능한 반도체 메모리 어레이를 제조하기 위한 방법이 개시된다. 상기 방법은 다수의 로우 엘리먼트 및 다수의 칼럼 엘리먼트를 가지는 메인 메모리 어레이를 제공하는 것을 포함한다. 다수의 로우 엘리먼트 및 다수의 칼럼 엘리먼트 중 결함 있는 엘리먼트를 교정하기 위하여 다수의 리던던트 로우 엘리먼트 및 다수의 리던던트 칼럼 엘리먼트를 제공한다. 상기 방법은 메인 메모리 어레이의 다수의 칼럼 엘리먼트 또는 다수의 로우 엘리먼트 중 어드레싱된 엘리먼트를 적어도 하나의 리던던트 로우 또는 적어도 하나의 리던던트 칼럼으로 교체하는 것을 더 포함한다. 상기 어드레싱된 엘리먼트는 다수의 리던던트 로우 엘리먼트 및 다수의 리던던트 칼럼 엘리먼트 양쪽에 배선된 퓨즈뱅크를 프로그래밍 함으로써 선택된다.
다른 실시예에서, 메인 메모리 어레이, 상기 메인 메모리 어레이의 로우 엘리먼트 또는 칼럼 엘리먼트를 교정하기 위한 한 세트의 리던던트 로우 엘리먼트 및 한 세트의 리던던트 칼럼 엘리먼트를 포함하는 교정 가능한 메모리 어레이가 개시된다. 교정 가능한 메모리 어레이는 리던던트 로우 세트 및 리던던트 칼럼 세트에 전기적으로 결합된 퓨즈뱅크 그룹 수단을 포함한다. 교정 가능한 메모리 어레이는 퓨즈뱅크 그룹 수단 내에 포함된 다수의 퓨즈뱅크 수단을 포함한다. 다수의 퓨즈뱅크 수단 각각은 메인 메모리 어레이의 칼럼 엘리먼트 또는 로우 엘리먼트 중 하나를 어드레싱하도록 프로그램 가능하다. 칼럼 엘리먼트 및 로우 엘리먼트 중 어드레싱된 엘리먼트는 리던던트 로우 엘리먼트 세트 중 하나 또는 리던던트 칼럼 엘리먼트 세트 중 하나로 바이패스 된다.
본 발명의 다른 측면 및 장점은 첨부 도면과 본 발명의 원리를 예로서 도시한 다음 상세한 설명에 의해 명백하게 될 것이다.
본 발명은 첨부 도면과 관련하여 다음 상세한 설명에 의해 쉽게 이해되고, 여기서 같은 참조 번호는 같은 구조를 나타낸다.
칩 공간을 줄이는 동시에 리던던트 로우 엘리먼트 또는 리던던트 칼럼 엘리먼트를 어드레싱하기 위하여 실시될 수 있는 프로그램 가능 퓨즈뱅크에 대한 발명이 개시된다. 다음 설명에서, 다수의 특정 설명이 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위하여 나타난다. 그러나 당업자는 본 발명이 이들 특정 설명 몇몇 또는 모두 없이 실행된다는 것을 이해할 것이다. 다른 경우에는, 본 발명을 쓸데없이 모호하게 하지 않도록 공지된 처리 동작은 상세히 설명하지 않았다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따라 독립적으로 교정 가능한 메모리 블록(200)의 블록도이다. 도시된 바와 같이, 예를 들어 다이내믹 RAM(DRAM), 동기식 DRAM(SDRAM), 또는 임의의 다른 메모리 어레이를 포함하는 랜덤 액세스 메모리(RAM)인 메인 메모리 어레이 블록(210)에는 한 세트의 리던던트 칼럼 엘리먼트(214) 및 한 세트의 리던던트 로우 엘리먼트(212)가 제공된다. 공지된 바와 같이, 리던던트 엘리먼트는 선택된 메모리 셀에서 결함이 검출될 때 메인 메모리 어레이 블록(210)의 엘리먼트를 교체하는데 일반적으로 사용된다. 도시적으로, 콤팩트 퓨즈뱅크 그룹(216)에는 선택 노드(230)에 결합된 6개의 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)가 제공된다. 선택 노드(230)는 리던던트 칼럼 엘리먼트(214) 세트 및 리던던트 로우 엘리먼트(212) 세트 양쪽에 접속된다.
콤팩트 퓨즈뱅크 그룹(216)내에 포함된 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)가 리던던트 칼럼 엘리먼트(214) 세트 및 리던던트 로우 엘리먼트(212) 양쪽에 결합되기 때문에, 각각의 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)는 메인 메모리 어레이 블록(210)의 로우 또는 칼럼을 리던던트 칼럼 엘리먼트(214) 세트 중 하나 또는 리던던트 로우 엘리먼트(212) 세트 중 하나로 교체하도록 코딩된다. 메인 메모리 어레이 블록(210)에서 교체될 엘리먼트를 선택하기 위하여, 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)는 바람직하게 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)를 로우 또는 칼럼 지정 퓨즈뱅크로 전환하는 디멘젼(dimension) 퓨즈를 가진다. 상기와 같이, 모든 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)는 이용 가능한 퓨즈뱅크를 최적으로 사용할 수 있는 일반적인 퓨즈뱅크이다. 이런 최적의 사용은 보다 작은 칩 공간 소모 퓨즈를 제공하기 위한 능력을 설계자에게 제공하고 종래 설계와 실질적으로 동일 교정능력을 가지는 메인 메모리 어레이 블록(210)을 제공한다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따라 프로그램 가능 레이저를 사용하여 프로그램될 수 있는 다수의 퓨즈를 가지는 예시적인 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)를 도시한다. 도시된 바와 같이, 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)는 리던던트 로우 또는 칼럼 엘리먼트로 교체될 메인 메모리 어레이 블록(210)내의 로우 또는 칼럼 어드레스를 선택하기 위하여 사용된 8개의 어드레스싱 퓨즈(F0-F7)를 포함한다. 비록 메인 메모리 어레이 블록(210)이 집적 회로의 메모리 요구에 따라 임의의 크기 또는 모양을 가질지라도, 256개의 로우 및 64개의 칼럼이 도 2a의 메인 메모리 어레이 블록(210) 내에 제공된다고 가정한다.
그러므로 메인 메모리 어레이 블록(210)내의 256개의 로우를 어드레싱하기 위하여, 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)의 어드레싱 퓨즈는 적어도 8개의 어드레싱 퓨즈(즉, 28=256)를 갖거나, 메인 메모리 어레이 블록(210)내의 칼럼을 어드레싱하기 위하여 적어도 6개의 퓨즈(즉, 26=64)를 가진다. 따라서 단일 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218) 내에 로우 및 칼럼 어드레싱 양쪽을 수용하기 위하여, 적어도 선택된 메모리 어레이 블록 내에 가장 큰 수의 로우 또는 칼럼을 프로그램하기에 충분한 어드레싱 퓨즈가 존재하는 것이 바람직하다. 예로서, 만약 선택된 메모리 어레이 블록이 512개의 로우 및 128개의 칼럼을 포함하면, 메모리 어레이 내의 로우 엘리먼트의 적당한 교체를 가능하게 하기 위하여 적어도 9(즉, 29=512)개의 어드레싱 퓨즈가 있어야 한다. 따라서 만약 512개의 로우를 수용하기 위하여 9개의 어드레싱 퓨즈가 제공되면, 메모리 어레이 블록에 128개의 칼럼을 어드레싱하기 위하여 필요한 7개의 퓨즈(즉, 27=128)를 수용하기에 충분한 어드레싱 퓨즈가 있을 것이다.
그러므로 도 2b에 도시된 8개의 어드레싱 퓨즈는 단지 예시이고, 임의의 수의 어드레싱 퓨즈가 메인 메모리 어레이 블록(210) 크기를 수용하기 위하여 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)의 일부로서 제공될 수 있다. 게다가, 셀 결함이 검출될 때 전체 엘리먼트를 교체하는데 본 논의가 집중되었지만, 보다 특정한 어드레싱을 수행함으로써 결함 엘리먼트의 선택된 부분만을 교체하는 것이 가능하다.
프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)는 메인 메모리 어레이 블록(210)내 선택된 어드레스를 리던던트 엘리먼트로 교체하는 것이 적절하다는 것을 나타내는 "인에이블 퓨즈"를 포함한다. 실행중 보다 많은 정보와 통상적인 다이내믹 랜덤 액세스 메모리(DRAM) 칩에서 인에이블 퓨즈 사용에 대해, 여기에서 참조로 통합되고 1997년 6월 20일에 출원되었으며 공동출원중인 발명의 명칭이 "개선된 리던던트 회로 및 개선 방법"인 제 08/879,726 호(위임 도킷 번호 97P7495US/SMNJP005)가 참조된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)는 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)가 메인 메모리 어레이 블록(210)의 로우 또는 칼럼에 융통성 있게 응용할 수 있는 "디멘젼 퓨즈"를 포함한다. 지정된 로우 또는 칼럼이 아닌 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)를 제공함으로써 메인 메모리 어레이 블록(210)에서 리던던트 칼럼 엘리먼트(214) 세트 및 리던던트 로우 엘리먼트(212) 세트로 교정하는데 필요한 퓨즈뱅크 수를 감소시킬 수 있다는 것이 인식된다. 다른 말로, 로우 또는 칼럼 지정 퓨즈뱅크를 가질 필요를 없앰으로써, 통상적인 메인 메모리 어레이 블록에서 예상되는 교정을 달성하기 위해 퓨즈뱅크 수의 약 반만큼 만을 사용하는 것이 가능하다.
메인 메모리 어레이 블록에서 적당한 교정을 달성하기 위하여 필요한 물리적인 퓨즈뱅크 수의 효과적인 감소를 도시하기 위하여, 12개의 퓨즈뱅크가 도 1b에 도시된 종래 설계에 필요하다. 특히, 4개의 퓨즈뱅크(118b)는 칼럼을 어드레싱하기 위하여 필요하고, 8개의 퓨즈뱅크(118a)는 로우를 어드레싱하기 위하여 필요하다. 그러나 단지 6개의 퓨즈뱅크가 콤팩트 퓨즈뱅크 그룹(216)내에 제공되기 때문에, 다른 6개의 퓨즈뱅크가 이미 차지한 칩 영역은 칩 크기를 감소시키고 여러 가지의 집적 회로 논리를 루팅하기 위하여 사용될 수 있다. 일 실시예에서, 6개의 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)는 메인 메모리 어레이 블록(210)의 로우 또는 칼럼을 리던던트 로우 엘리먼트(212) 세트 및 리던던트 칼럼 엘리먼트(214) 세트로 교체하기 위하여 사용될 수 있다. 상기와 같이, 6개의 리던던트 엘리먼트는 모두 6개의 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)가 단지 로우 또는 칼럼 엘리먼트만을 교체하기 위하여 사용되는 경우를 수용하기 위하여 리던던트 엘리먼트(212 및 214) 세트 각각에 제공된다.
상기된 바와 같이, 퓨즈뱅크 수의 감소는 각각의 독립적으로 교정 가능한 블록(200)을 설계하는데 필요한 칩 크기를 감소시키는 바람직한 효과를 가진다. 게다가, 보다 적은 수의 퓨즈뱅크에 의해 제공되는 추가의 칩 공간은 통상적으로 칩 크기를 증가시키는데 책임이 있는 회로 논리를 실행하는데 사용될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 다수의 물리적 서브 메모리 어레이 중 펼쳐져 있는 메인 메모리 어레이 블록을 가지는 반도체 장치(300)를 도시한다. 이 실시예에서, 도 2a의 메인 메모리 어레이 블록(210)은 반도체 장치(300)를 통하여 사용될 수 있는 다수의 논리를 따라 분할되고 배치된다. 상기된 바와 같이, 메모리 장치의 제조 및 검사 동안 서브 메모리 어레이내의 결함 셀을 교정할 필요가 종종 있다. 통합된 메모리 어레이 블록(210)의 경우에, 각각의 서브 메모리 어레이(310a, 310b 및 310n)에는 결함 셀을 가지는 관련 서브 메모리 어레이내의 엘리먼트를 교체하기 위하여 관련된 리던던트 칼럼 엘리먼트(314a) 및 리던던트 로우 엘리먼트(312a)가 제공된다.
도시된 바와 같이, 반도체 장치(300)는 정렬된 퓨즈뱅크 그룹(316)이 선택된 리던던트 로우 엘리먼트 및 리던던트 칼럼 엘리먼트에 최대 밀도 와이어 루팅을 달성하도록 임의의 배열로 설계되는 스파인(spine) 영역(350)을 가진다. "스파인" 영역(350)은 와이어 루팅, 다수의 논리 설계, 및 퓨즈뱅크 설계에 사용될 수 있는 칩 상의 비메모리 어레이 영역이라 불리는 것으로 이해해야 한다. 게다가, 메모리칩은 스파인 영역(350)에 일반적으로 수직인 비메모리 어레이 "벨트(belt)" 영역(도시되지 않음)에 의해 통상적으로 나뉜다. 이들 벨트 영역은 와이어 루팅, 다수의 논리 설계, 및 퓨즈뱅크 설계에 통상적으로 이용할 수 있다.
도 2b의 실시예에서처럼, 각각의 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)에는 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)가 각각의 서브 메모리 어레이(310a, 310b 및 310n)내 결함 칼럼 엘리먼트 또는 결함 로우 엘리먼트를 어드레싱하는데 사용되어야 하는지를 식별하기 위하여 어드레싱 퓨즈, 인에이블 퓨즈 및 디멘젼 퓨즈가 제공된다. 예로서, 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218) 중 하나가 서브 메모리 어레이 중 하나의 결함 칼럼 엘리먼트를 교정하도록 프로그램 되었다고 가정하면, 리던던트 칼럼 엘리먼트(314a, 314b 및 314n)는 동시에 각각의 서브 메모리 어레이로 교체될 것이다. 결함 칼럼과 리던던트 칼럼 엘리먼트(314a, 314b 및 314n)의 동시 교체는 통합된 메모리 어레이 블록이 서브 메모리 어레이로 분할되었기 때문에 발생한다.
그러나 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)의 디멘젼 퓨즈가 서브 메모리 어레이 중 하나의 로우 엘리먼트를 교체하기 위하여 프로그램될 때, 단지 하나의 리던던트 로우 엘리먼트는 서브 메모리 어레이(310a, 310b 또는 310n) 중 하나의 로우를 대체하기 위하여 사용될 것이다. 설계 밀도를 개선하는데 도움을 주는 임의의 방식으로 프로그램 가능 퓨즈뱅크를 배열하기 위한 능력이 실행된다는 것이 인식된다. 그러므로 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)의 도시된 정렬은 밀도를 개선시키는데 도움을 주기 위하여 반도체 장치(300)의 임의의 부분 상에 설계될 수 있다. 이런 방식으로, 만약 반도체 장치(300)의 집적 회로를 완성하기 위하여 논리 장치가 필요하면, 보다 적은 프로그램 가능 퓨즈뱅크(218)가 그 공간을 차지하기 때문에 보다 많은 스파인 영역(350)이 사용될 수 있다.
다른 실시예에서, 메모리 어레이로부터 떨어져 모든 리던던트 로우, 칼럼 및 퓨즈뱅크를 배치하는 것이 가능하다. 예로써, 리던던트 칼럼 및 리던던트 로우를 포함하는 리던던트 메모리 어레이는 상기된 스파인 영역(350) 또는 벨트 영역에 설계될 수 있다. 게다가, 퓨즈뱅크는 논리 장치의 임의의 비메모리 부분에 배치될 수 있다. 그러므로 디멘젼 프로그램 가능 퓨즈뱅크는 사용되지 않은 보다 적은 퓨즈뱅크를 남기면서 가장 공간 효율적인 방식으로 메모리 어레이 및 퓨즈뱅크를 배치하는 것과 관련하여 보다 많은 융통성을 설계자에게 제공한다. 상기된 바와 같이, DRAM 메모리 장치와 같은 메모리 장치의 가격 경쟁력은 매우 강하고, 각각의 낭비된 칩 공간 퍼센트는 각각의 반도체 웨이퍼로부터 보다 적은 칩이 제조됨으로 인하여 수백만 달러의 손실을 발생시킨다.
비록 상기 발명이 명확한 이해를 위하여 몇몇 설명으로 기술되었지만, 어떤 변화 및 변형은 첨부된 청구범위 내에서 실현될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 도시적인 것이며 제한되지 않고, 본 발명은 여기에 주어진 설명을 제한하는 것이 아니라 첨부된 청구범위의 범위 내에서 변형될 수 있다.
본 발명에 따라 프로그램 가능 퓨즈뱅크를 제공함으로써 교정 가능한 메모리 블록에서 사용되지 않는 로우/칼럼 지정 퓨즈뱅크 수를 줄일 수 있으며, 종래의 리던던트 엘리먼트를 가지는 결함 메모리 어레이에 대해 융통성 있고 신뢰적인 교정능력을 제공한다.
도 1a는 메인 어레이 엘리먼트를 교체하기 위하여 사용될 수 있는 리던던트 엘리먼트의 사용 방법을 도시한 도.
도 1b는 다수의 리던던트 로우 및 칼럼 엘리먼트를 가지는 독립적으로 교정 가능한 메모리 블록의 블록도.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따라 독립적으로 교정 가능한 메모리 블록의 블록도.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따라 지정된 로우 또는 칼럼으로 코드화될 수 있는 다수의 퓨즈를 가지는 예시적인 프로그램 가능 퓨즈뱅크를 도시한 도.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 다수의 물리적 서브 메모리 어레이 중 펼쳐진 메인 메모리 어레이 블록을 가지는 반도체 장치를 도시한 도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
200 : 메모리 블록 210 : 메인 메모리 어레이 블록
212 : 리던던트 로우 엘리먼트 214 : 리던던트 칼럼 엘리먼트
216 : 콤팩트 퓨즈뱅크 그룹 218 : 프로그램 가능 퓨즈뱅크
230 : 선택 노드

Claims (15)

  1. 교정 가능한 반도체 메모리 어레이로서,
    메인 메모리 어레이;
    상기 메인 메모리 어레이의 로우 엘리먼트 또는 칼럼 엘리먼트를 교정하기 위한 리던던트 로우 세트 및 리던던트 칼럼 세트; 및
    각각 상기 메인 메모리 어레이의 칼럼 엘리먼트 및 로우 엘리먼트 중 하나를 어드레싱하도록 프로그램 가능하고, 상기 칼럼 엘리먼트 및 로우 엘리먼트 중 어드레싱된 엘리먼트가 상기 리던던트 로우 세트 중 하나의 로우 또는 상기 리던던트 칼럼 세트 중 하나의 칼럼으로 교체되는 다수의 프로그램 가능 퓨즈뱅크를 포함하며,
    상기 다수의 프로그램 가능 퓨즈뱅크에서 각각의 프로그램 가능 퓨즈뱅크는 교체를 위해 상기 칼럼 엘리먼트 및 로우 엘리먼트 중 하나의 어드레스를 선택하도록 프로그램 되는 디멘젼 퓨즈를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 어레이.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 다수의 프로그램 가능 퓨즈뱅크는 상기 리던던트 로우 세트 및 상기 리던던트 칼럼 세트에 전기적으로 배선된 퓨즈뱅크 그룹에 배열되는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 어레이.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 다수의 프로그램 가능 퓨즈뱅크 각각은 상기 메인 메모리 어레이의 어드레스를 프로그래밍하기 위한 다수의 어드레싱 퓨즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 어레이.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 다수의 프로그램 가능 퓨즈뱅크 각각은 상기 어드레싱 퓨즈에 프로그램된 어드레스의 선택을 가능하게 하는 인에이블 퓨즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 어레이.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 퓨즈뱅크 그룹은 선택 노드에서 상기 리던던트 로우 세트 및 리던던트 칼럼 세트에 전기적으로 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 어레이.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 메인 메모리 어레이는 n개의 로우 엘리먼트 및 m개의 칼럼 엘리먼트를 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 어레이.
  7. 제 3 항에 있어서, 상기 메인 메모리 어레이는 다이내믹 랜덤 액세스 메모리 어레이인 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 어레이.
  8. 교정 가능한 반도체 메모리 어레이를 제조하기 위한 방법으로서,
    다수의 로우 엘리먼트 및 다수의 칼럼 엘리먼트를 가지는 메인 메모리 어레이를 제공하는 단계;
    상기 다수의 로우 엘리먼트 및 다수의 칼럼 엘리먼트 중 결함 엘리먼트를 교정하기 위하여 다수의 리던던트 로우 엘리먼트 및 다수의 리던던트 칼럼 엘리먼트를 제공하는 단계; 및
    상기 메인 메모리 어레이의 상기 다수의 칼럼 엘리먼트 및 다수의 로우 엘리먼트 중 어드레싱된 엘리먼트를 상기 리던던트 로우 및 리던던트 칼럼 중 적어도 하나로 교체하는 단계를 포함하고,
    상기 어드레싱된 엘리먼트는 상기 다수의 리던던트 로우 엘리먼트 및 다수의 리던던트 칼럼 엘리먼트 양쪽에 배선된 퓨즈뱅크를 프로그래밍 함으로써 선택되며,
    상기 퓨즈뱅크는 상기 메인 메모리 어레이의 다수의 칼럼 엘리먼트 및 다수의 로우 엘리먼트 중 교체 엘리먼트를 선택하는 디멘젼 퓨즈를 코딩함으로써 프로그램 되는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 어레이 제조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 다수의 리던던트 로우 엘리먼트 및 다수의 리던던트 칼럼 엘리먼트는 모두 상기 퓨즈뱅크에 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 어레이 제조 방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 퓨즈뱅크는 상기 메인 메모리 어레이의 어드레스를 프로그래밍하기 위한 다수의 어드레싱 퓨즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 어레이 제조 방법.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 퓨즈뱅크는 상기 어드레싱 퓨즈에 프로그램된 어드레스의 선택을 가능하게 하는 인에이블 퓨즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 어레이 제조 방법.
  12. 메인 메모리 어레이, 상기 메인 메모리 어레이의 선택된 로우 및 칼럼 엘리먼트를 교정하기 위한 리던던트 로우 엘리먼트 세트 및 리던던트 칼럼 엘리먼트 세트를 포함하는 교정 가능한 메모리 어레이로서,
    상기 리던던트 로우 세트 및 상기 리던던트 칼럼 세트에 전기적으로 결합된 퓨즈뱅크 그룹 수단; 및
    상기 퓨즈뱅크 그룹 수단 내에 포함되며, 각각 상기 메인 메모리 어레이의 칼럼 엘리먼트 및 로우 엘리먼트 중 하나를 어드레싱하도록 프로그램 가능하고, 상기 칼럼 엘리먼트 및 로우 엘리먼트 중 어드레싱된 엘리먼트가 상기 리던던트 로우 엘리먼트 세트 및 상기 리던던트 칼럼 엘리먼트 세트 중 하나로 바이패스 되는 다수의 퓨즈뱅크 수단을 포함하며,
    상기 다수의 퓨즈뱅크 수단 각각은 교체를 위해 상기 칼럼 엘리먼트 및 로우 엘리먼트 중 하나의 어드레스를 선택하도록 프로그램된 디멘젼 퓨즈를 갖는 것을 특징으로 하는 메모리 어레이.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 다수의 퓨즈뱅크 수단 각각은 상기 메인 메모리 어레이의 어드레스를 프로그래밍하기 위한 다수의 어드레싱 퓨즈 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 어레이.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 메인 메모리 수단은 랜덤 액세스 메모리인 것을 특징으로 하는 메모리 어레이.
  15. 제 13 항에 있어서, 상기 메인 메모리 수단은 다이내믹 랜덤 액세스 메모리인 것을 특징으로 하는 메모리 어레이.
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