JP4828075B2 - 半導体ウェーハレベルチップスケールパッケージのための製造プロセス - Google Patents
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Description
(技術分野)
本発明は半導体チップのウェーハレベルパッケージング技術に関し、特に、チップの両面に端子を有する縦型パワーMOSFET若しくはコンデンサー等のデバイス又は構成要素を含むようなアクティブ/パッシブ半導体チップ用パッケージング技術に関する。
【0002】
(背景技術)
半導体ウェーハの処理が完了した後、できあがった半導体チップ(例えば集積回路(IC)若しくはMOSFETチップなどであってよい)は、それらを外部回路に接続できるような方法で分離され、パッケージされなければならない。多くのパッケージング技術が知られている。その多くは、リードフレーム上へチップを取付けるステップ、ワイヤボンディング若しくは他の方法によってリードフレームへチップパッドを接続するステップ、更にその次の、リードフレームがプラスチックカプセルから突出した状態のままチップとワイヤボンドをプラスチックカプセルに封入するステップを含む。封入はしばしば射出成形によって行われる。次に、リードフレームを1つに保持するタイバーを取除くために、リードフレームが仕上げられ、通常はプリント配線板(PCB)である平面上にパッケージを取付可能にする方法でリードが曲げられる。
【0003】
個々のチップが通常は別々に処理されるので、これは一般的には高価で、時間のかかるプロセスである。更に、できあがる半導体パッケージはチップそれ自身よりもかなり大きいので、PCB上で不足気味の「有効面積(real estate)」を過度に消費してしまう。更に、ワイヤボンドは壊れやすく、チップパッドとパッケージのリードとの間にかなりの抵抗を生じてしまう。
【0004】
パッケージされるべきデバイスがチップの両面に端子を有するような「縦型」デバイスであるときは問題が特に難しくなる。例えば、パワーMOSFETは通常、チップの前面にソース端子及びゲート端子を有し、チップの裏面にドレイン端子を有する。同様に、縦型ダイオードはチップの一方の面上に陽極端子を有し、チップのもう一方の面に陰極端子を有する。半導体コンデンサーや抵抗などの受動素子で可能であるように、バイポーラトランジスタ、接合電界効果トランジスタ(JFET)、及び種々の集積回路(IC)も「縦型」構成で製造することができる。
【0005】
したがって、既存のプロセスよりも単純且つ廉価であり、チップと概ね同じ大きさのパッケージを製造できるプロセスが必要である。前面及び裏面の両側に端子を有する半導体チップに用いることが可能なパッケージ及びプロセスが特に必要である。経済性及び効率化のために、全てのチップを互いに分離する前のウェーハ形状でこのプロセスを実行するのが好ましい。即ち、プロセスが縦型の、ウェーハレベルのチップスケールに適用可能なパッケージングであるのが望ましい。
【0006】
(発明の開示)
これらの目的は、本発明にしたがった半導体チップパッケージ及びそれを製造する方法によって全て達成される。
【0007】
本発明にしたがったパワーMOSFETパッケージは縦型パワーMOSFETを備えた半導体チップを有している。このパワーMOSFETはソース領域及びゲート電極を通常チップの前面に有している。ソース接点、ゲート接点、及びドレイン接点がチップの前面付近に配置されている。ソース接点はソース領域に電気的に接続されており、ゲート接点はゲートに電気的に接続されており、更に、ソース接点、ゲート接点、及びドレイン接点は互いに電気的に絶縁されている。1以上の通路が、前面から裏面へと半導体チップを貫通しており、この通路は金属のような導電性材料で満たされている。導電性材料はMOSFETのドレイン領域及びドレイン接点に電気的に接続されている。このドレイン領域はMOSFETの裏面付近に配置されてもよい。
【0008】
ソース接点及びドレイン接点はそれぞれが、パッド、レイヤー、バンプ、及びその他の導電性材料などを有してもよい。
【0009】
実施例によっては、通路はチップを貫通するような円形若しくは他の形状のホールの形態をとり、更に別の実施例では、通路は長手軸方向のトレンチの形態をとる。
【0010】
いくつかの実施例では、裏面支持基板が半導体チップの裏面に取付けられている。この裏面支持基板は導電性であり、導電性材料が電気的に接続される。
【0011】
本発明にしたがったいくつかの実施例では、通路が半導体チップの中を前面から部分的に延在し、ドレイン領域で終わっている。通路は半導体チップを完全に貫いてはいない。この通路は金属若しくはその他の導電性材料で満たされており、この導電材料はドレイン接点と電気的に接続されている。
【0012】
本発明の本質は、パワーMOSFETを含むような半導体チップに制限されるものではない。むしろ、本発明の本質は、例えば、縦型ダイオード、縦型バイポーラトランジスタ、及び接合電界効果トランジスタ(JFET)等の、チップの両面に端子を有するような半導体ICデバイスの概ね全てに用いることが可能である。即ち、本発明の別の態様では、半導体パッケージは第1及び第2の主面を備えており、更に任意の種類の縦型半導体デバイスを有している。このデバイスは第1主面付近に第1端子が配置され、第2主面付近に第2端子が配置されている。第1接点が半導体チップの第1主面に配置されており、また、デバイスの第1端子に電気的に接続されている。第2接点も第1主面に配置されている。1以上の通路が少なくとも半導体チップの途中まで延在している。通路は導電性材料で満たされており、また、導電性材料はデバイスの第2端子及び第2接点に電気的に接続されている。通路は半導体チップの途中まで延在してもよいし、半導体チップを完全に貫通してもよい。半導体パッケージは半導体チップの第2主面に取付けられた支持基板を有していてもよい。この支持基板は導電性であってもよいし、且つ/又は導電性接着剤で半導体チップの第2主面に取付けられてもよい。
【0013】
本発明はパワーMOSFETパッケージをウェーハ形態で製造するプロセスを含んでおり、前記プロセスは:各々が、ソース領域及びゲート電極が配置されている部分に隣接する前面を備え、パワーMOSFETを有するようなチップを複数有する半導体ウェーハを提供するステップと;複数の孔を有するマスクを前記ウェーハの前面に渡って形成するステップと;前記孔を通して前記ウェーハをエッチングし、それにより前記ウェーハを通って延在する複数の通路を形成するステップと;前記通路に金属を被着させるステップと;複数の前記チップを互いに分離させるステップとを有する。プロセスは、例えば、ウェーハの裏面の研削、ラッピングによってウェーハをシンニングするステップ、及び/又はウェーハの裏面に支持基板を取付けるステップを含んでもよい。この支持基板は導電性であってもよい。
【0014】
このプロセスは、ソース、ゲート、及びドレインパッドの孔の中にはんだバンプを形成するステップと、不活性層を形成することによってこのはんだバンプを絶縁するステップとを含んでよい。
【0015】
或いは、通路がウェーハの一部分だけを通り延在するようにウェーハをエッチングして、それにより通路中の金属とパワーMOSFETのドレインとの間で電気的接触を生じさせてもよい。
【0016】
更に別の実施例にしたがって、マスクをウェーハの裏面に渡って形成し、このマスクの孔を通してウェーハの裏面から前面へとウェーハをエッチングしてもよい。
【0017】
本発明のプロセスは、例えば、縦型ダイオード、縦型バイポーラトランジスタ、及び接合電界効果トランジスタ(JFET)等の、チップの両面に端子を有するような任意の半導体デバイスに対するパッケージの製造に用いられてよい。即ち、本発明の任意の種類の半導体デバイスに対するパッケージを製造するプロセスは:各々が半導体デバイスを有するようなチップを複数有する、第1及び第2種面を備えた半導体ウェーハを提供するステップと;第1端子が第1主面付近に配置され、第2端子が第2主面付近に配置された前記半導体デバイスと;各チップ付近に少なくとも1つは存在するような孔を有するマスクをウェーハの第1主面に渡って形成するステップと;ウェーハを完全に貫通して延在する複数の通路を形成するために、マスクの孔を通して第1主面から第2主面へウェーハをエッチングするステップと;マスクを除去するステップと;通路の中に導電性材料を被着させるステップと;複数のチップを互いに分離するステップとを有する。
【0018】
(発明を実施するための最良の形態)
図1及び図2は、従来の縦型MOSFETの断面図を示している。図1は、N+ソース領域がチップの前面のトレンチに隣接して配置されているようなトレンチMOSFETを示している。デバイスが導電状態となるときチャネルが形成されるトレンチの側面に沿って、P-ボディ領域がN+ソース領域に隣接している。前面の金属層がN+ソース領域に接触するとともに、P+ボディ接触領域を介してP-ボディ領域に接触している。N+基板及びN-ドリフト領域がMOSFETのドレイン領域を形成しており、これは通常金属層とチップの裏面で接触する。ゲートがトレンチ中に形成されており、トレンチの側面付近のチャネルを通る電流の流れを調節する。図2は、縦型プレーナー二重拡散型DMOSFETを示している。構造は概ね類似しているが、ゲートがトレンチにある代わりにチップの表面に配置されており、Pボディ領域の表面のすぐ下のチャネルにおける横方向の電流の流れを制御する。この場合も、ドレインがチップの裏面に配置されている。どちらのデバイスでもドレイン端子はチップの裏面に配置されており、全ての端子がチップの前面に設けられるパッケージにおいてアクセスが困難であることに留意するのは重要である。(注:「ソース(source)」及び「ドレイン(drain)」の区別はある程度任意である。本明細書中では、用語「ソース」はチップの前面付近の端子領域を示し、用語「ドレイン」はチップの裏面付近の端子領域を示す。)
本発明によるパワーMOSFETパッケージの実施例が図3A乃至図3Cに概念的に示されている。図3Aに示されているように、パッケージ10は、シリコン中へのドーパントの注入及び拡散の公知のプロセスによってパワーMOSFET(図示せず)が中に形成されるようなシリコンチップ11を含んでいる。パワーMOSFETはしばしば、シリコン基板に渡ってエピタキシャル層を含んでおり、デバイスのアクティブな領域はこのエピタキシャル層中に形成されている。裏面支持基板14がチップ11の裏面に、導電性のあるエポキシ若しくは金属箔であり得るような導電性接着剤の層を用いて取付けられる。チップ11内のパワーMOSFETが縦型デバイスであるので、端子(例えばソース端子及びゲート端子)のいくつかはチップ11の前面付近に配置され、別の端子(例えばドレイン)はチップ11の裏面付近に配置され、接着剤層13に電気的に接続される。ソース金属層12、ソースパッド15、及びソースはんだバンプ16を含むソース接点はソース端子に電気的に接続される。通路17はチップ11を完全に貫通して延在し、接着剤層13と電気的な接触をするような金属で満たされている。ドレインパッド18及びドレインはんだバンプ19を含むドレイン接点は通路17の中の金属と電気的に接続されている。
【0019】
したがって、はんだバンプ19を介してのパワーMOSFETのドレインへの電気的接触及びはんだバンプ16を介してのソースへの電気的接触をさせながら、パッケージ10をプリント配線板(PCB)若しくはその他の構造体に取付けることができる。
【0020】
図3Bは、パッケージ10の底面図を示しており、図3AとなっているセクションI−Iが示されている。パッケージ10の両側に沿ってのドレインはんだバンプ19の配置とチップ11の中央領域中へのソースはんだバンプ16の配置が示されている。更に、チップ11の角に、パッケージ10内のゲート金属層と電気的な接触をするようなゲートはんだバンプ20も示されている。パッケージ10内でのソース及びゲートの金属層の構成及び配置は当技術分野で公知であり、本発明は一部分を形成しているわけではない。図3Cは、ドレインはんだバンプ19の列に沿うような、図3B中に示されたセクションIII−IIIでのパッケージ10の断面図である。
【0021】
図4乃至図6は、本発明によるいくつかの付加的な実施例を図示している。図4に示されているパッケージ40は裏面支持基板14が取除かれており、それゆえにチップ41は通常、チップ11より多少厚くなっているが、それ以外はパッケージ40は図1で示されたパッケージ10と類似している。通路41が、チップ41を貫通し、チップ41の裏面の導電性材料の層43へと延在している。
【0022】
図5に示されているパッケージ40はパッケージ10と類似しているが、はんだボール16及び19が取除かれている。パッケージ50は、ソースパッド15及びドレインパッド18と直接接触させることによってPCB若しくは他の構造体上に取付けられる。
【0023】
図6に示されているパッケージ60もパッケージ10と類似しているが、通路62がチップを完全に貫通して延在する代わりに、チップの中で終わっている。ホール若しくはトレンチの形態であってもよい通路62は、チップの裏面付近の、チップ11内のパワーMOSFETのドープされた領域で終わっている。例えば、N-チャネルMOSFETについての通路62は、チップ11の裏面付近のドレイン端末を形成するようなN+領域で終わっている。
【0024】
図7A〜7C乃至図58A〜58Cは、本発明にしたがった、パワーMOSFET用パッケージの製造に用いられてよい幾つかのプロセスを図示している。各図面で、「A」と表示されている図はチップの平面図であり、「B」及び「C」と表示されている図は「A」と表示されている図によって指定されているセクションでの断面図である。
【0025】
図7A〜7C乃至図20A〜20Cは、チップの前面から裏面への通路の形成ステップを含むようなプロセスの筋道を図示している。パワーMOSFET及び金属接触パッドが形成された後のチップ70の初期形状が図7A〜7Cに示されている。図7Aの平面図で示されているように、チップ70の上面は不活性層76によって互いに絶縁されているゲート接触パッド72とソース接触パッド74とを含む。ゲット及びソースの接触パッド72及び74は通常アルミニウム製であるが、銅等の別の金属若しくは非金属導電性材料で作製されてもよい。パワーMOSFET(記号で示している)が半導体基板77に、通常はシリコンで形成される。VIIB‐VIIB及びVIIC−VIICセクションでの断面図がそれぞれ図7B及び図7Cに示されている。
【0026】
後の工程でチップ70から支持基板78を取外せるようにするワックス若しくは何らかの他の材料を用いて、基板78がチップ70の前面に取外し可能に取付けられる(図8A〜8C)。
【0027】
基板77は、その裏面を研削することによりシンニングされる。或いは、ウェットエッチング及び真空プラズマエッチング(vaccum plasma etching)等の他のシンニング技術を用いて基板77をシンニングしてもよい。可能な別な方法としては、カリフォルニア州サニーベールのTru-Si Technologies,Inc社から入手できる常圧ダウンストリームプラズマ(ADP)エッチングシステム(atmospheric downstream plasma (ADP) plasma etchnig system)がある。この方法を用いると、基板77を例えばたった2milもの厚さにシンニングすることができる(図9A〜9C)。
【0028】
基板77の裏面にTa/Cuのバリヤー層82がスパッタリングされる。層82は例えば0.5〜1.0μmもの厚さとなり得る。或いは、Ta/Cu以外の導電性材料が用いられてもよく、また、層を形成するのにスパッタリング以外のプロセスが用いられてもよい(図10A〜10C)。
【0029】
Ta/Cuのバリヤー層88が裏面基板84上にスパッタリングされ、更にこの裏面基板84は、はんだ層86若しくはエポキシ等の他の導電性材料を用いてシリコン基板77の裏面に取付けられる(図11A〜11C)。
【0030】
ワックス層80が加熱され、支持基板78がシリコン基盤77の前面から取外される(図12A〜12C)。
【0031】
フォトレジスト層92がシリコン基板77の前面に被着される。フォトレジスト層は孔94を形成するべくパターニング及びエッチングされる。エッチングは例えばウェットエッチングのような従来のエッチングであってよい。孔94は円形であわが、任意の形状であってよい。シリコン基板77は通路96を形成するべく孔を通してエッチングされ、それによりバリヤー層82が露出する。シリコンは斜面に沿ってエッチングされるので、示されているように通路96は円錐状形となる。この場合も、孔94に応じて通路96は任意の形状であってよい。本明細書で用いられているように、用語「via」は、半導体基板を完全に若しくは部分的に通って延在するような全ての任意の形状の空洞を示している(図13A〜13C)。
【0032】
フォトレジスト層92が除去され、それによりバリヤー層82の面へと延在する通路96が露出する(図14A〜14C)。
【0033】
チップ70の全面にTa/Cuの層98がスパッタリングされる。Ta/Cu層98は例えば0.5〜1.0μmの厚さであってよい(図15A〜15C)。
【0034】
フォトレジスト層100が被着及びパターニングされ、それによりTa/Cu層98の部分がいくらか露出したまま残される。Ta/Cu層98のこの露出部分に銅層102がめっきされる。銅層102は、ゲート及びソース金属や、通路96が配置されている領域を概ね覆う(図16A〜16C)。
【0035】
フォトレジスト層100が除去され、それにより所定位置の銅層102が残った状態となり、シリコン基板77及び不活性層76部分が露出する(図17A〜17C)。
【0036】
スクリーン印刷法によって、銅層102の部分を孔として露出したまま不活性層104がチップ70の面上に渡ってパターハングされる。102Gと表示された部分がゲート接触パッド72に電気的に接続され、102Sと表示された部分がソース接触パッド74に電気的に接続され、更に、102Dと表示された部分がはんだ層86、裏面基板84、及びパワーMOSFETのドレイン端子に電気的に接続される(図18A〜18C)。
【0037】
所望により、裏面基板84の面をレーザーマーキングすることによってウェーハ中のチップ70及びその他のチップが、製品名若しくは会社名でラベル付けされてもよい。
【0038】
はんだバンプ106が、銅層102の露出部分102G、102S、及び102D上に形成される。バンプ106G及び106Sがそれぞれゲート金属及びソース金属に電気的に接続される。バンプ106Dがはんだ層86及び裏面基板84に電気的に接続される(図19A〜19C)。
【0039】
チップ70が、108と示されているところでの切断(sawing)によりウェーハ中の他のチップから分離される。その結果できるのがフリップチップ取付け技術を用いてPCB若しくは他の構造体に取付け得るようなパワーMOSFETパッケージである(図20A〜20C)。
【0040】
図21A〜21C乃至図34A〜34Cは、チップの裏面から前面への通路の形成ステップを含むようなプロセスの道筋を図示している。このプロセスは、図7A〜7Cに示されているチップ70と同一であるような、図21A〜21Cに示されているチップ150で開始される。
【0041】
後の工程でチップ70から支持基板78を取外せるようにするワックス若しくは何らかの他の材料を用いて、支持基板78がチップ70の前面に取外し可能に取付けられる(図22A〜22C)。
【0042】
シリコン基板77は、その裏面を研削することによりシンニングされる。或いは、ウェットエッチング及び真空プラズマエッチング(vaccum plasma etching)等の他のシンハング技術を用いて基板77をシンニングしてもよい。可能な別な方法としては、カリフォルニア州サニーベールのTru-Si Technologies,Inc社から入手できる常圧ダウンストリームプラズマ(ADP)エッチングシステム(atmospheric downstream plasma (ADP) plasma etchnig system)がある。この方法を用いると、基板77を例えばたった2milもの厚さにシンニングすることができる(図23A〜23C)。
【0043】
フォトレジスト層152がシンニングされた基板77の裏面に被着される。フォトレジスト層は孔154を形成するべくパターニング及びエッチングされる。基板77は通路156を形成するべく、エッチングストップとして作用させるワックス層80を用いて孔154を通してエッチングされる。シリコンは斜面に沿ってエッチングされるので、示されているように通路156は円錐状形となる。孔154に応じて通路156は任意の形状であってよい。(図24A〜24C)。
【0044】
フォトレジスト層152が除去され、それにより通路156は露出されたまま残される(図25A〜25C)。
【0045】
通路156中に拡張されて通路156の底部でワックス層を覆うように、チップ70の裏面にTa/Cuの層158がスパッタリングされる。Ta/Cu層158は例えば0.5〜1.0μmの厚さであってよい(図26A〜26C)。
【0046】
裏面基板160上にTa/Cuの層158がスパッタリングされ、更にこの裏面基板160は、はんだ層162若しくはエポキシ等の他の導電性材料を用いてシリコン基板77の裏面に取付けられる。はんだ層162は通路156を満たす(図27A〜27C)。
【0047】
ワックス層80が加熱され、支持基板78がシリコン基盤77の前面から取外される(図28A〜28C)。
【0048】
チップ70の全面にTa/Cuの層166がスパッタリングされる。Ta/Cu層166は例えば0.5〜1.0μmの厚さであってよい(図29A〜29C)。
【0049】
フォトレジスト層168が被着及びパターニングされ、それによりTa/Cu層166の部分がいくらか露出したまま残される。Ta/Cu層166のこの露出部分に銅層170がめっきされる。銅層170は、ゲート及びソース金属や、通路156が配置されている領域を概ね覆う(図30A〜30C)。
【0050】
フォトレジスト層168が除去され、それにより所定位置の銅層170が残った状態となり、シリコン基板77及び不活性層76の部分が露出する(図31A〜31C)。
【0051】
スクリーン印刷法によって、銅層170の部分を孔として露出したまま不活性層172がチップ70の面上に渡ってパターニングされる。170Gと表示された部分がゲート接触パッド72に電気的に接続され、170Sと表示された部分がソース接触パッド74に電気的に接続され、更に、170Dと表示された部分がはんだ層162、裏面基板84、及びパワーMOSFETのドレイン端子に電気的に接続される(図32A〜32C)。
【0052】
所望により、裏面基板84の面をレーザーマーキングすることによってウェーハ中のチップ150及びその他のチップが、製品名若しくは会社名でラベル付けされてもよい。
【0053】
はんだバンプ174が、銅層170の露出部分170G、170S、及び170D上に形成される。バンプ174G及び174Sがそれぞれゲート金属及びソース金属に電気的に接続される。バンプ174Dがはんだ層162及び裏面基板84に電気的に接続される(図33A〜33C)。
【0054】
チップ150が、108と示されているところでの切断(sawing)によりウェーハ中の他のチップから分離される。その結果できるのがフリップチップ取付け技術を用いてPCB若しくは他の構造体に取付け得るようなパワーMOSFETパッケージである(図34A〜34C)。
【0055】
図4、図5、及び図6で示されているような別の実施例では、通路はドレイン領域中に延在するが、チップを完全に貫通してはいない。この構造のパッケージを製造するための2つの方法が以下に説明されている。これらの方法は両方ともできあがったパッケージが、ドレイン領域中に延在するようなトレンチの形状をした通路を含んでいる。
【0056】
第1方法が図35A〜35C乃至図46A〜46Cに説明されている。パワーMOSFET及び金属接触パッドが形成された後のチップ180の初期形状が図35A〜35Cに示されている。図35Aの平面図で示されているように、チップ180の上面はゲート接触パッド182、ソース接触パッド184、及び不活性層186を含む。パワーMOSFET(記号で示している)が半導体基板187に形成される。一連のストライプ185がソース接触パッド184に形成され、各ストライプ185は不活性層186の境界領域により囲まれた基板187の中央領域を含んでいる。ストライプ185は、チップ180の面の残りをパターニングするのに用いるのと同じフォトリソグラフィー技術により形成される。基板187の露出領域を形成するのにストライプ185の代わりに他の幾何学的形状を用いてもよい。
【0057】
フォトレジスト層192(例えば5μmの厚さ)がチップ180の前面に被着される。フォトレジスト層192は、基板187の領域上にストライプ185の範囲で位置するような孔を形成するべくパターニング及びエッチングされる。シリコン基板187は、該基板187中にトレンチ196を形成するべくフォトレジスト層192の孔を通してエッチングされる。トレンチ196は5μmの深さであってよい。この場合も、フォトレジスト層の孔192の形状に応じて円形の孔若しくは他の形状の空洞が基板187の中を延在するように形成されてよい。上述したように本明細書で用語「via」はトレンチ、孔、又は半導体基板を完全に若しくは部分的に通って延在するような全ての任意の形状の空洞を示している(図36A〜36C)。
【0058】
フォトレジスト層192が除去され、トレンチ196の内面も含めてチップ180の全面にTa/Cuの層198がスパッタリングされる。Ta/Cu層198は例えば0.5〜1.0μmの厚さであってよい(図37A〜37C)。
【0059】
フォトレジスト層200が被着及びパターニングされ、それによりTa/Cu層198の部分がいくらか露出したまま残される。Ta/Cu層198のこの露出部分に銅層202がめっきされる。銅層202は、ゲート及びソース金属を概ね覆い、トレンチ196を満たす(図38A〜38C)。
【0060】
フォトレジスト層200が除去され、それにより所定位置の銅層202が残った状態となり、Ta/Cu層189、シリコン基板187及び不活性層186の部分が露出する。次にTa/Cu層の露出部分198がエッチングされる。銅層202はゲート接触パッド182及びソース接触パッド184上の所定位置に残り、更に、銅層202のトレンチ内の部分も所定位置に残ったままとなる(図39A〜39C)。
【0061】
不活性層204がチップ180の面上に渡って被着され、銅層202の部分を露出させるように不活性層204に孔がエッチングされる。202Gと表示された部分がゲート接触パッド182に電気的に接続され、202Sと表示された部分がソース接触パッド184に電気的に接続され、更に、202D部分がトレンチ内に残って基板187のドレイン領域内に延在している(図40A〜40C)。
【0062】
チップ180の全面にTa/Cuの層205(例えば0.5〜1.0μmの厚さ)がスパッタリングされる。(図41A〜41C)。
【0063】
Ta/Cu層205上にフォトレジスト層206が被着され、孔208を形成するべくフォトリソグラフィーでパターニングされる。孔208を通して露出しているTa/Cu層205部分に銅層210がめっきされる。セクション210Gがゲート接触パッド182に電気的に接続され、210Sと表示された部分がソース接触パッド184に電気的に接続され、更に、210D部分がトレンチ196の中の銅層202の部分を介して基板187のドレイン領域と電気的に接続される(図42A〜42C)。
【0064】
フォトレジスト層206が取除かれ、Ta/Cu層205がエッチングされ、不活性層204の上面が露出したまま残される(図43A〜43C)。
【0065】
エポキシ層212が不活性層204上に被着され、リフローされる。これはTa/Cu層205の210G、210S、及び210D部分を露出されたまま残すためのスクリーン印刷法によって実行され得る。
【0066】
所望により、基板187の裏面をレーザーマーキングすることによってウェーハ中のチップ180及びその他のチップが、製品名若しくは会社名でラベル付けされてもよい。
【0067】
はんだバンプ214が、銅層210の露出部分210G、210S、及び210D上に形成される。バンプ214G及び214Sがそれぞれゲート金属及びソース金属に電気的に接続される。バンプ214Dが基板187のドレイン領域に電気的に接続される(図45A〜45C)。
【0068】
チップ180が、216と示されているところでの切断(sawing)によりウェーハ中の他のチップから分離される。その結果できるのがフリップチップ取付け技術を用いてPCB若しくは他の構造体に取付け得るようなパワーMOSFETパッケージである(図46A〜46C)。
【0069】
基板の途中までしか延在していない通路を備えたパッケージ製造の第2方法が図47A〜47C乃至図58A〜58Cに説明されている。パワーMOSFET及び金属接触パッドが形成された後のチップ220の初期形状が図47A〜47Cに示されている。図47Aの平面図で示されているように、チップ220の上面はゲート接触パッド222、ソース接触パッド224、及び不活性層226を含む。パワーMOSFET(記号で示している)が半導体基板227に形成される。一連のストライプ225がソース接触パッド224に形成され、各ストライプ225は不活性層226の領域により縁付けられた基板227の中央領域を含んでいる。ストライプ225は、チップ220の面の残りをパターニングするのに用いるのと同じフォトリソグラフィー技術により形成される。基板227の露出領域を形成するのにストライプ225の代わりに他の幾何学的形状を用いてもよい。
【0070】
フォトレジスト層232(例えば5μmの厚さ)がチップ220の前面に被着される。フォトレジスト層232は、基板227の領域上に位置する孔を形成するべくパターニング及びエッチングされる(図47A〜47C)。
【0071】
基板227中にトレンチ236を形成するべくフォトレジスト層192中の孔を通してシリコン基板227がエッチングされる。トレンチ236は5μmの深さであってよい。この場合も、フォトレジスト層232の孔の形状に応じて円形の孔若しくは他の形状の空洞が基板227の中を延在するように形成されてよい。上述したように本明細書で用語「via」はトレンチ、孔、又は半導体基板を完全に若しくは部分的に通って延在するような全ての任意の形状の空洞を示しているフォトレジスト層232は除去され、それによりチップ220の面が露出する(図49A〜49C)。
【0072】
トレンチ236の内面を含め、チップ220の全面にTa/Cuの層238がスパッタリングされる。Ta/Cu層238は例えば0.5〜1.0μmの厚さであってよい(図50A〜50C)。
【0073】
フォトレジスト層240が被着及びパターニングされ、それによりTa/Cu層238の部分がいくらか露出したまま残される。Ta/Cu層238のこの露出部分に銅層242がめっきされる。銅層242は、ゲート及びソース金属を概ね覆い、トレンチ236を満たす(図51A〜51C)。
【0074】
フォトレジスト層240が除去され、それにより所定位置の銅層242が残った状態となり、Ta/Cu層238の部分が露出する。次にTa/Cu層238の露出部分198がエッチングされ、それによりシリコン基板277及び不活性層226の部分が露出する。銅層242はゲート接触パッド222及びソース接触パッド244上の所定位置に残り、更に、銅層242のトレンチ内の部分も所定位置に残ったままとなる(図52A〜52C)。
【0075】
銅層242の露出部分が露出されたままで、厚みのある不活性層244がスクリーン印刷法によってチップ220の面上にパターニングされる。242Gと表示された部分がゲート接触パッド222に電気的に接続され、242Sと表示された部分がソース接触パッド224に電気的に接続され、更に、242D部分がMOSFETのドレイン領域に電気的に接続される。孔241は円形状で示されているが、他の形状を用いてもよい(図53A〜53C)。
【0076】
基板277は、その裏面を研削することによりシンニングされる。或いは、ウェットエッチング及び真空プラズマエッチング(vaccum plasma etching)等の他のシンニング技術を用いて基板227をシンニングしてもよい。可能な別な方法としては、カリフォルニア州サニーベールのTru-Si Technologies,Inc社から入手できる常圧ダウンストリームプラズマ(ADP)エッチングシステム(atmospheric downstream plasma (ADP) plasma etchnig system)がある。この方法を用いると、基板227を例えばたった10milもの厚さにシンニングすることができる(図54A〜54C)。
【0077】
シンニングされた基板227の裏面に、例えばはんだ若しくはエポキシの接着剤層246を用いてヒートシンク244が結合される。ヒートシンク244は例えば厚さ10milの銅のシートであってよい(図55A〜55C)。
【0078】
所望により、基板227の裏面をレーザーマーキングすることによってウェーハ中のチップ220及びその他のチップが、製品名若しくは会社名でラベル付けされてもよい。
【0079】
はんだバンプ248が、銅層242の露出部分242G、242S、及び242D上に形成される。バンプ248G及び248Sがそれぞれゲート金属及びソース金属に電気的に接続される。バンプ248Dが基板227のドレイン領域に電気的に接続される(図56A〜56C)。
【0080】
基板227が250と示されたところで切断され、それによりウェーハの他のチップの基板の部分から分離される。ヒートシンク244はそのまま残される(図57A〜57C)。
【0081】
所望により不活性層246がヒートシンク244上に形成され、252と示されているところでのヒートシンク244を通るような切断(sawing)によりチップ220がウェーハ中の他のチップから分離される。その結果できるのがフリップチップ取付け技術を用いてPCB若しくは他の構造体に取付け得るようなパワーMOSFETパッケージである(図58A〜58C)。
【0082】
本発明の主要な本質は、半導体チップ中に形成され且つ該チップの両面付近に電気的端子を有するような任意の種類のデバイスに対してのパッケージを提供するために用い得る。半導体材料を備えたデバイスの正確な構造は重要ではない。上述したように、縦型パワーMOSFETはトレンチゲート型若しくはプレーナー型で製造されてよい。更に、本発明は半導体チップ中に形成されたダイオード、コンデンサー、及び抵抗器等の受動素子に適用することも可能である。
【0083】
図59A及び図59Bは本発明にしたがったダイオードパッケージを図示しており、チップ前面のドープされた領域に陽極が設けられており、また、チップの裏面の逆導電型のドープされた領域に陰極が設けられている。図59Aでは、陽極領域を前面の陽極端子へと接続させるような通路がチップを貫通し、裏面に取付けられた金属プレートへと延在している。図59Bでは、通路はチップの途中の陽極領域の中までしか延在していない。
【0084】
図60A及び図60Bは、本発明にしたがったコンデンサーパッケージを図示しており、非導電性不活性層によって高濃度ドープシリコン領域と隔てられた金属プレートにゲート接点が取付けられている。通路が高濃度ドープ領域と、チップ前面上のバック接点とを接続している。図60Aでは、通路はチップを完全に貫通し、チップ裏面に取付けられた金属へと延在しており;図60Bでは、通路は高濃度ドープ領域中へと延在するがチップを完全に貫通はしない。
【0085】
本発明の特定の実施例を説明してきたが、本発明の主要な本質にしたがって多数の代替実施例をつくることが可能であることは当業者には明らかであろう。例えば、上記の実施例ではNチャネルMOSFETに関してのものだが、本発明はPチャネルMOSFETにも適用可能である。通路及びその他の中の導電性材料は金属として説明されたが、実施例によってはポリシリコン等の別の種類の導電性材料が用いられてもよい。これら及びその他の変更は本発明の範疇内に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、従来の縦型トレンチMOSFETの断面図である。
【図2】 図2は、従来の縦型プレーナーDMOSFETの断面図である。
【図3A】 図3Aは、本発明にしたがった、半導体パッケージの第1実施例の概略的概念的断面図である
【図3B】 図3Bは、図3Aに示されたパッケージの底面図である。
【図3C】 図3Cは、図3Aに示されたパッケージの別の断面図である。
【図4】 図4は、裏面支持基板なしのある実施例の断面図である。
【図5】 図5は、裏面支持基板を備えたある実施例の断面図である。
【図6】 図6は、半導体基板の途中までしか通路が延在していないある実施例の断面図である。
【図7A】 図7Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図7B】 図7Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図7C】 図7Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図8A】 図8Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図8B】 図8Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図8C】 図8Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図9A】 図9Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図9B】 図9Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図9C】 図9Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図10A】 図10Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図10B】 図10Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図10C】 図10Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図11A】 図11Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図11B】 図11Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図11C】 図11Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図12A】 図12Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図12B】 図12Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図12C】 図12Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図13A】 図13Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図13B】 図13Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図13C】 図13Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図14A】 図14Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図14B】 図14Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図14C】 図14Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図15A】 図15Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図15B】 図15Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図15C】 図15Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図16A】 図16Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図16B】 図16Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図16C】 図16Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図17A】 図17Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図17B】 図17Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図17C】 図17Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図18A】 図18Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図18B】 図18Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図18C】 図18Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図19A】 図19Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図19B】 図19Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図19C】 図19Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図20A】 図20Aは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図20B】 図20Bは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図20C】 図20Cは、通路がチップの前面から裏面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図21A】 図21Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図21B】 図21Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図21C】 図21Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図22A】 図22Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図22B】 図22Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図22C】 図22Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図23A】 図23Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図23B】 図23Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図23C】 図23Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図24A】 図24Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図24B】 図24Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図24C】 図24Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図25A】 図25Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図25B】 図25Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図25C】 図25Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図26A】 図26Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図26B】 図26Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図26C】 図26Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図27A】 図27Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図27B】 図27Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図27C】 図27Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図28A】 図28Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図28B】 図28Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図28C】 図28Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図29A】 図29Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図29B】 図29Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図29C】 図29Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図30A】 図30Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図30B】 図30Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図30C】 図30Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図31A】 図31Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図31B】 図31Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図31C】 図31Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図32A】 図32Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図32B】 図32Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図32C】 図32Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図33A】 図33Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図33B】 図33Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図33C】 図33Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図34A】 図34Aは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図34B】 図34Bは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図34C】 図34Cは、通路がチップの裏面から前面へと形成されるようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図35A】 図35Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図35B】 図35Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図35C】 図35Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図36A】 図36Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図36B】 図36Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図36C】 図36Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図37A】 図37Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図37B】 図37Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図37C】 図37Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図38A】 図38Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図38B】 図38Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図38C】 図38Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図39A】 図39Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図39B】 図39Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図39C】 図39Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図40A】 図40Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図40B】 図40Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図40C】 図40Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図41A】 図41Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図41B】 図41Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図41C】 図41Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図42A】 図42Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図42B】 図42Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図42C】 図42Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図43A】 図43Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図43B】 図43Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図43C】 図43Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図44A】 図44Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図44B】 図44Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図44C】 図44Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図45A】 図45Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図45B】 図45Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図45C】 図45Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図46A】 図46Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図46B】 図46Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図46C】 図46Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージの製造プロセスのステップを図示している。
【図47A】 図47Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図47B】 図47Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図47C】 図47Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図48A】 図48Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図48B】 図48Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図48C】 図48Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図49A】 図49Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図49B】 図49Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図49C】 図49Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図50A】 図50Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図50B】 図50Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図50C】 図50Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図51A】 図51Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図51B】 図51Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図51C】 図51Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図52A】 図52Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図52B】 図52Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図52C】 図52Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図53A】 図53Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図53B】 図53Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図53C】 図53Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図54A】 図54Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図54B】 図54Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図54C】 図54Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図55A】 図55Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図55B】 図55Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図55C】 図55Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図56A】 図56Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図56B】 図56Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図56C】 図56Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図57A】 図57Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図57B】 図57Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図57C】 図57Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図58A】 図58Aは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図58B】 図58Bは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図58C】 図58Cは、通路をチップの途中まで形成するようなパッケージ製造の別のプロセスのステップを図示している。
【図59A】 図59Aは、本発明にしたがった、ダイオードのパッケージの断面図である。
【図59B】 図59Bは、本発明にしたがった、ダイオードのパッケージの断面図である。
【図60A】 図60Aは、本発明にしたがった、コンデンサーのパッケージの断面図である。
【図60B】 図60Bは、本発明にしたがった、コンデンサーのパッケージの断面図である。
Claims (15)
- 半導体デバイス用パッケージの製造プロセスであって、
半導体ウェーハを提供するステップであって、該半導体ウェーハは、各々が前記半導体デバイスを含むようなチップを複数有し且つ該半導体ウェーハの互いに反対の面である第1主面及び第2主面を備え、前記半導体デバイスのそれぞれが前記第1主面に配置された少なくとも1つの第1端子及び前記第2主面に配置された少なくとも1つの第2端子を有する、半導体ウェーハ提供ステップと、
前記第1主面に第1支持基板を着脱自在に取付けるステップと、
前記半導体ウェーハを前記第2主面からシンニングするステップと、
前記第2主面に前記第2支持基板を取付けるステップと、
前記第1支持基板を除去するステップと、
前記半導体ウェーハの前記第1主面の上に、前記チップの各々の上に少なくとも1つの孔が配置されるように複数の孔を備えたマスクを形成する形成ステップと、
前記半導体ウェーハを通って前記第1主面から前記第2主面へ延在する通路を複数形成するべく前記マスク中の前記孔を通して前記ウェーハをエッチングするエッチングステップと、
前記マスクを除去する除去ステップと、
前記通路の中へ導電性材料を被着させる被着ステップと、
前記第1主面上に第1接点及び第2接点を形成し、前記第1主面上の前記第1接点が前記第1端子に電気的に接続され、前記導電性材料により、前記第1主面上の前記第2接点が前記第2主面上の前記第2端子に電気的に接続されるようにする接点形成ステップと、
前記チップを互いに分離させる分離ステップとを含み、
上記ステップが記載した順序で行われることを特徴とするプロセス。 - 半導体デバイス用パッケージの製造プロセスであって、
半導体ウェーハを提供するステップであって、該半導体ウェーハは、各々が前記半導体デバイスを含むようなチップを複数有し且つ該半導体ウェーハの互いに反対の面である第1主面及び第2主面を備え、前記半導体デバイスのそれぞれが前記第1主面に配置された少なくとも1つの第1端子及び前記第2主面に配置された少なくとも1つの第2端子を有する、半導体ウェーハ提供ステップと、
前記第1主面に第1支持基板を着脱自在に取付けるステップと、
前記半導体ウェーハを前記第2主面からシンニングするステップと、
前記半導体ウェーハの前記第2主面の上に、前記チップの各々の上に少なくとも1つの孔が配置されるように複数の孔を備えたマスクを形成する形成ステップと、
前記半導体ウェーハを通って前記第2主面から前記第1主面へ延在する通路を複数形成するべく前記マスク中の前記孔を通して前記ウェーハをエッチングするエッチングステップと、
前記マスクを除去する除去ステップと、
前記通路の中へ導電性材料を被着させる被着ステップと、
前記第2主面に第2支持基板を取付けるステップと、
前記第1支持基板を除去するステップと、
前記第1主面上に第1接点及び第2接点を形成し、前記第1接点が前記第1主面上の前記第1端子に電気的に接続され、前記導電性材料により、前記第1主面上の前記第2接点が前記第2主面上の前記第2端子に電気的に接続されるようにする接点形成ステップと、
前記チップを互いに分離させる分離ステップとを含み、
上記ステップが記載した順序で行われることを特徴とするプロセス。 - 前記シンニングするステップが、前記半導体ウェーハの第1及び第2主面のうちの一方を研削若しくはラッピングするステップを有することを特徴とする請求項1若しくは2に記載のプロセス。
- 前記シンニングステップが、前記半導体ウェーハをエッチングするステップを有することを特徴とする請求項1若しくは2に記載のプロセス。
- 前記半導体デバイスがパワーMOSFETであることを特徴とする請求項1若しくは2に記載のプロセス。
- 前記半導体デバイスがバイポーラトランジスタであることを特徴とする請求項1若しくは2に記載のプロセス。
- 前記半導体デバイスがJFETであることを特徴とする請求項1若しくは2に記載のプロセス。
- 前記半導体デバイスがダイオードであることを特徴とする請求項1若しくは2に記載のプロセス。
- 前記半導体デバイスがコンデンサーであることを特徴とする請求項1若しくは2に記載のプロセス。
- 前記半導体デバイスが抵抗器であることを特徴とする請求項1若しくは2に記載のプロセス。
- 前記第1端子がソース領域であり、前記第2端子がドレイン領域であり、
前記半導体デバイスが前記第1主面にゲートをさらに含み、
前記第1接点がソース接点であり、
前記第1主面上にゲート接点が形成され、前記ゲートに電気的に接続され、
前記第2接点はドレイン接点であり、
前記ソース接点、前記ゲート接点、及び前記ドレイン接点は互いに電気的に絶縁されていることを特徴とする請求項5に記載のプロセス。 - 導電性材料の前記被着ステップが金属を被着するステップを有することを特徴とする請求項11に記載のプロセス。
- 金属の前記被着ステップが電解めっきステップを有することを特徴とする請求項12に記載のプロセス。
- 前記通路の中への金属の前記被着ステップが前記通路の位置と一致するような孔を備えた第2マスク層の形成ステップを有することを特徴とする請求項13に記載のプロセス。
- 前記通路の中への金属の前記被着ステップが、前記電気めっきステップの前に前記半導体ウェーハの前記第1主面に第1金属層をスパッタリングするステップを有することを特徴とする請求項13に記載のプロセス。
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