JP4729269B2 - レーザ走査型顕微鏡 - Google Patents

レーザ走査型顕微鏡 Download PDF

Info

Publication number
JP4729269B2
JP4729269B2 JP2004163360A JP2004163360A JP4729269B2 JP 4729269 B2 JP4729269 B2 JP 4729269B2 JP 2004163360 A JP2004163360 A JP 2004163360A JP 2004163360 A JP2004163360 A JP 2004163360A JP 4729269 B2 JP4729269 B2 JP 4729269B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
laser light
wavelength
microscope
deviation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2004163360A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005345614A5 (ja
JP2005345614A (ja
Inventor
牧男 上野
昭典 顕谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Priority to JP2004163360A priority Critical patent/JP4729269B2/ja
Priority to US11/141,517 priority patent/US7342219B2/en
Publication of JP2005345614A publication Critical patent/JP2005345614A/ja
Publication of JP2005345614A5 publication Critical patent/JP2005345614A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4729269B2 publication Critical patent/JP4729269B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/101Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/11Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on acousto-optical elements, e.g. using variable diffraction by sound or like mechanical waves
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/33Acousto-optical deflection devices
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/35Non-linear optics
    • G02F1/365Non-linear optics in an optical waveguide structure

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)

Description

本発明は、走査型レーザ顕微鏡に関する。
走査型レーザ頭微鏡は、生きた細胞や組織などの試料を傷つけることなく、光学的にスライスして2次元断層像を得、複数の断層像から3次元画象を得ることを可能とする。
生物試料を観察する走査型レーザ顕微鏡は、試料に導入した蛍光試薬または蛍光蛋白にレーザ光を照射し、そこからの蛍光を測定し画像化する。このとき試料に蛍光試薬または蛍光蛋白を複数導入し、細胞内の複数の化学物質を観察することが可能となる。これら複数の蛍光物質を励起する為、複数の波長の励起レーザ光が必要となる。複数波長の励起レーザ光を出力するためのレーザ光源の例を図17に示す。
一方蛍光物質からの蛍光量は、励起光の照射時間に伴い減少する退色現象を生じる。このため走査型レーザ顕微鏡には不要な励起光を遮断もしくは減光し、極力退色を防止する必要がある。
これら目的を達成するために、音響光学素子(AOTF、AOF、AOMなど)や、又は電気光学素子(EOM)を利用することが提案されている(例えば、非特許文献1の図2参照)。これらの原理は以下のとおりである。
超音波が固体や液体中を伝播する時、その媒質中には光弾性効果によって、音の進行方向と平行にそして音の波長を周期として、光に対する屈折率の周期的変動が生じる。この媒質中に光が入射すると、入射した光の一部は超音波によって回折する。この現象を音響光学効果という。この音響光学効果を利用した音響光学素子(AOM、AOTF、AOD等)の動作原理を図18に示す。媒質としてLiNbO、PbMoO、TeO等の光学結晶に超音波(RF)を伝送する圧電体等のトランスデューサを取付けて高周波(RF)電圧をかけると、結晶内に高周波の音波が発生する.この音波による屈折率の周期的変化を利用して、透過光や反射光を制御することが可能である。
一方、物質に電圧を加えると、その物質の屈折率が変わる現象を電気光学効果という。この物質(LiNbO、KDP、ADP等の結晶)中を通過する光の位相を電圧を加えることによって変化させ、振幅変調や位相変調を行うことが可能である。この様な電気光学効果を利用したものを電気光学素子(EOM等)という。
図19及び図20にレーザ走査型顕微鏡における音響光学素子の使用例を示す。
図19は、音響光学素子130が、レーザ波長の高速選択(切換え)手段、調光(出射パワー調整機構)手段、及びそのスイッチング機能を利用したパルス成形手段、シャッタ手段として使用された例を示す図である。この従来例に係るレーザ走査型顕微鏡の詳細については、特許文献1に示されている。ArやArKr110a、HeNe110b、110cの短波長レーザが複数設置され、それらレーザの出射ビームがダイクロイックミラー等により1本のビームに合成され音響光学素子130に入射する。音響光学素子130は、そのRF周波数制御により波長選択が、RF振幅〈電圧〉制御により出射パワーが、RF−ON/OFFスイッチング制御により連続発振レーザのパルス成形が高速に可能である。
図20は、レーザ光源に波長切換え可能なパルスレーザ(レーザ光源)110を用いた例を示す。音響光学素子130はレーザ光源の選択された波長に従い、RF周波数制御することで、選択された波長のレーザを出射すると共に、RF振幅(電圧)制御により出射ビームのパワー制御が可能である。
しかし、音響光学素子130に使用される結晶(LiNbO、PbMoO、TeO)は非常に波長分散(群速度遅延の分散;GDD)が大きく、音響光学素子130により出射後のビームのパルス幅が広げられてしまうという欠点がある。多光子励起レーザ走査型顕微鏡では蛍光発光強度が2光子励起の場合はパルス幅に、3光子励起の場合はパルス幅の2乗に反比例するため、非常に大きな影響を及ぼす。
この音響光学素子130の波長分散(GDD)による出射ビームのパルス幅広がり対策として、特許文献2の手段を図21に示す。これはパルスレーザ光源110と音響光学素子間にプレチャープ光学系を挿入し、音響光学素子、もしくはレーザ出射後観察標本に達するまでの全光学系の波長分散量(GDD)分の逆分散(プレチャープ)行うことで、音響光学素子出射後、もしくは観察標本面でのパルス幅の広がりを相殺したものである。
図22にプリズムを用いた代表的なプレチャープ光学系概略図を示す。図中の第1プリズム161で分光されたビームは、波長分散量(レーザ光帯域内の波長による媒質伝播速度ずれ)に応じた光路長差に設定された第2プリズム162により逆分散され第1プリズム161を再経由し、顕微鏡照明光学系内に戻されることにより、照明光学系内の波長分散を相殺することが出来る。
次に、特許文献3記載の音響光学素子の波長分散(GDD)量を利用したパルス圧縮手段につき、図23に基づき説明する。パルスレーザをレーザ光源110とし、光ファイバー185を顕微鏡への導入に用いた照明光学系を有するレーザ顕微鏡において、光ファイバー185の持つ線形及び非線形分散効果を避けるために、ファイバー入射側では先に示したプレチャープ光学系(逆分散)等のパルス伸長器180により、パルス幅を充分拡げると共にピークパワーを充分下げる必要がある。しかし、多光子励起レーザ顕微鏡では、先に示した様に必要な蛍光発光強度を得るためには、パルス幅が充分狭い必要があり、パルス伸長器、ファイバーを経てパルス幅の広がったビームでは標本面上の光子密度が低く、多光子励起が出来ない。そこでファイバー出射端に例えばZnSeといった波長分散量(GDD)の大きな光学部材を設置し、パルス幅を圧縮することで必要なパルス幅を得ることが行われている。音響光学素子も先に述べた様に、波長分散量(GDD)が充分大きいため、同様にパルス圧縮器としで用いることが出来る。ここで、音響光学素子を使用する利点は、波長選択手段、調光(パワー調整)手段、スイッチング手段としても利用できる点である。
以上従来技術として、主に音響光学素子について述べたが、電気光学素子についても同様にレーザ走査型顕微鏡への応用が考えられる。
特開2000−206415号公報 特表平10−512959号公報 特開2000−206415号公報 AKIS P.GOUTZOULIS and DENNIS R.PAPE DESIGN AND FABRICATION OF ACOUSTO −OPTIC DEVICES、P.246−258(1944)
上記のように、音響光学素子又は電気光学素子はレーザ走査型顕微鏡において有用な素子であるが、以下のような問題点を有する。
使用するレーザに対する音響光学素子又は電気光学素子の開口部が小さい。このため、レーザ光をガウシアンビームであるものと想定しても、任意の位置でのビーム径はビームウエスト位置でのビーム径と広がり角により変化し、音響光学素子又は電気光学素子の開口部でケラレた分のパワーロスが生じる。
また、音響光学素子又は電気光学素子の入射光に対する出射光の角度分散により、光源となるレーザのガウシアンビームの広がり角により、出射ビームがより広がってしまう。
更に、レーザ光源内部構造により、出射レーザの縦横方向でのビームウエスト位置、広がり角に差が生じる。これにより、ビーム整形手段以前に、顕微鏡入射ビームの形状としても焦点座標や焦点面でのレーザ強度、光子密度的に誤差を生じる。
また、音響光学素子又は電気光学素子の開口部と顕微鏡入射第一瞳径〈レーザ光投影瞳共役面〉とが異なる場合に、投影されたレーザ光が顕微鏡瞳径より大きい場合は、ビームのケラレによるパワーロスが、瞳径より小さい場合はNA不足による解像劣化等が生じる。
更に、パルスレーザ等の波長切換え可能なレーザ光源を用いた場合において、その波長切換え時ビーム位置等がずれる。これは音響光学素子又は電気光学素子が持つ入射ビームの角度に対する出射ビームパワー特性変化が大きなこと、また、瞳投影式のレーザ走査型顕微鏡の場合は視野のケラレ、ムラ、他のレーザによる観察像との位置ずれ等の問題がある。従って、顕微鏡等の光学的精度を求める部位に出力光を導入する場合には、波長ごとに素子への入力信号や素子前後の入出力光の最適化など、数多くの最適化調整を行う必要があり、使用する波長が増えるほど各部調整が困難となる。
本発明は、レーザ走査型顕微鏡のレーザ光源からのレーザ光を顕微鏡に導入する照明光学系内に、音響光学素子又は電気光学素子を備えたレーザ走査型顕微鏡において、レーザ光源からのレーザ光を有効かつ理想的に顕微鏡に導入するレーザ走査型顕微鏡を提供することを目的とする。
本発明の一局面に係る発明は、レーザ光源からレーザ光を顕微鏡に導入する照明光学系内に、音響光学素子又は電気光学素子を備えたレーザ走査型顕微鏡において、前記レーザ光源から出射された前記レーザ光の波長に起因する前記レーザ光の位置ずれ、前記レーザ光の角度ずれ及び前記レーザ光のビーム径のずれを補正、又は前記レーザ光の位置ずれ、前記レーザ光の角度ずれ及び前記レーザ光のビームの広がりずれを補正、又は前記レーザ光の位置ずれ、前記レーザ光の角度ずれ、前記ビーム径のずれ及び前記ビームの広がりずれを補正するための調整機構と、前記波長に対応した前記補正の補正値を記憶する記憶手段と、前記レーザ光の前記波長の切換えに伴い、前記記憶手段に記憶された、切換えられた前記波長に対応した前記補正値を用いて前記調整機構を自動的に調整する補正手段と、を具備することを特徴とする。
本発明によれば、レーザ走査型顕微鏡のレーザ光源からのレーザ光を顕微鏡に導入する照明光学系内に、音響光学素子又は電気光学素子を備えたレーザ走査型顕微鏡において、レーザ光源からのレーザ光を有効かつ理想的に顕微鏡に導入するレーザ走査型顕微鏡を提供することができる。
図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図1は、本発明の実施形態に係るレーザ顕微鏡の概略構成を示す図である。なお、以下の各実施形態において、レーザ顕微鏡の概略構成は図1と同様であるので、図1を援用するものとする。
走査型レーザ顕微鏡は、レーザ制御部100と、レーザ走査部200と、顕微鏡300とを備えている。レーザ制御部100は、レーザ光を出射するレーザ光源110と、レーザ光のON/OFFスイッチ・調光・波長選択を行う音響光学素子130と、レーザ顕微鏡の動作を制御するPC140とからなっている。レーザ走査部200は、レーザ光を走査させる機構であるガルバノメータミラー210と、標本310で発生した蛍光を電気信号に変換する光電変換器220とからなっている。顕微鏡300は、標本310を観察するための対物レンズ320を備えている。また、モニタ400は観察象を表示するために使用される。また、PC140は、音響光学素子130、ガルバノメータミラー210及び光電変換器220と信号線で接続されている。
上記の構成において、レーザ光源110から出射されたレーザ光は音響光学素子130に入射する。音響光学素子130はPC140からの指令に基づいて、レーザ光をON/OFF制御、調光、波長選択する。音響光学素子130を通過したレーザ光はレーザ走査部200によって進行方向を偏向され2次元平面上を走査するように制御される。そして、レーザ光は顕微鏡300に入射し対物レンズ320によって標本310上を2次元に走査される。走査された標本310は光励起され蛍光を発する。発生した蛍光は対物レンズ320を介してレーザ光とは逆の光路を進み、ガルバノメータミラー210によって偏向が解除された後、光電変換器220に入射する。光電変換器220で変換された信号は、PC140に入力される。PC140は、ガルバノメータミラー210の走査状態を表す信号と光電変換器220からの信号とを対応付けて、標本310の蛍光像を構成し、モニタ400にその画像を表示する。
(第1の実施形態)
図2は、本発明の第1の実施形態に係るレーザ顕微鏡の要部構成を示す図である。図2において、レーザ走査部200は省略しており、更に、顕微鏡300も簡略化して示している。なお、以下の実施形態においても同様である。
第1の実施形態では、レーザ光源110と音響光学素子130(電気光学素子でも良い。なお、以下の説明では、説明の便宜上、音響光学素子と電気光学素子とを併せて、単に「音響光学素子」と称する)との間に、ビームエキスパンダー120が配置されている。このビームエキスパンダー120は、レーザ光源110より出射されたレーザ光を音響光学素子130の開口部の径内にコリメーションする。これにより、音響光学素子130の開口部によるレーザ光のケラレをなくしている。更に、ビームエキスパンダー120で、レーザ光を平行ビームに整形することで、音響光学素子130による角度分散を無くしている。このように、レーザ光源110を出射したレーザ光は、ビームエキスパンダー120で平行ビームに整形された後に音響光学素子130に入射する。音響光学素子130に入射したレーザ光は、所望の強度にされると共に、所望の波長のみが選択されて、顕微鏡300に入射して、図示しない試料に照射される。
(第2の実施形態)
図3は、本発明の第2の実施形態に係るレーザ顕微鏡の要部構成を示す図である。なお、図3において、図2と同じ部分には同じ符号を付している。本第2の実施形態では、第1の実施形態の構成にレーザ光整形器として凹面鏡整形器150を追加している。このように、本第2の実施形態はレーザ出力の後段(すなわち、レーザ光源とビームエキスパンダーとの間)にレーザ光整形器を配置したことを特徴とする。以下、レーザ光整形器の必要性について説明する。
まずレーザ光源からの通常の出力光の断面形状(すなわち、ビーム形状)について図4を参照して概略説明する。
レーザ発振器111から出射されたレーザ光は、集光ミラー112によりコリメーションされ、集光ミラー113と114によりレーザ結晶115に集光され、高反射ミラー116と出力結合ミラー117間を繰り返し共振することで図示しないレーザ筐体より出射される。このときレーザ結晶115に集光する凹面集光ミラー113及び114はZ型に配置されているため、ビームの断面方向での曲率が異なる。このため、図4に示すような、楕円形の断面形状を有するビーム、すなわち、ビームウエスト位置、ビーム径、広がり角のずれたビームが出射されることとなる。ここで、レーザ光を音響光学素子に有効に入射させるためには、レーザ光の断面形状を楕円から円形にすることが好ましい。
本実施形態は、レーザ光源110出射後にレーザ筐体内部と逆の曲率方向に凹面鏡ビーム整形器125を追加したことを特徴としており、これにより、上記のようなレーザ光源110より出射されたビームの断面方向でのずれが解消できる。
この凹面鏡ビーム整形器125を経たビームは、その断面形状が円形の波面が均−な理想的なガウシアンビームになる。このため、上記第1の実施形態に示したビームエキスパンダー120や顕微鏡300の内部光学系を通過したビームも、標本面上により正確に集光される。これは多光子励起レーザ走査型顕微鏡の様に対物レンズにより集光されたビームの光子密度により励起効率が左右され、かつ3次元効果を得る検鏡法では特に有効である。なお、この凹面鏡ビーム整形器125は、それ以降の光学系の影響を避けるため、レーザ筐体直後に配置することが望ましい。また、特定波長時の整形であればシリンドリカルレンズ等レンズ構成によっても可能である。しかし、パルスレーザの場合はレンズの波長分散(GDD)による影響や、複数の波長を切換え、もしくは選択するレーザ光源110においては波長によるレンズ間隔調整等が発生するため、凹面鏡が最も好ましい。また、凹面鏡ビーム整形器125の使用は、音響光学素子130を用いないレーザ走査型顕微鏡の照明光学系にも当然有効である。
(第3の実施形態)
図5は、本発明の第3の実施形態に係るレーザ顕微鏡の要部構成を示す図である。なお、図5において、図2及び図3と同じ部分には同じ符号を付している。本第3の実施形態は、音響光学素子130の後段にビームエキスパンダー120を設けたことを特徴とする。
音響光学素子130の後段に設置されたビームエキスパンダー120について述べる。音響光学素子130の開口部に対し必要な径にコリメートされたビーム径は、必ずしも顕微鏡の瞳径(レーザ光を投影する瞳共役位置での径)に一致するとは限らない。よって音響光学素子130出射後のビームを顕微鏡入射に適正な径にコリメートする手段が必要となり、これが図5の音響光学素子130後に配置されたビームエキスパンダー120である。仮にレーザ出射ビームが音響光学素子130開口部に対し充分小さな径のビームであったり、開口部によるビームのケラレがあっても、顕微鏡観察に充分なパワーがある場合、音響光学素子130前段のビームエキスパンダー120は不要になる場合もある。また、音響光学素子130の波長分散によるパルス幅補正用のプレチャープ光学系160を音響光学素子130後段に設置することで、レーザ光源110出射後、ビームが広がらないうちに音響光学素子130ヘビームを入射できれば、同様に音響光学素子130前段のビームエキスパンダー120は省略することが可能である。しかし、顕微鏡入射ビームに関しては、少なくとも瞳に対して適正な径に、かつ平行光にコリメートされなければ、焦点位置のずれや、分解能の劣化等標本観察に重大な支障をきたすこととなる。なお、図5において、プレチャープ光学系160は、音響光学素子130の後段に配置しても良い。
(第4の実施形態)
図6は、本発明の第4の実施形態に係るレーザ顕微鏡の要部構成を示す図である。なお、図6において、図2〜図5と同じ部分には同じ符号を付している。本第4の実施形態では、レーザ光源からのレーザ光の各波長における最適な変調入力信号を自動的に算出することを特徴とする。
PC140が波長選択の切替信号をレーザ光源110に送ることにより、レーザ光源110におけるレーザ発振波長が選択されて単一波長の光が出射される。レーザ光源110から出射されたレーザ光は音響光学素子130に入射する。音響光学素子130はドライバ141からの変調入力信号(RF信号)の周波数と振幅に基づいて、レーザ光をON/OFF制御、調光、及び波長選択する。音響光学素子130を通過したレーザ光はビームスプリッタ135cで2つの光路に分岐され、それぞれ検出器150cと顕微鏡300へ入射する。ここで、検出器150cに入射したレーザ光は光電変換されてPC140に入力される。PC140は、ドライバ141に対して変調入力信号の振幅と周期を指定することができるように構成されており、常に検出器150cからの光電変換信号をモニタしながら変調入力信号の振幅を変化させていき、光電変換信号の値が最大となる変調入力信号の振幅を算出する。
これにより、選択した波長ごとの最適変調入力周波数(音響光学素子130からの強度が最大となる時のRF周波数)を自動的に検出することができる。
(第5の実施形態)
図7は、本発明の第5の実施形態に係るレーザ顕微鏡の要部構成を示す図である。なお、図7において、図2〜図6と同じ部分には同じ符号を付している。本第5の実施形態では、レーザ光源の波長切換え時におけるビーム径と位置ずれを自動的に補正することを特徴とする。
第5の実施形態では、図7に示すように、第4の実施形態に、レーザ光のビーム径とビーム広がり角を可変にするビームエキスパンダー120と、レーザ光のビームを平行移動と角度変化させることができるビームシフター145と、レーザ光のON/OFFスイッチ・調光・波長選択を行う音響光学素子130へ光路を分岐する為のビームスプリッタ135aと、レーザ光をビームの位置を検知するCCDなどの位置検出器150aとが追加されている。
ビームエキスパンダー120は回転することによりビーム径、ビームの広がり角が可変となる光学素子と、位置検出センサとモータを組み合わせたものである。
また、ビームシフター145の構成例を図8に示す。図8に示すように、ビームシフター145は2枚の平面ミラー145aと145bと図示しない位置検出センサとモータを組み合わせたものである。
上記のように構成されたレーザ顕微鏡において、第4の実施形態と同様に、PC140から波長選択の切替信号レーザ光源110に送り、レーザ光源110からのレーザ発振波長を選択し単一波長の光が出射するようにする。レーザ光源110から出射されたレーザ光は、レーザ光のビーム径とビーム広がり角を可変にするビームエキスパンダー120と、レーザ光のビームを平行移動とビームの角度変化を可能とするビームシフター145を通過する。通過したレーザ光は、ビームスプリッタ135aで分岐されて、それぞれ検出器150aと音響光学素子130へ入射する。レーザ光が音響光学素子130の最適な位置に最適な径で入射する時に、図9に示すように、レーザ光が検出器150aの素子151a上の中心600にビームスポット610の中心が来るようにビームスプリッタ135aと検出器150aを設置する。検出器150aに入射した光は光電変換され素子151aの画素ごとの輝度情報がPC140に入力される。PC140はビームエキスパンダー120と、ビームシフター145のミラー145a、145bを駆動するパルス信号を各駆動部に対して出力する。ビームシフター145は図8の破線146a、146bを軸にモータがそれぞれの軸でX軸Y軸を駆動するようになっており、2枚のミラー145a、145bの面を同じ角度ずつ傾けるとビームは平行移動する。なお、音響光学素子130に入射後の動作は第4の実施形態と同様なので省略する。
図9を参照して、波長切換え後における最適化調整の手順を説明する。
1.ビームシフター145にて、理想のビームスポット610の中心と、実際のビームスポット620の中心とが一致するようにレーザ光を平行移動させる。
2.ビームエキスパンダー120にて、理想のビームスポット610の径と実際のビームスポット620の径が同じ大ききとなるように調整する。
3.第4の実施形態で記載した方法で変調入力信号の最適化調整を行う。
上記の手順により最適化を行うことができる。具体的な調整方法は以下のとおりである。
ビームシフター145を用いて、レーザ光を中心位置に平行移動させる方法は、以下のとおりである。PC140が常に検出器150aからの光電変換信号をモニタしながら、素子151aに照射されたビームスポット620の中心座標を中心600に移動するようにミラー145a、145bの面が平行状態を常に保った状態で、モータでミラーの2軸504を中心にミラーを駆動する。なお、ビームスポット620の中心座標の求め方はビームがガウシアン型だと仮定し強度の最も高い座標を中心座標とする方法、もしくはビームが真円と仮定して例えばX座標Y座標それぞれの最大値と最小値の中間の座標を中心座標とする方法など種々の方法がある。
ビームエキスパンダー120でレーザ光の径を調整する方法は、以下のとおりである。PC140が常に検出器150aからの光電変換信号をモニタしながら、素子151aに照射されたレーザのビームスポット620が理想のビームスポット610の径と同じになるようにビームエキスパンダー120を回転駆動させる。ビーム径の大ききの判断方法として、例えばビームスポットが真円であると仮定してX座標の最大値最小値の差とする方法がある。また、波長切換えにより、ビーム径の変化がない場合にはビームエキスパンダー120は一旦調整後はそのまま固定し、以降無調整としても良い。
第5の実施形態により、第4の実施形態に加えて、レーザの波長切換えなどによりビームの位置が平行移動したり、レーザ光径が変化した場合にでも自動的に最大の効率でレーザ光を顕微鏡まで導くことが可能である。
(第6の実施形態)
図10は、本発明の第6の実施形態に係るレーザ顕微鏡の要部構成を示す図である。なお、図10において、図2〜図7と同じ部分には同じ符号を付している。本第6の実施形態では、第4の実施形態と第5の実施形態に加えて、レーザ光源の波長切換え時におけるビームの広がりと角度ずれを自動的に補正することを特徴とする。
第6の実施形態に係るレーザ顕微鏡は、第5の実施形態に係るレーザ顕微鏡に、ビームシフター145と音響光学素子130との間に設けられた2つのビームスプリッタ135aと135bと、各ビームスプリッタ135a、135bの反射光路に設けられたビーム位置を検出するCCDなどの検出器150a、150bとを追加している。以下、第6の実施形態に係るレーザ顕微鏡の動作を説明する。
第5の実施形態と同様に、レーザ光源110から出射されたレーザ光は、ビームエキスパンダー120と、ビームシフター145とを通過した後に、ビームスプリッタ135aで分岐されて、それぞれ検出器150aと音響光学素子130に入射する。レーザ光が音響光学素子130の最適な位置に最適な径で最適な角度で平行光として入射する時に、図11に示すように、レーザ光が検出器150aの素子135aと検出器150aの素子151a上の中心600とビームスポット620の中心とが一致するようにビームスプリッタ135a、135bと検出器150a、150bを設置する。検出器150a、150bに入射した光は光電変換されて検出器150aの素子151aと検出器150bの素子151bの各画素ごとの輝度情報がPC140に入力される。PC140はビームエキスパンダー120と、ビームシフター145のミラー145a、145bを駆動するパルス信号を各駆動部に対して出力する。ビームシフター145は前述した図8の破線146a、146bを軸にモータがそれぞれの軸でX軸Y軸を駆動するようになっており、2枚のミラー145a、145bを同じ角度ずつ傾けるよう駆動するとビームは平行移動し、どちらか1方のミラーを駆動するとビーム角度を変える事ができる。なお、音響光学素子130に入射後の動作は第4の実施形態と同様なので省略する。
図12〜図16を参照して、波長切換え後における最適化調整の手順を説明する。
1.ビームシフター145にて素子151aのビームスポット620の中心と、素子151bのビームスポットの中心625が一致するようにレーザ光の傾きを変化させる。(図12参照)
2.第5の実施形態に記載した方法と同様の方法でビームシフター145にて素子151aのビームスポット620の中心と、素子151bのビームスポットの中心625が素子151bの中心と一致するようにレーザ光を平行移動させる。(図13参照)
3.ビームエキスパンダー120にて素子151aのビームスポット620の径に、素子151bのビームスポット625の径が一致するようにレーザ光のビームの広がりを変化させる。(図14参照)
4.第5の実施形態に記載した方法と同様の方法でで、ビームエキスパンダー120にて理想のビームスポット610の径と実際のビームスポット620、625の径が同じ大きさとなるようにビーム径を変化させる。(図15参照)
5.第4の実施形態で記述した方法と同様の方法で変調入力信号の最適化調整を行う。
上記の手順により最適化を行うことができる。具体的な調整方法は以下のとおりである。
ビームシフター145を用いて素子151a上に照射されたビームスポット620の中心と、素子151b上に照射されたビームスポットの中心600とを一致させる方法は、以下のとおりである。PC140が常に検出器150aと135bからの光電変換信号をモニタしながら、ビームスボツト620と625の中心座標が同じになるようにミラー145aのみを、モータでミラーの2軸504を中心にミラーを駆動する。なお、ビームスポット620、625の中心座標の求め方は第5の実施形態に記載したとおりである。
ビームエキスパンダー120でレーザ光のビームの広がりを調整する方法は、以下のとおりである。PC140が常に検出器150aからの光電変換信号をモニタしながら、素子151b上に照射されたビームスポット625の径が素子151a上に照射されたビームスポット620の径と同じになるようにビームエキスパンダー120を回転駆動させる。なお、ビーム径の大ききの判断方法及びその他の調整は弟5の実施形態に記載したとおりである。また、波長切換えによりビーム径の変化、ビームの広がりがない場合はビームエキスパンダー120は一旦調整後はそのまま固定し、以降無調整としても良い。
第6の実施形態により、レーザの波長切換えなどによりビームの出射角度が変化したり、レーザ光の広がり角が変化した場合にでも自動的に最大の効率でレーザ光を顕微鏡まで導くことが可能である。それ以外の効果は第5の実施形態と同様である。
(第7の実施形態)
第7の実施形態は、レーザ光の波長ごとの各部の補正値や、最適値をPC内に記憶させておき、記憶させた波長を再び使用する際には、記憶した補正値や、最適値を用いてにレーザ光の径など補正を行う機能を付加した。なお、本実施形態は、補正をする場合に、自動で各部調整を行わなわないで、手動で上記各部の調整を行った場合にも適用可能である。
第7の実施形態に係るレーザ顕微鏡の構成は、図10と同様であるので、図示を省略する。なお、本実施形態においては、例えばPC140用の図示しない記憶装置が、記憶用に使用される。
例えば、第4〜第6の実施形態に記載したとおりに各部の調整終了すると、PC140の記憶装置は、例えば、
・現在選択しているレーザ光の波長
・ビームエキスパンダー120の回転角度
・ビームシフター145のミラー145a、145bのXY軸の回転角度
・ドライバ141が音響光学素子130に与える変調入力信号の周波数
を記憶する。この場合において、ビームエキスパンダー120やビームシフター145の駆動部角度は第5の実施形態に記載した位置検出センサにより現在位置を認識することができる。
上記のレーザ光の波長ごとのデータが、記憶装置に記憶されている場合に、レーザ波長を所望の波長に切換えた場合、選択したレーザ光の波長が記憶装置に記憶されているかどうか判断する。記憶装置に当該波長に係るデータがなければ、第4〜第6の実施形態記載の通り各部再調整を行う。なお、各部の調整は、自動調整でなく、手動で上記各部の調整を行い、調整後の各部のデータを調整データとして記憶しておき、当該データを調整データとして記憶しておいても良い。
もし選択したレーザ光の波長が記憶装置に記憶されていれば、当該波長に係る各部の調整データを記憶装置から読み出して、当該調整データを各部に対して与える。
上記のように、ある波長で一旦各部の調整しておいて、そのときの各部のデータを当該波長に対する調整データとして記憶しておくことにより、再度その波長を使用する際に、波長を切換えるごとに各部再調整を行わなくてすむので、波長を切換えてから素早く調整の必要な各部を最適化することができる。
本発明は、上記各実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。
上記の実施形態では、レーザ光源110は、多光子レーザを想定したが、単色レーザを組み合わせて、シャッタで出力波長を切換えてもよい。
また、第4の実施形態から第6の実施形態において、第2の実施形態に示すようなレーザ光整形器としての凹面鏡整形器や第3の実施形態に示すようなプレチャープ光学系を設けても良い。なお、凹面鏡整形器やプレチャープ光学系を設ける場合には、レーザ光源110とビームエキスパンダー120との間に設けることが好ましい。
更に、第4の実施形態から第6の実施形態において、第3の実施形態に示すように、音響光学素子130の後段にビームエキスパンダー120bを設けても良い。ここで、音響光学素子130を出射したレーザ光は、その波長に関わらずビーム位置と角度のずれ及び光束径と光束の広がりが正しく調整されているので、音響光学素子130後段に設けるビームエキスパンダーはレーザ波長に応じた調整を行わなくても良い。
上記の各実施形態によれば、以下のような効果が得られる。
(1)音響光学素子前段にビームエキスパンダーを配置したので、音響光学素子の開口部によるケラレがなくレーザ光のパワーを効率的に使用可能である。また、音響光学素子の角度分散の影響を無くし、不要なビームの広がりを抑えることが出来る。
(2)レーザ出射直後に置かれた凹面鏡ビーム整形器でビーム断面及び波面を理想的形状にすることで、照明光学系のビームの伝播、標本面上での集光を理想的に整形出来る。
(3)音響光学素子の前段に置かれたビーム位置検出器、もしくは音響光学素子の前・後段に置かれたレーザパワー検出器、及び音響光学素子前段に置かれたビーム位置補正機構で音響光学素子入射ビーム位置を調整することで、音響光学素子出射ビームパワーを効率的(最大)に調整することが出来る。
(4)音響光学素子の波長分散によるパルス時の広がりを補正するプレチャープ光学系を音響光学素子後段に放置することにより、レーザ光源から音響光学素子間の光路長を短くし、入射ビームの不要な広がりを極小化することで、音響光学素子前段のビームエキスパンダーを省略し、照明光学系を簡素にすることが出来る。
(5)音響光学素子後段に置かれたビームエキスパンダーにより、顕微鏡入射ビームを適正な径にコリメート出来る。
(6)選択した波長ごとの最適変調入力周波数(音響光学素子からの強度が最大となる時のRF周波数)を自動的に検出するようにしたので、最大の出力が得られる。
(7)各波長に対する最適値(補正値)を記憶するようにしたので、ある波長で1度調整すると、再度その波長を使用する時に、その度ごとに各部再調整を行わなくてすむので、波長を切換えてから素早く調整の必要な各部を最適化することができる。
上記のように本発明の実施形態によれば、レーザ光源より出射されたレーザ光を理想的に整形し顕微鏡に導入することで、顕微鏡の光学性能をより有効的に発揮させることが可能となる。
さらに、上記各実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。
また、例えば各実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
本発明の実施形態に係るレーザ顕微鏡の概略構成を示す図。 本発明の第1の実施形態に係るレーザ顕微鏡の要部構成を示す図。 本発明の第2の実施形態に係るレーザ顕微鏡の要部構成を示す図。 レーザ光源からの通常の出力光の断面形状(すなわち、ビーム形状)について説明するための図。 本発明の第3の実施形態に係るレーザ顕微鏡の要部構成を示す図。 本発明の第4の実施形態に係るレーザ顕微鏡の要部構成を示す図。 本発明の第5の実施形態に係るレーザ顕微鏡の要部構成を示す図 ビームシフターの構成例を示す図。 検出器の素子とビームスポットとの関係を示す図。 本発明の第6の実施形態に係るレーザ顕微鏡の要部構成を示す図。 検出器の素子とビームスポットとの関係を示す図。 検出器の素子とビームスポットとの関係を示す図。 検出器の素子とビームスポットとの関係を示す図。 検出器の素子とビームスポットとの関係を示す図。 検出器の素子とビームスポットとの関係を示す図。 検出器の素子とビームスポットとの関係を示す図。 複数波長の励起レーザ光を出力するためのレーザ光源の例を示す図。 音響光学効果を利用した音響光学素子(AOM、AOTF、AOD等)の動作原理を示す図。 レーザ走査型顕微鏡における音響光学素子の使用例を示す図。 レーザ走査型顕微鏡における音響光学素子の使用例を示す図。 従来の音響光学素子の波長分散(GDD)による出射ビームのパルス幅広がり対策手段を示す図。 プリズムを用いた代表的なプレチャープ光学系概略図。 音響光学素子の波長分散(GDD)量を利用したパルス圧縮手段を説明するための図。
符号の説明
100…レーザ制御部、110…レーザ光源、111…レーザ発振器、112、113…集光ミラー、115…レーザ結晶、116…高反射ミラー、117…出力結合ミラー、120…ビームエキスパンダー、125…凹面鏡ビーム整形器、130…音響光学素子、135a、135b、135c…ビームスプリッタ、140…PC、141…ドライバ、145…ビームシフター、145a、145b…ミラー、150…凹面鏡整形器、150a、150b、150c…検出器、150b…検出器、151a…素子、151b…素子、160…プレチャープ光学系、161、162…プリズム、165…ビーム位置補正機構、180…パルス伸長器、185…光ファイバー、200…レーザ走査部、210…ガルバノメータミラー、220…光電変換器、220…光電検出器、300…顕微鏡、310…標本、320…対物レンズ、400…モニタ。

Claims (3)

  1. レーザ光源からレーザ光を顕微鏡に導入する照明光学系内に、音響光学素子又は電気光学素子を備えたレーザ走査型顕微鏡において、
    前記レーザ光源から出射された前記レーザ光の波長に起因する前記レーザ光の位置ずれ、前記レーザ光の角度ずれ及び前記レーザ光のビーム径のずれを補正、又は前記レーザ光の位置ずれ、前記レーザ光の角度ずれ及び前記レーザ光のビームの広がりずれを補正、又は前記レーザ光の位置ずれ、前記レーザ光の角度ずれ、前記ビーム径のずれ及び前記ビームの広がりずれを補正するための調整機構と、
    前記波長に対応した前記補正の補正値を記憶する記憶手段と、
    前記レーザ光の前記波長の切換えに伴い、前記記憶手段に記憶された、切換えられた前記波長に対応した前記補正値を用いて前記調整機構を自動的に調整する補正手段と、
    を具備することを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。
  2. 前記音響光学素子又は前記電気光学素子から出射された前記レーザ光の出力を検知して、検知信号を出力する少なくとも1つの検出手段と、
    前記検出手段からの前記検知信号に基づいて、前記音響光学素子又は前記電気光学素子を駆動する変調入力信号を出力する制御手段と、
    前記レーザ光の前記波長における所定の最適な前記変調入力信号を自動的に算出する算出手段と、
    を具備することを特徴とする請求項1に記載のレーザ走査型顕微鏡。
  3. 前記調整機構は、前記レーザ光の前記位置ずれ及び前記角度ずれを補正するビーム位置補正機構と、
    前記レーザ光の前記ビーム径のずれ及び前記ビームの広がりずれの少なくとも一方を補正するビームエキスパンダーと、
    を具備することを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ走査型顕微鏡。
JP2004163360A 2004-06-01 2004-06-01 レーザ走査型顕微鏡 Expired - Lifetime JP4729269B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004163360A JP4729269B2 (ja) 2004-06-01 2004-06-01 レーザ走査型顕微鏡
US11/141,517 US7342219B2 (en) 2004-06-01 2005-05-31 Laser scanning microscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004163360A JP4729269B2 (ja) 2004-06-01 2004-06-01 レーザ走査型顕微鏡

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2005345614A JP2005345614A (ja) 2005-12-15
JP2005345614A5 JP2005345614A5 (ja) 2007-07-12
JP4729269B2 true JP4729269B2 (ja) 2011-07-20

Family

ID=35424154

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004163360A Expired - Lifetime JP4729269B2 (ja) 2004-06-01 2004-06-01 レーザ走査型顕微鏡

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7342219B2 (ja)
JP (1) JP4729269B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2827180A1 (en) 2013-06-24 2015-01-21 Olympus Corporation Scanning optical microscope

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4518549B2 (ja) * 2004-08-20 2010-08-04 正樹 小林 蛍光断層画像計測装置
JP4869734B2 (ja) * 2005-04-25 2012-02-08 オリンパス株式会社 多光子励起走査型レーザ顕微鏡
EP1862838B1 (en) * 2006-05-29 2009-08-19 Olympus Corporation Laser scanning microscope and microscopic observing method
GB0617945D0 (en) 2006-09-12 2006-10-18 Ucl Business Plc Imaging apparatus and methods
US7551359B2 (en) * 2006-09-14 2009-06-23 3M Innovative Properties Company Beam splitter apparatus and system
EP1959292A3 (en) * 2007-02-13 2009-06-17 Olympus Corporation Laser microscope
US7936503B2 (en) 2007-02-19 2011-05-03 Olympus Corporation Laser scanning microscope
JP5058624B2 (ja) * 2007-02-19 2012-10-24 オリンパス株式会社 レーザ顕微鏡
JP5058625B2 (ja) * 2007-02-19 2012-10-24 オリンパス株式会社 レーザ顕微鏡
JP5307439B2 (ja) * 2007-04-23 2013-10-02 オリンパス株式会社 レーザ顕微鏡
JP4928351B2 (ja) * 2007-05-25 2012-05-09 オリンパス株式会社 顕微鏡
GB0900526D0 (en) * 2009-01-14 2009-02-11 Perkinelmer Ltd Fluorescence microscopy methods and apparatus
TWI523720B (zh) * 2009-05-28 2016-03-01 伊雷克托科學工業股份有限公司 應用於雷射處理工件中的特徵的聲光偏轉器及相關雷射處理方法
WO2011052248A1 (en) * 2009-11-02 2011-05-05 Olympus Corporation Beam splitter apparatus, light source apparatus, and scanning observation apparatus
WO2011093939A1 (en) 2010-02-01 2011-08-04 Illumina, Inc. Focusing methods and optical systems and assemblies using the same
GB201006679D0 (en) 2010-04-21 2010-06-09 Ucl Business Plc Methods and apparatus to control acousto-optic deflectors
US9494781B2 (en) * 2011-01-19 2016-11-15 California Institute Of Technology Plane-projection multi-photon microscopy
JP5616824B2 (ja) * 2011-03-10 2014-10-29 オリンパス株式会社 顕微鏡装置
JP5620319B2 (ja) * 2011-03-23 2014-11-05 オリンパス株式会社 顕微鏡
GB201106787D0 (en) 2011-04-20 2011-06-01 Ucl Business Plc Methods and apparatus to control acousto-optic deflectors
US9095414B2 (en) * 2011-06-24 2015-08-04 The Regents Of The University Of California Nonlinear optical photodynamic therapy (NLO-PDT) of the cornea
CA2887052C (en) 2012-10-12 2020-07-07 Thorlabs, Inc. Compact, low dispersion, and low aberration adaptive optics scanning system
JP6257312B2 (ja) * 2013-12-24 2018-01-10 オリンパス株式会社 顕微鏡システム
HUE044462T2 (hu) * 2014-10-15 2019-10-28 Inst Nat Sante Rech Med Eljárás fázisban és amplitúdóban térbeli fénymoduláció létrehozására alkalmas rendszer jellemzõinek meghatározására nagy frissítési frekvenciával
US10286488B2 (en) * 2015-03-06 2019-05-14 Intel Corporation Acousto-optics deflector and mirror for laser beam steering
US10754223B2 (en) 2016-11-03 2020-08-25 Harris Corporation Multi-channel laser system including an acoustic-optic modulator (AOM) with atom trap and related methods
EP3538941A4 (en) 2016-11-10 2020-06-17 The Trustees of Columbia University in the City of New York METHODS FOR FAST IMAGING OF HIGH RESOLUTION LARGE SAMPLES
EP3540500B1 (en) * 2018-03-12 2021-04-07 Harris Corporation Multi-channel phase-capable acousto-optic modulator (aom) including beam stabilizer and related methods
US20220214623A1 (en) * 2019-06-07 2022-07-07 Inspec Inc. Calibration system and drawing device

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63170608A (ja) * 1987-01-09 1988-07-14 Olympus Optical Co Ltd 走査型レ−ザ−顕微鏡
JPH06302491A (ja) * 1993-04-15 1994-10-28 Nikon Corp 露光量制御装置
JPH10246876A (ja) * 1997-03-06 1998-09-14 Asahi Optical Co Ltd レーザー変調光学系
JPH11125792A (ja) * 1997-10-21 1999-05-11 Canon Inc 投・受光装置
JPH11202212A (ja) * 1998-01-13 1999-07-30 Nikon Corp 顕微鏡
JPH11296922A (ja) * 1998-04-07 1999-10-29 Sony Corp 露光装置及び露光方法
JP2000206415A (ja) * 1998-06-18 2000-07-28 Carl Zeiss Jena Gmbh 短パルスレ―ザ―を分散する光ファイバ―を有する顕微鏡
JP2001324678A (ja) * 2000-03-08 2001-11-22 Nikon Corp 光路ズレ検知装置、および共焦点顕微鏡
JP2002107635A (ja) * 2000-09-29 2002-04-10 Olympus Optical Co Ltd レーザ顕微鏡

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NZ318277A (en) 1995-09-19 1999-02-25 Cornell Res Foundation Inc Multi-photon laser microscopy
JP2003322799A (ja) 2002-04-30 2003-11-14 Olympus Optical Co Ltd レーザ顕微鏡システム
WO2005019811A2 (en) * 2003-08-26 2005-03-03 Blueshift Biotechnologies, Inc. Time dependent fluorescence measurements

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63170608A (ja) * 1987-01-09 1988-07-14 Olympus Optical Co Ltd 走査型レ−ザ−顕微鏡
JPH06302491A (ja) * 1993-04-15 1994-10-28 Nikon Corp 露光量制御装置
JPH10246876A (ja) * 1997-03-06 1998-09-14 Asahi Optical Co Ltd レーザー変調光学系
JPH11125792A (ja) * 1997-10-21 1999-05-11 Canon Inc 投・受光装置
JPH11202212A (ja) * 1998-01-13 1999-07-30 Nikon Corp 顕微鏡
JPH11296922A (ja) * 1998-04-07 1999-10-29 Sony Corp 露光装置及び露光方法
JP2000206415A (ja) * 1998-06-18 2000-07-28 Carl Zeiss Jena Gmbh 短パルスレ―ザ―を分散する光ファイバ―を有する顕微鏡
JP2001324678A (ja) * 2000-03-08 2001-11-22 Nikon Corp 光路ズレ検知装置、および共焦点顕微鏡
JP2002107635A (ja) * 2000-09-29 2002-04-10 Olympus Optical Co Ltd レーザ顕微鏡

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2827180A1 (en) 2013-06-24 2015-01-21 Olympus Corporation Scanning optical microscope
US9261689B2 (en) 2013-06-24 2016-02-16 Olympus Corporation Scanning optical microscope

Also Published As

Publication number Publication date
US7342219B2 (en) 2008-03-11
JP2005345614A (ja) 2005-12-15
US20050263690A1 (en) 2005-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4729269B2 (ja) レーザ走査型顕微鏡
EP1939665B1 (en) Laser microscope and control method for the same
JP4934281B2 (ja) 全反射蛍光顕微鏡
US6449039B1 (en) Laser scanning fluorescence microscopy with compensation for spatial dispersion of fast laser pulses
US7176428B2 (en) Laser-based, multiphoton-excitation-type optical examination apparatus
JP6526678B2 (ja) 偏光式のサンプル照明部を備えた走査顕微鏡
JP4573528B2 (ja) 光学装置及び走査顕微鏡
JP4685489B2 (ja) 多光子励起型観察装置
JPH11119106A (ja) レーザ走査型顕微鏡
EP2827180B1 (en) Scanning optical microscope
EP1202102B1 (en) Laser microscope
US6888118B2 (en) Method, apparatus and scanning microscope with means for stabilizing the temperature of optical components
US8873123B2 (en) Microscope apparatus having a modulation-region adjusting unit that moves a wavefront modulation region in response to pivoting of mirrors
JP2008203417A (ja) レーザ顕微鏡
US8908270B2 (en) Microscope apparatus
JP5701573B2 (ja) スキャナ、走査型照明装置および走査型観察装置
JP4309787B2 (ja) 多光子励起型測定装置
JP4869749B2 (ja) 走査型顕微鏡
JP2006275917A (ja) 多光子励起型観察装置および多光子励起型観察用光源装置
JP2006162994A (ja) 全反射蛍光顕微鏡
JP2006106337A (ja) 走査型光学顕微鏡
KR20110129675A (ko) 바이오 물질을 검출하는 빔 스캐닝 시스템
JP2007132794A (ja) 多光子励起型観察装置および多光子励起型観察用光源装置
JP2002277744A (ja) 走査型光学顕微鏡
JP2006275916A (ja) 多光子励起型観察装置および多光子励起型観察用光源装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070530

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070530

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100721

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100803

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101001

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20101026

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110121

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20110201

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110412

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110418

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4729269

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350