JP4573528B2 - 光学装置及び走査顕微鏡 - Google Patents

Description

本発明は、音響光学要素によって照明光ビームと検出光ビームとを空間的に分離するための光学装置に関する。

更に、本発明は、照明光ビームを生成する光源と、被検試料から射出する検出光ビームを受光する検出器と、該照明光ビームと該検出光ビームとを空間的に分離するための音響光学要素とを有する走査顕微鏡に関する。

走査顕微鏡では、被検試料は、光ビームによって照明され、該被検試料から射出する検出光は、反射光又は蛍光として観察される。照明光ビームの合焦スポットは、制御可能なビーム走査装置（ビームスキャナ）によって（通常は２つのミラーの傾動運動によって）試料面内で移動させられるが、（２つの）偏向軸は、大抵、互いに垂直に配されるため、一方のミラーは、ｘ方向での偏向を、他方のミラーはｙ方向での偏向を実行する。これらミラーの傾動運動は、例えば、ガルバノメータ位置調節要素によって実行される。被検対象から射出する検出光のパワー（強度）は、走査ビームの位置に依存して測定される。この位置調節要素は、通常、ミラーの実際の位置を求めるための複数のセンサを有する。照明光は、ビームスプリッタを介して差込入射される。被検試料から射出する蛍光又は反射光は、当該ビームスプリッタを通過し、そして検出器（複数）へ到達（入射）する。

特に、共焦点走査顕微鏡の場合は、被検対象は、光ビームの合焦スポットによって三次元的に走査される。

共焦点走査顕微鏡は、通常、光源と、光源の光をピンホール（絞り）−所謂励起絞り−上で合焦する合焦光学系と、ビームスプリッタと、ビーム制御のためのビーム走査（偏向）装置と、顕微鏡光学系と、検出用（ピンホール）絞りと、検出光ないし蛍光を検出するための検出器（複数）とを有する。照明光は、ビームスプリッタによって差込入射される。被検試料から射出される蛍光又は反射光は、逆順を辿って、ビーム走査装置を介してビームスプリッタに至ってこれを通過し、そして検出器（複数）に前置されている検出用（ピンホール）絞り上で合焦する。このような検出形態は、ディスキャン（Descan）型検出方式と称する。合焦領域（スポット）から直接射出されない（由来しない）検出光は、異なる光路を辿り、検出用（ピンホール）絞りを通過しないため（従ってそのような検出光は検出されないため）、照明光ビームの合焦スポットにより被検試料を連続的に走査することにより三次元画像を形成可能にする点情報のみが検出される。大抵の場合、三次元画像は、断層撮像的画像データから得られる。

蛍光の励起に適合化された光源の光路、好ましくは共焦点レーザ走査顕微鏡の光路に配されると共に、少なくとも１つの光源の励起光を顕微鏡に差込入射し、かつ検出光路を通過して被検試料から到来する光から該被検試料において散乱・反射された励起光ないし励起波長を遮断ないし脱離する（ausblenden）ための少なくとも１つのスペクトル選択性要素を有する光学装置が、ライカ社の公開された刊行物（特許文献１）に記載されている。この装置は、極簡単な構造で形態を可変にするために、上記スペクトル選択性要素によって異なる波長の励起光を遮断ないし脱離可能にするものである。或いは、当該光学装置は、上記スペクトル選択性要素を遮断ないし脱離されるべき励起光に対し調節可能にする。更に、上記特許文献１には、スペクトル選択性要素は、ＡＯＴＦ（音響光学可変フィルタ：Acousto-Optical-Tunable-Filter）又はＡＯＤ（音響光学偏向器：Acousto-Optical-Deflector）として構成することができることも記載されている。スペクトル選択性要素は、例えば３つの更なる光学要素によって補償可能とされるように空間的にスペクトルを（扇状に）拡開ないし分岐することができることも上記特許文献１に記載されている。

好ましくは共焦点顕微鏡、とりわけレーザ走査顕微鏡の顕微鏡光路において励起光と放出光とを分離するための光屈折（回折）性要素を有する装置を記載している刊行物（特許文献２参照）も公開されている。この装置では、励起光も放出光も光屈折要素を通過するが、励起光の少なくとも１つの波長は、この屈折（回折）によって影響を受けるのに対し、被検試料から放出された他の波長（複数）は、何の影響も受けずこの光屈折性要素を通過するため励起光から空間的に分離される。この装置は、ＡＯＴＦを含む。

レーザ走査顕微鏡の光路に配されると共に、光源の励起光を顕微鏡に差込入射し、被検試料において散乱・反射された励起光を検出光路から遮断ないし脱離するが当該被検試料から射出された（由来する）検出光は遮断ないし脱離しないよう光源の励起光の波長に対し調節可能に構成された少なくとも１つのスペクトル選択性要素を有する光学装置が記載された刊行物（特許文献３参照）も公開されている。この光学装置は、同様の既知の装置を構造的に単純化しかつ従来可能であった検出形態のバリエーションを広げるために、上記スペクトル選択性要素に更なる光学要素を後置し、この更なる光学要素を通過した後、検出光の分散性及び／又は複屈折性特性を検出可能とし、また好ましい形態では同軸的に（軸が一致するように）１つにまとめている。

音響光学要素は、互いに異なる周波数の音波（音響波）によって制御されることにより、任意の如何なる光学波長の照明光ないし検出光に対しても調節可能とされるので、上記の各走査顕微鏡は、ビームスプリッタによって照明光と検出光との分離を行っている走査顕微鏡と比べると、スペクトルに関する柔軟性という点で利点を有する。更に、このような上記各走査顕微鏡におけるスペクトル分離は、ビームスプリッタによりスペクトル分離を行う走査顕微鏡より何倍も良好である。

ＤＥ １９９ ０６ ７５７ Ａ１ ＤＥ １９８ ５９ ３１４ Ａ１ ＤＥ １９９ ４４ ３５５ Ａ１

しかしながら、照明光と検出光を分離するための音響光学要素を（１つ）有する光学装置と、照明光と検出光を分離するための音響光学要素を（１つ）有する走査顕微鏡には、当該音響光学要素が複屈折性であるため、検出光ビームに煩わしい（妨害的な）（スペクトル）分解が生じるという欠点がある。更に、音響光学要素は、大抵の場合、プリズム作用を有するので、検出光ビームはスペクトル（的に）分解されてしまう。上記の既知の各光学装置は、このような作用ないし効果を十分には補償できず、検出光強度（パワー）の大きな損失を甘受せざるを得ない。とりわけ補償を行うために３つの更なる光学要素を必要とする光学装置は、より高価であり、かつその調節も大掛かりなものとなってしまう。

それゆえ、本発明の課題は、損失が少なくかつ妨害的な分解が殆ど起こらないように照明光ビームと検出光ビームを分離することを可能とするよう構成された光学装置を提供することである。

また、本発明の更なる課題は、妨害的な分解が低損失で大幅に補償されるよう構成された走査顕微鏡を提供することである。

上記の課題を解決するために、本発明の一視点により、請求項１の特徴部に記載の特徴を有する光学装置が提供される。即ち、本発明の一視点により、照明光ビームと、反対方向に進行する検出光ビームとを空間的に分離するための光学装置であって、
音響光学要素と、該音響光学要素における複屈折によって引き起こされる前記検出光ビームの分解を１回の通過のみで補償する補償要素を備え、
前記音響光学要素及び前記補償要素は、前記照明光ビームが該音響光学要素のみを通過するよう配置される光学装置が提供される。
この光学装置において、
前記補償要素及び前記音響光学要素は、同じ外形形状を有し、同じ材料で製造され、かつ同じ結晶構造を有すること、
前記補償要素は、更なる音響光学要素として構成されること、及び
前記補償要素及び前記音響光学要素は、該音響光学要素に入射する検出光ビームの進行方向によって規定される光軸に対し１８０°回転された相対角度関係において配設されることを特徴とする（形態１・基本構成１）。

更に、以下の各種変形・展開形態が提供される（これらは従属請求項の対象でもある。）：
（形態２） 上記形態１の光学装置において、前記音響光学要素は、ＡＯＦＴ（音響光学可変フィルタ）、ＡＯＤ（音響光学偏向器）又はＡＯＭ（音響光学変調器）から構成される。
（形態３） 上記形態１の光学装置において、前記補償要素は、前記音響光学要素における分散によって引き起こされる前記検出光ビームの分解を補償する。
（形態４） 上記形態１の光学装置において、前記音響光学要素及び前記補償要素には、ビームシフト生成装置が後置される。
（形態５） 上記形態１〜４の何れかの光学装置において、前記音響光学要素及び前記補償要素は、互いに接合されるよう構成される。
（形態６） 上記形態１〜５の何れかの光学装置において、前記音響光学要素と前記補償要素との間には、該音響光学要素と該補償要素とに各別に接合する介装要素が配される。
（形態７） 上記形態１〜６の何れかの光学装置において、前記補償要素は、前記検出光ビームに残留している前記照明光ビームの波長を有する成分を遮断するために、高周波によって制御可能に構成される。
（形態８） 上記形態１〜７の何れかの光学装置を有する走査顕微鏡も有利に提供される。

本発明は、音響光学要素の自在性・柔軟性を照明光ビームと検出光ビームとを分離する際に殆ど無制限的に（無条件的に）利用できるという利点を有する。

好ましい一実施形態では、本発明の走査顕微鏡ないし光学装置は、音響光学要素が、ＡＯＴＦ（音響光学可変フィルタ：Acousto-Optical-Tunable-Filter）として構成される。また、音響光学要素は、ＡＯＤ（音響光学偏向器：Acousto-Optical-Deflector）又はＡＯＭ（音響光学変調器：Acousto-Optical-Modulator）として構成することも可能である。音響光学要素は、その周波数に依存して、ある１つの波長の光とのみ相互作用する音波（音響波）によって通過される（伝播される）。その他の波長の光は、その音波によっては影響を受けないままに保たれる。このような音波は、高周波源（高周波発信器）によって制御される電気的に制御されるピエゾ式（超）音波発生要素（（超）音波発生圧電要素）によって生成されることが好ましい。高周波の周波数は、照明光ビームの所望の波長成分のみが被検試料へ到達するように選択される。音響的刺激（励起）によっては影響を受けない照明光ビームの残余の成分は、偏向されてビームトラップ（Strahlfalle）へ導かれ（て除去され）る。音波の振幅（大きさ）を変化させることにより、照明光ビームから脱離（分離）されるビームのパワーないし出力（強度）を選択することができる。検出光ビームが、照明光ビームに対して必然的に波長が変化（シフト：verschoben）されている蛍光を含む場合、検出光ビームは、音波による影響を受けずに音響光学要素を通過する。

好ましい一実施形態では、補償要素は、音響光学要素における分散によって引き起こされる検出光ビームの分解（分割）を少なくとも大幅に補償する。とりわけ単純な実施形態では、補償要素の境界面は、スペクトル的に分解され扇状に拡開（分岐）された検出光ビームが当該補償要素を通過した後少なくとも平行に推移（進行）するよう構成・配向される。音響光学要素と補償要素との間の間隔は、この実施形態では、音響光学要素と補償要素との間において、分解された検出光ビームが空間的に余りにも大きく広がらないようにするために、できるだけ小さいものが選択される。空間的分岐（分解）の大きさは、ビーム径の半分程度が好ましい。

とりわけ好ましい一実施形態では、補償要素及び音響光学要素は、同じ外形形状を有する。補償要素及び音響光学要素は、当該音響光学要素に入射する検出光ビームの進行（伝播）方向に関し互いに対し１８０°回転されて配設される。そのように配設された補償要素は、通常、検出光ビームが当該補償要素に入射できるよう、音響光学要素に入射する検出光ビームの進行方向によって規定される（光）軸に対し横方向（直交方向）にずらされて（シフトされて）配設される。好ましくは、補償要素は、音響光学要素と同じ材料で製造され、かつ音響光学要素と同じ結晶構造を有する。音響光学要素の複屈折特性によって引き起こされる異なる偏光（成分）を有する部分ビーム（複数）への検出光ビームの分割は、かくして、相殺ないし補償（解消）される。

好ましい一実施形態では、音響光学要素は、照明光ビームの所望の波長に相応する第１の高周波のみによって制御されるというわけではない。というのは、音響光学要素は、照明光ビームの１つの偏光方向を有する波長成分（複数）しか完全に遮断ないし脱離（除去）しないからである。他の偏光方向を有する（波長）成分は、第１の高周波とは異なる（周波数の）他の高周波により音響光学要素を制御することによって、ほぼ完全に遮断ないし脱離（除去）される。

更なる一実施形態では、補償要素は、更なる音響光学要素として構成される。検出光ビームに残留している照明光ビームの波長を有する（波長）成分を遮断ないし脱離（除去）するために、そのような補償要素をある（１つの）高周波によって制御することも、とりわけ好ましい。

他の一実施形態では、音響光学要素ないし補償要素の温度（熱）安定化措置が施される。更なる一実施形態では、温度の変動又は照明光の波長の変動による悪影響を回避するために、温度に応じた高周波の制御・調節を行う。他の変形形態では、この目的を達成するために、照明光ビームの波長を温度に応じて制御・調節する。

好ましい一実施形態では、音響光学要素及び補償要素には、ビームのシフトを引き起こすための装置（ビームシフト生成装置）が後置される。このビームシフト生成装置によって、（本発明の）光学装置に入射する際の検出光ビームの光軸が、該光学装置から射出する際の光軸に対し同軸的に（重なるように）又は少なくとも平行に推移することが可能とされる。これによって、本発明の光学装置ないし走査顕微鏡の調節は単純化される。更に、この実施形態では、本発明の光学装置は、走査顕微鏡において、従来使用されていたビームスプリッタと置き換え（て使用す）ることがより容易である。

とりわけ好ましい一実施形態では、音響光学要素は、補償要素と接合ないし結合される。他の一実施形態では、音響光学要素及び補償要素の各々と接合ないし結合する介装要素が配設される。このように接合ないし結合が行われた実施形態には、音響光学要素と補償要素の互いに向かい合う境界面における反射により光の強度（パワー）の損失を大幅に低減できるという利点がある。介装要素には、照明光ビームのための入射窓（面）を形成することが好ましい。

本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。なお、同じ作用ないし機能を有する要素ないし部材には、同一の図面参照符号が付してある。なお、特許請求の範囲に付した図面参照符号は専ら発明の理解を助けるためのものであり、本発明を図示の態様に限定することは意図していない。

図１に、共焦点走査顕微鏡として構成された本発明の走査顕微鏡の一例を示した。この走査顕微鏡は、その放出光ビーム５、７がそれぞれ異なる波長を有する２つのレーザ１、３を有し、該ビーム５、７は、ダイクロイックビーム結合器９によって結合され１つの照明光ビーム１１が生成する。この走査顕微鏡は、ＡＯＴＦ １５として実施（構成）された音響光学要素１３を有する。照明光ビーム１１は、偏向ミラー１２により音響光学要素１３に向けて反射される。照明光ビーム１１は、更に、音響光学要素１３から、カルダン式に吊設された走査（スキャン）ミラー１９を有するビーム走査装置１７へと至る。ビーム走査装置１７は、走査（スキャン）光学系２１、鏡筒光学系２３及び対物レンズ２５を介し、被検試料２７上へ又は被検試料２７を通過（貫通）するよう照明光ビーム１１を案内する。被検試料２７から射出された検出光ビーム２９は、照明光ビーム１１の進行方向と反対方向に逆順を辿って走査（スキャン）光学系２１、鏡筒光学系２３及び対物レンズ２５を通過し、走査ミラー１９を介して音響光学要素１３へと至り、更に、この実施例では更なる音響光学要素３３として構成された補償要素３１に到達する。検出光ビーム２９は、補償要素３１を通過した後、第１のミラー３５と第２のミラー３７とから構成されるミラー対へ入射する。このミラー対は、検出光ビーム２９を、所望の光軸、即ち検出光ビーム２９がビーム走査装置１７から射出する際に規定する光軸にもたらす（シフトする）機能を有する。このミラー対は、検出光ビーム２９を、マルチバンドディテクタとして構成された検出器３９へと案内する。図１では、照明光ビーム１１を実線で示し、検出光ビーム２９を破線で示した。共焦点走査顕微鏡に通常配設される照明用ピンホール４１及び検出用ピンホール４３は、当該顕微鏡としての完全性を期すため模式的にのみ示した。これとは反対に、光ビームを案内・形成するための幾つかの光学要素は、可読性を高めるため図示を省略した。そのような光学要素は、当業者には自明のものである。選択された波長（複数）を有する照明光ビーム成分を選別する機能を有する音響光学要素１３は、音波によって通過（伝播）されるＡＯＴＦ １５として構成される。この音波は、電気的に制御されるピエゾ式（超）音波発生要素（（超）音波発生圧電要素）４５によって生成される。制御は、調節可能な複数のＨＦ周波数を有する電磁気的高周波ないし高周波数電磁波を生成する高周波源（高周波発信器）４７によって行われる。電磁気的高周波の伝送は、同軸ケーブル４８を介して行われる。ＨＦ周波数は、照明光ビーム１１の所望の波長成分（複数）のみがビーム走査装置１７へ到達するよう選択される。音響的刺激によっては影響を受けなかった照明光ビーム１１の残余の成分は、偏向されてビームトラップ４９へと導かれ（て除去され）る。音波の振幅（大きさ）を変化することにより、照明光ビーム１１の所望の波長の光の強度（パワー）を選択することができる。同じ差込入射装置において異なる波長（複数）のが同じ方向へ偏向されるように、音響光学要素１３の結晶（断）面及び配向が選択される。更なる音響光学要素３３も同様にＡＯＴＦとして構成され、更なる（異なる）電磁気的高周波を有する更なる高周波源（高周波発信器）５１によって制御される。この更なる電磁気的高周波のＨＦ周波数は、照明光ビーム１１の波長を有する検出光ビーム２９の成分（複数）が遮断ないし脱離（除去）されるように選択される。そのようなＨＦ周波数の選択のために、コンピュータ（ユニット）５３が設けられる。コンピュータ５３は、利用者の予設定に応じて、高周波源４７及び更なる高周波源５１を制御する。利用者は、コンピュータマウス５５を用いて調節を行うことができる。モニタ５７には、選択されたＨＦ周波数の各々に対する、振幅調節機能を有するスライダ（スライド式調節バー）５９、６１、６３が表示される。

図２に、本発明の光学装置（システム）の一例を示した。サジタル偏光方向を有する直線偏光化された照明光ビーム１１は、偏向ミラー１２によって、ＡＯＴＦ １５として構成された音響光学要素１３に向かって反射される。選択された複数の波長の照明光ビーム成分を選別する機能を有する音響光学要素１３は、音波（音響波）によって通過（伝播：durchlaufen）されるＡＯＴＦ １５として構成される。この音波は、電気的に制御されるピエゾ式（超）音波発生要素（（超）音波発生圧電要素）４５によって生成される。制御は、調節可能な複数のＨＦ周波数を有する電磁気的高周波ないし高周波数電磁波を生成する高周波源（高周波発信器）４７によって行われる。電磁気的高周波の伝送は、同軸ケーブル４８を介して行われる。照明光ビーム１１は、９０°回転した偏光方向、即ちタンジェンシャル偏光方向を有する音響光学要素１３から射出する。検出光ビーム２９は、射出する照明光ビーム１１と同軸的に、音響光学要素１３へ入射する。検出光ビーム２９は、サジタル偏光方向成分も、タンジェンシャル偏光方向成分も有する。検出光ビーム２９は、ＡＯＴＦ １５を通過するが、その際、照明光ビーム１１の波長（複数）を有する成分は、大幅に遮断ないし脱離（除去：ausblenden）される。しかしながら、この遮断ないし脱離は、タンジェンシャル偏光方向成分に対してしか完全には行われない。検出光ビーム２９は、ＡＯＴＦ １５を通過した後、更なる音響光学要素３３として構成された補償要素３１へ入射する。この更なる音響光学要素３３も、ＡＯＴＦとして構成され、更なる（異なる）電磁気的高周波ないし高周波数電磁波を有する更なる高周波源（高周波発信器）５１によって制御される。この更なる電磁気的高周波のＨＦ周波数は、照明光ビーム１１の波長（複数）及びサジタル偏光方向を有する検出光ビーム２９の成分が遮断ないし脱離されるよう選択される。音波（音響波）の生成は、補償要素３１においても、電気的に制御されるピエゾ式（超）音波発生要素（（超）音波発生圧電要素）６５によって行われる。補償要素３１及び音響光学要素１３は、この実施例では、同じ外形形状と同じ結晶構造を有する。補償要素３１及び音響光学要素１３は、当該音響光学要素へ入射する検出光ビーム２９の進行（伝播）方向（ないし光軸）に関し、互いに対し１８０°回転されて配設される。そのように配設された補償要素は、通常、検出光ビームが当該補償要素に入射できるよう、音響光学要素に入射する検出光ビームの進行方向によって規定される（光）軸に対し横方向（直交方向）にずらされて（シフトされて）配設される。

図３に、本発明の光学装置（システム）の他の一例を示した。この光学装置は、図２に示したものとほぼ等しく構成されているが、付加的に、ビームのシフトを引き起こすための装置（ビームシフト生成装置）として、ミラー対６７を有する。検出光ビーム２９は、補償要素３１を通過した後、第１のミラー３５と第２のミラー３７から構成されるミラー対６７へ入射する。このミラー対６７は、検出光ビーム２９を所望の（光）軸６９へもたらす（シフトする）機能を有する。

図４に、本発明の光学装置（システム）の更なる一例を示した。この光学装置では、音響光学要素１３と補償要素３１の各々に各別に接合（結合）する介装要素７１が配設される。この光学装置では、補償要素３１と音響光学要素１３の互いに向かい合う境界面では、妨害的反射は起こらない。介装要素７１の屈折率及び接合剤の屈折率は、補償要素３１及び音響光学要素１３の屈折率に適合化される。補償要素３１には、ビームシフト生成装置として、できるだけ大きな屈折率を有するブロック状ガラス７３が後置される。このブロック状ガラス７３は、一方では、検出光ビーム２９を所望の軸へもたらし（シフトし）、他方では、音響光学要素１３によって又は補償要素３１によって引き起こされたスペクトル分解を補償する機能を有する。

図５に、本発明の光学装置（システム）の更に他の一例を示した。この光学装置では、音響光学要素に入射する照明光ビーム及び当該音響光学要素から射出する検出光ビームが、それぞれ、それ専用の入射窓（面）及び射出窓（面）を有するように、音響光学要素は構成される。この光学装置は、検出光ビームが（扇状の）スペクトル拡開を受けてはいるが、その拡開された検出光ビームは、音響光学要素と補償要素との間の領域ではほぼ平行に推移（進行）するため、補償要素による補償は改善されるという利点を有する。

以上においては、本発明の特別な実施例に関して説明を行った。しかしながら、特許請求の範囲の保護範囲を逸脱しない範囲において修正・変更等を行い得ること（及びそれら変形形態等が保護範囲に含まれること）は自明である。

本発明の走査顕微鏡の一例。 本発明の光学装置（システム）の一例。 本発明の光学装置（システム）の他の一例。 本発明の光学装置（システム）の更なる一例。 本発明の光学装置（システム）の更に他の一例。

符号の説明

１ レーザ
３ レーザ
５ 放射光ビーム
７ 放射光ビーム
９ 光結合器
１１ 照明光ビーム
１２ 偏向ミラー
１３ 音響光学要素
１５ ＡＯＴＦ
１７ ビーム走査装置（ビームスキャナ）
１９ 走査ミラー
２１ 走査光学系
２３ 鏡筒光学系
２５ 対物レンズ
２７ 被検試料
２９ 検出光ビーム
３１ 補償要素
３３ 更なる音響光学要素
３５ 第１のミラー
３７ 第２のミラー
３９ 検出器
４１ 照明用ピンホール
４３ 検出用ピンホール
４５ ピエゾ式（超）音波発生要素（（超）音波発生圧電要素）
４７ 高周波源（高周波発信器）
４８ 同軸ケーブル
４９ ビームトラップ
５１ 更なる高周波源（高周波発信器）
５３ コンピュータ（ユニット）
５５ コンピュータマウス
５７ モニタ
５９ スライダ
６１ スライダ
６３ スライダ
６５ ピエゾ式（超）音波発生要素（（超）音波発生圧電要素）
６７ ミラー対
６９ （光）軸
７１ 介装要素
７３ ブロック状ガラス

Claims (8)

1. 照明光ビーム（１１）と、反対方向に進行する検出光ビーム（２９）とを空間的に分離するための光学装置であって、
   音響光学要素（１３）と、該音響光学要素（１３）における複屈折によって引き起こされる前記検出光ビーム（２９）の分解を１回の通過のみで補償する補償要素（３１）を備え、
   前記音響光学要素（１３）及び前記補償要素（３１）は、前記照明光ビーム（１１）が該音響光学要素（１３）のみを通過するよう配置される
   光学装置において、
   前記補償要素（３１）及び前記音響光学要素（１３）は、同じ外形形状を有し、同じ材料で製造され、かつ同じ結晶構造を有すること、
   前記補償要素（３１）は、更なる音響光学要素（３３）として構成されること、及び
   前記補償要素（３１）及び前記音響光学要素（１３）は、該音響光学要素（１３）に入射する検出光ビーム（２９）の進行方向によって規定される光軸に対し１８０°回転された相対角度関係において配設されること
   を特徴とする光学装置。
2. 前記音響光学要素（１３）は、ＡＯＦＴ（音響光学可変フィルタ）、ＡＯＤ（音響光学偏向器）又はＡＯＭ（音響光学変調器）から構成されること
   を特徴とする請求項１に記載の光学装置。
3. 前記補償要素（３１）は、前記音響光学要素（１３）における分散によって引き起こされる前記検出光ビーム（２９）の分解を補償すること
   を特徴とする請求項１に記載の光学装置。
4. 前記音響光学要素（１３）及び前記補償要素（３１）には、ビームシフト生成装置（６７、７３）が後置されること
   を特徴とする請求項１に記載の光学装置。
5. 前記音響光学要素（１３）及び前記補償要素（３１）は、互いに接合されるよう構成されること
   を特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の光学装置。
6. 前記音響光学要素（１３）と前記補償要素（３１）との間には、該音響光学要素（１３）と該補償要素（３１）とに各別に接合する介装要素が配されること
   を特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の光学装置。
7. 前記補償要素（３１）は、前記検出光ビーム（２９）に残留している前記照明光ビーム（１１）の波長を有する成分を遮断するために、高周波によって制御可能に構成されること
   を特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の光学装置。
8. 請求項１〜７の何れか１項に記載の光学装置を有する走査顕微鏡。

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