JP4573528B2 - 光学装置及び走査顕微鏡 - Google Patents
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Description
音響光学要素と、該音響光学要素における複屈折によって引き起こされる前記検出光ビームの分解を1回の通過のみで補償する補償要素を備え、
前記音響光学要素及び前記補償要素は、前記照明光ビームが該音響光学要素のみを通過するよう配置される光学装置が提供される。
この光学装置において、
前記補償要素及び前記音響光学要素は、同じ外形形状を有し、同じ材料で製造され、かつ同じ結晶構造を有すること、
前記補償要素は、更なる音響光学要素として構成されること、及び
前記補償要素及び前記音響光学要素は、該音響光学要素に入射する検出光ビームの進行方向によって規定される光軸に対し180°回転された相対角度関係において配設されることを特徴とする(形態1・基本構成1)。
(形態2) 上記形態1の光学装置において、前記音響光学要素は、AOFT(音響光学可変フィルタ)、AOD(音響光学偏向器)又はAOM(音響光学変調器)から構成される。
(形態3) 上記形態1の光学装置において、前記補償要素は、前記音響光学要素における分散によって引き起こされる前記検出光ビームの分解を補償する。
(形態4) 上記形態1の光学装置において、前記音響光学要素及び前記補償要素には、ビームシフト生成装置が後置される。
(形態5) 上記形態1〜4の何れかの光学装置において、前記音響光学要素及び前記補償要素は、互いに接合されるよう構成される。
(形態6) 上記形態1〜5の何れかの光学装置において、前記音響光学要素と前記補償要素との間には、該音響光学要素と該補償要素とに各別に接合する介装要素が配される。
(形態7) 上記形態1〜6の何れかの光学装置において、前記補償要素は、前記検出光ビームに残留している前記照明光ビームの波長を有する成分を遮断するために、高周波によって制御可能に構成される。
(形態8) 上記形態1〜7の何れかの光学装置を有する走査顕微鏡も有利に提供される。
3 レーザ
5 放射光ビーム
7 放射光ビーム
9 光結合器
11 照明光ビーム
12 偏向ミラー
13 音響光学要素
15 AOTF
17 ビーム走査装置(ビームスキャナ)
19 走査ミラー
21 走査光学系
23 鏡筒光学系
25 対物レンズ
27 被検試料
29 検出光ビーム
31 補償要素
33 更なる音響光学要素
35 第1のミラー
37 第2のミラー
39 検出器
41 照明用ピンホール
43 検出用ピンホール
45 ピエゾ式(超)音波発生要素((超)音波発生圧電要素)
47 高周波源(高周波発信器)
48 同軸ケーブル
49 ビームトラップ
51 更なる高周波源(高周波発信器)
53 コンピュータ(ユニット)
55 コンピュータマウス
57 モニタ
59 スライダ
61 スライダ
63 スライダ
65 ピエゾ式(超)音波発生要素((超)音波発生圧電要素)
67 ミラー対
69 (光)軸
71 介装要素
73 ブロック状ガラス
Claims (8)
- 照明光ビーム(11)と、反対方向に進行する検出光ビーム(29)とを空間的に分離するための光学装置であって、
音響光学要素(13)と、該音響光学要素(13)における複屈折によって引き起こされる前記検出光ビーム(29)の分解を1回の通過のみで補償する補償要素(31)を備え、
前記音響光学要素(13)及び前記補償要素(31)は、前記照明光ビーム(11)が該音響光学要素(13)のみを通過するよう配置される
光学装置において、
前記補償要素(31)及び前記音響光学要素(13)は、同じ外形形状を有し、同じ材料で製造され、かつ同じ結晶構造を有すること、
前記補償要素(31)は、更なる音響光学要素(33)として構成されること、及び
前記補償要素(31)及び前記音響光学要素(13)は、該音響光学要素(13)に入射する検出光ビーム(29)の進行方向によって規定される光軸に対し180°回転された相対角度関係において配設されること
を特徴とする光学装置。 - 前記音響光学要素(13)は、AOFT(音響光学可変フィルタ)、AOD(音響光学偏向器)又はAOM(音響光学変調器)から構成されること
を特徴とする請求項1に記載の光学装置。 - 前記補償要素(31)は、前記音響光学要素(13)における分散によって引き起こされる前記検出光ビーム(29)の分解を補償すること
を特徴とする請求項1に記載の光学装置。 - 前記音響光学要素(13)及び前記補償要素(31)には、ビームシフト生成装置(67、73)が後置されること
を特徴とする請求項1に記載の光学装置。 - 前記音響光学要素(13)及び前記補償要素(31)は、互いに接合されるよう構成されること
を特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の光学装置。 - 前記音響光学要素(13)と前記補償要素(31)との間には、該音響光学要素(13)と該補償要素(31)とに各別に接合する介装要素が配されること
を特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の光学装置。 - 前記補償要素(31)は、前記検出光ビーム(29)に残留している前記照明光ビーム(11)の波長を有する成分を遮断するために、高周波によって制御可能に構成されること
を特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の光学装置。 - 請求項1〜7の何れか1項に記載の光学装置を有する走査顕微鏡。
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