JP2003322799A - レーザ顕微鏡システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザ光の出射波長の変更に対してもレーザ
顕微鏡の光軸調整を精度よく行うことができる顕微鏡シ
ステムを提供する。 【解決手段】 レーザ光の出射波長を変更可能にしたレ
ーザ発生手段１より出射されたレーザ光を反射する反射
ミラー３を配置するとともに、この反射ミラー３を載置
して光軸２に沿った方向に平行移動可能にした平行移動
機構４を設け、反射ミラー３で反射され、レーザ顕微鏡
に入射されるレーザ光のスポット位置をラインセンサ９
で検出し、このラインセンサ９で検出されたレーザ光の
スポット位置に基づいて、ラインセンサ９上でのスポッ
ト位置が所定位置となるように平行移動機構４により反
射ミラー３を移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、標本に対してレー
ザ光を照射し、標本からの蛍光を観察するレーザ顕微鏡
システムに係り、特に、出射レーザ光の波長を変更可能
な波長可変レーザを使用したレーザ頭微鏡システムに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、標本に対してレーザ光を照射し、
標本からの蛍光を観察するレーザ顕微鏡システムには、
レーザ顕微鏡が用いられるが、このようなレーザ顕微鏡
では、標本を染色している蛍光色素に適した波長のレー
ザ光を照射する必要がある。

【０００３】ところで、近年、様々な蛍光色素が開発さ
れ、目的に合わせてこれらの蛍光色素が使い分けられて
おり、そのため、励起レーザも多くの波長のものが必要
となっている。

【０００４】このため、最近では、レーザ発生手段とし
て、ブロードバンド発振のレーザ光から必要とする出射
波長にチューニングできる波長可変のものが有用になっ
ている。ところが、ブロードバンド発振されるレーザ光
から特定の波長のレーザ光を取り出す場合、波長を変更
しながら効率よくレーザ光を取り出すには、レーザ発生
手段内部の光学系を操作する必要があり、この波長変更
にともなってレーザ光の出力光軸が動いてしまうことが
ある。

【０００５】一方、レーザ顕微鏡は、レーザ光の入射光
軸の調整がその性能に大きく影響することが知られてお
り、このため波長を可変可能にしたレーザ光を使用する
場合は、波長可変チューニングを行うたびにレーザ顕微
鏡への入射光軸を修正する必要がある。

【０００６】そこで、従来のレーザ発生手段では、レー
ザ光源からレーザ顕微鏡までの間の光路に光軸調整機構
を設けておき、レーザ光をチューニングして出力波長を
変えるたびに、レーザ光を目視で確認しながら、光軸調
整機構を操作してレーザ顕微鏡への入射光軸を調整する
ようにしている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レーザ
顕微鏡へ入射されるレーザ光を目視しながら光軸調整す
るのでは、操作が煩雑で手間がかかり、光軸調整を最適
に行い最良な画像を取得するのは極めて困難である。特
に、多光子レーザ顕微鏡のように近赤外の波長のレーザ
光が使用されるものでは、目視では、レーザ光が見えな
いため、光軸調整にＩＲスコープなどを用いて作業を行
わなければならないため、さらに手間がかかってしま
う。

【０００８】そこで、波長の異なる複数のレーザ光源を
用意し、これらレーザ光源からの光軸調整されたレーザ
光を合成して使用することで、面倒な光軸調整作業を不
要にすることも考えられるが、複数のレーザ光源を用意
することは、価格的に高価になるとともに、大きな設置
スペースも必要になる。

【０００９】特に、近年、多光子励起現象を利用した多
光子レーザ顕微鏡が実用化されるようになっており、こ
の種の多光子レーザ顕微鏡の多光子励起現象は、通常の
１光子励起蛍光のｎ倍（２光子ではｎ＝２、３光子では
ｎ＝３、…）の波長の励起レーザが使用され、一般に近
赤外の波長のものが使用されているが、このような多光
子励起用のレーザ光源は非常に高価なため、これらレー
ザ光源を複数台用意することは、あまり現実的でない。

【００１０】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、レーザ光の出射波長の変更に対してもレーザ顕微鏡
の光軸調整を簡単に精度よく行うことができる顕微鏡シ
ステムを提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
レーザ光の出射波長を変更可能にしたレーザ発生手段
と、前記レーザ発生手段より出射されたレーザ光を偏向
させる光学部材と、前記光学部材を移動させる移動手段
と、前記光学部材で偏向されるレーザ光が入射されるレ
ーザ顕微鏡と、前記レーザ顕微鏡に入射されるレーザ光
の位置を検出する位置センサと、前記位置センサで検出
されたレーザ光の位置に基づいて前記位置センサ上の前
記レーザ光の位置が所定位置となるように前記移動手段
による前記光学部材の移動を制御する制御手段とを具備
したことを特徴としている。

【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記光学部材は、反射ミラーで、前記移動
手段は、前記反射ミラーの反射光路を平行にシフトさせ
るように移動させることを特徴としている。

【００１３】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記光学部材は、反射ミラーで、前記移動
手段は、前記反射ミラーの反射光路を回動させるように
移動させることを特徴としている。

【００１４】請求項４記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記光学部材は、反射ミラーで、前記移動
手段は、前記反射ミラーの反射光路を平行にシフトさせ
るとともに、回動させるように移動させることを特徴と
している。

【００１５】請求項５記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記光学部材は、透過光学部材で、前記移
動手段は、前記透過光学部材を回動させるように移動さ
せることを特徴としている。

【００１６】請求項６記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記光学部材は、前記レーザ発生手段より
出射されたレーザ光の第１の光軸上に配置される第１の
反射ミラーと、該第１の反射ミラーの反射光路に配置さ
れ、第２の光軸の反射光路を形成する第２の反射ミラー
を有し、前記移動手段は、前記第１の反射ミラーを移動
させる第１の平行移動機構および前記第２の反射ミラー
を移動させる第２の平行移動機構を有し、前記位置セン
サは、前記第２の反射ミラーで反射される前記第２の光
軸のレーザ光の位置を検出する２次元センサであること
を特徴としている。

【００１７】請求項７記載の発明は、請求項１乃至６の
いずれかに記載の発明において、レーザ発生手段は、制
御部手段からの指示により自動チューニングされる波長
可変レーザであり、該波長変更のチューニング完了によ
り前記制御手段ヘその旨の信号を発し、前記移動手段に
よる前記光学部材の移動制御を開始させることを特徴と
している。

【００１８】この結果、本発明によれば、レーザ光の出
射波長を変更したことにより、レーザ光の出射位置や出
射角度などの位置変化を生じても、これらの位置変化に
対し、レーザ光の光路を適切に移動させて補正すること
ができるので、レーザ顕微鏡へのレーザ光の入射光軸を
常に一定状態に保つことができ、レーザ顕微鏡において
常に良好な観察画像を取得することができる。

【００１９】また、本発明によれば、レーザ光の出射波
長を変更したことによりレーザ光の位置変化が２次元的
であっても、これらの変化に対し、レーザ光の光路を２
次元的に移動させて補正することができるので、レーザ
顕微鏡へのレーザ光の入射光軸を常に一定状態に保つこ
とができ、レーザ顕微鏡において常に良好な観察画像を
取得することができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。

【００２１】（第１の実施の形態）図１は、本発明が適
用されるレーザ顕微鏡システムの概略構成を示してい
る。図において、１はレーザ発生手段で、このレーザ発
生手段１は、ブロードバンド発振されるレーザ光からい
ろいろな出射波長にチューニングできる波長可変のもの
が用いられている。また、このレーザ発生手段１には、
チューニングによりレーザ光の出力波長の変更を行う
と、レーザ光の出射位置が光軸２に対して平行にずれる
光軸ずれタイプのものが用いられている。

【００２２】レーザ発生手段１からのレーザ光の光軸２
上には、レーザ光を偏向する光学部材としての反射ミラ
ー３が配置されている。この反射ミラー３は、移動手段
としての平行移動機構４に載置されている。

【００２３】平行移動機構４は、例えば、マイクロメー
タからなるもので、モータ６により反射ミラー３を光軸
２に沿った方向に平行移動可能とし、反射ミラー３の反
射光路を平行にシフトできるようにしている。

【００２４】反射ミラー３の反射光路には、ビームスプ
リッタなどの一部透過ミラー７が配置されている。この
一部透過ミラー７は、反射ミラー３で反射されるレーザ
光をさらに反射するとともに、その一部を透過するもの
である。

【００２５】一部透過ミラー７の反射光路には、レーザ
顕微鏡８のレーザ光走査装置８ａが配置され、また、透
過光路には、位置センサとして、ラインセンサ９が配置
されている。

【００２６】ここで、レーザ顕微鏡８は、図示しない標
本に対してレーザ光走査装置８ａから導入されたレーザ
光を照射し、標本からの蛍光を観察するようにしたもの
である。また、ラインセンサ９は、図２に示すように一
部透過ミラー７を透過したレーザ光がレーザスポット１
０として照射されるもので、レーザスポット１０の照射
位置に対応した出力を発生するものである。

【００２７】ラインセンサ９には、制御部５が接続され
ている。制御部５は、レーザ顕微鏡８に対するレーザ光
の光軸調整が最適になされているときのラインセンサ９
上のレーザスポット１０の照射位置（図２に示すライン
センサ９の中央位置）をレーザ光のアライメントが最適
に取られている初期状態のレーザスポット位置として記
憶しており、レーザ発生手段１でのチューニングによる
レーザ光の出力波長の変更によりレーザ光の出射位置が
光軸２に対して平行にずれ、りラインセンサ９上のレー
ザスポット１０の照射位置が移動すると、このときの移
動量と移動方向を検出し、これらの情報に基づいてモー
タ６を介して平行移動機構４を駆動し、レーザスポット
１０の照射位置をラインセンサ９の中央位置に戻すよう
に制御するようになっている。

【００２８】このような構成において、いま、図３に示
すようにレーザ発生手段１からのレーザ光の出射位置が
図示破線位置にあってレーザ顕微鏡８に対するレーザ光
の光軸調整が最適になされている場合は、レーザ発生手
段１からのレーザ光は、反射ミラー３で反射し、図示破
線光路ａを通って一部透過ミラー７に入射し、ここでさ
らに反射して、レーザ顕微鏡８のレーザ光走査装置８ａ
に入射され、また、一部透過したレーザ光は、ラインセ
ンサ９に照射される。

【００２９】この場合、ラインセンサ９上のレーザスポ
ット１０の照射位置は、図２に示すようにラインセンサ
９の中央部（初期状態）に位置することから、制御部５
による平行移動機構４の制御は行われない。

【００３０】次に、レーザ発生手段１において、チュー
ニングによりレーザ光の出力波長の変更を行い、レーザ
発生手段１からのレーザ光の出射位置が図示実線位置に
ずれると、反射ミラー３で反射するレーザ光は、図示実
線光路ｂを通り、一部透過ミラー７を透過してラインセ
ンサ９上に照射され、このときのレーザスポット１０の
位置は、例えば図４に示すようにラインセンサ９の中央
部からずれる方向に移動する。すると、制御部５は、こ
の時のラインセンサ９上のレーザスポット１０の移動量
と移動方向を検出し、これらの情報に基づいてモータ６
を駆動し、平行移動機構４により反射ミラー３を移動さ
せる。

【００３１】この場合、図４に示すようにラインセンサ
９上のレーザスポット１０の照射位置は、ラインセンサ
９の中央部から右方向にずれているので、制御部５は、
平行移動機構４により反射ミラー３を光軸２に沿って図
示左方向に平行移動させる。すると、反射ミラー３の移
動により、その反射光路は平行にシフトするので、一部
透過ミラー７を透過してラインセンサ９上に照射される
レーザスポット１０の位置はラインセンサ９の中央部に
戻る方向に移動する。そして、レーザスポット１０の照
射位置が図２に示すラインセンサ９上の中央部まで戻る
と、制御部５は、モータ６による平行移動機構４の駆動
を停止する。これにより、反射ミラー３で反射されたレ
ーザ光は、元の図示破線光路ａを通って一部透過ミラー
７に入射されるようになり、レーザ光の出射位置のずれ
は補正され、レーザ顕微鏡８に対するレーザ光の光軸調
整が最適になされた状態に戻される。

【００３２】従って、このようにすれば、レーザ発生手
段１において、レーザ光の出射波長を変更したことによ
り、レーザ光の出射位置に変化を生じても、このときの
位置変化に対し反射ミラー３の反射光路が平行にシフト
させ、補正することができるので、レーザ顕微鏡８への
レーザ光の入射光軸を常に一定状態、つまりレーザ光の
光軸調整が最適な状態に保つことができ、これによりレ
ーザ顕微鏡８側において常に良好な観察画像を取得する
ことができる。

【００３３】（第２の実施の形態）図５は、第２の実施
の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部分には同
符号を付している。

【００３４】この場合、レーザ発生手段１には、チュー
ニングによりレーザ光の出力波長の変更を行うと、レー
ザ発生手段１からのレーザ光の出射角度がずれる角度ず
れタイプのものが用いられている。また、レーザ発生手
段１からのレーザ光の光軸２上に配置される反射ミラー
３は、回転機構２１上に載置されている。この回転機構
２１は、モータ６により反射ミラー３を回動可能とし、
反射ミラー３の反射光路を回動できるようにしている。
なお、この場合の反射ミラー３の反射面は、レーザ発生
手段１のレーザ光出射位置に近いことが望ましい。

【００３５】このような構成において、いま、レーザ発
生手段１からのレーザ光の出射角度が図示破線位置にあ
ってレーザ顕微鏡８に対するレーザ光の光軸調整が最適
になされている場合は、上述したと同様にして制御部５
による回転機構２１の制御は行われない。

【００３６】次に、レーザ発生手段１において、チュー
ニングによりレーザ光の出力波長の変更を行い、レーザ
発生手段１からのレーザ光の出射角度が図示実線位置に
ずれると、反射ミラー３で反射されるレーザ光は、図示
実線光路ｂを通り、一部透過ミラー７を透過してライン
センサ９上に照射され、このときのレーザスポット１０
の位置は、例えば図６に示すようにラインセンサ９の中
央部からずれる方向に移動する。

【００３７】これにより、制御部５は、この時のライン
センサ９上のレーザスポット１０の移動量と移動方向を
検出し、これらの情報に基づいてモータ６を駆動し、反
射ミラー３を載置した回転機構２１を回動させる。

【００３８】すると、反射ミラー３の回動にともない、
その反射光路が回動するので、一部透過ミラー７を透過
してラインセンサ９上に照射されるレーザスポット１０
の位置はラインセンサ９の中央部に戻る方向に移動す
る。そして、上述した図２に示すラインセンサ９上の中
央部までレーザスポット１０の照射位置が戻ると、制御
部５は、モータ６による回転機構２１の駆動を停止す
る。これにより、反射ミラー３で反射されたレーザ光
は、図示破線光路ａを通って一部透過ミラー７に入射さ
れるようになり、レーザ光の出射角度のずれは補正さ
れ、レーザ顕微鏡８に対するレーザ光の光軸調整が最適
になされた状態に戻される。

【００３９】従って、このようにしても第１の実施の形
態と同様な効果を期待できる。

【００４０】（第３の実施の形態）図７は、第３の実施
の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部分には同
符号を付している。

【００４１】この場合、レーザ発生手段１には、チュー
ニングによりレーザ光の出力波長の変更を行うと、レー
ザ発生手段１からのレーザ光の出射位置が光軸２に対し
て平行にずれる（光軸ずれ）と同時に、レーザ光の出射
角度がずれる（角度ずれ）タイプのものが用いられてい
る。

【００４２】レーザ発生手段１からのレーザ光の光軸２
上に配置される反射ミラー３は、平行移動・回転機構２
２上に載置されている。平行移動・回転機構２２は、モ
ータ６により反射ミラー３全体を光軸２に沿った方向に
平行移動可能とし、反射光路を平行にシフトできるよう
にするとともに、反射ミラー３を回動可能とし、反射光
路を回動できるようにしている。また、反射ミラー３の
反射光路上には、所定の間隔をおいて２個の一部透過ミ
ラー２３ａ、２３ｂが配置され、これら一部透過ミラー
２３ａ、２３ｂの透過光路には、レーザ顕微鏡８のレー
ザ光走査装置８ａが配置され、また、それぞれの反射光
路には、位置センサとして、ラインセンサ２４ａ、２４
ｂが配置されている。

【００４３】このような構成において、いま、レーザ発
生手段１からのレーザ光の出射位置および角度が図示破
線位置にあってレーザ顕微鏡８に対するレーザ光の光軸
調整が最適になされている場合は、上述したと同様にし
て制御部５による平行移動・回転機構２２の制御は行わ
れない。

【００４４】次に、レーザ発生手段１において、チュー
ニングによりレーザ光の出力波長の変更を行い、レーザ
発生手段１からのレーザ光の出射位置および角度が図示
実線位置にずれると、反射ミラー３で反射されるレーザ
光は、図示実線光路ｂを通って一部透過ミラー２３ａ、
２３ｂでさらに反射してラインセンサ２４ａ、２４ｂ上
に照射される。このときのラインセンサ２４ａ、２４ｂ
上でのレーザスポット１０の位置は、図８（ａ）（ｂ）
に示すようにラインセンサ２４ａ、２４ｂの中央部から
ずれる方向に移動している。

【００４５】これにより、制御部５は、このときのライ
ンセンサ２４ａ、２４ｂ上のレーザスポット１０の移動
量と移動方向を検出し、これらの情報に基づいてモータ
６を駆動する。この場合、のラインセンサ２４ａ、２４
ｂのレーザスポット１０の位置ずれ量の差分がレーザ光
の角度ずれに相当するため、まず、このレーザスポット
１０の位置ずれ量の差分を求めて、これを無くすように
反射ミラー３を回動させる。両センサのレーザスポット
１０の位置ずれ量が等しくなれば、レーザ光の角度ずれ
が補正された状態になっている。

【００４６】残っているラインセンサ２４ａ、２４ｂ上
の等しい位置ずれは、レーザ光の出射位置ずれであるた
め、その後、反射ミラー３をレーザスポット１０の位置
がセンサの中央に戻る方向に平行移動させる。

【００４７】そして、それぞれのラインセンサ２４ａ、
２４ｂ上のレーザスポット１０の照射位置が、図９
（ａ）（ｂ）に示すように中央部まで戻ると、制御部５
は、モータ６による平行移動・回転機構２２の駆動を停
止する。これにより、反射ミラー３で反射されたレーザ
光は、図示破線光路ａを通って一部透過ミラー７に入射
されるようになり、レーザ光の出射位置および角度のず
れは補正され、レーザ顕微鏡８に対するレーザ光の光軸
調整が最適になされた状態に戻される。

【００４８】従って、このようにすれば、レーザ発生手
段１からのレーザ光が光軸ずれと角度ずれを同時に生じ
ても、反射ミラー３の反射光路上に配置された一部透過
ミラー２３ａ、２３ｂを介してラインセンサ２４ａ、２
４ｂにより光路のずれを２個所で検出してレーザ光の光
軸ずれと角度ずれを補正するようにしたので、レーザ顕
微鏡８に対するレーザ光の光軸調整を高精度に行うこと
ができる。

【００４９】（第４の実施の形態）図１０は、第４の実
施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部分には
同符号を付している。

【００５０】この場合、レーザ発生手段１には、チュー
ニングによりレーザ光の出力波長の変更を行うと、レー
ザ発生手段１からのレーザ光の出射位置が光軸２に対し
て平行にずれる光軸ずれタイプのものが用いられてい
る。

【００５１】また、レーザ発生手段１のからのレーザ光
の光軸２上には、透過光学部材としての平行平面ガラス
２５が配置されている。この平行平面ガラス２５は、回
転機構２６上に載置されている。この回転機構２６は、
モータ６により光軸２に対する平行平面ガラス２５を回
動可能にしている。ここで、平行平面ガラス２５は、レ
ーザ発生手段１のからのレーザ光の光軸２に対する傾き
に応じて光軸２を平行にずらすようにしたもので、例え
ば、図１１（ａ）に示すようにレーザ光の光軸２に対す
る所定の傾きにより光軸ズレ量がｄ１であるものが、傾
きを変えることで、同図（ｂ）に示すように光軸ズレ量
がｄ２に変化するようにしている。

【００５２】このようにしても、レーザ顕微鏡８に対す
るレーザ光の光軸調整が最適になされている状態から、
レーザ発生手段１において、チューニングによりレーザ
光の出力波長の変更を行い、レーザ光の出射位置がずれ
ると、平行平面ガラス２５および一部透過ミラー７を透
過してラインセンサ９上に照射されるレーザスポット位
置は、ラインセンサ９の中央部からずれる方向に移動す
る。これにより、制御部５は、この時のラインセンサ９
上のレーザスポット１０の移動量と移動方向を検出し、
これらの情報に基づいてモータ６を駆動し、平行平面ガ
ラス２５を載置した回転機構２６を回動させる。

【００５３】すると、平行平面ガラス２５の回動によ
り、図１１（ａ）（ｂ）に示すようにレーザ光の光軸２
に対する傾きが変化することにより、光軸２が平行移動
され、ラインセンサ９上に照射されるレーザスポット位
置も中央部に戻る方向に移動する。そして、レーザスポ
ット位置がラインセンサ９上の中央部まで戻ると、制御
部５は、モータ６による回転機構２１の駆動を停止す
る。これにより、レーザ光の出射位置のずれは補正さ
れ、レーザ顕微鏡８に対するレーザ光の光軸調整が最適
になされた状態に戻される。

【００５４】従って、このようにしても第１の実施の形
態と同様な効果を期待できる。

【００５５】（第５の実施の形態）図１２は、第５の実
施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部分には
同符号を付している。

【００５６】この場合、レーザ発生手段１からのレーザ
光の第１の光軸２上には、第１の反射ミラー２７ａが配
置され、また、第１の反射ミラー２７ａの反射光路に
は、第１の光軸２と直交する第２の光軸２’の反射光路
を形成する第２の反射ミラー２７ｂが配置されている。

【００５７】第１の反射ミラー２７ａは、第１の平行移
動機構２８ａに載置され、光軸２に沿った方向に平行移
動可能となっており、また、第２の反射ミラー２７ｂ
は、第２の平行移動機構２８ｂに載置され、光軸２’に
沿った方向に平行移動可能となっている。

【００５８】これら第１および第２の平行移動機構２８
ａ、２８ｂは、制御部５の指示にしたがって、モータ２
９ａ、２９ｂにより駆動されるものである。

【００５９】第２の反射ミラー２７ｂの反射光路、つま
り光軸２’には、一部透過ミラー７が配置され、この一
部透過ミラー７の反射光路には、レーザ顕微鏡８のレー
ザ光走査装置８ａが、また、透過光路には、２次元セン
サ３０が配置されている。

【００６０】２次元センサ３０は、図１３に示すように
４分割された受光面を有するもので、レーザ光のアライ
メントが最適に取られている初期状態において、レーザ
スポット１０の照射位置が受光面中央（図示状態）にな
るように設定されている。

【００６１】このようにしても、レーザ顕微鏡８に対す
るレーザ光の光軸調整が最適になされている状態から、
レーザ発生手段１において、チューニングによりレーザ
光の出力波長の変更を行い、レーザ光の出射位置が２次
元的にずれると、第１および第２の反射ミラー２７ａ、
２７ｂを反射し、一部透過ミラー７を透過して２次元セ
ンサ３０に照射されるレーザスポット１０の位置は、２
次元センサ３０の中央部からずれる方向に移動する。こ
れにより、制御部５は、この時の２次元センサ３０上の
レーザスポット１０の移動量と移動方向を検出し、これ
らの情報に基づいてモータ２９ａ、２９ｂを駆動し、反
射ミラー２７ａ、２７ｂを載置した第１および第２の平
行移動機構２８ａ、２８ｂをそれぞれ光軸２、２’に沿
って駆動させる。

【００６２】すると、これら反射ミラー２７ａ、２７ｂ
の平行移動により、反射光路は２次元的にシフトし、２
次元センサ３０上のレーザスポット１０の位置も中央部
に戻る方向に移動する。そして、レーザスポット１０の
照射位置が２次元センサ３０の受光面の中央部まで戻る
と、制御部５は、モータ２９ａ、２９ｂによる平行移動
機構２８ａ、２８ｂの駆動を停止する。これにより、レ
ーザ光の出射位置のずれは補正され、レーザ顕微鏡８に
対するレーザ光の光軸調整が最適になされた状態に戻さ
れる。

【００６３】従って、このようにすれば、レーザ光の出
射波長を変更したことによりレーザ光の位置変化が２次
元的であっても、これらの変化に対し反射ミラー２７
ａ、２７ｂの平行移動により、反射光路を２次元的にシ
フトさせて補正することができるので、レーザ顕微鏡８
へのレーザ光の入射光軸を常に一定状態に保つことがで
き、レーザ顕微鏡において常に良好な観察画像を取得す
ることができる。

【００６４】本発明は、上記実施の形態に限定されるも
のでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で
種々変形することが可能である。

【００６５】例えば、レーザ発生手段１は、制御部５か
らの指示により電動で自動チューニングされる波長可変
レーザとし、波長変更のチューニングが完了すると制御
部５ヘトリガー信号を発し、ラインセンサ９上のレーザ
スポット１０の照射位置を検出して光軸アライメントを
開始するようにしてもよい。このようにすれば、レーザ
の波長変更の入力によって光軸アライメントまで自動的
に行われ、簡便に良好な画像を常に取得することが可能
となる。

【００６６】さらに、上記実施の形態には、種々の段階
の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件
における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から
幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようと
する課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄
で述べられている効果が得られる場合には、この構成要
件が削除された構成が発明として抽出できる。

【００６７】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、レー
ザ光の出射波長の変更に対してもレーザ顕微鏡の光軸調
整を精度よく行うことができる顕微鏡システムを提供で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図２】第１の実施の形態のラインセンサとレーザスポ
ットの関係を説明する図。

【図３】第１の実施の形態の動作を説明する概略構成を
示す図。

【図４】第１の実施の形態のラインセンサとレーザスポ
ットの関係を説明する図。

【図５】本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図６】第２の実施の形態のラインセンサとレーザスポ
ットの関係を説明する図。

【図７】本発明の第３の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図８】第３の実施の形態のラインセンサとレーザスポ
ットの関係を説明する図。

【図９】第３の実施の形態のラインセンサとレーザスポ
ットの関係を説明する図。

【図１０】本発明の第４の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図１１】第４の実施の形態に用いられる平行平面ガラ
スを説明する図。

【図１２】本発明の第５の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図１３】第１の実施の形態の２次元センサとレーザス
ポットの関係を説明する図。

【符号の説明】

１…レーザ発生手段 ２、２’…光軸 ３…反射ミラー ４…平行移動機構 ５…制御部 ６…モータ ７…一部透過ミラー ８…レーザ顕微鏡 ８ａ…レーザ光走査装置 ９…ラインセンサ １０…レーザスポット ２１…回転機構 ２２…平行移動・回転機構 ２３ａ．２３ｂ…一部透過ミラー ２４ａ．２４ｂ…ラインセンサ ２５…平行平面ガラス ２６…回転機構 ２７ａ…第１の反射ミラー ２７ｂ…第２の反射ミラー ２８ａ…第１の平行移動機構 ２８ｂ…第２の平行移動機構 ２９ａ．２９ｂ…モータ ３０…２次元センサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA01 AA19 AA20 BB01 BB30 DD06 FF04 FF23 FF41 GG04 GG25 HH04 JJ02 JJ03 JJ25 JJ26 LL12 NN20 PP24 QQ28 TT08 2H052 AA07 AA08 AA09 AC27 AC34 5F072 JJ08 KK05 KK30 MM13 SS10 YY11

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光の出射波長を変更可能にしたレ
   ーザ発生手段と、 前記レーザ発生手段より出射されたレーザ光を偏向させ
   る光学部材と、 前記光学部材を移動させる移動手段と、 前記光学部材で偏向されるレーザ光が入射されるレーザ
   顕微鏡と、 前記レーザ顕微鏡に入射されるレーザ光の位置を検出す
   る位置センサと、 前記位置センサで検出されたレーザ光の位置に基づいて
   前記位置センサ上の前記レーザ光の位置が所定位置とな
   るように前記移動手段による前記光学部材の移動を制御
   する制御手段とを具備したことを特徴とするレーザ顕微
   鏡システム。
2. 【請求項２】 前記光学部材は、反射ミラーで、前記移
   動手段は、前記反射ミラーの反射光路を平行にシフトさ
   せるように移動させることを特徴とする請求項１記載の
   レーザ顕微鏡システム。
3. 【請求項３】 前記光学部材は、反射ミラーで、前記移
   動手段は、前記反射ミラーの反射光路を回動させるよう
   に移動させることを特徴とする請求項１記載のレーザ顕
   微鏡システム。
4. 【請求項４】 前記光学部材は、反射ミラーで、前記移
   動手段は、前記反射ミラーの反射光路を平行にシフトさ
   せるとともに、回動させるように移動させることを特徴
   とする請求項１記載のレーザ顕微鏡システム。
5. 【請求項５】 前記光学部材は、透過光学部材で、前記
   移動手段は、前記透過光学部材を回動させるように移動
   させることを特徴とする請求項１記載のレーザ顕微鏡シ
   ステム。
6. 【請求項６】 前記光学部材は、前記レーザ発生手段よ
   り出射されたレーザ光の第１の光軸上に配置される第１
   の反射ミラーと、該第１の反射ミラーの反射光路に配置
   され、第２の光軸の反射光路を形成する第２の反射ミラ
   ーを有し、 前記移動手段は、前記第１の反射ミラー第１の平行移動
   機構および前記第２の反射ミラーを移動させる第２の平
   行移動機構を有し、 前記位置センサは、前記第２の反射ミラーで反射される
   前記第２の光軸のレーザ光の位置を検出する２次元セン
   サであることを特徴とする請求項１記載のレーザ顕微鏡
   システム。
7. 【請求項７】 レーザ発生手段は、制御部手段からの指
   示により自動チューニングされる波長可変レーザであ
   り、該波長変更のチューニング完了により前記制御手段
   ヘその旨の信号を発し、前記移動手段による前記光学部
   材の移動制御を開始させることを特徴とする請求項１乃
   至６のいずれかに記載のレーザ顕微鏡システム。