JP2003322799A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. レーザ光の出射波長を変更可能にしたレーザ発生手段と、
   前記レーザ発生手段より出射されたレーザ光を偏向させる光学部材と、
   前記光学部材を移動させる移動手段と、
   前記光学部材で偏向されるレーザ光が入射されるレーザ顕微鏡と、
   前記レーザ顕微鏡に入射されるレーザ光の位置を検出する位置センサと、
   前記位置センサで検出されたレーザ光の位置に基づいて前記位置センサ上の前記レーザ光の位置が所定位置となるように前記移動手段による前記光学部材の移動を制御する制御手段とを具備し、
   前記レーザ発生手段は、制御手段からの指示により自動チューニングされる波長可変レーザであり、該波長変更のチューニング完了により前記制御手段ヘその旨の信号を発し、前記移動手段による前記光学部材の移動制御を開始させることを特徴とするレーザ顕微鏡システム。
2. 前記光学部材は、反射ミラーで、前記移動手段は、前記反射ミラーの反射光路を平行にシフトさせるように移動させることを特徴とする請求項１記載のレーザ顕微鏡システム。
3. 前記光学部材は、反射ミラーで、前記移動手段は、前記反射ミラーの反射光路を回動させるように移動させることを特徴とする請求項１記載のレーザ顕微鏡システム。
4. 前記光学部材は、反射ミラーで、前記移動手段は、前記反射ミラーの反射光路を平行にシフトさせるとともに、回動させるように移動させることを特徴とする請求項１記載のレーザ顕微鏡システム。
5. 前記光学部材は、透過光学部材で、前記移動手段は、前記透過光学部材を回動させるように移動させることを特徴とする請求項１記載のレーザ顕微鏡システム。
6. 前記光学部材は、前記レーザ発生手段より出射されたレーザ光の第１の光軸上に配置される第１の反射ミラーと、該第１の反射ミラーの反射光路に配置され、第２の光軸の反射光路を形成する第２の反射ミラーを有し、
   前記移動手段は、前記第１の反射ミラー第１の平行移動機構および前記第２の反射ミラーを移動させる第２の平行移動機構を有し、
   前記位置センサは、前記第２の反射ミラーで反射される前記第２の光軸のレーザ光の位置を検出する２次元センサであることを特徴とする請求項１記載のレーザ顕微鏡システム。