JP2007078515A - レーザーレーダー装置 - Google Patents

レーザーレーダー装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2007078515A
JP2007078515A JP2005266814A JP2005266814A JP2007078515A JP 2007078515 A JP2007078515 A JP 2007078515A JP 2005266814 A JP2005266814 A JP 2005266814A JP 2005266814 A JP2005266814 A JP 2005266814A JP 2007078515 A JP2007078515 A JP 2007078515A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
reflected
laser light
signal
scanning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005266814A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Nakamura
滋 中村
Takeshi Yamamoto
剛 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP2005266814A priority Critical patent/JP2007078515A/ja
Publication of JP2007078515A publication Critical patent/JP2007078515A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)

Abstract

【課題】 レーザー光を対象物に照射することにより対象物との間の距離等を検出することが出来るレーダーレーザー装置を提供する。
【解決手段】 レーザー光が反射され、且つレーザー光を回折する偏光回折ビームスプリッタ2と、フォーカスレンズ3の合焦点に設けられている低反射ミラー5と、レーザー光を対象物に照射する略平行光である走査用レーザー光に変換する照射レンズ6と、低反射ミラー5と対象物との間の光路内に配置された4分の1波長板と、前記低反射ミラーにて反射されたサーボ用反射レーザー光が前記フォーカスレンズ及び偏光回折ビームスプリッタ2を介して照射される位置に設けられているサーボ用光検出器10と、対象物から反射された走査用反射レーザー光が偏光回折ビームスプリッタ2にて回折されて照射される位置に設けられた信号検出用光検出器11とよりなる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、レーザー光を対象物に照射し、該対象物から反射されて戻って来るレーザー光を利用して対象物との間の距離や対象物の位置等を認識するレーザーレーダー装置に関する。
最近、前方を走行する車にレーザー光を照射させて、その車と自分の車との間の距離、相対速度及び位置等を検出する装置が搭載された車が商品化されており、斯かる装置はレーザーレーダー装置と呼ばれている。
斯かるレーザーレーダー装置は、レーザーダイオードから放射されるレーザー光を対象物方向へ照射させるとともに該レーザー光の照射方向を上下左右方向へ移動させる動作、所謂スキャニングと呼ばれる動作を所定範囲内にて行うことによって対象物に関する情報を得るように構成されている(例えば、特許文献1参照。)。
特開平11−94945号公報
特許文献1に記載されている技術は、レーザー光を対象物に対して照射する光学系と対象物から反射されてくるレーザー光を受光する光学系とが別々に設けられているため、装置の小型化に対して不利である。また、レーザー光の照射位置と反射光の受光位置が異なるため、反射光の受光量が少なくなり、感度が低下するという問題がある。
本発明は、斯かる問題を解決することが出来るレーザーレーダー装置を提供しようとするものである。
本発明は、レーザーダイオードから放射されるレーザー光が入射されるとともに入射されたレーザー光が透過及び反射され、且つ前記レーザー光に対して90度偏光されたレーザー光を回折する偏光回折ビームスプリッタと、前記偏光回折ビームスプリッタにて反射されたレーザー光が入射されるとともに該レーザー光を合焦点に結像させるフォーカスレンズと、前記フォーカスレンズにて結像される合焦点に設けられているとともに一部のレーザー光を反射させ、且つ大部分のレーザー光を透過させる低反射ミラーと、該低反射ミラーを透過したレーザー光が入射されるとともに該レーザー光を対象物に照射する略平行光である走査用レーザー光に変換し、且つ対象物から反射された走査用反射レーザー光が入射される照射レンズと、前記低反射ミラーと対象物との間の光路内に配置された4分の1波長板と、前記低反射ミラーにて反射されたサーボ用反射レーザー光が前記フォーカスレンズ及び偏光回折ビームスプリッタを介して照射される位置に設けられているサーボ用光検出器と、前記照射レンズに入射されるとともに前記低反射ミラー及びフォーカスレンズを透過した走査用反射レーザー光が前記偏光回折ビームスプリッタにて回折された信号レーザー光が照射される位置に設けられた信号検出用光検出器を設け、前記フォーカスレンズを光軸に対して直角方向に変位させることによって走査用レーザー光の照射方向を変更するように構成されている。
また、本発明は、サーボ用光検出器に照射されるサーボ用反射レーザー光の照射位置によって走査用レーザー光の照射方向を制御するように構成されている。
そして、本発明は、フォーカスレンズを互いに直角関係にあるX方向及びY方向へ変位させることによって走査用レーザー光の放射方向を変更するとともにサーボ用光検出器にて得られる信号によってX方向及びY方向の位置を制御するように構成されている。
また、本発明は、サーボ用光検出器としてABCDの4つのセンサー部より構成された4分割センサーを使用し、X方向及びY方向に対応して配置されている2組のセンサーより得られる信号の差である差信号に基づいてX方向及びY方向の位置を認識するように構成されている。
そして、本発明は、4分の1波長板を照射レンズと対象物との間の光路内に配置するように構成されている。
更に、本発明は、4分の1波長板を低反射ミラーと照射レンズとの間の光路内に配置するように構成されている。
また、本発明は、低反射ミラーの照射レンズ側の面に反射防止膜を形成するように構成されている。
そして、本発明の低反射ミラーは、ガラス板または樹脂板にて構成されている。
また、本発明は、4分の1波長板と低反射ミラーとを一体的に光路内に配置するように構成されている。
更に、本発明は、4分の1波長板の照射レンズ側の面に反射防止膜を形成するように構成されている。
本発明は、レーザーダイオードから放射されるレーザー光が入射されるとともに入射されたレーザー光が透過及び反射され、且つ前記レーザー光に対して90度偏光されたレーザー光を回折する偏光回折ビームスプリッタと、前記偏光回折ビームスプリッタにて反射されたレーザー光が入射されるとともに該レーザー光を合焦点に結像させるフォーカスレンズと、前記フォーカスレンズにて結像される合焦点に設けられているとともに一部のレーザー光を反射させ、且つ大部分のレーザー光を透過させる低反射ミラーと、該低反射ミラーを透過したレーザー光が入射されるとともに該レーザー光を対象物に照射する略平行光である走査用レーザー光に変換し、且つ対象物から反射された走査用反射レーザー光が入射される照射レンズと、前記低反射ミラーと対象物との間の光路内に配置された4分の1波長板と、前記低反射ミラーにて反射されたサーボ用反射レーザー光が前記フォーカスレンズ及び偏光回折ビームスプリッタを介して照射される位置に設けられているサーボ用光検出器と、前記照射レンズに入射されるとともに前記低反射ミラー及びフォーカスレンズを透過した走査用反射レーザー光が前記偏光回折ビームスプリッタにて回折された信号レーザー光が照射される位置に設けられた信号検出用光検出器を設け、前記フォーカスレンズを光軸に対して直角方向に変位させることによって走査用レーザー光の照射方向を変更するようにしたので、即ち走査用レーザー光を照射する照射レンズによって対象物から反射された走査用反射レーザー光を受光するようにしたので、レーザーレーダー装置を小型化することが出来るだけでなく反射光の受光量が少なくならないので、感度を高くすることが出来る。
また、本発明は、フォーカスレンズにて結像されたレーザー光が入射される照射レンズを設け、該照射レンズにて走査用レーザー光を生成するようにしたので、該照射レンズの
口径や屈折率を選択することによって走査用レーザー光の照射角を大きくすることが出来る。従って、本発明によれば、走査用レーザー光の照射範囲を広げることが出来る。
そして、本発明は、フォーカスレンズにて結像される合焦点に一部のレーザー光を反射させ、且つ一部のレーザー光を透過させる低反射ミラーを設けるとともに該低反射ミラーにて反射されたサーボ用反射レーザー光が照射される位置にサーボ用光検出器を設け、該サーボ用光検出器に照射されるレーザー光の位置によって走査用レーザー光の照射方向を制御するようにしたので、フォーカスレンズの位置制御動作を正確に行うことが出来る。
また、本発明は、フォーカスレンズを互いに直角関係にあるX方向及びY方向へ変位させることによって走査用レーザー光の放射方向を変更するとともにサーボ用光検出器にて得られる信号によってX方向及びY方向の位置を制御するようにしたので、フォーカスレンズの位置制御動作を容易に行うことが出来る。
そして、本発明は、サーボ用光検出器としてABCDの4つのセンサー部より構成された4分割センサーを使用し、X方向及びY方向に対応して配置されている2組のセンサーより得られる信号の差である差信号に基づいてX方向及びY方向の位置を認識するようにしたので、検出機構が簡単になるという特徴を有している。
本発明は、レーザーダイオードから放射されるレーザー光の照射方向の変位動作をレンズの変位動作を利用して行うように構成されている。
図1及び図2は本発明のレーザーレーダー装置を示す概略図、図3は本発明のレーザーレーダー装置を示すブロック回路図、図4は本発明の動作を説明するための図である。
図1において、1はレーザー光Lを放射するレーザーダイオード、2は前記レーザーダイオード1から放射されるレーザー光Lが入射されるとともに該レーザー光Lの中の一部を透過させるとともに大部分をレーザー光L1として反射させ、且つ前記レーザー光L及びL1に対して90度偏光されたレーザー光を回折する作用を有する偏光回折ビームスプリッタである。
3は前記偏光回折ビームスプリッタ2にて反射されたレーザー光L1が入射されるとともに合焦点P上に結像させるフォーカスレンズであり、図3に示すレンズホルダー4に固定されている。前記レンズホルダー4は図示しないレンズホルダ保持機構によって光軸に対して直角方向の平面内を変位可能に設けられている。
5は前記フォーカスレンズ3の中心軸に対して直角方向になるように配置されているとともに該フォーカスレンズ3の合焦点P上に設けられている低反射ミラーであり、入射されるレーザー光L1の大部分をレーザー光L2として透過させるとともに一部をサーボ用反射レーザー光L3として反射させる特性を有している。
6は第1レンズ7及び第2レンズ8より構成された照射レンズであり、前記低反射ミラー5を透過したレーザー光L2が入射されるとともに該レーザー光L2を略平行光である走査用レーザー光L4に変換するように構成されている。
9は前記照射レンズ6から対象物に対して照射される走査用レーザー光L4の光路内に配置されている4分の1波長板であり、走査用レーザー光L4を直線偏光から円偏光させる作用を成すとともに対象物から反射された走査用反射レーザー光L5を円偏光から直線
偏光させる作用を成すものである。
10は前記低反射ミラー5から反射されたサーボ用反射レーザー光L3がフォーカスレンズ3及び偏光回折ビームスプリッタ2を透過して照射される位置に設けられているサーボ用光検出器であり、図3に示すようにA、B、C及びDの4つのセンサー部より構成されている。
11及び12は対象物から反射された走査用反射レーザー光L5が4分の1波長板9、照射レンズ6、低反射ミラー5及びフォーカスレンズ3を介して偏光回折ビームスプリッタ2に入射され、該偏光回折ビームスプリッタ2の回折動作により回折された信号レーザー光L5a及びL5bが照射される位置に設けられている信号検出用光検出器であり、各々E及びFのセンサー部が設けられているとともにその検出出力に基いて対象物までの距離や対象物の移動速度等の検出動作を行うことが出来るように構成されている。
斯かる構成において、前記偏光回折ビームスプリッタ2の裏側2Aに偏光回折格子が設けられており、斯かる偏光回折格子の働きによって走査用反射レーザー光L5の±1次回折光である信号レーザー光L5a及びL5bが生成される。一方、サーボ用反射レーザー光L3は、0次光として前記偏光回折格子による影響を受けることなく透過されるように構成されている。
斯かる構成において、レーザーダイオード1から放射されたレーザー光Lは、偏光回折ビームスプリッタ2にて反射されてレーザー光L1となり、前記フォーカスレンズ3に入射される。前記フォーカスレンズ3に入射されたレーザー光L1は、該フォーカスレンズ3を透過した後に低反射ミラー5に入射される。前記低反射ミラー5に入射されたレーザー光L1の中の大部分はレーザー光L2として透過するとともに一部はサーボ用反射レーザー光L3として反射される。
前記低反射ミラー5を透過したレーザー光L2は、照射レンズ6に入射されるとともに該照射レンズ6によって略平行光である走査用レーザー光L4として照射されるが、フォーカスレンズ3が実線で示す位置から破線で示す位置に変位すると、走査用レーザー光L4の照射方向が実線で示す光路から破線で示す光路のように変更される。
斯かる動作から明らかなようにフォーカスレンズ3を光軸に対して直角方向に変位させることによって走査用レーザー光L4の照射方向を変更させることが出来る。図1に示した照射方向の変更動作は、X方向である上下方向への変更動作を説明するものであるが、紙面に対して直角方向へフォーカスレンズ3を変位させると照射レンズ6から照射される走査用レーザー光L4の照射方向をY方向である左右方向に変更させることが出来る。
前記照射レンズ6を通して照射された走査用レーザー光L4は、4分の1波長板9を透過して対象物に対して照射されることになる。前記対象物に対して照射される走査用レーザー光L4が光軸に対して直角方向である直角反射面に照射されると該走査用レーザー光L4が対象物の直角反射面から反射され、走査用レーザー光L4の照射方向の反対方向に走査用反射レーザー光L5として反射されることになる。
前記対象物から反射された走査用反射レーザー光L5は、4分の1波長板9を通して照射レンズ6に入射されるが、該走査用反射レーザー光L5は前記4分の1波長板9の偏光作用によって円偏光から直線偏光されたレーザー光となる。
前記4分の1波長板9によって直線偏光された走査用反射レーザー光L5は、前記照射レンズ6によって合焦点P上に設けられている低反射ミラー5を介してフォーカスレンズ
3に入射されることになる。前記フォーカスレンズ3に入射された走査用反射レーザー光L5は、該フォーカスレンズ3を透過した後前記偏光回折ビームスプリッタ2に照射されることになる。
前記偏光回折ビームスプリッタ2に照射される走査用反射レーザー光L5は、前記4分の1波長板9を往復透過することによって90度偏光されたレーザー光に変換されているため、該偏光回折ビームスプリッタ2の回折作用によって±1次回折光である信号レーザー光L5a及びL5bに変換される。
このようにして走査用反射レーザー光L5は、信号レーザー光L5a及びL5bに変換されて信号検出用光検出器11及び12に照射されるので、該信号検出用光検出器11及び12から得られる信号によって対象物の情報、例えば対象物との間の距離、対象物の移動速度及び対象物の形状等の情報を得ることが出来る。斯かる情報を得ることによってレーザーレーダー装置としての動作を行うことが出来る。
前述したようにレーザーダイオード1から放射されたレーザー光Lは、偏光回折ビームスプリッタ2にて反射された後フォーカスレンズ3及び低反射ミラー5を通して照射レンズ6に入射される。前記照射レンズ6に入射されたレーザー光L2は、該照射レンズ6によって略平行光である走査用レーザー光L4に変換された後4分の1波長板9を通して対象物に対して照射される。
このようにしてレーザーダイオード1から放射されるレーザー光Lは、走査用レーザー光L4として対象物の方向へ照射されるが、フォーカスレンズ3を光軸に対して直角方向であるX方向、即ち上下方向及びY方向、即ち左右方向へ変位させることによって走査用レーザー光L4を上下方向及び左右方向へ変位させることが出来る。
従って、例えば図4に示すように走査用レーザー光L4の照射位置をa→b→c→d→e→f→g→h→i→jのように変位させる動作、所謂スキャニング動作を前記フォーカスレンズ3のX方向及びY方向の位置を変位制御することによって行うことが出来る。
前述した動作によって走査用レーザー光L4の対象物方向への照射動作及びそのスキャニング動作は行われるが、このようにして照射された走査用レーザー光L4は対象物から反射され、走査用反射レーザー光L5として4分の1波長板9を介して照射レンズ6に入射される。前記照射レンズ6に入射された走査用反射レーザー光L5は、前述したように低反射ミラー5及びフォーカスレンズ3を透過した後偏光回折ビームスプリッタ2に照射される。前記偏光回折ビームスプリッタ2に照射された走査用反射レーザー光L5は、該偏光回折ビームスプリッタ2の回折作用によって信号レーザー光L5a及びL5bに変換されて信号検出用光検出器11及び12に照射される。
走査用レーザー光L4の照射位置を前述したように変更させることによってその変位範囲内にある対象物に対してレーザー光を照射させることが出来るので、対象物から反射される走査用反射レーザー光L5を信号レーザー光L5a及びL5bとして信号検出用光検出器11及び12に照射させ、該信号検出用光検出器11及び12から得られる信号によって対象物の位置、大きさ及びその移動速度等の情報を得ることが出来る。
一方、前記低反射ミラー5から反射されたサーボ用反射レーザー光L3は、フォーカスレンズ3を介して偏光回折ビームスプリッタ2に照射されるが、斯かるサーボ用反射レーザー光L3は4分の1波長板9を透過していないので、回折方向は偏光されていない。従って、サーボ用反射レーザー光L3は、0次光として前記偏光回折ビームスプリッタ2を透過してサーボ用光検出器10に照射されるので、該サーボ用光検出器10から得られる
信号に基いてフォーカスレンズ3の位置制御動作を行うことが出来る。斯かるフォーカスレンズ3の位置制御動作については、図3に示したブロック回路図を参照して後述する。
図1に示した一実施例におけるレーザーレーダー装置としての動作は、前述したように行われるが、次に図2に示した他の実施例について説明する。尚、同図において、図1に示した部材と同一の部材には、同一の符号を付している。
図2に示した実施例は、4分の1波長板9を低反射ミラー5と照射レンズ6との間の光路上に配置したものであり、図示した実施例では、4分の1波長板9と低反射ミラー5とが一体的に配置されている。
レーザーダイオード1から放射されたレーザー光Lは、偏光回折ビームスプリッタ2にて反射された後フォーカスレンズ3に入射されるとともに該フォーカスレンズ3によってレーザー光L1として合焦点P上に配置されている低反射ミラー5上に結像される。前記低反射ミラー5上に結像されたレーザー光L1は、該低反射ミラー5をレーザー光L2として透過するとともにサーボ用反射レーザー光L3として反射される。
前記低反射ミラー5を透過したレーザー光L2は、4分の1波長板9を通して照射レンズ6に入射される。前記照射レンズ6に入射されたレーザー光L2は、該照射レンズ6によって略平行光である走査用レーザー光L4に変換されて対象物に対して照射される。
このようにしてレーザーダイオード1から放射されるレーザー光Lは、走査用レーザー光L4として対象物の方向へ照射されるが、フォーカスレンズ3を光軸に対して直角方向であるX方向、即ち上下方向及びY方向、即ち左右方向へ変位させることによって走査用レーザー光L4を上下方向及び左右方向へ変位させることが出来る。
従って、例えば図4に示すように走査用レーザー光L4の照射位置をa→b→c→d→e→f→g→h→i→jのように変位させる動作、所謂スキャニング動作を前記フォーカスレンズ3の位置を変位制御することによって行うことが出来る。
前述した動作によって走査用レーザー光L4の対象物方向への照射動作及びそのスキャニング動作は行われるが、このようにして照射された走査用レーザー光L4は対象物から反射され、走査用反射レーザー光L5として照射レンズ6に入射される。前記照射レンズ6に入射された走査用反射レーザー光L5は、4分の1波長板9、低反射ミラー5及びフォーカスレンズ3を透過した後偏光回折ビームスプリッタ2に照射される。前記偏光回折ビームスプリッタ2に照射された走査用反射レーザー光L5は、該偏光回折ビームスプリッタ2の回折作用によって信号レーザー光L5a及びL5bに変換されて信号検出用光検出器11及び12に照射される。
走査用レーザー光L4の照射位置を前述したように変更させることによってその変位範囲内にある対象物に対してレーザー光を照射させることが出来るので、対象物から反射される走査用反射レーザー光L5を信号レーザー光L5a及びL5bとして信号検出用光検出器11及び12に照射させ、該信号検出用光検出器11及び12から得られる信号によって対象物の位置、大きさ及びその移動速度等の情報を得ることが出来る。
一方、前記低反射ミラー5から反射されたサーボ用反射レーザー光L3は、フォーカスレンズ3を介して偏光回折ビームスプリッタ2に照射されるが、斯かるサーボ用反射レーザー光L3は4分の1波長板9を透過していないので、回折方向は偏光されていない。従って、サーボ用反射レーザー光L3は、0次光として前記偏光回折ビームスプリッタ2を透過してサーボ用光検出器10に照射されるので、該サーボ用光検出器10から得られる
信号に基いてフォーカスレンズ3の位置制御動作を行うことが出来る。
以上に説明したように本発明のレーザーレーダー装置の光学系は構成されているが、次に図3に示すブロック回路図を参照して本発明に係る制御動作について説明する。
図3において、13は前記サーボ用光検出器10を構成するセンサー部Aから得られる信号である電流を電圧に変換する第1I/V変換器、14はセンサー部Bから得られる信号である電流を電圧に変換する第2I/V変換器、15はセンサー部Cから得られる信号である電流を電圧に変換する第3I/V変換器、16はセンサー部Dから得られる信号である電流を電圧に変換する第4I/V変換器である。
17は前記第1I/V変換器13にて電圧に変換された信号に含まれるパルス成分を遮断する第1ローパスフィルタ、18は前記第2I/V変換器14にて電圧に変換された信号に含まれるパルス成分を遮断する第2ローパスフィルタ、19は前記第3I/V変換器15にて電圧に変換された信号に含まれるパルス成分を遮断する第3ローパスフィルタ、20は前記第4I/V変換器16にて電圧に変換された信号に含まれるパルス成分を遮断する第4ローパスフィルタである。
21は前記第1ローパスフィルタ17を通過した信号、即ちセンサー部Aから得られる信号と前記第4ローパスフィルタ20を通過した信号、即ちセンサー部Dから得られる信号とを加算する第1加算回路、22は前記第2ローパスフィルタ18を通過した信号、即ちセンサー部Bから得られる信号と前記第3ローパスフィルタ19を通過した信号、即ちセンサー部Cから得られる信号とを加算する第2加算回路、23は前記第1ローパスフィルタ17を通過した信号、即ちセンサー部Aから得られる信号と前記第2ローパスフィルタ18を通過した信号、即ちセンサー部Bから得られる信号とを加算する第3加算回路、24は前記第3ローパスフィルタ19を通過した信号、即ちセンサー部Cから得られる信号と前記第4ローパスフィルタ20を通過した信号、即ちセンサー部Dから得られる信号とを加算する第4加算回路である。
25は前記第1加算回路21の出力信号及び第2加算回路22の出力信号が入力される第1比較回路であり、入力される信号のレベル差に基づいた信号を出力するように構成されている。即ち、斯かる第1比較回路25から出力される信号は、サーボ用光検出器10を構成するセンサー部Aとセンサー部Dより得られる信号を加算した信号とセンサー部Bとセンサー部Cより得られる信号を加算した信号とを比較した信号であり、その出力信号のレベルは、サーボ用光検出器10上に照射されるサーボ用反射レーザー光L3のスポットSの照射位置に応じて変化する。
即ち、サーボ用光検出器10において、センサー部A及びDとセンサー部B及びCとを分割する分割線Vの左側(図3において)にスポットSがズレている場合には、第1加算回路21の出力信号のレベルが第2加算回路22の出力信号のレベルより大きくなるため、第1比較回路25の出力信号のレベルは+側に大きくなる。反対に、センサー部A及びDとセンサー部B及びCとを分割する分割線Vの右側(図3において)にスポットSがズレている場合には、第2加算回路22の出力信号のレベルが第1加算回路21の出力信号のレベルより大きくなるため、第1比較回路25の出力信号のレベルは−側に大きくなる。
斯かるスポットSの位置に対応して第1比較回路25の出力信号のレベルが変化することになるが、斯かるレベルの変化は、フォーカスレンズ3のX方向への変位に伴う走査用レーザー光L4のX方向、即ち上下方向の変位量に対応するように構成されている。
26は前記第3加算回路23の出力信号及び第4加算回路24の出力信号が入力される
第2比較回路であり、入力される信号のレベル差に基づいた信号を出力するように構成されている。即ち、斯かる第2比較回路26から出力される信号は、サーボ用光検出器10を構成するセンサー部Aとセンサー部Bより得られる信号を加算した信号とセンサー部Cとセンサー部Dより得られる信号を加算した信号とを比較した信号であり、その出力信号のレベルは、サーボ用光検出器10上に照射されるサーボ用反射レーザー光L3のスポットSの照射位置に応じて変化する。
即ち、サーボ用光検出器10において、センサー部A及びBとセンサー部C及びDとを分割する分割線Hの上側(図3において)にスポットSがズレている場合には、第3加算回路23の出力信号のレベルが第4加算回路24の出力信号のレベルより大きくなるため、第2比較回路26の出力信号のレベルは+側に大きくなる。反対に、センサー部A及びBとセンサー部C及びDとを分割する分割線Hの下側(図3において)にスポットSがズレている場合には、第4加算回路24の出力信号のレベルが第3加算回路23の出力信号のレベルより大きくなるため、第2比較回路26の出力信号のレベルは−側に大きくなる。
斯かるスポットSの位置に対応して第2比較回路26の出力信号のレベルが変化することになるが、斯かるレベルの変化は、フォーカスレンズ3のY方向への変位に伴う走査用レーザー光L4のY方向、即ち左右方向の変位量に対応するように構成されている。
27は走査用レーザー光L4の照射方向に対する制御動作及びレーザーダイオード1の照射動作等を制御する制御回路、28は前記制御回路27によって動作が制御されるレーザー駆動回路であり、前記レーザーダイオード1に駆動信号を供給する作用を成すものである。
29は前記制御回路27によって動作が制御されるX位置指示信号生成回路であり、該制御回路27から出力される制御信号に基づいて走査用レーザー光L4のX位置、即ち上下方向の位置を指示する信号を出力するように構成されている。30は前記制御回路27によって動作が制御されるY位置指示信号生成回路であり、該制御回路27から出力される制御信号に基づいて走査用レーザー光L4のY位置、即ち左右方向の位置を指示する信号を出力するように構成されている。
31は前記第1比較回路25の出力信号及びX位置指示信号生成回路29から出力される信号が入力されるX方向サーボ回路であり、入力される信号のレベル差を無くする方向のサーボ信号を生成出力するように構成されている。32は前記第2比較回路26の出力信号及びY位置指示信号生成回路30から出力される信号が入力されるY方向サーボ回路であり、入力される信号のレベル差を無くする方向のサーボ信号を生成出力するように構成されている。
33は前記レンズホルダー4に取り付けられているX方向駆動用コイル34に駆動信号を供給するX方向駆動コイル駆動回路であり、前記X方向サーボ回路31から出力されるサーボ信号に基づいて駆動信号を供給するように構成されている。35は前記レンズホルダー4に取り付けられているY方向駆動用コイル36に駆動信号を供給するY方向駆動コイル駆動回路であり、前記Y方向サーボ回路32から出力されるサーボ信号に基づいて駆動信号を供給するように構成されている。
37は前記信号検出用光検出器11を構成するセンサー部Eから得られる信号である電流を電圧に変換する第5I/V変換器、38は前記信号検出用光検出器12を構成するセンサー部Fから得られる信号である電流を電圧に変換する第6I/V変換器、39は前記第5I/V変換器37及び第6I/V変換器38によって電圧に変換された信号が入力される第5加算回路であり、前記信号検出用光検出器11及び信号検出用光検出器12から
得られる信号を加算する作用を成すものである。従って、前記第5加算回路39から得られる信号は、対象物から反射されて入射される走査用反射レーザー光L5から得られる信号となる。
40は前記第5加算回路39によって加算された出力信号が入力される受信信号処理回路であり、入力される信号の復調動作等を行うように構成されている。41は前記受信信号処理回路40によって復調された信号が入力される情報信号処理回路であり、対象物との間の距離、相対速度及び形状等の情報を抽出処理することによって、各種データを表示器42に表示させるように構成されている。
以上に説明したように本発明のレーザーレーダー装置は構成されているが、次に動作について説明する。制御回路27から走査用レーザー光L4のX方向の位置をX1にするための制御信号がX位置指示信号生成回路29に対して出力されると、該X位置指示信号生成回路29から不揮発性メモリー(図示せず)に記憶されているデータに基いて走査用レーザー光L4をX1位置にするための指示信号がX方向サーボ回路31に対して出力される動作が行われる。
また、制御回路27からレーザー駆動回路28に対する制御信号が出力され、該レーザー駆動回路28からレーザーダイオード1に対してパルス状の駆動信号が供給される。斯かる駆動信号がレーザーダイオード1に供給されると、該レーザーダイオード1からレーザー光Lが放射される。
図1に示した実施例において、前記レーザーダイオード1から放射されたレーザー光Lは、偏光回折ビームスプリッタ2にて反射された後フォーカスレンズ3に入射される。前記フォーカスレンズ3に入射されたレーザー光L1は、該フォーカスレンズ3による合焦動作によって低反射ミラー5上に照射されるが、その大部分はレーザー光L2として透過し、一部はサーボ用反射レーザー光L3として反射される。
前記低反射ミラー5を透過したレーザー光L2は、照射レンズ6に入射され、該照射レンズ6によって平行光である走査用レーザー光L4に変換されるとともに4分の1波長板9を通して対象物に対して照射されることになる。
一方、前記低反射ミラー5にて反射されたサーボ用反射レーザー光L3は、フォーカスレンズ3及び前記偏光回折ビームスプリッタ2を透過した後サーボ用光検出器10に照射される。前記サーボ用光検出器10上には、サーボ用反射レーザー光L3の照射位置が図3に示すようなスポットSとして表される。
前記サーボ用光検出器10は、前述したように4分割センサー部A、B、C及びDにて構成されているため、スポットSの照射位置に応じた検出信号が、ローパスフィルタ17、18、19及び20から出力される。斯かる検出信号が前記ローパスフィルタ17、18、19及び20から出力されると、各々の信号が第1加算回路21、第2加算回路22、第3加算回路23及び第4加算回路24にて加算された後、第1比較回路25及び第2比較回路26に入力される。
前記第1比較回路25からは、前述したように走査用レーザー光L4のX方向の変位位置に応じた信号、即ち(A+D)−(B+C)なる信号が出力されてX方向サーボ回路31に入力される。ここで、A、B、C及びDは、各センサー部A、B、C及びDで得られる信号のレベルを表すものである。
一方、前記X方向サーボ回路31には、前述したようにX位置指示信号生成回路29か
らX1位置を指示する信号が出力されているため、X方向サーボ回路31からスポットSをX1の位置に対応した位置に変位させるためのサーボ信号がX方向駆動コイル駆動回路33に対して出力される。
斯かるサーボ信号がX方向駆動コイル駆動回路33に入力されると、該X方向駆動コイル駆動回路33からX方向駆動用コイル34に対して駆動信号が供給される。斯かる信号がX方向駆動用コイル34に供給されると、該X方向駆動用コイル34に誘起される磁力と磁石(図示せず)から生成される磁気力との協働によりフォーカスレンズ3がX方向へ変位せしめられる。そして、斯かるX方向への変位動作は、スポットSをX1の位置に対応した位置に変位させるように行われる。斯かるサーボ動作が行われる結果、スポットSの位置をX1の位置にするための制御動作、即ち走査用レーザー光L4をX1位置に照射させるための制御動作が行われる。従って、走査用レーザー光L4を位置X1に変位保持するための動作を制御回路27から出力されるX方向の位置決定信号に基づいて行うことが出来ることになる。
以上に説明したようにX方向、即ち上下方向の所望位置に走査用レーザー光L4を変位させる動作は行われるが、次にY方向、即ち左右方向の所望位置に走査用レーザー光L4を変位させる動作について説明する。
前記制御回路27から走査用レーザー光L4のY方向の位置をY1にするための制御信号がY位置指示信号生成回路30に対して出力されると、該Y位置指示信号生成回路30から不揮発性メモリー(図示せず)に記憶されているデータに基いて走査用レーザー光L4をY1位置にするための指示信号がY方向サーボ回路32に対して出力される。
また、制御回路27によるレーザー駆動回路28に対する制御信号が出力され、該レーザー駆動回路28からレーザーダイオード1に対して駆動信号が供給される。斯かる駆動信号がレーザーダイオード1に供給されると、該レーザーダイオード1からレーザー光Lが放射される。前記レーザーダイオード1から放射されたレーザー光Lは、偏光回折ビームスプリッタ2にて反射された後フォーカスレンズ3に入射される。前記フォーカスレンズ3に入射されたレーザー光L1は、該フォーカスレンズ3による合焦動作によって低反射ミラー5上に照射されるが、その大部分はレーザー光L2として透過し、一部はサーボ用反射レーザー光L3として反射される。
前記低反射ミラー5を透過したレーザー光L2は、照射レンズ6に入射され、該照射レンズ6によって平行光である走査用レーザー光L4に変換されるとともに4分の1波長板9を通して対象物に対して照射されることになる。
一方、前記低反射ミラー5にて反射されたサーボ用反射レーザー光L3は、フォーカスレンズ3及び前記偏光回折ビームスプリッタ2を透過した後サーボ用光検出器10に照射される。前記サーボ用光検出器10上には、サーボ用反射レーザー光L3の照射位置が図3に示すようなスポットSとして表される。
前記サーボ用光検出器10は、前述したように4分割センサー部A、B、C及びDにて構成されているため、スポットSの照射位置に応じた検出信号が、ローパスフィルタ17、18、19及び20から出力される。斯かる検出信号が前記ローパスフィルタ17、18、19及び20から出力されると、各々の信号が第1加算回路21、第2加算回路22、第3加算回路23及び第4加算回路24にて加算された後、第1比較回路25及び第2比較回路26に入力される。
前記第2比較回路26からは、前述したように走査用レーザー光L4のY方向の変位位
置に応じた信号、即ち(A+B)−(C+D)なる信号が出力されてY方向サーボ回路32に入力される。
一方、前記Y方向サーボ回路32には、前述したようにY位置指示信号生成回路30からY1位置を指示する信号が出力されているため、Y方向サーボ回路32からスポットSをY1の位置に対応した位置に変位させるためのサーボ信号がY方向駆動コイル駆動回路35に対して出力される。
斯かるサーボ信号がY方向駆動コイル駆動回路35に入力されると、該Y方向駆動コイル駆動回路35からY方向駆動用コイル36に対して駆動信号が供給される。斯かる信号がY方向駆動用コイル36に供給されると、該Y方向駆動用コイル36に誘起される磁力と磁石から生成される磁気力との協働によりフォーカスレンズ3がY方向へ変位せしめられる。そして、斯かるY方向への変位動作は、スポットSをY1の位置に対応した位置に変位させるように行われる。斯かるサーボ動作が行われる結果、スポットSの位置をY1の位置にするための制御動作、即ち走査用レーザー光L4をY1位置に照射させるための制御動作が行われる。従って、走査用レーザー光L4を位置Y1に変位保持するための動作を制御回路27から出力されるY方向の位置決定信号に基づいて行うことが出来る。
前述したように制御回路27から出力されるX方向及びY方向の位置を決定指示する信号が出力されると、指示された位置に走査用レーザー光L4を移動させる制御動作をフォーカスレンズ3を変位させる動作によって行うことが出来る。従って、例えば図4に示すように走査用レーザー光L1の照射位置をa→b→c→d→e→f→g→h→i→jのように変位させる制御動作をフォーカスレンズ3の位置を変位制御することによって行うことが出来る。
以上に説明したように走査用レーザー光L4を所定の範囲であるX方向及びY方向へ変位させる動作、即ちスキャニング動作は行われるが、斯かる動作が行われているとき、所定の範囲内にある対象物から反射されるレーザー光が走査用反射レーザー光L5として4分の1波長板9を通して照射レンズ6に入射される。
前記照射レンズ6に入射された走査用反射レーザー光L5は、低反射ミラー5及びフォーカスレンズ3を介して偏光回折ビームスプリッタ2に照射されることになる。その結果、前記偏光回折ビームスプリッタ2に照射された走査用反射レーザー光L5は、該偏光回折ビームスプリッタ2の回折偏光動作によって±1次光である信号レーザー光L5a及びL5bに変換される。
このようにして変換された信号レーザー光L5a及びL5bは、各々信号検出用光検出器11及び12に照射される。斯かる信号レーザー光L5a及びL5bが信号検出用光検出器11及び12に照射されると、センサー部E及びFから得られる信号が第5加算回路39によって加算される。
前記第5加算回路39によって加算された信号は、受信信号処理回路40に入力されて復調処理動作が行われる。前記受信信号処理回路40に入力されて復調処理動作が行われる信号は、対象物から反射された走査用反射レーザー光L5から得られる信号であり、対象物との間の距離、相対速度及び形状等の情報データが復調されることになる。
前記受信信号処理回路40によって復調された各種の信号が情報信号処理回路41に入力されると、該情報信号処理回路41による信号処理動作が行われ、各種データが表示器42に表示される。斯かる動作が行われる結果、対象物から得られる情報を得るというレーザーレーダー装置としての動作を行うことが出来る。
前述したように図3に示したブロック回路図に基く、図1に示した実施例の動作は行われるが、図2に示した実施例における制御動作は同様に行われるので、その説明は省略する。
尚、レーザー光の照射位置を変更させる動作を行う場合にレーザー駆動回路28からレーザーダイオード1に供給される駆動信号は、必要な情報を得るために照射タイミングを選択しながら行われるパルス信号が一般的である。パルス信号に基づいてレーザーダイオード1の発光駆動動作が行われると、サーボ用光検出器10から得られる信号にパルス成分が含まれるので、本実施例では、斯かるパルス信号を削除するためにローパスフィルタ17、18、19及び20が設けられている。
また、本実施例に使用される低反射ミラー5としては、ガラス板や樹脂板を使用することが出来るが、該低反射ミラー5の反射面、即ちフォーカスレンズ3に対向する面から反射されるレーザー光を利用するため、反対側の面、即ち照射レンズ6側の面には、反射防止膜が形成されている。斯かる反射防止膜を低反射ミラー5の照射レンズ6側の面に設けることによってフォーカスレンズ3の位置を検出するために使用するサーボ用反射光L3として正しい反射光を得ることが出来るので、位置検出動作を正確に行うことが出来る。
更に、図2に示した実施例において、低反射ミラー5と4分の1波長板9とを一体的に構成することによって構成を簡単にすることが出来るが、この場合には、4分の1波長板9の照射レンズ6側の面に反射防止膜を設けることによって反射特性を改善することが出来る。
また、本実施例において、照射レンズ6を第1レンズ7及び第2レンズ8の2つのレンズにて構成したが、レンズの数は限定されるものではなく、光学設計に基づいて種々変更されることになる。そして、偏光回折ビームスプリッタ2及び低反射ミラー5の透過率や反射率は、レーザーダイオード1から照射されるレーザー出力やレーダー装置として動作させる対象物までの距離等に基いて種々設定することは出来る。
本発明のレーザーレーダー装置の一実施例を示す概略図である。 本発明のレーザーレーダー装置の一実施例を示す概略図である。 本発明のレーザーレーダー装置の一実施例を示すブロック回路図である。 本発明の動作を説明するための説明図である。
符号の説明
1 レーザーダイオード
2 偏光回折ビームスプリッタ
3 フォーカスレンズ
5 低反射ミラー
6 照射レンズ
9 4分の1波長板
10 サーボ用光検出器
11 信号検出用光検出器
12 信号検出用光検出器

Claims (10)

  1. レーザー光を放射するレーザーダイオードと、該レーザーダイオードから放射されるレーザー光が入射されるとともに入射されたレーザー光が透過及び反射され、且つ前記レーザー光に対して90度偏光されたレーザー光を回折する偏光回折ビームスプリッタと、前記偏光回折ビームスプリッタにて反射されたレーザー光が入射されるとともに該レーザー光を合焦点に結像させるフォーカスレンズと、前記フォーカスレンズにて結像される合焦点に設けられているとともに一部のレーザー光を反射させ、且つ大部分のレーザー光を透過させる低反射ミラーと、該低反射ミラーを透過したレーザー光が入射されるとともに該レーザー光を対象物に照射する略平行光である走査用レーザー光に変換し、且つ対象物から反射された走査用反射レーザー光が入射される照射レンズと、前記低反射ミラーと対象物との間の光路内に配置された4分の1波長板と、前記低反射ミラーにて反射されたサーボ用反射レーザー光が前記フォーカスレンズ及び偏光回折ビームスプリッタを介して照射される位置に設けられているサーボ用光検出器と、前記照射レンズに入射されるとともに前記低反射ミラー及びフォーカスレンズを透過した走査用反射レーザー光が前記偏光回折ビームスプリッタにて回折された信号レーザー光が照射される位置に設けられた信号検出用光検出器とより成り、前記フォーカスレンズを光軸に対して直角方向に変位させることによって走査用レーザー光の照射方向を変更するようにしたことを特徴とするレーザーレーダー装置。
  2. サーボ用光検出器に照射されるサーボ用反射レーザー光の照射位置によって走査用レーザー光の照射方向を制御するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のレーザーレーダー装置。
  3. フォーカスレンズを互いに直角関係にあるX方向及びY方向へ変位させることによって走査用レーザー光の放射方向を変更するとともにサーボ用光検出器にて得られる信号によってX方向及びY方向の位置を制御するようにしたことを特徴とする請求項2に記載のレーザーレーダー装置。
  4. サーボ用光検出器としてABCDの4つのセンサー部より構成された4分割センサーを使用し、X方向及びY方向に対応して配置されている2組のセンサーより得られる信号の差である差信号に基づいてX方向及びY方向の位置を認識するようにしたことを特徴とする請求項3に記載のレーザーレーダー装置。
  5. 4分の1波長板を照射レンズと対象物との間の光路内に配置したことを特徴とする請求項1に記載のレーザーレーダー装置。
  6. 4分の1波長板を低反射ミラーと照射レンズとの間の光路内に配置したことを特徴とする請求項1に記載のレーザーレーダー装置。
  7. 低反射ミラーの照射レンズ側の面に反射防止膜を形成したことを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のレーザーレーダー装置。
  8. 低反射ミラーをガラス板または樹脂板にて構成したことを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のレーザーレーダー装置。
  9. 4分の1波長板と低反射ミラーとを一体的に光路内に配置したことを特徴とする請求項6に記載のレーザーレーダー装置。
  10. 4分の1波長板の照射レンズ側の面に反射防止膜を形成したことを特徴とする請求項9に記載のレーザーレーダー装置。
JP2005266814A 2005-09-14 2005-09-14 レーザーレーダー装置 Pending JP2007078515A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005266814A JP2007078515A (ja) 2005-09-14 2005-09-14 レーザーレーダー装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005266814A JP2007078515A (ja) 2005-09-14 2005-09-14 レーザーレーダー装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007078515A true JP2007078515A (ja) 2007-03-29

Family

ID=37938998

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005266814A Pending JP2007078515A (ja) 2005-09-14 2005-09-14 レーザーレーダー装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007078515A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009058341A (ja) * 2007-08-31 2009-03-19 Sanyo Electric Co Ltd ビーム照射装置およびレーザレーダ
CN105954734A (zh) * 2016-05-03 2016-09-21 中国科学院上海光学精密机械研究所 大口径激光雷达光轴监测装置
CN107966704A (zh) * 2016-10-19 2018-04-27 罗伯特·博世有限公司 用于检测对象的激光雷达传感器
CN109814086A (zh) * 2019-01-07 2019-05-28 上海禾赛光电科技有限公司 一种激光雷达
CN113783626A (zh) * 2021-08-24 2021-12-10 长春理工大学 一种无人机激光通信装置的通信接收光学系统
CN113960570A (zh) * 2021-11-16 2022-01-21 浙江大学 基于波长调谐的全固态激光雷达扫描装置和方法

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009058341A (ja) * 2007-08-31 2009-03-19 Sanyo Electric Co Ltd ビーム照射装置およびレーザレーダ
CN105954734A (zh) * 2016-05-03 2016-09-21 中国科学院上海光学精密机械研究所 大口径激光雷达光轴监测装置
CN105954734B (zh) * 2016-05-03 2018-06-19 中国科学院上海光学精密机械研究所 大口径激光雷达光轴监测装置
CN107966704A (zh) * 2016-10-19 2018-04-27 罗伯特·博世有限公司 用于检测对象的激光雷达传感器
CN107966704B (zh) * 2016-10-19 2023-12-29 罗伯特·博世有限公司 用于检测对象的激光雷达传感器
CN109814086A (zh) * 2019-01-07 2019-05-28 上海禾赛光电科技有限公司 一种激光雷达
WO2020143542A1 (zh) * 2019-01-07 2020-07-16 上海禾赛光电科技有限公司 一种激光雷达
CN113783626A (zh) * 2021-08-24 2021-12-10 长春理工大学 一种无人机激光通信装置的通信接收光学系统
CN113783626B (zh) * 2021-08-24 2023-02-03 长春理工大学 一种无人机激光通信装置的通信接收光学系统
CN113960570A (zh) * 2021-11-16 2022-01-21 浙江大学 基于波长调谐的全固态激光雷达扫描装置和方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI464393B (zh) A substrate inspection apparatus and a cover inspection apparatus
US6741082B2 (en) Distance information obtaining apparatus and distance information obtaining method
US9851198B2 (en) Distance measuring apparatus, distance measuring method, and control program
US20120287441A1 (en) Displacement Detecting Device
US8384884B2 (en) Range finder
US6137580A (en) Autofocus system
JP2007078515A (ja) レーザーレーダー装置
US8772688B2 (en) Autofocus device including line image forming unit and rotation unit that rotates line image
JP5007070B2 (ja) 露光装置
JP5492796B2 (ja) 光学装置
US20080080030A1 (en) Recording apparatus and phase modulation device
JP4500097B2 (ja) 光学測定装置及び光学測定装置における距離算出方法
JP2006003098A (ja) 光波距離測定方法及び光波距離測定装置
US5825023A (en) Auto focus laser encoder having three light beams and a reflective grating
KR102323317B1 (ko) Lidar 센서들 및 lidar 센서들을 위한 방법들
JP2007064803A (ja) レーザーレーダー装置
JP2007078516A (ja) レーザーレーダー装置
JP2008256689A (ja) 表面傾斜センサおよび検出方法
JP2003322799A5 (ja)
JP6111852B2 (ja) エンコーダ装置
JP2007047681A (ja) レーザー光放射器
JPS632323B2 (ja)
JP2007065311A (ja) レーザー光放射器
JP2007057654A (ja) レーザー光放射器
JPH1089953A (ja) 焦点検出装置