JP6339644B2 - ビーム分配器 - Google Patents
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Description
図1は、一実施形態に係るビーム分配器1の構成を示す図である。図2は、本実施形態に係るビーム分配器1の傾斜反射ミラー21を回転軸J方向に見た図である。図3は、本実施形態に係る傾斜反射ミラー21を回転させた場合における傾斜反射ミラー21に入射されるレーザビームの入射角度を示す図である。
回転駆動モータ6は、サーボモータで構成され、位置検出器7(位置検出装置)が内蔵されている。位置検出器7は、回転駆動モータ6の回転軸部材62の回転位置を検出する。なお、位置検出器7は、回転駆動モータ6に内蔵されていてもよいし、回転駆動モータ6に内蔵されずに、回転駆動モータ6に接続されていてもよい。
このように、傾斜反射ミラー21の反射面21aに対する入射ビームの入射角度βは、傾斜反射ミラー21が第1回転位置及び第2回転位置のいずれでも同じであり、また、傾斜反射ミラー21がいずれの回転位置にあっても、入射角度βは変化しない。
本実施形態では、ビーム分配器1を、レーザビームが通過する筐体10と、1つ以上のビーム入射口3と、2つ以上のビーム出射口4と、回転駆動モータ6と、回転駆動モータ6の回転軸部材62に固定され、ビーム入射口3からケース体10内に入射したレーザビームをビーム出射口4へ導光するように、このレーザビームの向きを変える傾斜反射ミラー21と、を備えて構成し、回転駆動モータ6の回転軸Jを、回転駆動モータ6の回転軸Jの回転角度に依存せずに傾斜反射ミラー21にレーザビームが入射する角度が一定になるように、ビーム入射口3から入射されたレーザビームの光軸と平行に配置し、ビーム出射口4を、回転駆動モータ6の回転軸部材62が回転した際に、傾斜反射ミラー21によりレーザビームの向きが変更された方向に配置し、記録装置9には、複数のビーム出射口4それぞれの位置に対応する回転駆動モータ6の回転軸Jの角度情報が予め記録されているように構成した。
また、記録装置9には、ビーム出射口4それぞれの位置に対応する回転駆動モータ6の回転軸Jの角度情報が予め記録されているため、回転駆動モータの取り付け誤差などにより選択したビーム出射口4の角度ズレが生じていても、結合効率(ビーム出射口4におけるレーザビームの出力値/ビーム入射口3におけるレーザビームの入力値)を最適値に保つことができる。
例えば、前記実施形態では、ビーム出射口4を、2つとしたが、これに限定されず、ビーム出射口4を、3つ以上としてもよい。
また、前記実施形態において、ビーム入射口3と傾斜反射ミラー21(ビーム変向部)との間に、入射ビームの向きを変える光学部品を1つ以上設けてもよい。
また、前記実施形態において、散乱光センサを、フォトダイオードで構成したが、これに限定されず、フォトダイオード以外で構成してもよい。
3 ビーム入射口
4 ビーム出射口
5 フォトダイオード(散乱光センサ)
6 回転駆動モータ(モータ)
7 位置検出器(位置検出装置)
8 制御装置
9 記録装置
10 ケース体(筐体)
21 傾斜反射ミラー(ビーム変向部)
22 ガイドレーザ光源(ガイドレーザ)
22a 可視光線
23 温度スイッチ
62 回転軸部材
J 回転軸
Claims (3)
- ビームが通過する筐体と、
1つ以上のビーム入射口と、
2つ以上のビーム出射口と、
モータと、
前記モータの回転軸部材の回転位置を検出する位置検出装置と、
前記モータの前記回転軸部材の回転位置を制御する制御装置と、
前記モータの前記回転軸部材の回転位置を記録する記録装置と、
前記モータの前記回転軸部材に固定され、前記ビーム入射口から前記筐体内に入射したビームを前記ビーム出射口へ導光するように、このビームの向きを変えるビーム変向部と、を備えるビーム分配器であって、
前記モータの回転軸は、前記モータの回転軸の回転角度に依存せずに前記ビーム変向部にビームが入射する角度が一定になるように、前記ビーム入射口から入射されたビームの光軸と平行に配置され、
前記ビーム出射口は、前記モータの前記回転軸部材が回転した際に、前記ビーム変向部によりビームの向きが変更された方向に配置され、
前記記録装置には、複数の前記ビーム出射口それぞれの位置に対応する前記モータの回転軸の角度情報が予め記録されており、
前記ビーム分配器は、
前記ビーム出射口における前記ビーム変向部により向きが変更された反射ビームの散乱光を検出する散乱光センサを有し、前記反射ビームが前記ビーム出射口に出射した状態で前記散乱光センサの検出値が最小になる値に前記記録装置の角度情報を変更するビーム分配器。 - ビームが通過する筐体と、
1つ以上のビーム入射口と、
2つ以上のビーム出射口と、
モータと、
前記モータの回転軸部材の回転位置を検出する位置検出装置と、
前記モータの前記回転軸部材の回転位置を制御する制御装置と、
前記モータの前記回転軸部材の回転位置を記録する記録装置と、
前記モータの前記回転軸部材に固定され、前記ビーム入射口から前記筐体内に入射したビームを前記ビーム出射口へ導光するように、このビームの向きを変えるビーム変向部と、
可視光線を発振するガイドレーザと、を備えるビーム分配器であって、
前記モータの回転軸は、前記モータの回転軸の回転角度に依存せずに前記ビーム変向部にビームが入射する角度が一定になるように、前記ビーム入射口から入射されたビームの光軸と平行に配置され、
前記ビーム出射口は、前記モータの前記回転軸部材が回転した際に、前記ビーム変向部によりビームの向きが変更された方向に配置され、
前記記録装置には、複数の前記ビーム出射口それぞれの位置に対応する前記モータの回転軸の角度情報が予め記録されており、
前記ビーム変向部は、前記ビーム入射口から前記筐体に入射した入射ビームを反射するとともに可視光線を透過する2色性を有し、
前記ガイドレーザは、可視光線を発振するときに、この可視光線が前記ビーム変向部を透過してその光軸を反射ビームの光軸に一致させるように配置されているビーム分配器。 - 前記ビーム入射口から前記筐体に入射した入射ビームの光軸の延長線上であって前記ビーム変向部の後方に温度スイッチを設置し、前記温度スイッチのオン/オフにより、前記ビーム変向部が焼損したか否かを判定するように構成されている請求項1又は2に記載のビーム分配器。
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