JP5072479B2 - 光軸自動調節システム - Google Patents
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Description
入射光を受ける位置に配置された第1の鏡と、
第1の鏡で反射した反射光を受ける位置に配置された第2の鏡と、
第2の鏡で反射した反射光を受ける位置に配置され、反射した光を射出光として射出する第3の鏡と、
与えられた制御信号に基づいて、第1の鏡の向きを調節する第1の向き調節機構と、
与えられた制御信号に基づいて、第2の鏡の反射面上の固定点として設定された前段基準点Pの位置を固定させたまま、第2の鏡の向きを調節する第2の向き調節機構と、
第2の鏡に対する光ビームの入射位置を検出する前段入射位置検出器と、
第3の鏡に対する光ビームの入射位置を検出する後段入射位置検出器と、
第1の鏡の向きが調節されるように、第1の向き調節機構に対して制御信号を与える前段制御手段と、
第2の鏡の向きが調節されるように、第2の向き調節機構に対して制御信号を与える後段制御手段と、
を設け、
入射光が、第1の鏡の反射面上の所定の反射点O、第2の鏡の反射面上の前段基準点P、第3の鏡の反射面上の所定の後段基準点Qを通る光路を形成しているときに得られる射出光の光路が基準光路として設定されたときに、
前段制御手段は、前段入射位置検出器が検出した入射位置と、前段基準点Pと、の間のずれを解消する方向に第1の鏡の向きが調節されるように、第1の向き調節機構に対して制御信号を与え、
後段制御手段は、後段入射位置検出器が検出した入射位置と、後段基準点Qと、の間のずれを解消する方向に第2の鏡の向きが調節されるように、第2の向き調節機構に対して制御信号を与え、
前段基準点Pが三次元空間上に固定された不動点となるように第2の向き調節機構による調節が行われ、かつ、後段基準点Qが三次元空間上に固定された不動点となるように第3の鏡の反射面が三次元空間上に固定された状態で光軸の調節が行われるようにしたものである。
第1の向き調節機構が、互いに直交する位置もしくは互いにねじれの位置にある第1の回動軸および第2の回動軸を設定したときに、第1の鏡を第1の回動軸まわりに回動させる機構と、第1の鏡を第2の回動軸まわりに回動させる機構と、を有するようにしたものである。
第2の向き調節機構が、前段基準点Pの位置において互いに直交する第1の回動軸および第2の回動軸を設定したときに、第2の鏡を第1の回動軸まわりに回動させる機構と、第2の鏡を第2の回動軸まわりに回動させる機構と、を有するようにしたものである。
第2の向き調節機構が、
第2の鏡を、その反射面上の第1の回動軸に関して回動自在となるように、その周囲から支持する第1のフレームと、
第1のフレームを、反射面上の第2の回動軸に関して回動自在となるように、その周囲から支持する第2のフレームと、
を有するようにしたものである。
前段入射位置検出器を、
第2の鏡の裏面側に透過してくる透過光を受けることができるように、第2の鏡の裏面側に固定された凸レンズと、
凸レンズを通った透過光を受ける受光面を有し、第2の鏡の裏面側に固定された受光素子と、
によって構成し、
凸レンズの光軸が、前段基準点Pの位置において第2の鏡の反射面に交差するとともに、所定の参照点Rにおいて受光面に交差するようにし、
凸レンズの中心点Cと前段基準点Pとの距離をaとし、凸レンズの中心点Cと参照点Rとの距離をbとし、凸レンズの焦点距離をfとしたときに、(1/a)+(1/b)=(1/f)が成り立つように、凸レンズおよび受光素子を配置し、
受光素子が、受光面上に形成された輝度分布の中心位置を、第2の鏡に対する光の入射位置として出力するようにしたものである。
後段入射位置検出器を、
第3の鏡の裏面側に透過してくる透過光を受けることができるように、第3の鏡の裏面側に固定された凸レンズと、
凸レンズを通った透過光を受ける受光面を有し、第3の鏡の裏面側に固定された受光素子と、
によって構成し、
凸レンズの光軸が、後段基準点Qの位置において第3の鏡の反射面に交差するとともに、所定の参照点Rにおいて受光面に交差するようにし、
凸レンズの中心点Cと後段基準点Qとの距離をaとし、凸レンズの中心点Cと参照点Rとの距離をbとし、凸レンズの焦点距離をfとしたときに、(1/a)+(1/b)=(1/f)が成り立つように、凸レンズおよび受光素子を配置し、
受光素子が、受光面上に形成された輝度分布の中心位置を、第3の鏡に対する光の入射位置として出力するようにしたものである。
受光素子の受光面上には、それぞれ受光量に応じた電気信号を出力する画素が行列状に配置されており、
受光素子が、各画素が出力する信号値の分布についてのピーク位置を認識し、当該ピーク位置を示す信号を、鏡に対する光ビームの入射位置を示す信号として出力するようにしたものである。
図1は、本発明に係る光軸調節装置の基本構成を示すブロック図である。図示のとおり、この光軸調節装置は、3つの反射鏡10,20,30を有しており、たとえば、レーザなどの光源5から照射されるビーム状入射光についての光軸を調節する機能を有している。すなわち、光源5から、この光軸調節装置内に導かれた入射光ビームL1は、まず、第1の鏡10の反射面M1で反射して反射光ビームL2となり、続いて、第2の鏡20の反射面M2で反射して反射光ビームL3となり、最後に、第3の鏡30の反射面M3で反射して、射出光ビームL4となり、この光軸調節装置から外部へと射出することになる。図に一点鎖線で示されている経路は、この光軸調節装置の内部における光ビームの光路を示している。なお、ここに示す実施例では、各鏡の反射面M1,M2,M3は、いずれも平面であるものとする。
前述の§1では、図1のブロック図を参照しながら、本発明に係る光軸調節装置の基本構成とその動作原理を説明した。ここでは、このブロック図に示されている各部の具体的な構成例を述べることにする。
図2は、図1に示す光軸調節装置における第1の向き調節機構11の構成例を示す斜視図である。この第1の向き調節機構11は、第1の鏡10の向きを調節するための機構であるが、反射光ビームL2の光路を前段基準点Pに向かわせるように調節するためには、2つの自由度をもった方向に調節を行う必要がある。別言すれば、互いに直交した2つの面のそれぞれに沿った方向に関して、別個独立して鏡を回動させる仕組が必要である。図1において、第1の向き調節機構11から第1の鏡10に向けて描かれた実線矢印は、このような仕組により、第1の鏡10の向きの調節が可能であることを示している。
図3は、図1に示す光軸調節装置における第2の向き調節機構21の構成例を示す正面図である。この第2の向き調節機構21は、第2の鏡20の向きを調節するための機構であるが、反射光ビームL3の光路を後段基準点Qに向かわせるように調節するためには、2つの自由度をもった方向に調節を行う必要があり、互いに直交した2つの面のそれぞれに沿った方向に関して、別個独立して鏡を回動させる仕組が必要である。しかも、この第2の鏡20については、更に、「前段基準点Pの位置を固定させたまま、向きの調節を行う」という加重条件が課されることになる。これは、第1の鏡10の向きを調節して、反射光ビームL2が前段基準点Pに到達するようになった状態をそのまま維持しつつ、反射光ビームL3の光路を後段基準点Qに向かわせる必要があるためである。図1において、第2の向き調節機構21から第2の鏡20に向けて描かれた実線矢印は、このような条件を満たしつつ、第2の鏡20の向きの調節が可能であることを示している。
図4は、図1に示す光軸調節装置における前段入射位置検出器22の構成例を示す側面図である。この検出器は、第2の鏡20に対する光ビームL2の入射位置(反射面M2との交点位置)を検出するためのものであり、より具体的には、前段基準点Pに対する光ビームL2の入射位置のずれを検出するためのものである。
図1に示す前段ずれ提示手段23は、前段入射位置検出器22が検出した入射位置と、第2の鏡20の反射面M2上の固定点として設定された前段基準点Pと、の間の「ずれ」を、オペレータに対して提示する機能をもった構成要素である。オペレータは、提示された「ずれ」を解消する方向に、第1の向き調節機構11を操作して、光ビームL2の向きを調節することになる。同様に、後段ずれ提示手段33は、後段入射位置検出器32が検出した入射位置と、第3の鏡30の反射面M3上の固定点として設定された後段基準点Qと、の間の「ずれ」を、オペレータに対して提示する機能をもった構成要素である。オペレータは、提示された「ずれ」を解消する方向に、第2の向き調節機構21を操作して、光ビームL3の向きを調節することになる。
さて、§1では、図1のブロック図を参照して、光軸調節装置の基本構成を示したが、この光軸調節装置は、基本的に、調節作業をオペレータの手に委ねるものであり、光軸調節に用いる光学系の構造は単純になるものの、調節作業を行うためのオペレータの労力は必要とされる。ここで述べる光軸自動調節システムは、§1で述べた光軸調節装置を更に発展させ、光軸調節の作業を自動化するものである。
以上、図1に示す光軸調節装置および図6に示す光軸自動調節システムについて説明したが、ここで用いられている第2の鏡20、第2の向き調節機構21、前段入射位置検出器22からなる光学機器は、単独で利用しても、特有の作用効果を奏する光学機器として機能する。すなわち、当該光学機器は、反射面M2上に定義された基準点Pを固定点として、向きの調節を行うことが可能な可動反射鏡装置として機能することができ、反射面M2を、基準点Pの位置を動かすことなく、2つの自由度に関して任意の向きに調節することができる。しかも、反射面M2に対して外部から照射した光ビームの入射位置を検出することができるので、この検出結果を利用して、基準点Pの位置に入射するように、照射光ビームの向きを調節することが可能になる。要するに、この可動反射鏡装置は、不動点(基準点P)から任意の方向に光ビームを射出(反射ビームとして射出)する機能をもったジンバルミラーとして機能することになる。
10:第1の鏡(可動鏡)
11:第1の向き調節機構
11−1:支持フレーム
20:第2の鏡(ジンバル機構を用いた可動鏡)
21:第2の向き調節機構
21−1:回動シャフト
21−2:第1のフレーム
21−3:回動シャフト
21−4:第2のフレーム
22:前段入射位置検出器
22−1:凸レンズ
22−2:受光素子
23:前段ずれ提示手段
24:前段制御手段
30:第3の鏡(固定鏡)
32:後段入射位置検出器
33:後段ずれ提示手段
34:後段制御手段
A:凸レンズの光軸
A1〜A3:回動軸
a:凸レンズの中心点Cと基準点Pとの距離
b:凸レンズの中心点Cと参照点Rとの距離
C:凸レンズの中心点
D:円形スポット
I:円形スポットDの中心点
L1:入射光ビーム
L2:反射光ビーム
L3:反射光ビーム
L4:射出光ビーム
LL:基準光路
M1:第1の鏡の反射面
M2:第2の鏡の反射面
M3:第3の鏡の反射面
O:反射点
P:反射面M2上の基準点(ジンバル機構の固定点)
Q:反射面M3上の基準点(固定鏡の所定点)
R:参照点(光軸ずれがない場合の受光面S上の像の位置)
S:受光面
α:回動軸A1まわりの回動角
β:回動軸A2まわりの回動角
θ:回動軸A1まわりの回動角
φ:回動軸A2まわりの回動角
Claims (7)
- ビーム状入射光の位置や向きが変動した場合にも、射出光が所定の基準光路に沿った状態を維持するように、光軸を自動的に調節する機能をもった光軸自動調節システムであって、
前記入射光を受ける位置に配置された第1の鏡と、
前記第1の鏡で反射した反射光を受ける位置に配置された第2の鏡と、
前記第2の鏡で反射した反射光を受ける位置に配置され、反射した光を前記射出光として射出する第3の鏡と、
与えられた制御信号に基づいて、前記第1の鏡の向きを調節する第1の向き調節機構と、
与えられた制御信号に基づいて、前記第2の鏡の反射面上の固定点として設定された前段基準点Pの位置を固定させたまま、前記第2の鏡の向きを調節する第2の向き調節機構と、
前記第2の鏡に対する光ビームの入射位置を検出する前段入射位置検出器と、
前記第3の鏡に対する光ビームの入射位置を検出する後段入射位置検出器と、
前記第1の鏡の向きが調節されるように、前記第1の向き調節機構に対して制御信号を与える前段制御手段と、
前記第2の鏡の向きが調節されるように、前記第2の向き調節機構に対して制御信号を与える後段制御手段と、
を備え、
前記入射光が、前記第1の鏡の反射面上の所定の反射点O、前記第2の鏡の反射面上の前記前段基準点P、前記第3の鏡の反射面上の所定の後段基準点Qを通る光路を形成しているときに得られる射出光の光路が基準光路として設定されたときに、
前記前段制御手段は、前記前段入射位置検出器が検出した入射位置と、前記前段基準点Pと、の間のずれを解消する方向に前記第1の鏡の向きが調節されるように、前記第1の向き調節機構に対して制御信号を与え、
前記後段制御手段は、前記後段入射位置検出器が検出した入射位置と、前記後段基準点Qと、の間のずれを解消する方向に前記第2の鏡の向きが調節されるように、前記第2の向き調節機構に対して制御信号を与え、
前記前段基準点Pが三次元空間上に固定された不動点となるように前記第2の向き調節機構による調節が行われ、かつ、前記後段基準点Qが三次元空間上に固定された不動点となるように前記第3の鏡の反射面が三次元空間上に固定された状態で光軸の調節が行われることを特徴とする光軸自動調節システム。 - 請求項1に記載の光軸自動調節システムにおいて、
第1の向き調節機構が、互いに直交する位置もしくは互いにねじれの位置にある第1の回動軸および第2の回動軸を設定したときに、第1の鏡を前記第1の回動軸まわりに回動させる機構と、第1の鏡を前記第2の回動軸まわりに回動させる機構と、を有することを特徴とする光軸自動調節システム。 - 請求項1に記載の光軸自動調節システムにおいて、
第2の向き調節機構が、前段基準点Pの位置において互いに直交する第1の回動軸および第2の回動軸を設定したときに、第2の鏡を前記第1の回動軸まわりに回動させる機構と、第2の鏡を前記第2の回動軸まわりに回動させる機構と、を有することを特徴とする光軸自動調節システム。 - 請求項3に記載の光軸自動調節システムにおいて、
第2の向き調節機構が、
第2の鏡を、その反射面上の第1の回動軸に関して回動自在となるように、その周囲から支持する第1のフレームと、
前記第1のフレームを、前記反射面上の第2の回動軸に関して回動自在となるように、その周囲から支持する第2のフレームと、
を有することを特徴とする光軸自動調節システム。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の光軸自動調節システムにおいて、
前段入射位置検出器が、
第2の鏡の裏面側に透過してくる透過光を受けることができるように、前記第2の鏡の裏面側に固定された凸レンズと、
前記凸レンズを通った前記透過光を受ける受光面を有し、前記第2の鏡の裏面側に固定された受光素子と、
を備え、
前記凸レンズの光軸は、前段基準点Pの位置において前記第2の鏡の反射面に交差するとともに、所定の参照点Rにおいて前記受光面に交差し、
前記凸レンズの中心点Cと前記前段基準点Pとの距離をaとし、前記凸レンズの中心点Cと前記参照点Rとの距離をbとし、前記凸レンズの焦点距離をfとしたときに、(1/a)+(1/b)=(1/f)が成り立つように、前記凸レンズおよび前記受光素子が配置されており、
前記受光素子は、前記受光面上に形成された輝度分布の中心位置を、前記第2の鏡に対する光の入射位置として出力することを特徴とする光軸自動調節システム。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の光軸自動調節システムにおいて、
後段入射位置検出器が、
第3の鏡の裏面側に透過してくる透過光を受けることができるように、前記第3の鏡の裏面側に固定された凸レンズと、
前記凸レンズを通った前記透過光を受ける受光面を有し、前記第3の鏡の裏面側に固定された受光素子と、
を備え、
前記凸レンズの光軸は、後段基準点Qの位置において前記第3の鏡の反射面に交差するとともに、所定の参照点Rにおいて前記受光面に交差し、
前記凸レンズの中心点Cと前記後段基準点Qとの距離をaとし、前記凸レンズの中心点Cと前記参照点Rとの距離をbとし、前記凸レンズの焦点距離をfとしたときに、(1/a)+(1/b)=(1/f)が成り立つように、前記凸レンズおよび前記受光素子が配置されており、
前記受光素子は、前記受光面上に形成された輝度分布の中心位置を、前記第3の鏡に対する光の入射位置として出力することを特徴とする光軸自動調節システム。 - 請求項5または6に記載の光軸自動調節システムにおいて、
受光素子の受光面上には、それぞれ受光量に応じた電気信号を出力する画素が行列状に配置されており、
前記受光素子は、各画素が出力する信号値の分布についてのピーク位置を認識し、当該ピーク位置を示す信号を、鏡に対する光ビームの入射位置を示す信号として出力することを特徴とする光軸自動調節システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007208878A JP5072479B2 (ja) | 2007-08-10 | 2007-08-10 | 光軸自動調節システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007208878A JP5072479B2 (ja) | 2007-08-10 | 2007-08-10 | 光軸自動調節システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009042590A JP2009042590A (ja) | 2009-02-26 |
JP5072479B2 true JP5072479B2 (ja) | 2012-11-14 |
Family
ID=40443364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007208878A Active JP5072479B2 (ja) | 2007-08-10 | 2007-08-10 | 光軸自動調節システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5072479B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5979774B2 (ja) * | 2011-12-20 | 2016-08-31 | 日本電信電話株式会社 | イメージング装置 |
KR101361980B1 (ko) * | 2012-09-21 | 2014-02-12 | 한국과학기술원 | 광섬유를 증폭 매질로 하는 쳐프 펄스 증폭 시스템의 능동적 보상 시스템 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE34623T1 (de) * | 1984-06-18 | 1988-06-15 | Hell Rudolf Dr Ing Gmbh | Verfahren und einrichtung zur akustischen kontrolle von justiervorgaengen an optischen vorrichtungen. |
JPS62293212A (ja) * | 1986-06-13 | 1987-12-19 | Fujitsu Ltd | 光軸調整装置 |
JPH0825073A (ja) * | 1994-07-07 | 1996-01-30 | Araco Corp | レーザ加工機及びレーザ加工機における光軸調整方法 |
JP2002133730A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光軸調整装置及びそれを具備する露光装置並びに光軸調整方法及びそれを具備する露光方法 |
-
2007
- 2007-08-10 JP JP2007208878A patent/JP5072479B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009042590A (ja) | 2009-02-26 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150831 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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