JPS62293212A - 光軸調整装置 - Google Patents
光軸調整装置Info
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- JPS62293212A JPS62293212A JP13619486A JP13619486A JPS62293212A JP S62293212 A JPS62293212 A JP S62293212A JP 13619486 A JP13619486 A JP 13619486A JP 13619486 A JP13619486 A JP 13619486A JP S62293212 A JPS62293212 A JP S62293212A
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- JP
- Japan
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- optical axis
- light source
- laser beam
- laser
- driving means
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 35
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37075—Print out of document measured results or record on tape
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔概要〕
本発明は、露光装置の光源から出射するレーザビームの
位置ずれの調整に際し、従来手動で調整した為調整に時
間がかかるという問題を解決することを目的としたもの
で、レーザビームの位置を２点で検出し、そのずれの分
だけ自動的に光源の位置を調整できるようにして目的の
達成を図っている。
位置ずれの調整に際し、従来手動で調整した為調整に時
間がかかるという問題を解決することを目的としたもの
で、レーザビームの位置を２点で検出し、そのずれの分
だけ自動的に光源の位置を調整できるようにして目的の
達成を図っている。
本発明は、露光装置の光源等から出射するレーザビーム
の位置ずれを自動的に調整することのできる光軸調整装
置に関するものである。
の位置ずれを自動的に調整することのできる光軸調整装
置に関するものである。
ホログラムディスク製造時の露光工程においては、レー
ザ光を光源とする露光装置が使用されているが、レーザ
管の品質も関連して、出射するレーザビームの位置が時
間（温度）、環境等により変化する。
ザ光を光源とする露光装置が使用されているが、レーザ
管の品質も関連して、出射するレーザビームの位置が時
間（温度）、環境等により変化する。
この光軸変動の従来の調整要領を第３図により説明する
と次の通りである。
と次の通りである。
第３図において、１は露光装置の光源であるレーザ管、
２，３はミラー、１００はホログラムディスクである。
２，３はミラー、１００はホログラムディスクである。
ホログラムディスク１００に対する露光は、レーザ管１
により出射するレーザビームをミラー２．３で反射させ
てホログラムディスク１００に入射させることにより行
われる。この場合の光軸、即ち、レーザビームの位置は
、前述のように変化するが、この調整は従来目視でミラ
ー２，３の角度を変化させて行っていた。
により出射するレーザビームをミラー２．３で反射させ
てホログラムディスク１００に入射させることにより行
われる。この場合の光軸、即ち、レーザビームの位置は
、前述のように変化するが、この調整は従来目視でミラ
ー２，３の角度を変化させて行っていた。
このように、従来は光軸調整を目視で且つ手動で行って
いる為、調整に時間がかかり、且つ精度の点でも問題が
あった。また調整の為の人の出入りにより環境が変化す
る 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、上述の問題点を解決することのできる光軸調
整装置を提供するもので、その為の手段として、露光装
置のレーザ光源を光軸方向の一端を支点として揺動可能
に設け、且つ前記光源から出射するレーザビームの光軸
上の２箇所に第１及び第２のハーフミラ−を設けると共
に、該各ハーフミラ−による反射光を検知する第１及び
第２の検出器を設け、更に前記第１及び第２の検出器の
検出信号を受けて作動し、前記光源の他端を光軸と直交
する方向に微動させる駆動手段を設けている。第１及び
第２の検出器は、第１及び第２のハーフミラ−にそれぞ
れ対応する位置に設けられている。
いる為、調整に時間がかかり、且つ精度の点でも問題が
あった。また調整の為の人の出入りにより環境が変化す
る 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、上述の問題点を解決することのできる光軸調
整装置を提供するもので、その為の手段として、露光装
置のレーザ光源を光軸方向の一端を支点として揺動可能
に設け、且つ前記光源から出射するレーザビームの光軸
上の２箇所に第１及び第２のハーフミラ−を設けると共
に、該各ハーフミラ−による反射光を検知する第１及び
第２の検出器を設け、更に前記第１及び第２の検出器の
検出信号を受けて作動し、前記光源の他端を光軸と直交
する方向に微動させる駆動手段を設けている。第１及び
第２の検出器は、第１及び第２のハーフミラ−にそれぞ
れ対応する位置に設けられている。
光源から出射するレーザビームの位置が変化すると、第
１．第２の検出器はこの変化を検出し、変化量に応じた
大きさの信号を駆動手段に送出する。この場合、例えば
第１の検出器が光軸と垂直な面上で互いに交差するＸ方
向、Ｚ方向のビーム位置ｘｌ＋ ｚｌを検出し、第２
の検出器がＸ、 Ｚ方向のビームの位置ｘＺ＋ ２
２を検出したとき、駆動手段は（ｘｉ ｘｌ）、
（ｚｚ ｚ、）に応じた分だけ光源の他端をＸ、Ｚ方
向に微動させ、これにより光軸調整が行われる。
１．第２の検出器はこの変化を検出し、変化量に応じた
大きさの信号を駆動手段に送出する。この場合、例えば
第１の検出器が光軸と垂直な面上で互いに交差するＸ方
向、Ｚ方向のビーム位置ｘｌ＋ ｚｌを検出し、第２
の検出器がＸ、 Ｚ方向のビームの位置ｘＺ＋ ２
２を検出したとき、駆動手段は（ｘｉ ｘｌ）、
（ｚｚ ｚ、）に応じた分だけ光源の他端をＸ、Ｚ方
向に微動させ、これにより光軸調整が行われる。
以下、第１図及び第２図に関連して本発明の詳細な説明
する。
する。
第１図は本発明に係る光軸調整装置の正面概要図、第２
図は同ブロック図で、図中、１１はレーザ管（露光装置
のレーザ光源）、１２．１３はハーフミラ−１１４，１
５はビーム位置検出センサ（検出器）、１６は駆動手段
である。
図は同ブロック図で、図中、１１はレーザ管（露光装置
のレーザ光源）、１２．１３はハーフミラ−１１４，１
５はビーム位置検出センサ（検出器）、１６は駆動手段
である。
レーザ管１１は、光軸方向の一端（第１図の左端）がポ
ールジョント１７を介して支持され、該支持部を支点と
して揺動可能である。バー？ミラー１２，１３は、レー
ザ管１１から＃、、＃、だけ離れた位置でレーザ管１１
の光軸と交差して設けられている。
ールジョント１７を介して支持され、該支持部を支点と
して揺動可能である。バー？ミラー１２，１３は、レー
ザ管１１から＃、、＃、だけ離れた位置でレーザ管１１
の光軸と交差して設けられている。
センサ１４，１５は、ハーフミラ−１２，１３にそれぞ
れ対応する位置に設け、られて、レーザ管１１からＹ方
向に出射しハーフミラ−１２，１３により反射される一
部のレーザ光の位置を検出し、これにより、ハーフミラ
−１２，１３上のレーザビームの位置ずれ（標準光軸位
置からのずれ）を検出する。
れ対応する位置に設け、られて、レーザ管１１からＹ方
向に出射しハーフミラ−１２，１３により反射される一
部のレーザ光の位置を検出し、これにより、ハーフミラ
−１２，１３上のレーザビームの位置ずれ（標準光軸位
置からのずれ）を検出する。
駆動手段１６は、制御部１８と、モータ１９゜２０を含
む駆動部２１とより構成されている。制御部１８は、セ
ンサ１４，１５の信号を受けて検出結果を演算し、駆動
部２１は、この演算結果によりモータ１９．２０を駆動
し、レーザ管１１の他端（第１図の右端）をＸ、Ｚ方向
に移動させて光軸を調整する。
む駆動部２１とより構成されている。制御部１８は、セ
ンサ１４，１５の信号を受けて検出結果を演算し、駆動
部２１は、この演算結果によりモータ１９．２０を駆動
し、レーザ管１１の他端（第１図の右端）をＸ、Ｚ方向
に移動させて光軸を調整する。
このような本発明の光軸調整装置による光軸調整要領の
詳細は次の通りである。
詳細は次の通りである。
レーザ管１１から出射するレーザビームは、一部がハー
フミラ−１２，１３で反射されるが、残りはハーフミラ
−１２，１３を通過し、ホログラムディスク等の露光面
２２に達して所定の露光が行われる。このレーザビーム
の光軸が標準位置にあるときは、駆動部２１は作動せず
に正常露光が続けられる。
フミラ−１２，１３で反射されるが、残りはハーフミラ
−１２，１３を通過し、ホログラムディスク等の露光面
２２に達して所定の露光が行われる。このレーザビーム
の光軸が標準位置にあるときは、駆動部２１は作動せず
に正常露光が続けられる。
レーザビームの光軸が前述の理由により第１図の（イ）
部に例示したように変化すると、各センサ１４，１５は
この変化を検出する。この場合、例えば、センサ１４が
ビームのＸ、Ｚ方向の位置ｘｌ＋ ｚ＋を検出し、セ
ンサ１５がビームのＸ。
部に例示したように変化すると、各センサ１４，１５は
この変化を検出する。この場合、例えば、センサ１４が
ビームのＸ、Ｚ方向の位置ｘｌ＋ ｚ＋を検出し、セ
ンサ１５がビームのＸ。
Ｚ方向の位置Ｘ２＋ ２２を検出したとき、制御部１
８は、この２点間の差（ＸＺ ＸＩ）、 （２！＝
２１）を演算し、その結果に応じて駆動部２１を作動さ
せる。この作動を具体的に説明すると、（Ｘｉ ｘ＋
）＞ｏのときは、モータ１９が正転してレーザ管１１の
他端をＸ方向にｂ点まで微動させ、（Ｘｚ Ｘｌ）＜
ｏのときは、モータ１９が逆転してレーザ管１１の他端
をＸ方向にａ点まで微動させる。また、（Ｚｚ ｚ＋
）＞ｏのときは、モータ２０が正転してレーザ管１１の
他端をＺ方向に０点まで微動させ、（ｚｚ −２１）
＜。
８は、この２点間の差（ＸＺ ＸＩ）、 （２！＝
２１）を演算し、その結果に応じて駆動部２１を作動さ
せる。この作動を具体的に説明すると、（Ｘｉ ｘ＋
）＞ｏのときは、モータ１９が正転してレーザ管１１の
他端をＸ方向にｂ点まで微動させ、（Ｘｚ Ｘｌ）＜
ｏのときは、モータ１９が逆転してレーザ管１１の他端
をＸ方向にａ点まで微動させる。また、（Ｚｚ ｚ＋
）＞ｏのときは、モータ２０が正転してレーザ管１１の
他端をＺ方向に０点まで微動させ、（ｚｚ −２１）
＜。
のときは、モータ２０が逆転してレーザ管１１の他端を
Ｚ方向にｄ点まで微動させる。この場合の移動量は勿論
各センサ１４．１５の検出結果に比例し、この動作によ
り、レーザビームは標準光軸位置を通るように位置を自
動的に短時間で調整される。なお、各モータ１９，２０
の先の伝達系は説明を省略したが適当な周知の機構を使
用する。
Ｚ方向にｄ点まで微動させる。この場合の移動量は勿論
各センサ１４．１５の検出結果に比例し、この動作によ
り、レーザビームは標準光軸位置を通るように位置を自
動的に短時間で調整される。なお、各モータ１９，２０
の先の伝達系は説明を省略したが適当な周知の機構を使
用する。
以上述べたように、本発明によれば、出射光の光軸の変
化を自動的に高精度で調整することができ、調整に要す
る時間も短縮される。また、調整の為の人の出入りをな
くすことにより、環境変化を一定にすることができる。
化を自動的に高精度で調整することができ、調整に要す
る時間も短縮される。また、調整の為の人の出入りをな
くすことにより、環境変化を一定にすることができる。
第１図は本発明の実施例の光軸調整装置の概要を示す正
面図、第２図は同光軸調整装置のブロック図、第３図は
従来の光軸調整要領説明図で１図中、 １１はレーザ管（露光装置のレーザ光源）、１２．１３
はハーフミラ−１ １４，１５はビーム位置検出センサ（検出器）、１６は
駆動手段である。
面図、第２図は同光軸調整装置のブロック図、第３図は
従来の光軸調整要領説明図で１図中、 １１はレーザ管（露光装置のレーザ光源）、１２．１３
はハーフミラ−１ １４，１５はビーム位置検出センサ（検出器）、１６は
駆動手段である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 露光装置のレーザ光源を光軸方向の一端を支点として揺
動可能に設け、且つ前記レーザ光源から出射するレーザ
ビームの光軸上の２箇所に第１及び第２のハーフミラー
を設けると共に、 前記第１及び第２のハーフミラーにそれぞれ対応する位
置に、該各ハーフミラーによる反射光の位置を検知して
該各ハーフミラー上のレーザビームの位置ずれを検出す
る第１及び第２の検出器を設け、 更に前記第１及び第２の検出器の検出信号を受けて作動
し、前記レーザ光源の他端を光軸と直交する方向に微動
させてビームの位置ずれを修正する駆動手段を設けたこ
とを特徴とする光軸調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13619486A JPS62293212A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | 光軸調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13619486A JPS62293212A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | 光軸調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62293212A true JPS62293212A (ja) | 1987-12-19 |
Family
ID=15169537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13619486A Pending JPS62293212A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | 光軸調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62293212A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008003607A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Asml Holding Nv | 光学ズーム組立体における光学素子の軸外トランスレーションの補正 |
| JP2009042590A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 光軸調節装置および光軸自動調節システム |
-
1986
- 1986-06-13 JP JP13619486A patent/JPS62293212A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008003607A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Asml Holding Nv | 光学ズーム組立体における光学素子の軸外トランスレーションの補正 |
| JP2009042590A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Dainippon Printing Co Ltd | 光軸調節装置および光軸自動調節システム |
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