JP4490165B2 - 露光装置 - Google Patents
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Description
露光用の光ビームを発生させるビーム源と、
このビーム源で発生した光ビームを所定の基準光路に沿って露光面へと誘導するビーム誘導手段と、
このビーム誘導手段によって誘導される光ビームの径を、露光面の大きさに応じて拡張するビーム径拡張装置と、
によって構成する際に、ビーム誘導手段の一部に光軸調節装置を含ませるようにし、この光軸調節装置を、
XYZ三次元座標系に入射した光の光軸を調節して、これを射出する機能を有する光軸調節装置であって、
XY平面に平行な面をY軸に平行な回動軸について所定角α(0°<α<90°)だけ回動した反射面を有する第1の鏡と、
XZ平面に平行な面をX軸に平行な回動軸について所定角β(0°<β<90°)だけ回動した反射面を有する第2の鏡と、
第1の鏡と第2の鏡とを、入射光が少なくともこれら双方の鏡を反射して射出するように、所定位置に支持する第1の支持体と、
この第1の支持体を支持する第2の支持体と、
第1の支持体を第2の支持体に対して、X軸方向およびY軸方向に平行移動させる位置調節手段と、
によって構成し、
第1の支持体を第2の支持体に対して平行移動させると、第1の鏡および第2の鏡が一体となって同じ方向に同じ変位量だけ変位するように、第1の鏡および第2の鏡を第1の支持体に固定し、
位置調節手段のX軸方向への平行移動操作により光ビームのX軸方向への光軸調整が行われ、位置調節手段のY軸方向への平行移動操作により光ビームのZ軸方向への光軸調整が行われるようにしたものである。
ビーム誘導手段に含まれる光軸調節装置に、第1の鏡を所定方向に傾斜させる操作と、第2の鏡を所定方向に傾斜させる操作と、の少なくとも一方を行う機能をもった角度調節手段を更に設けるようにしたものである。
第1の鏡および第2の鏡のうちの一方を傾斜しない固定鏡とし、他方を傾斜する傾斜鏡とし、傾斜鏡についてのみ傾斜操作が行われるようにしたものである。
露光用の光ビームを発生させるビーム源と、
このビーム源で発生した光ビームを所定の基準光路に沿って露光面へと誘導するビーム誘導手段と、
このビーム誘導手段によって誘導される光ビームの径を、露光面の大きさに応じて拡張するビーム径拡張装置と、
によって構成する際に、ビーム誘導手段の一部に光軸自動調節システムを含ませるようにし、この光軸自動調節システムを、光軸調節を行う調節部と、光軸のずれを検出する検出部と、この検出部による検出結果に基づいて調節部を制御する制御部と、によって構成し、
調節部は、XYZ三次元座標系において、
XY平面に平行な面をY軸に平行な回動軸について所定角α(0°<α<90°)だけ回動した反射面を有する第1の鏡と、
XZ平面に平行な面をX軸に平行な回動軸について所定角β(0°<β<90°)だけ回動した反射面を有する第2の鏡と、
第1の鏡と第2の鏡とを、入射光が少なくともこれら双方の鏡を反射して射出するように、所定位置に支持する第1の支持体と、
この第1の支持体を支持する第2の支持体と、
第1の支持体を第2の支持体に対して、X軸方向およびY軸方向に平行移動させる位置調節手段と、
第1の鏡を所定方向に傾斜させる操作と、第2の鏡を所定方向に傾斜させる操作と、の少なくとも一方を行う機能をもった角度調節手段と、を有するようにし、
検出部は、調節部から射出された光ビームの角度および位置を検出する機能を有するようにし、
制御部は、入射光が基準光路に沿った状態において検出部が検出した角度および位置を記憶する記憶手段と、検出部が検出した角度および位置が記憶手段に記憶されている値からずれたときに、当該ずれを解消するように角度調節手段および位置調節手段を制御する制御手段と、を有するようにし、
第1の支持体を第2の支持体に対して平行移動させると、第1の鏡および第2の鏡が一体となって同じ方向に同じ変位量だけ変位するように、第1の鏡および第2の鏡を第1の支持体に固定し、
位置調節手段のX軸方向への平行移動操作により光ビームのX軸方向への光軸調整が行われ、位置調節手段のY軸方向への平行移動操作により光ビームのZ軸方向への光軸調整が行われるようにしたものである。
第1の鏡および第2の鏡のうちの一方を傾斜しない固定鏡とし、他方を傾斜する傾斜鏡とし、傾斜鏡についてのみ傾斜操作が行われるようにしたものである。
検出部が、調節部から射出された光ビームの一部分を検出用光ビームとして取り出す第1のビーム分配手段と、この検出用光ビームを2つのビームに分配する第2のビーム分配手段と、分配された第1のビームに基づいて角度を検出する角度検出手段と、分配された第2のビームに基づいて位置を検出する位置検出手段と、を有するようにしたものである。
角度検出手段を、平行光線を所定の焦点に集光する集光レンズと、この集光レンズに対して焦点距離だけ離れた位置に配置された受光面を有しこの受光面上の集光位置を検出する受光素子と、によって構成したものである。
位置検出手段を、所定の受光面上へのビームの照射位置を検出する受光素子によって構成したものである。
図1は、本発明に係る露光装置に利用される光軸調節装置の基本構成を示す斜視図である。上述したように、本発明に係る露光装置の重要な特徴は、2つの鏡を特有の位置に配置し、これら鏡を特有の方向に平行移動させることにより露光ビームの位置調節を行う点にある。そこで、本明細書では、説明の便宜上、XYZ三次元座標系を定義し、この三次元座標系上で、個々の鏡の配置や移動を説明することにする。図1に示す光軸調節装置は、XYZ三次元座標系に入射した光の光軸を調節して、これを射出する機能を有する装置ということになる。
上述した光軸調節装置では、位置調節手段が、第1の鏡10については、X軸もしくはZ軸方向に平行移動させる機能をもち、第2の鏡20については、Y軸もしくはZ軸方向に平行移動させる機能をもっていればよい。したがって、たとえば、支持体上に第1の鏡10をX軸に沿って摺動させるレールもしくはZ軸に沿って摺動させるレールを配置し、第1の鏡10を摺動自在に支持体上に取り付けるようにし、同様に、支持体上に第2の鏡20をY軸に沿って摺動させるレールもしくはZ軸に沿って摺動させるレールを配置し、第2の鏡20を摺動自在に支持体上に取り付けるようにすれば、これらのレールが位置調節手段としての機能を果たすことができる。
§1および§2で述べた光軸調節装置のように、射出光として得られる光ビームを任意の位置に平行移動させる位置調節の機能を有する光軸調節装置は、もちろん、種々の用途の露光装置に利用可能であるが、実用上は、露光装置用の光軸調節装置としては、射出光として得られる光ビームの角度の調節を行う機能を更に備えていた方が好ましい。射出光として得られる光ビームの位置の調節(平行移動による調節)と角度の調節(向きを変える調節)とを組み合わせた光軸調節を行うことができれば、実用上要求される全ての調節に対応することが可能になる。そこで、実用上は、上述した光軸調節装置に、更に、角度調節手段を付加するのが好ましい。
ここでは、これまで述べてきた光軸調節装置を利用した光軸自動調節システムの構成例を図8のブロック図を参照しながら説明する。この光軸自動調節システムは、XYZ三次元座標系における所定の入射点Piと射出点Poとを通る基準光路に沿って光ビームが存在するときに、入射光が基準光路を外れた場合にも、射出光が基準光路に沿った状態を維持するように自動光軸調節を行う機能を有しており、本発明に係る露光装置に組み込むことにより、露光ビームの光軸を自動的に調節することが可能になる。
これまで、§1〜§3において、ユニークな光軸調節装置の構成および動作を説明し、§4において、ユニークな光軸自動調節システムの構成および動作を説明した。本発明の特徴は、既存の露光装置に、これまで述べた光軸調節装置もしくは光軸自動調節システムを取り入れた点にある。以下、本発明の露光装置の全体構成を説明する。
11…Y軸に平行な軸
20…第2の鏡
21…X軸に平行な軸
100…調節部
110…第1の支持体
120…角度調節手段
130…位置調節手段
140…第2の支持体
200…検出部
210…第1のビーム分配手段
220…第2のビーム分配手段
230…角度検出手段
231…集光レンズ
232…受光素子
240…位置検出手段
241…受光素子
300…制御部
310…位置制御手段
320…位置記憶手段
330…角度制御手段
340…角度記憶手段
401〜404…ビーム誘導手段(反射鏡およびビーム合成器)
405…ビーム径拡張装置
501〜504…感光材料
600…ホログラム原版
700R,700G,700B…光軸調節装置もしくは光軸自動調節システム
B…ビーム源
E…露光面
G…ビーム源
L1,L2,L2′,L3,L3′…光ビーム
L30,L31,L32…検出用光ビーム
Lr,Lg,Lb…各原色ビーム
Lgb,Lrgb …合成ビーム
LLrgb …径が拡大された合成ビーム
M1,M1′,M2,M2′…反射面
O…座標系の原点
P1,P1′,P2,P2′…入射点
Pi…入射点
Po…射出点
Q10,Q11,Q20,Q21,Q22…入射点
R…ビーム源
α,β…角度
δ…傾斜角度
ΔLx,ΔLz…光ビームの変位量
ΔM1x,ΔM1z…反射面M1の変位量
ΔM2y,ΔM2z…反射面M2の変位量
Claims (8)
- 所定の露光面に対して光を照射することにより、この露光面上に配置された感光材料を露光させるための装置であって、
露光用の光ビームを発生させるビーム源と、
このビーム源で発生した光ビームを所定の基準光路に沿って露光面へと誘導するビーム誘導手段と、
前記ビーム誘導手段によって誘導される光ビームの径を、前記露光面の大きさに応じて拡張するビーム径拡張装置と、
を備え、前記ビーム誘導手段が、
XYZ三次元座標系に入射した光の光軸を調節して、これを射出する機能を有する光軸調節装置であって、
XY平面に平行な面をY軸に平行な回動軸について所定角α(0°<α<90°)だけ回動した反射面を有する第1の鏡と、
XZ平面に平行な面をX軸に平行な回動軸について所定角β(0°<β<90°)だけ回動した反射面を有する第2の鏡と、
前記第1の鏡と前記第2の鏡とを、入射光が少なくともこれら双方の鏡を反射して射出するように、所定位置に支持する第1の支持体と、
前記第1の支持体を支持する第2の支持体と、
前記第1の支持体を前記第2の支持体に対して、X軸方向およびY軸方向に平行移動させる位置調節手段と、
を備える光軸調節装置を含み、
前記第1の支持体を前記第2の支持体に対して平行移動させると、前記第1の鏡および前記第2の鏡が一体となって同じ方向に同じ変位量だけ変位するように、前記第1の鏡および前記第2の鏡が前記第1の支持体に固定されており、
前記位置調節手段のX軸方向への平行移動操作により光ビームのX軸方向への光軸調整が行われ、前記位置調節手段のY軸方向への平行移動操作により光ビームのZ軸方向への光軸調整が行われることを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
ビーム誘導手段に含まれる光軸調節装置が、第1の鏡を所定方向に傾斜させる操作と、第2の鏡を所定方向に傾斜させる操作と、の少なくとも一方を行う機能をもった角度調節手段を更に備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項2に記載の露光装置において、
第1の鏡および第2の鏡のうちの一方を傾斜しない固定鏡とし、他方を傾斜する傾斜鏡とし、前記傾斜鏡についてのみ傾斜操作が行われるようにしたことを特徴とする露光装置。 - 所定の露光面に対して光を照射することにより、この露光面上に配置された感光材料を露光させるための装置であって、
露光用の光ビームを発生させるビーム源と、
このビーム源で発生した光ビームを所定の基準光路に沿って露光面へと誘導するビーム誘導手段と、
前記ビーム誘導手段によって誘導される光ビームの径を、前記露光面の大きさに応じて拡張するビーム径拡張装置と、
を備え、
前記ビーム誘導手段が、光軸調節を行う調節部と、光軸のずれを検出する検出部と、前記検出部による検出結果に基づいて前記調節部を制御する制御部と、を備えた光軸自動調節システムを含んでおり、
前記調節部は、XYZ三次元座標系において、
XY平面に平行な面をY軸に平行な回動軸について所定角α(0°<α<90°)だけ回動した反射面を有する第1の鏡と、
XZ平面に平行な面をX軸に平行な回動軸について所定角β(0°<β<90°)だけ回動した反射面を有する第2の鏡と、
前記第1の鏡と前記第2の鏡とを、入射光が少なくともこれら双方の鏡を反射して射出するように、所定位置に支持する第1の支持体と、
前記第1の支持体を支持する第2の支持体と、
前記第1の支持体を前記第2の支持体に対して、X軸方向およびY軸方向に平行移動させる位置調節手段と、
前記第1の鏡を所定方向に傾斜させる操作と、前記第2の鏡を所定方向に傾斜させる操作と、の少なくとも一方を行う機能をもった角度調節手段と、を有し、
前記検出部は、前記調節部から射出された光ビームの角度および位置を検出する機能を有し、
前記制御部は、前記入射光が前記基準光路に沿った状態において前記検出部が検出した角度および位置を記憶する記憶手段と、前記検出部が検出した角度および位置が前記記憶手段に記憶されている値からずれたときに、当該ずれを解消するように前記角度調節手段および前記位置調節手段を制御する制御手段と、を有し、
前記第1の支持体を前記第2の支持体に対して平行移動させると、前記第1の鏡および前記第2の鏡が一体となって同じ方向に同じ変位量だけ変位するように、前記第1の鏡および前記第2の鏡が前記第1の支持体に固定されており、
前記位置調節手段のX軸方向への平行移動操作により光ビームのX軸方向への光軸調整が行われ、前記位置調節手段のY軸方向への平行移動操作により光ビームのZ軸方向への光軸調整が行われることを特徴とする露光装置。 - 請求項4に記載の露光装置において、
第1の鏡および第2の鏡のうちの一方を傾斜しない固定鏡とし、他方を傾斜する傾斜鏡とし、前記傾斜鏡についてのみ傾斜操作が行われるようにしたことを特徴とする露光装置。 - 請求項4または5に記載の露光装置において、
検出部が、調節部から射出された光ビームの一部分を検出用光ビームとして取り出す第1のビーム分配手段と、この検出用光ビームを2つのビームに分配する第2のビーム分配手段と、分配された第1のビームに基づいて角度を検出する角度検出手段と、分配された第2のビームに基づいて位置を検出する位置検出手段と、を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項6に記載の露光装置において、
角度検出手段を、平行光線を所定の焦点に集光する集光レンズと、この集光レンズに対して焦点距離だけ離れた位置に配置された受光面を有しこの受光面上の集光位置を検出する受光素子と、によって構成したことを特徴とする露光装置。 - 請求項6に記載の露光装置において、
位置検出手段を、所定の受光面上へのビームの照射位置を検出する受光素子によって構成したことを特徴とする露光装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004147239A JP4490165B2 (ja) | 2004-05-18 | 2004-05-18 | 露光装置 |
US11/127,800 US7372546B2 (en) | 2004-05-18 | 2005-05-12 | Optical axis adjustment device and exposure apparatus using the same |
US12/082,949 US7839488B2 (en) | 2004-05-18 | 2008-04-15 | Optical axis adjustment device and exposure apparatus using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004147239A JP4490165B2 (ja) | 2004-05-18 | 2004-05-18 | 露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005332847A JP2005332847A (ja) | 2005-12-02 |
JP4490165B2 true JP4490165B2 (ja) | 2010-06-23 |
Family
ID=35487301
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004147239A Expired - Fee Related JP4490165B2 (ja) | 2004-05-18 | 2004-05-18 | 露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4490165B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7321114B2 (en) * | 2005-03-10 | 2008-01-22 | Hitachi Via Mechanics, Ltd. | Apparatus and method for beam drift compensation |
JP5335397B2 (ja) * | 2008-02-15 | 2013-11-06 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3406677A1 (de) * | 1984-02-24 | 1985-09-05 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Einrichtung zur kompensation der auswanderung eines laserstrahls |
JPH01278987A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-09 | Toshiba Corp | 光軸調整装置 |
JPH04200892A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-21 | Kitagawa Iron Works Co Ltd | レーザ加工装置におけるレーザビーム伝送装置 |
JP3162458B2 (ja) * | 1992-02-17 | 2001-04-25 | レーザー濃縮技術研究組合 | 自動アライメント調整装置 |
-
2004
- 2004-05-18 JP JP2004147239A patent/JP4490165B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005332847A (ja) | 2005-12-02 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100401 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130409 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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