JP2001507475A

JP2001507475A - 露光装置の制御方法

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Publication number: JP2001507475A
Application number: JP52955698A
Authority: JP
Inventors: リュラオ、フリートリヒ; マイアー、クラウス
Original assignee: リュラオ、フリートリヒ
Priority date: 1996-12-31
Filing date: 1996-12-31
Publication date: 2001-06-05
Also published as: US20020012110A1; US6411366B2; CA2275625C; CA2275625A1; DE59608890D1; WO1998029782A1; EP0950212A1; EP0950212B1

Abstract

(57)【要約】本発明は、構造化された表面を、電子的に記憶されるパターンの像として写真製版により作製するための露光装置、特に印刷版を露光するための露光装置を制御する方法に関し、その際露光装置は、少なくとも一つの光源と、ラスター状に配置され電子的に個別に制御可能で可動なマイクロミラーから成る画像作成ユニット（８）と、結像光学系（９）とを有している。クオリティを損なうことなく全露光時間を短縮させるため、パターンを電子的方法で二次元の部分画像に分解し、画像作成ユニット（８）により、個々の部分画像を順次表示させ、しかし各部分画像の全面を同時に表示させ、構造化される表面を連続的に部分露光し、その際光源（３）と、画像作成ユニット（８）と、結像光学系（９）とを備えた露光ヘッド（１）を、２回の部分露光の間にそれぞれ一方の露光位置から次の露光位置へ走行させ、そこで露光のために停止させるようにして前記部分露光を行ない、その結果個々の部分像が電子的に記憶されるパターンの全体像に再び統合されるようにしたことを提案する。

Description

【発明の詳細な説明】露光装置の制御方法本発明は、構造化された表面を、電子的に記憶されるパターンの像として写真製版により作製するための露光装置、特に印刷版を露光するための露光装置を制御する方法であって、露光装置が、少なくとも一つの光源と、ラスター状に配置され電子的に個別に制御可能で可動なマイクロミラーから成る画像作成ユニットと、結像光学系とを有している前記方法に関するものである。さらに本発明は、上記方法を実施するための装置であって、走行可能に形成された露光ヘッドを有し、露光ヘッドが、光源と、ラスター状に配置され電子的に個別に制御可能で可動なマイクロミラーから成る画像作成ユニットと、結像光学系とを有している前記装置に関するものでもある。今日オフセット印刷版は、フィルムパターンに関しまだ９０％以上が密着プリントにより露光され、或いは投射装置を用いて露光されることもある。すなわちオフセット印刷版を露光する前にフイルムパターンが作製される。これは、このために特別に開発されたフィルム露光器およびフィルム現像器を用いて行なわれる。フィルムパターンを作製するための方法上のステップは、オフセット印刷版のイラストレーションの際に時間とコストを要するのが欠点である。ドイツ特許公開第４１２１５０９号公報からは、印刷版の露光に適した装置が知られており、この装置は直線的なアークランプの形態の長尺の光源と、コリメーターレンズと、電気的に制御可能で可動なマイクロミラーから成っている長尺の光変調器と、結像光学系を有している。この場合、上記すべての要素は位置固定して配置されている。光源が直線状の長尺の形態を持っているのは、点状光源の場合よりも視感度効率を高くするためである。このため、位置固定の露光装置は印刷版の非常に幅狭のストライプしか露光できない。したがって完全に露光するため、印刷版を位置固定の露光装置に対して連続的に変位させる。結像されたデータが露光された素材に対して相対的に定常状態を維持するように、印刷版の運動と同期して、ミラー装置内部でのデータの伝送をもシフトさせねばならない。この公知の方法の欠点は、印刷版が連続的に運動するため、ストライプ状にしか露光できず、したがってマイクロミラー装置の狭い領域しか活用できないことである。このため全露光時間が長くなる。さらにマイクロミラー装置の長さが制限されているため、通常は印刷版の全長を同時に露光することができない。むしろ印刷版を段階的に露光せねばならず、この目的のため印刷版を往復動させねばならない。しかしこのためには、印刷版を固定している重いテーブル全体をマイクロメートルの精度で変位させる必要がある。重量物が移動するので、必要な精度でこの変位を自由に高速化させることはできない。したがって、全露光時間がさらに長くなってしまう。ＷＯ９５／２２７８７からは、構造化された表面を写真製版により作製するための装置、特に印刷版を露光するための装置が知られ、この装置は、光源と、画像作成ユニットと、結像光学系とを備えた走行可能な露光ヘッドを有している。走行可能な露光ヘッドはコンパクトに構成されており、比較的軽量である。これにより、この露光ヘッドはマイクロメートルの精度で正確に位置決めすることができる。画像作成ユニットは、２つの偏光子の間に配置された液晶スクリーンから成っている。上記印刷物からは露光方法も知られ、この方法では、電子的に記憶されたパターンが複数の部分画像に分解され、これら部分画像は順次液晶スクリーンに表示され、パターンの全体像に統合されるように印刷版に結像される。このため露光ヘッドは、２つの露光位置の間でそれぞれ一方の露光位置から他方の露光位置へきわめて正確に走行せしめられる。しかし印刷版全体を露光するためには、多数の部分画像を露光せねばならない。この場合、非常に長い全露光時間が生じることがある。原理的には、露光のために比較的高い光度を使用するようにして露光時間を短縮させることができる。しかし高い光度は、もはや許容できないほどの熱負荷を生じさせる。これは特に、液晶スクリーンに入射する光を偏光させる必要があるために、偏光シートを使用するからである。この種の偏光フィルタは入射光の一部を「正確な」偏光方向で透過させるが、残りの部分を「間違った」偏光方向で吸収する。したがって光度が高い場合には、偏光フィルタにかなりの熱量が発生し、偏光フィルタの破壊を回避するためにはこの熱量を排出させねばならない。液晶スクリーン自体にも、および次の第２の偏光シートにも吸収光から熱が発生する。特に新聞印刷用のオフセット印刷版を作製する場合には、公知の方法および装置のシーケンシャルな露光は時間的な問題を生じさせるので不具合である。本発明の課題は、全露光時間を短縮させ、質的に満足な露光結果を提供するような、冒頭で述べた種類の方法および装置を提案することである。この課題は、この種の方法においては、パターンを電子的方法で二次元の部分画像に分解すること、画像作成ユニットにより、個々の部分画像を順次表示させ、しかし各部分画像の全面を同時に表示させ、構造化される表面を連続的に部分露光し、その際光源と、画像作成ユニットと、結像光学系とを備えた露光ヘッドを、２回の部分露光の間にそれぞれ一方の露光位置から次の露光位置へ走行させ、そこで露光のために停止させるようにして前記部分露光を行ない、その結果個々の部分像が電子的に記憶されるパターンの全体像に再び統合されるようにしたことにより解決される。本発明は、精密に制御される可動な露光ヘッドに関連して知られている方法、すなわち液晶スクリーンを用いて平面的な部分画像を発生させることをベースにした方法を、マイクロミラーを用いて画像を直線的に発生させることに依拠した位置固定の露光装置に転用するものである。このため本発明の第１ステップでは、位置固定の露光装置は可動な露光ヘッドとして構成され、本発明の第２ステップでは、いわば直線的なマイクロミラー装置の代わりに実質的に平面的なマイクロミラー装置が使用され、本発明の第３ステップでは、露光ヘッドの運動と部分画像の露光のために電子的なプロセス制御が転用される。この場合、ドイツ特許公開第４１２１５０９号公報の明細書冒頭の第１段に指摘されている事項はむしろ当業者を二次元の光変調器を使用することから敬遠させる。逆に当業者がＷＯ９５／２２７８７から知られている装置およびこれに付属の方法から出発すれば、ドイツ特許公開第４１２１５０９号公報から知られているマイクロミラーを備えた位置固定の露光装置を安易に借用することにより、到底本発明の対象には到達しない。また、液晶スクリーンの代わりに単に線形的なマイクロミラー装置を使用しても直接本発明にはいたらない。このためには、実質的に平面的な二次元のマイクロミラー装置が必要であり、このようなマイクロミラー装置は線形的なマイクロミラー装置とは全く別の制御態様を必要とするからである。さらに、マイクロミラー装置は光を反射し、透過させないので、マイクロミラー装置を単に液晶スクリーンの位置へ設置することはできない。また、使用不能な反射光を吸収する吸収器を設けねばならず、他方偏光子はもはや必要としない。すべての部分画像が実際に画像情報を含んでいるとは限らない。このため、本発明によれば、画像内容を含んでいる部分画像だけが被露光面へ送られる。これにより、部分画像の数量が減少するので、全露光時間は画像内容を含んでいない部分画像の総数にほぼ比例して短くなる。この場合露光ヘッドは、蛇行経路上を部分画像の各点に向けて走行する。各部分画像に、その画像内容に関する第１のデータセットと、位置に関する第２のデータセットとを関連づけ、画像内容と関連しているデータセットだけを、数値制御部に受け渡すための一連の制御データセットを作成するために使用すれば、残量に必要な全露光時間をさらに減少させることができる。これにより、個々の露光時間の間に必要な、２つの露光位置の間での位置交代に要する時間も減少させることができる。個々の部分画像の位置間隔の総和が可能な限り小さくなるように、且つデータセットがこの順番で数値制御部に受け渡されるように、第２のデータセットの量を分類するようにして、さらに距離を低減させることにより、オフセット印刷版の作製時間を短縮させることができる。このようにして、最短走行距離で画像全体を作成することができる。画像作成ユニットの運動を発生させるための駆動装置として、少なくとも一つの電気的な線形駆動装置を使用すれば、露光ヘッドの高速走行が達成される。露光時間の後には、このようにして短縮された位置決め時間が接続し、待機時間は必要としない。なぜなら電気的な線形駆動装置により、弾性効果、遊び効果、摩擦効果、および固有振動が十分回避されるからである。オフセット印刷版はウェーブを有することがあり（部分的には２ｍｍ以上の大きさである）、この凹凸の分布がまちまちでもあるので、これに対応して小さく選定した絞りにより、像の十分な焦点深度を達成させる必要がある。しかしながら、視感度効率が少ないために部分画像の露光時間は長くなる。この露光時間を短縮させるため、一つの部分画像をそれぞれ結像させる前に、画像作成ユニットと被露光面との距離の測定を行ない、設定値からのずれを自動的に修正する。このようにして、焦点深度を驚くほど小さくして、ウェーブのかかった版でも短い露光時間で高品質の像を得ることができる。修正は、露光ヘッド全体を走行させることにより行なうのが有利である。このようにして、厚さが異なるオフセット印刷版を露光することができる。これに対応して焦点距離も修正できるが、これは結像ミスを生じさせることがある。結像のために光源を使用し、その光束を測定し、設定光束からのずれを自動的に修正するようにすれば、パターンの全面にわたって等品質の像が得られる。この修正は、露光時間を変化させることにより修正を行なうか、或いは光源への電気供給を変化させることにより修正を行なうことによって達成できる。品質的に要求の多い印刷パターンも、画像作成ユニットを縮小して結像させる方法により作製することができる。この縮小により、たとえば２５４０ＤＰＩの解像度が得られる。しかし、これによりパターンが多数の部分画像に分解され、これらの部分画像を順次露光し、全体パターンにつなぎ合わせる必要がある。このように個別露光回数が多くなることにより、全露光時間がかなり増大する。部分画像の位置決めを５μｍ以上の精度で、特に２μｍ以上の精度で行なえば、個々の部分画像は隙間なく互いに接続する。一つのパターンの全露光時間は、複数個の露光ヘッドを使用して複数個の部分画像を同時に結像させることにより短縮させることができる。異なる露光ヘッドの衝突は、パターン担持体に対する複数個の像の相対運動を同期して行なうことにより回避される。この場合、相前後して並んで同時に結合される部分画像の間隔は一定に維持されるので有利である。２つの露光ヘッドが両方とも画像内容を含まず、一つの露光位置が同時に飛ばされる確率は低下するので、所定の境界範囲内で露光ヘッドを互いに独立に移動できるようにするのが有利である。同時に露光された２つの像の間隔を変更可能であることにより、解像度が異なる複数のパターンを同一の露光装置により露光させることができる。２つの同時の像の間隔は、個々の像の寸法の整数倍である。移行部のバランスを良好にするため、複数個の部分画像をオーバーラップさせて結像させる。画像エッジ部から内側へのオーバーラップ領域では、写真濃度が直線的に上昇するように適合されるので、オーバーラップによりオリジナル像に対応する分布が得られる。本発明による方法を実施するために特に適した露光装置は、被露光面に対する画像作成ユニットの距離または露光ヘッドの距離を測定し調整するための測定・調整装置が設けられていることを特徴としている。各露光前に、測定装置により被露光面の距離が検出される。測定装置としては、たとえば公知のレーザー測定装置が適している。この場合距離は、干渉計による長さ測定により決定される。他方距離測定を、公知の音響測定方法または光学的測定方法により行なってもよい。所定の目標値との比較により調整量が決定され、この調整量は適当な調整素子を介して距離を追従制御する。これはたとえば焦点距離を調整することにより、或いはモータにより露光ヘッドまたはその部品の高さを調整することにより行なうことができる。本発明にしたがって行なわれる調整により、大きな立体角を掃引するような光源で作業できるので、視感度効率が高くなり、短い露光時間が可能である。特に高い走行速度と加速度は、印刷版を固定に必要な重い固定板とともに移動させるのではなく、その代わりに露光ヘッドだけを移動させることにより得られる。これにより、１秒間に１０個以上の部分画像を位置決めし、露光することができる。光束を測定するためのセンサと、光束の目標値からのずれを修正するための調整回路とが設けられているならば、パターン全体を全面にわたって一定の品質で結像させることができる。これにより、視感度効率がゆっくり変化しても、作業結果に影響を及ぼすことはない。たとえば、長時間にわたって認められるような変化は、調整回路に、露光時間を変化させるための調整装置が設けられていることにより修正することができる。この場合、光束を測定するためのセンサが被露光面の付近に有利に配置されているので、部分画像を露光する前に入射光束が事前に検出される。たとえば給電網の電圧の変化によって生じるような問題となる変化は、調整回路に、光束を変化させるための調整装置が設けられていれば補償することができる。この場合、光センサは光源の近くに有利に配置され、或いは供給電圧が直接測定される。したがって、公知の回路によりたとえば供給電圧を一定に維持することができる。光束を切換えるためのシャッターが設けられていれば、ランプの頻繁なオンオフを避けることかできる。これによりランプの寿命が向上する。画像作成ユニット自体が露光シャッターとして作用するように構成されていれば、別個に形成される露光シャッターを設けずに済むので有利である。装置全体の特に有利な力学的特性は、露光ヘッドの移動を発生させるための駆動装置が線形駆動装置として構成されていれば得られる。このような駆動装置は、２μｍ以上の高い位置精度を有している。複数個の露光ヘッドが一つの軸線上に配置されているようにすれば、パターン全体をさらに短時間で作製することができる。特に好都合な構成は、各露光ヘッドに固有の線形駆動装置が付設され、他の軸線に対し、すべての露光ユニットに共通の一つの線形駆動装置が設けられていれば得られる。この場合、一つの軸線上での固定速度が他の方向への両露光ヘッドの固定速度よりもいくぶん低いよう考慮される。これは全露光時間にわずかしか影響しない。他の方向における露光ヘッドがそれ固有の線形駆動装置を有していることにより、より大きな或いはより小さな中間空間が生じるように露光ヘッドを走行させるようにして、短時間で異なる解像度に切換えることもできる。本発明を、他の有利な詳細を読み取れる図面を用いて一つの有利な実施の形態に関し説明する。唯一の図面は、本発明による露光装置の露光ヘッドの断面図である。図において露光ヘッド１が認められる。露光ヘッド１は、図示していない装置を用いてベース１上をモータにより走行可能に配置されている。露光ヘッド１は光源３を有している。光源３は金属ハロゲンランプ４と、反射器５と、コリメーター６から成っている。コリメーター６は、露光用に用いられる光を十分平行に指向させる図示していないレンズ光学系を有している。さらに露光ヘッド１は画像作成ユニット８と、結像光学系９を有している。結像光学系９を用いると、画像作成ユニット８で生成した画像パターンを、ベース２上にある図示していない印刷版上に縮尺して投射、結像させることができる。操作性をよくするため、露光ヘッド１はベース１上方にほぼ横置きにして配置されている。露光に使用される光は、本来は、水平光軸１０を備えた光路を有している。ベース２上に結像させるため、結像光学系９の光軸１１は鉛直方向に指向している。光路を水平方向から鉛直方向へ転向させるため、画像作成ユニット８の反射面１２が設けられている。十分に放熱させるため、露光ヘッド１のケーシング側部に装着されるファン２０が用いられる。金属ハロゲンランプ４後方の光路内には、紫外線を透過させるフィルタまたは紫外線を透過させる光学要素を配置するのか有利である。このフィルタまたは光学要素は、利用できないスペクトル範囲にある光度の大部分を光路から取り出し、その際、あとに続く個々の光学要素の熱負荷を軽減させる。画像作成ユニット８は、ラスター状に配置され電子的に個別に制御可能な可動マイクロミラーを備えたマイクロチップから成っている。マイクロミラーは、電子制御により、入射光の光路を水平方向から鉛直方向へ転向させて結像光学系９へ誘導するように、或いは反射光を結像光学系９の真横を通過させるように指向されていることができる。特定の面領域においてマイクロミラーを個別に指向させることにより、結像光学系９により印刷版上に投射させることができるような画像パターンを生成させることが可能である。この場合、結像に使用されない光はすべて、ほとんどの場合光路外へ誘導される。印刷版またはベース２上に結像されるパターンは、図面に図示していないコンピュータにデジタルで記憶される。適当なプログラムを用いてパターンは複数の部分画像に分解され、公知の態様で制御ケーブルを介してマイクロミラー装置へ転送される。マイクロミラー装置はここでは画像作成ユニット８として用いられる。露光のため、光源４には、必要な光量に十分な電流が短時間で供給される。この作動態様は適当なフラッシュランプを使用するものであるが、連続作動に比べてロスが少ないという利点がある。他方、二者択一的に、適当な制御ユニットにより露光時間を決定するシャッターを設けてもよい。一つの部分画像を露光したあと、露光ヘッド１をベース２に対してこの部分画像に対応するラスター量だけ変位させる。次の部分画像の露光は、複数の部分画像が互いに隙間なく接して、その画像内容に関し全体画像に補完されるように行なう。このようにして、最新のデータ処理装置を用いて作成したパターンを直接に版シリンダ上へ結像させることが可能である。フィルムを作成するためのコスト、したがってこれに関連した時間は省略される。光源３として使用される金属ハロゲンランプ４は、完全な出力に達するまである程度の時間作動させる必要がある。光源３から出る光束は光センサにより測定され、信号ケーブルを介して電子制御装置に送ることができる。測定された光束の強さに対応して露光時間を設定し、露光時間を継続させるためシャッターが開かれる。最初の部分画像を印刷版上に露光したあと、露光ヘッド１をイメージピッチ一つ分だけ変位させ、他の部分画像を露光する。たとえばレーザー距離測定器として形成されている距離測定部から、電子制御装置は印刷版までの実際の距離値を得る。予め設定されている目標値と異なる場合には、距離調整または焦点距離調整の機能群に対し、対応する調整命令を発生させる。その結果距離または焦点距離が対応的に修正されるので、可能限り高い結像鮮鋭度が得られる。これに対応して、露光の測定結果を予め設定されている目標値と比較し、適当な修正信号をシャッター調整部または光源調整部に発生させる。露光ヘッドの現在位置は測定ヘッドから伝送することができる。符号表１露光ヘッド２ベース３光源４金属ハロゲンランプ５反射器６コリメーター７８画像作成ユニット９結像光学系１０光軸１１光軸１２表面１３１４１５１６１７１８１９２０ファン

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項【提出日】平成１０年１１月７日（１９９８．１１．７）【補正内容】補正後の請求の範囲１．電子的に記憶されるパターンの像として印刷版を露光するための露光装置を制御する方法であって、露光装置が、少なくとも一つの光源（３）と、ラスター状に配置され電子的に個別に制御可能で可動なマイクロミラーから成る画像作成ユニット（８）と、結像光学系（９）とを有し、パターンを電子的方法で二次元の部分画像に分解し、画像作成ユニット（８）により、個々の部分画像を順次表示させ、しかし各部分画像の全面を同時に表示させ、構造化される表面を連続的に部分露光し、その際光源（３）と、画像作成ユニット（８）と、結像光学系（９）とを備えた露光ヘッド（１）を、２回の部分露光の間にそれぞれ一方の露光位置から次の露光位置へ走行させ、そこで露光のために停止させるようにして前記部分露光を行ない、その結果個々の部分像が電子的に記憶されるパターンの全体像に再び統合されるようにした前記方法。２．評価回路または評価ソフトウェアにより各部分画像の画像内容を検査して、そこに画像情報が含まれているかどうかを調べ、この検査に依存して部分画像を被露光表面へ結像させることを特徴とする、請求項１に記載の方法。３．各部分画像に、その画像内容に関する第１のデータセットと、位置に関する第２のデータセットとを関連づけること、画像内容と関連しているデータセットだけを、数値制御部に受け渡すための一連の制御データセットを作成するために使用することを特徴とする、請求項１または２に記載の方法。４．個々の部分画像の位置間隔の総和が可能な限り小さくなるように、且つデータセットがこの順番で数値制御部に受け渡されるように、第２のデータセットの量を分類することを特徴とする、請求項３に記載の方法。５．画像作成ユニットの運動を発生させるための駆動装置として、少なくとも一つの電気的な線形駆動装置を使用することを特徴とする、請求項１から４までのいずれか一つに記載の方法。６．一つの部分画像をそれぞれ結像させる前に、画像作成ユニット（８）と被露光面との距離の測定を行ない、設定値からのずれを自動的に修正することを特徴とする、請求項１から５までのいずれか一つに記載の方法。７．結像のために光源（３）を使用し、その光束を測定し、設定光束からのずれを自動的に修正することを特徴とする、請求項１から６までのいずれか一つに記載の方法。８．露光時間を変化させることにより修正を行なうことを特徴とする、請求項７に記載の方法。９．光源（３）への電気供給を変化させることにより修正を行なうことを特徴とする、請求項７に記載の方法。１０．画像作成ユニット（８）を縮小して結像させることを特徴とする、上記請求項のいずれか一つに記載の方法。１１．部分画像の位置決めを５μｍ以上の精度で、特に２μｍ以上の精度で行なうことを特徴とする、上記請求項のいずれか一つに記載の方法。１２．複数個の露光ヘッド（１）を使用して複数個の部分画像を同時に結像させることを特徴とする、上記請求項のいずれか一つに記載の方法。１３．露光されるベースに対する複数個の像の相対運動を同期して行なうことを特徴とする、請求項１２に記載の方法。１４．同時に露光された２つの像の間隔を変更可能であることを特徴とする、請求項１２または１３に記載の方法。１５．複数個の部分画像をオーバーラップさせて結像させることを特徴とする、上記請求項のいずれか一つに記載の方法。１６．上記請求項のいずれか一つに記載の方法を実施するための装置であって、走行可能に形成された露光ヘッド（１）を有し、露光ヘッド（１）が、光源（３）と、ラスター状に配置され電子的に個別に制御可能で可動なマイクロミラーから成る画像作成ユニット（８）と、結像光学系（９）とを有している前記装置において、被露光面（２）に対する画像作成ユニット（８）の距離または露光ヘッド（１）の距離を測定し調整するための測定・調整装置が設けられていることを特徴とする装置。１７．光束を測定するためのセンサと、光束の目標値からのずれを修正するための調整回路とが設けられていることを特徴とする、請求項１６に記載の装置。１８．調整回路に、露光時間を変化させるための調整装置が設けられていることを特徴とする、請求項１７に記載の装置。１９．調整回路に、光束を変化させるための調整装置が設けられていることを特徴とする、請求項１７または１８に記載の装置。２０．光束を切換えるためのシャッターが設けられていることを特徴とする、請求項１６から１９までのいずれか一つに記載の装置。２１．画像作成ユニット（８）が、露光シャッターとして作用するように構成されていることを特徴とする、請求項２０に記載の装置。２２．露光ヘッド（１）の移動を発生させるための駆動装置が、線形駆動装置として構成されていることを特徴とする、請求項１６から２１までのいずれか一つに記載の装置。２３．複数個の露光ヘッド（１）が一つの軸線上に配置されていることを特徴とする、請求項１６から２２までのいずれか一つに記載の装置。２４．各露光ヘッド（１）に固有の線形駆動装置が付設され、他の軸線に対し、すべての露光ユニットに共通の一つの線形駆動装置が設けられていることを特徴とする、請求項２３に記載の装置。

Claims

【特許請求の範囲】１．構造化された表面を、電子的に記憶されるパターンの像として写真製版により作製するための露光装置、特に印刷版を露光するための露光装置を制御する方法であって、露光装置が、少なくとも一つの光源（３）と、ラスター状に配置され電子的に個別に制御可能で可動なマイクロミラーから成る画像作成ユニット（８）と、結像光学系（９）とを有している前記方法において、パターンを電子的方法で二次元の部分画像に分解すること、画像作成ユニット（８）により、個々の部分画像を順次表示させ、しかし各部分画像の全面を同時に表示させ、構造化される表面を連続的に部分露光し、その際光源（３）と、画像作成ユニット（８）と、結像光学系（９）とを備えた露光ヘッド（１）を、２回の部分露光の間にそれぞれ一方の露光位置から次の露光位置へ走行させ、そこで露光のために停止させるようにして前記部分露光を行ない、その結果個々の部分像が電子的に記憶されるパターンの全体像に再び統合されるようにしたことを特徴とする方法。２．評価回路または評価ソフトウェアにより各部分画像の画像内容を検査して、そこに画像情報が含まれているかどうかを調べ、この検査に依存して部分画像を被露光表面へ結像させることを特徴とする、請求項１に記載の方法。３．各部分画像に、その画像内容に関する第１のデータセットと、位置に関する第２のデータセットとを関連づけること、画像内容と関連しているデータセットだけを、数値制御部に受け渡すための一連の制御データセットを作成するために使用することを特徴とする、請求項１または２に記載の方法。４．個々の部分画像の位置間隔の総和が可能な限り小さくなるように、且つデータセットがこの順番で数値制御部に受け渡されるように、第２のデータセットの量を分類することを特徴とする、請求項３に記載の方法。５．画像作成ユニットの運動を発生させるための駆動装置として、少なくとも一つの電気的な線形駆動装置を使用することを特徴とする、請求項１から４までのいずれか一つに記載の方法。６．一つの部分画像をそれぞれ結像させる前に、画像作成ユニット（８）と被露光面との距離の測定を行ない、設定値からのずれを自動的に修正することを特徴とする、請求項１から５までのいずれか一つに記載の方法。７．結像のために光源（３）を使用し、その光束を測定し、設定光束からのずれを自動的に修正することを特徴とする、請求項１から６までのいずれか一つに記載の方法。８．露光時間を変化させることにより修正を行なうことを特徴とする、請求項７に記載の方法。９．光源（３）への電気供給を変化させることにより修正を行なうことを特徴とする、請求項７に記載の方法。１０．画像作成ユニット（８）を縮小して結像させることを特徴とする、上記請求項のいずれか一つに記載の方法。１１．部分画像の位置決めを５μｍ以上の精度で、特に２μｍ以上の精度で行なうことを特徴とする、上記請求項のいずれか一つに記載の方法。１２．複数個の露光ヘッド（１）を使用して複数個の部分画像を同時に結像させることを特徴とする、上記請求項のいずれか一つに記載の方法。１３．露光されるベースに対する複数個の像の相対運動を同期して行なうことを特徴とする、請求項１２に記載の方法。１４．同時に露光された２つの像の間隔を変更可能であることを特徴とする、請求項１２または１３に記載の方法。１５．複数個の部分画像をオーバーラップさせて結像させることを特徴とする、上記請求項のいずれか一つに記載の方法。１６．上記請求項のいずれか一つに記載の方法を実施するための装置であって、走行可能に形成された露光ヘッド（１）を有し、露光ヘッド（１）が、光源（３）と、ラスター状に配置され電子的に個別に制御可能で可動なマイクロミラーから成る画像作成ユニット（８）と、結像光学系（９）とを有している前記装置において、被露光面（２）に対する画像作成ユニット（８）の距離または露光ヘッド（１）の距離を測定し調整するための測定・調整装置が設けられていることを特徴とする装置。１７．光束を測定するためのセンサと、光束の目標値からのずれを修正するための調整回路とが設けられていることを特徴とする、請求項１６に記載の装置。１８．調整回路に、露光時間を変化させるための調整装置が設けられていることを特徴とする、請求項１７に記載の装置。１９．調整回路に、光束を変化させるための調整装置が設けられていることを特徴とする、請求項１７または１８に記載の装置。２０．光束を切換えるためのシャッターが設けられていることを特徴とする、請求項１６から１９までのいずれか一つに記載の装置。２１．画像作成ユニット（８）が、露光シャッターとして作用するように構成されていることを特徴とする、請求項２０に記載の装置。２２．露光ヘッド（１）の移動を発生させるための駆動装置が、線形駆動装置として構成されていることを特徴とする、請求項１６から２１までのいずれか一つに記載の装置。２３．複数個の露光ヘッド（１）が一つの軸線上に配置されていることを特徴とする、請求項１６から２２までのいずれか一つに記載の装置。２４．各露光ヘッド（１）に固有の線形駆動装置が付設され、他の軸線に対し、すべての露光ユニットに共通の一つの線形駆動装置が設けられていることを特徴とする、請求項２３に記載の装置。