JP6407936B2 - ビーム分岐装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るビーム分岐装置の構成を示す図である。図2は、本発明の第1実施形態に係るビーム分岐装置の光路切換光学系を示す斜視図である。
図9は、本発明の第2実施形態に係るビーム分岐装置の構成を示す図である。
図10は、本発明の第3実施形態に係るビーム分岐装置の構成を示す図である。
図15は、本発明の第4実施形態に係るビーム分岐装置の構成を示す図である。
図16は、本発明の第5実施形態に係るビーム分岐装置の構成を示す図である。
2……回転式モータ
4……回転体
5、5−1、5−2、5−3、5−4……反射鏡
6……回転体の中心軸
7……入射ビーム
8……入射ビームの中心線
9……反射ビーム
10……反射ビームの中心線
20、20−1、20−2、20−3、20−4……反射鏡面部
24……レーザ装置
25、25−1、25−2、25−3、25−4……加工ヘッド
30……光路切換光学系
Claims (11)
- 回転式モータと、
前記回転式モータの回転軸に連動して回転する回転体と、
前記回転体の中心軸に対して略垂直な反射鏡面部を有し、前記回転体にその軸方向に分離して取り付けられた複数の反射鏡と、を備えた光路切換光学系を有し、
前記回転式モータの前記回転軸を回転させて前記回転体を前記複数の反射鏡とともに回転させることにより、前記複数の反射鏡の内いずれか1つの反射鏡の反射鏡面部で入射ビームを反射させて、この入射ビームを複数に分岐して反射ビームの光路を切り換えるビーム分岐装置であって、
前記光路切換光学系は、前記回転体の中心軸が、前記入射ビームの中心線に対して、ねじれの位置にあるとともに、前記複数の反射鏡が、前記回転体上の位置であって前記入射ビームに最も接近する位置を挟んで当該回転体の軸方向の両側に対向して配置されているビーム分岐装置。 - 前記光路切換光学系は、前記回転体の回転によって前記複数の反射鏡が所定の角度位置に位置決めされたときに、これらの反射鏡の内いずれか1つの反射鏡の反射鏡面部で前記入射ビームの略すべてを反射させるように構成されている請求項1に記載のビーム分岐装置。
- 前記回転体の中心軸と前記入射ビームの中心線とを結ぶ最短の線分に平行な方向に沿って、前記入射ビームの中心線を仮想的に移動して前記回転体の中心軸と交差させたとき、前記回転体の中心軸と前記入射ビームの中心線とのなす仮想交差角度が略45°になるように構成されている請求項1または2に記載のビーム分岐装置。
- 前記各反射鏡の前記反射鏡面部は、それぞれ、当該反射鏡面部で前記入射ビームを反射させるとき、この入射ビームの入射面と反射面との交線に略一致する長軸を有し、かつ楕円率が略√2の楕円形、または、この楕円形を内包する多角形に形成されている請求項3に記載のビーム分岐装置。
- 前記光路切換光学系は、前記複数の反射鏡の内いずれの反射鏡の反射鏡面部で前記入射ビームを反射させるときにおいても、その入射ビームおよび反射ビームは、当該反射鏡以外の前記反射鏡によって光路を妨げられないように構成されている請求項1から4までのいずれかに記載のビーム分岐装置。
- 前記光路切換光学系は、前記回転体を適宜回転させることにより、前記入射ビームが前記複数の反射鏡のいずれの反射鏡面部でも反射せずに直進するように構成されている請求項1から5までのいずれかに記載のビーム分岐装置。
- 前記光路切換光学系は、前記複数の反射鏡の内、任意の反射鏡から別の任意の前記反射鏡に切り換える途中で、その他の反射鏡が前記入射ビームを反射しないように構成されている請求項1から6までのいずれかに記載のビーム分岐装置。
- 前記複数の反射鏡は、いずれも、前記回転体の回転角度にかかわらず、前記反射鏡面部以外に前記入射ビームが照射されないように構成されている請求項1から7までのいずれかに記載のビーム分岐装置。
- 前記光路切換光学系は、前記回転式モータによって回転する構成部材すべての重心が、ほぼ前記回転体の中心軸上にある請求項1から8までのいずれかに記載のビーム分岐装置。
- 前記光路切換光学系は、前記入射ビームの光路に沿って複数装備されている請求項1から9までのいずれかに記載のビーム分岐装置。
- 前記光路切換光学系は、前記入射ビームを出射するレーザ装置を制御する数値制御装置または前記反射ビームを加工対象物に照射する加工ヘッドを制御する数値制御装置からの指令に基づき、前記回転体の回転角度が制御されるように構成されている請求項1から10までのいずれかに記載のビーム分岐装置。
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