JP4169396B2 - 走査型レーザ顕微鏡 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、標本に照射するレーザ光とこの標本からの光とを分離するビームスプリッタを複数備え、これらビームスプリッタを切替え可能にした走査型レーザ顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、特開平8−271792号公報には、ビームスプリッタで反射させたレーザ光を対物レンズにより集光して標本上にスポット光を結ばせると共にこのスポット光を標本上に2次元走査し、このときの標本からの反射光をビームスプリッタを透過させて共焦点ピンホールを通して光検出器に導く走査型レーザ顕微鏡が開示されている。
【0003】
図6はかかる走査型レーザ顕微鏡の構成図であって、レーザ光源1から発振したレーザ光(照明光)Lは、光分離素子としての波長選択用ビームスプリッタ(ここでは励起用ダイクロイックミラー)2aで反射し、さらにミラー3で反射して各ガルバノミラー5、6に入射する。これらガルバノミラー5、6は、照明光Lを標本上に2次元走査するもので、この照明光Lは、ミラー4、瞳投影レンズ7を通って図示しない対物レンズの像面に結像し、さらに標本上にスポットを結ぶとともに標本上に2次元走査される。
【0004】
このときの標本に発生する蛍光又は反射レーザ光(検出光)は、上記光路と逆の光路を通って再び波長選択用ダイクロイックミラー2aに入射し、このミラー2aを透過し、続く結像レンズ8を透過し、さらに共焦点絞り(共焦点ピンホール)9を通過して光検出器10で検出される。
【0005】
ここで用いている波長選択用ビームスプリッタとしては、波長選択用ダイクロイックミラー2aの他に波長特性の異なる例えば2つの波長選択用ダイクロイックミラー2b、2cを切り替え自在に備えており、これら波長選択用ダイクロイックミラー2b、2cに切り替えた場合、共焦点ピンホール9上で生じる光軸ずれを補正する必要がある。
【0006】
この光軸ずれの補正は、結像レンズ8と共焦点ピンホール9の間の光路11上に2枚の平行平面板12、13を配置し、これら平行平面板12、13をそれぞれ回転軸12a、13aを中心として回転させ、共焦点ピンホール9を通過する光量が最も大きくなるように標本からの光を正確に共焦点ピンホールに導くような位置調整を行う(以下、アライメントと称する)。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように波長選択用ダイクロイックミラー2b、2cの切り替え作業を行った後に共焦点ピンホール9のアライメント行う場合には、対物レンズによりスポットを結ぶ面上に標本を配置して実際にレーザ光を照射する必要がある。
【0008】
ところが、通常、観察用蛍光標本は、褪色等の問題があり、アライメント時にレーザ光を標本に対して長時間照射するのは問題がある。又、アライメント用の標本を特別にセットすればよいが、そのアライメント用の標本に対するピント合わせを正確に行う必要があり、手間がかかる。さらに、アライメント後の観察用蛍光標本の位置再設定にも手間がかかる。
【0009】
そこで本発明は、ビームスプリッタの切り替え時の共焦点ピンホールへのアライメントを煩わしい作業を必要とせずに簡単な構成で正確にできる走査型レーザ顕微鏡を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
請求項1によれば、レーザ光を反射又は透過させる切換可能な複数の光分離素子を用い、分離素子で反射又は透過させたレーザ光は対物レンズを介して標本上に照射され、この標本からの光は光分離素子により透過又は反射され、共焦点ピンホールを通して光検出器に導かれるようにした走査型レーザ顕微鏡において、
光分離素子で反射又は透過したレーザ光を入射し、この入射したレーザ光の角度とこの入射したレーザ光を反射して出射する場合のレーザ光の角度とを同一にするアライメント光学系と、
光分離素子を反射又は透過したレーザ光を共焦点ピンホールと光軸とのアライメント時にはアライメント光学系に導き、かつ標本の観察時には対物レンズに導くように光路を切り換える光路切替え手段と、
アライメント時に共焦点ピンホールを通過する光量を光検出器で検出し、この光量に基づいて共焦点ピンホールを通る光量が最大になるように共焦点ピンホールと光軸との芯出し調整を行う調整手段と、
を備えた走査型レーザ顕微鏡である。
【0011】
請求項2によれば、請求項1記載の走査型レーザ顕微鏡において、標本からの光を少なくとも2波長に分離する分光光学系を備えると共に、
共焦点ピンホール及び光検出器を分光光学系で分離される波長の数に応じて設け、
分光光学系を切り替えた時、調整手段は、光路切替え手段を制御して光分離素子で反射又は透過したレーザ光をアライメント光学系に導き、各共焦点ピンホールを通過する各光量に基づいて各共焦点ピンホールと光軸との芯出し調整を行うようにした。
【0012】
請求項3によれば、請求項1又は2記載の走査型レーザ顕微鏡において、走査型レーザ顕微鏡に、
光分離素子の切り替えを検出する検出器と、
検出器で光分離素子の切り替えを検出したときに、光路切替え手段で光路をアライメント光学系に導き、共焦点ピンホールを通過する光量に基づいて共焦点ピンホールと光軸との芯出し調整を自動的に行う制御手段とを備えた。
【0013】
【発明の実施の形態】
(1) 以下、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。
図1は走査型レーザ顕微鏡の構成図である。
レーザ光源20から出力されるレーザ光(照明光)Lの光路上には、光分離素子としての励起用ダイクロイックミラー21が配置されている。励起用ダイクロイックミラー21は、ダイザ22上に載置されており、このダイザ22上には、励起用ダイクロイックミラー21とは別に波長特性の異なる光分離素子としての励起用ダイクロイックミラー23、24が載置されている。これら励起用ダイクロイックミラー23、24は、切替え機構25の駆動によりダイザ22のスライド移動により、標本の蛍光波長や照明光のレーザ波長に合わせて該励起用ダイクロイックミラー23、24を照明光Lの光路上に選択配置されるように構成する。
【0014】
なお、上述したレーザ光源20とダイクロイックミラー21、23、24との間の光路上には、図示しないがビームエキスパンダが配置されているものとする。
【0015】
照明光Lの光路上に選択配置されたダイクロイックミラー21、23、24の反射光路上には、2つのガルバノミラー26、27が配置されている。これらガルバノミラー26、27は、照明光Lを標本上に2次元走査するもので、それぞれガルバノメータ28、29の駆動により所定の角度で振れるものとなっている。
【0016】
そして、これらガルバノミラー26、27により2次元走査された照明光Lの光路上には、瞳投影レンズ30、ミラー31が配置され、さらに図示しない顕微鏡の対物レンズ、標本が配置されている。なお、各ガルバノミラー26、27は、瞳投影レンズ30により対物レンズの瞳位置と共役関係になっているものとする。
【0017】
一方、標本からの光(蛍光又は反射光(検出光))の光路上に選択配置されているダイクロイックミラー21、23、24を透過した透過光路上には、コンフォーカル結像レンズ32、共焦点ピンホール33を介してホトマルチプライヤ等の光検出器34が配置されている。
【0018】
このうち共焦点ピンホール33は、コンフォーカル結像レンズ32の結像位置に配置されるもので、XY微動ステージ35上に設けられている。このXY微動ステージ35は、共焦点ピンホール33を標本からの蛍光又は反射光(検出光)の光軸方向に対して垂直面内に移動自在な構成となっており、共焦点ピンホール33へのアライメント時に共焦点ピンホール33を通過して光検出器34で検出される光量が最も大きくなるように共焦点ピンホール33と光検出器34で検出される光の光軸との芯出し調整、ここでは共焦点ピンホール33を移動してアライメントする調整手段としての機能を有している。
【0019】
上記ダイクロイックミラー21(23、24)とガルバノミラー26との間の光路上には、光路切替え手段としての反射ミラー36が配置されている。この反射ミラー36は、パルスモータ等のモータ37の駆動により位置決めされる角度が変更される。この反射ミラー36によって、共焦点ピンホール33に対するアライメント時にはダイクロイックミラー21、23又は24で反射した照明光を反射ミラー36で反射させアライメント光学系38に導くことができ、反射ミラー36を照明光路から離間させることにより、標本の観察時には対物レンズ側に導くことができる。
【0020】
アライメント光学系38は、入射した照明光Lの角度とこの光Lを反射して出射する光Lの角度とを同一にする機能を有するもので、反射ミラー36の反射光路上に配置された集光レンズ39とこの集光レンズ39の集光面に配置されたミラー部材40とから構成されている。
【0021】
次に上記の如く構成された走査型レーザ顕微鏡の作用について説明する。
先ず、通常の観察時、光路切替え手段の反射ミラー36は、照明光Lを対物レンズ側に導く角度に配置(図面上点線の反射ミラー36a)される。
【0022】
レーザ光源1から発振した照明光Lは、ビームエキスパンダにより適切なビーム径に拡大され、励起用ダイクロイックミラー21で反射されて各ガルバノミラー26、27に入射する。これらガルバノミラー26、27は、照明光Lを標本上に2次元走査するもので、この2次元走査された照明光Lは、瞳投影レンズ30を通ってミラー31で反射して図示しない対物レンズの像面に結像し、さらに標本上にスポットを結ぶとともに標本上に2次元走査される。
【0023】
このときの標本からの蛍光又は反射光(検出光)は、上記光路と逆の光路を通って再び励起用ダイクロイックミラー21に入射し、このミラー21を透過し、続くコンフォーカル結像レンズ32を透過し、さらに共焦点ピンホール33を通過して光検出器34で検出される。
【0024】
次に、励起用ダイクロイックミラー23又は24に切り替えた場合のアライメント時、光路切替え手段の反射ミラー36は、照明光Lをアライメント光学系38側に導く角度に配置される(図面上実線の位置)。
【0025】
すなわち、レーザ光源20から発振した照明光Lは、ビームエキスパンダにより適切なビーム径に拡大され、励起用ダイクロイックミラー23又は24で反射された後、さらに反射ミラー36で反射されアライメント光学系38に導かれる。
【0026】
このアライメント光学系38において照明光Lは、集光レンズ39によりミラー部材40に結像し、このミラー部材40で反射され励起用ダイクロイックミラー23又は24に戻る。
【0027】
なお、励起用ダイクロイックミラー23、24は、照明光Lを反射して標本からの蛍光を透過させる特性を持っているが、照明光の反射率で通常80%〜95%程度である。つまりアライメント光学系38から励起用ダイクロイックミラー23又は24に戻ってきた光は、照明光Lと同じ波長であるが、その5〜20%は励起用ダイクロイックミラー23又は24を透過する。そして、励起用ダイクロイックミラー23又は24を透過した光は、コンフォーカル結像レンズ32を透過して共焦点ピンホール33の面に結像する。
【0028】
ここで、アライメント光学系38の集光レンズ39に入射する照明光Lは、平行光(アフォーカル光)なので、ミラー部材40で反射して再び集光レンズ39を通った光(アフォーカル光)は、集光レンズ39に入射する照明光Lと全く同じ角度の平行光となる。
【0029】
従って、励起用ダイクロイックミラー23又は24で反射した照明光Lとミラー部材40から戻ってくる光(アフォーカル光)も全く同じ角度となる。すなわち、励起用ダイクロイックミラー23又は24を透過してコンフォーカル結像レンズ32に入射する光の角度は、反射ミラー36の光軸に垂直面内の位置精度及び角度精度に影響されることなく、波長選択用ダイクロイックミラー23又は24の角度誤差を正確に反映したものとなる。
【0030】
しかるに、ミラー部材40から戻り、共焦点ピンホール33を通過して光検出器34に入射される光量が最も大きくなるように、共焦点ピンホール33の位置がXY微動ステージ35の駆動によりXYにスライド移動され、励起用ダイクロイックミラー23又は24の角度エラーに応じた共焦点ピンホール33のアライメントが行われる。
【0031】
このように上記第1の実施の形態においては、励起用ダイクロイックミラー21、23又は24で反射した照明光Lを入射し、この入射した照明光Lの角度とこの照明光Lを反射して出射する光の角度とを同一にするアライメント光学系38を設け、アライメント時に照明光Lをアライメント光学系38に導いて共焦点ピンホール33を通過する光量が最も大きくなるように共焦点ピンホール33を移動させてアライメントするので、励起用ダイクロイックミラー23又は24を切り替えたときの角度エラーにより起こる共焦点ピンホール33上でのアライメントずれを、観察用の標本面にレーザ光を照射することなく、かつアライメント用の標本のピント合わせ作業等を行うことなく、容易に補正できる。
【0032】
又、アライメント光学系38は、集光レンズ39のミラー部材40を正確に配置し固定しておけば、反射ミラー36や集光レンズ39の位置精度はコンフォーカル結像レンズ32に入射する光の角度に全く影響を及ぼさないので、極めてラフな精度でよく、安価でかつ簡単な構成で正確なアライメントができる。
【0033】
なお、上記第1の実施の形態は、次の通り変形してもよい。
例えば、ダイザ22に3種類の励起用ダイクロイックミラー21、23、24を載置しているが、ダイザ22に対して各ダイクロイックミラー21、23、24を着脱自在にし、さらに取り外した励起用ダイクロイックミラーの部分に別のダイクロイックミラーを付け替えられる構成にしてもよい。又、ダイザ22に一枚の励起用ダイクロイックミラーを貼り付け、このダイザ22ごとに励起用ダイクロイックミラーを外して別のダイクロイックミラーに交換する構成でもよい。これらの場合、ダイザ22の交換時の角度ずれの可能性があるので、上記の如くアライメントを行うことが望ましい。
(2) 次に、本発明の第2の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図1と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0034】
図2は走査型レーザ顕微鏡の構成図である。
この走査型レーザ顕微鏡の上記第1の実施の形態と相違するところは、ガルバノミラー26を光路切替え手段として機能させ、このガルバノミラー26の反射光路上にアライメント光学系41を配置したところである。
【0035】
すなわち、ガルバノミラー26は、共焦点ピンホール33のアライメント時にガルバノメータ28の駆動によりその配置角度が所定角度に設定されて励起用ダイクロイックミラー21、23又は24を反射した照明光Lをアライメント光学系41に導くことができ、さらにに標本の観察時に所定の角度で振れて照明光Lを対物レンズ側に導くことができるようになっている。
【0036】
アライメント光学系41は、上記同様に入射した照明光Lの角度とこの光Lを反射して出射する光Lの角度とを同一にする機能を有するもので、ガルバノミラー26の反射光路上に配置された集光レンズ39とこの集光レンズ39の集光面に配置されたミラー部材40とから構成されている。
【0037】
次に上記の如く構成された走査型レーザ顕微鏡の作用について説明する。
先ず、通常の観察時、上記第1の実施の形態と同様に照明光Lは、各ガルバノミラー26、27の駆動により標本上に2次元走査され、このときの標本に発生する蛍光又は反射光(検出光)は、励起用ダイクロイックミラー21に戻り、コンフォーカル結像レンズ32、共焦点ピンホール33を通過して光検出器34で検出される。
【0038】
次に、励起用ダイクロイックミラー23又は24に切り替えた際のアライメント時、光路切替え手段のガルバノミラー26は、ガルバノメータ28の駆動により照明光Lをアライメント光学系41側に導く角度に位置決めされる。
【0039】
従って、照明光Lは、ビームエキスパンダにより適切なビーム径に拡大され、励起用ダイクロイックミラー23又は24で反射された後、さらにガルバノミラー26で反射してアライメント光学系41に導かれる。
【0040】
このアライメント光学系41において照明光Lは、集光レンズ39によりミラー部材40に結像し、このミラー部材40で反射して励起用ダイクロイックミラー23又は24に戻る。
【0041】
なお、励起用ダイクロイックミラー23又は24は、照明光Lを反射して標本からの蛍光又は反射光である検出光を透過させる特性を持っており、反射率で80%〜95%程度である。つまりアライメント光学系41から励起用ダイクロイックミラー23又は24に戻ってきた光は、照明光Lと同じ波長であり、かつその5〜20%は励起用ダイクロイックミラー23又は24を透過する。そして、励起用ダイクロイックミラー23又は24を透過した光は、コンフォーカル結像レンズ32を透過して共焦点ピンホール33の面に結像する。
【0042】
ここで、アライメント光学系41の集光レンズ39に入射する照明光Lは、平行光(アフォーカル光)なので、ミラー部材40で反射して再び集光レンズ39を通った光は、集光レンズ39に入射する照明光Lと全く同じ角度の平行光となる。
【0043】
従って、励起用ダイクロイックミラー23又は24で反射した照明光Lとミラー部材40から戻ってくる光(アフォーカル光)も全く同じ角度となる。すなわち、励起用ダイクロイックミラー23又は24を透過してコンフォーカル結像レンズ32に入射する光の角度は、ガルバノミラー26の角度精度に影響されることなく、励起用ダイクロイックミラー23又は24の角度誤差を正確に反映したものとなる。
【0044】
しかるに、ミラー部材40から戻り、共焦点ピンホール33を通過して光検出器34に入射される光量が最も大きくなるように、共焦点ピンホール33の位置がXY微動ステージ35の駆動によりXYにスライド移動され、励起用ダイクロイックミラー23又は24の角度エラーに応じた共焦点ピンホール33のアライメントが行われる。
【0045】
このように上記第2の実施の形態においては、ガルバノミラー26をアライメント光学系41への切り替え用に兼用し、アライメント時に照明光Lをガルバノミラー26からアライメント光学系41に導くようにしたので、励起用ダイクロイックミラー23又は24を切り替えたときの角度エラーにより起こる共焦点ピンホール33上でのアライメントずれを、観察用の標本面にレーザ光を照射することなく、且つアライメント用の標本のピント合わせ作業等を行うことなく、容易に補正できる。
【0046】
又、アライメント光学系41は、集光レンズ39の焦点位置にミラー部材40を正確に配置し固定しておけば、ガルバノミラー26の停止位置精度及び集光レンズ39の位置精度はコンフォーカル結像レンズ32に入射する光の角度に全く影響を及ぼさないので、極めてラフな精度でよく、安価でかつ簡単な構成で正確なアライメントができる。
【0047】
さらに、ガルバノミラー26をアライメント光学系41への切り替え用に兼用したので、反射ミラー等の光学部材及びその駆動機構を新たに設ける必要がなく、上記第1の実施の形態よりもさらに簡単な構成にできる。
【0048】
又、ガルバノミラー26を集光レンズ39のバックフォーカス位置に配置し、停止させれば、ガルバノミラー26で反射された光は、集光レンズ39を透過する範囲で、ガルバノミラー26で反射された光の角度と同一の角度で必ずガルバノミラー26の中心付近に戻すことができる。
【0049】
なお、上述したバックフォーカス位置にガルバノミラー26を配置する場合、図3に示すように以下のようにして用いることができる。
ここでは、図3に示すように、各ダイクロイックミラー21、22、23の波長特性に応じて、それぞれ異なった蛍光を発する蛍光ガラス40a、40b、40cでミラー部材40を区画分けし、例えばダイクロイックミラー21を使用するときは、ミラー部材40の蛍光ガラス40aに光が向かう角度、ダイクロイックミラー23を使用するときは、ミラー部材40の蛍光ガラス40bに光が向かう角度、ダイクロイックミラー24を使用するときは、ミラー部材40の蛍光ガラス40cに光が向かう角度で、ガルバノミラー26を停止させる。
【0050】
このガルバノミラー26は、集光レンズ39のバックフォーカス位置に配置されているので、ミラー部材40の各蛍光ガラス40a、40b、40cに対応する角度でガルバノミラー26を停止させると、ミラー部材40の各蛍光ガラス40a、40b、40cにそれぞれ集光した光はガルバノミラー26の中心に戻ってくる。
【0051】
従って、アライメント時に各ダイクロイックミラー21、23、24の波長特性に合う蛍光ガラスを使用できるので、アライメント光学系による検出光量を多くすることができる。
(3) 次に、本発明の第3の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図2と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0052】
図4は走査型レーザ顕微鏡の構成図である。
この走査型レーザ顕微鏡の上記第2の実施の形態と相違するところは、ダイクロイックミラー切替え認識用の検出器としてのセンサ42を設け、このセンサ42により波長特性の異なるダイクロイックミラー21、23又は24の切替えが認識されたときに制御部43によって共焦点ピンホール33を自動的にアライメントするようにしたところである。
【0053】
すなわち、ダイクロイックミラー切替え認識用センサ42は、ダイザ22の移動を検出したときにダイクロイックミラー21、23又は24の切替えの認識信号を出力する機能を有している。
【0054】
制御部43は、ダイクロイックミラー切替え認識用センサ42からの切替えの認識信号を受けると、照明光Lをアライメント光学系41側に導くようなガルバノミラー26の位置決め角度にする回転、停止の指令をガルバノミラー26を駆動するガルバノメータ28に対して発し、かつ光検出器34から出力される光量信号をモニタしながら共焦点ピンホール33を備えたXY微動ステージ35を駆動することで、共焦点ピンホール33をXYにスライド移動させて光検出器34により検出される光量が最も大きくなるようにアライメント指令を発して自動的にアライメントするようにしている。
【0055】
次に上記の如く構成された走査型レーザ顕微鏡の作用について説明する。
通常の観察時の作用は、上記第2の実施の形態と同様なので省略する。
次に、励起用ダイクロイックミラー23又は24に切り替えるためにダイザ22が移動すると、ダイクロイックミラー切替え認識用センサ42は、ダイザ22の移動を検出してその切替えの認識信号を制御部43に送出する。
【0056】
この制御部43は、上記切替えの認識信号を受けると、照明光Lをアライメント光学系41側に導くようなガルバノミラー26の配置角度にする回転、停止の指令をガルバノミラー26を駆動するガルバノメータ28に対して発する。これにより、ガルバノミラー26は、ガルバノメータ28の駆動により照明光Lをアライメント光学系41側に導く角度に位置決めされる。
【0057】
従って、照明光Lは、上記第2の実施の形態と同様に、励起用ダイクロイックミラー23又は24で反射された後、さらにガルバノミラー26で反射されてアライメント光学系41に導かれる。このアライメント光学系41において照明光Lは、集光レンズ39によりミラー部材40に結像し、このミラー部材40で反射して例えば励起用ダイクロイックミラー23又は24に戻る。そして、励起用ダイクロイックミラー23又は24を透過した光は、コンフォーカル結像レンズ32を透過して共焦点ピンホール33の面に結像し、光検出器34に入射する。
【0058】
この場合、励起用ダイクロイックミラー23又は24を透過してコンフォーカル結像レンズ32に入射する光の角度は、ガルバノミラー26の角度精度に影響されることなく、励起用ダイクロイックミラー23又は24の角度誤差を正確に反映したものとなる。
【0059】
これと共に制御部43は、光検出器34から出力される光量信号をモニタしながらXY微動ステージ35をXYに駆動し、光検出器34により検出される光量が最も大きくなるように共焦点ピンホール33を自動的にアライメントする。
【0060】
このように上記第3の実施の形態においては、励起用ダイクロイックミラー21、23又は24の切り替えをダイクロイックミラー切替え認識用センサ42により認識し、照明光Lをアライメント光学系41側に導くようなガルバノミラー26の位置決め角度にするとともに光検出器34から出力される光量信号をモニタしながら共焦点ピンホール33を設けたXY微動ステージ35をXYに駆動するようにしたで、励起用ダイクロイックミラー21、23、24が切替えられたときに煩雑な作業が一切なく自動的に共焦点ピンホール33のアライメントが短時間で確実に行うことができる。
(4) 次に、本発明の第4の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図4と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【0061】
図5は2重染色された蛍光標本を観察して2種類の蛍光を別々に画像取得するときに用いられる走査型レーザ顕微鏡の構成図である。
各ダイクロイックミラー21、23又は24の透過光路上には、反射ミラー44を介して検出光を2種類の蛍光の波長別に分離する光分離素子としての分光ダイクロイックミラー45、46又は反射ミラー47が配置されている。これら分光ダイクロイックミラー45、46及び反射ミラー47は、例えば図示しないダイザ等に載置され、モータの駆動により移動して透過光路上に切り替わって配置されるものとなっている。
【0062】
これら分光ダイクロイックミラー45、46及び反射ミラー47の反射光路上には、例えば短波長側としてのコンフォーカル結像レンズ32、共焦点ピンホール33を介してホトマルチプライヤ等の光検出器34が配置されている。
【0063】
又、分光ダイクロイックミラー45、46の透過光路上には、反射ミラー48を介して例えば長波長側としてのコンフォーカル結像レンズ49、共焦点ピンホール50を介してホトマルチプライヤ等の光検出器51が配置されている。このうち共焦点ピンホール50は、コンフォーカル結像レンズ49の結像位置に配置されるもので、XY微動ステージ52上に設けられている。このXY微動ステージ52は、共焦点ピンホール50を標本からの蛍光又は反射光(検出光)の光軸方向に対して垂直面内に移動自在な構成となっている。
【0064】
分光ダイクロイックミラー切替え認識用センサ53は、分光ダイクロイックミラー45、46及び反射ミラー47を載置するダイザの移動を検出したときにこれらダイクロイックミラー45、46又は47の切替えの認識信号を出力する機能を有している。
【0065】
制御部54は、励起用ダイクロイックミラー切替え認識用センサ42又は分光ダイクロイックミラー切替え認識用センサ53からの切替えの認識信号を受けると、照明光Lをアライメント光学系41側に導くようなガルバノミラー26の位置決め角度にする回転、停止の指令をガルバノミラー26のガルバノメータ28に対して発する機能を有している。
【0066】
又、制御部54は、分光ダイクロイックミラー切替え認識用センサ53からの切替えの認識信号を受けてアライメントする共焦点ピンホール33、50がいずれか一方であるか両方であるかを判断し、この判断の結果に応じてXY微動ステージ35又は52のいずれか一方又は両方にアライメント指令を発するようにしている。
【0067】
又、制御部54は、アライメント時に、光検出器34又は51のいずれか一方又は両方から出力される各光量信号をモニタしながらXY微動ステージ35又は52のいずれか一方又は両方を駆動し、光検出器34又は51のいずれか一方又は両方により検出される光量が最も大きくなるように共焦点ピンホール33又は50のいずれか一方又は両方を自動的にアライメントするようにしている。
【0068】
次に上記の如く構成された走査型レーザ顕微鏡の作用について説明する。
先ず、2重染色された標本を観察して2種類の蛍光を別々に観測する場合、レーザ光源20から出力された照明光Lは、各ガルバノミラー26、27の駆動により標本上に2次元走査され、このときの標本からの蛍光(検出光)は、励起用ダイクロイックミラー21に戻り、反射ミラー44で反射して分光ダイクロイックミラー45に入射する。
【0069】
この測光分光ダイクロイックミラー45は、検出光のうち短波長成分を反射し、長波長成分を透過させる。このうち短波長成分の検出光は、コンフォーカル結像レンズ32、共焦点ピンホール33を通過して光検出器34で検出され、これと共に長波長成分の検出光は、反射ミラー48で反射され、コンフォーカル結像レンズ49、共焦点ピンホール50を通過して光検出器51で検出される。
【0070】
次に、2重染色された標本の蛍光色素を変えた場合、つまり短波長成分の蛍光と長波長成分の蛍光とを分ける波長を切り替えたい場合、分光ダイクロイックミラー45を分光ダイクロイックミラー46に切り替える。
【0071】
このとき分光ダイクロイックミラー切替え認識用センサ53は、分光ダイクロイックミラー45、46及び反射ミラー47を載置するダイザの移動を検出し、分光ダイクロイックミラー46への切替えの認識信号を出力する。
【0072】
このように分光ダイクロイックミラー46に切り替えた場合、各共焦点ピンホール33、50で結像位置にずれが生じるので、これら共焦点ピンホール33、50でのアライメントが必要となる。
【0073】
従って、制御部54は、分光ダイクロイックミラー切替え認識用センサ53からの切替えの認識信号を受けると、照明光Lをアライメント光学系41側に導くようなガルバノミラー26の配置角度にする回転、停止の指令をガルバノミラー26を駆動するガルバノメータ28に対して発する。
【0074】
これにより照明光Lは、上記第2の実施の形態と同様に、励起用ダイクロイックミラー21で反射後、さらにガルバノミラー26で反射してアライメント光学系41に導かれる。このアライメント光学系41において照明光Lは、集光レンズ39によりミラー部材40に結像し、このミラー部材40で反射して再び励起用ダイクロイックミラー21に戻る。そして、励起用ダイクロイックミラー21を透過した光は、反射ミラー44で反射して分光ダイクロイックミラー46に入射する。
【0075】
この分光ダイクロイックミラー46は、入射した光のうち短波長成分を反射し、長波長成分を透過させる。このうち短波長成分の検出光は、コンフォーカル結像レンズ32、共焦点ピンホール33を通過して光検出器34で検出され、長波長成分の検出光は、反射ミラー48で反射され、コンフォーカル結像レンズ49、共焦点ピンホール50を通過して光検出器51で検出される。
【0076】
この場合、分光ダイクロイックミラー46を透過して各コンフォーカル結像レンズ32、49に入射する光の角度は、ガルバノミラー26の角度精度に影響されることなく、分光ダイクロイックミラー46の角度誤差を正確に反映したものとなる。
【0077】
しかるに、制御部54は、光検出器34、51の両方から出力される各光量信号をそれぞれモニタしながら各XY微動ステージ35、52の両方に対してアライメント指令を発して各XY駆動ステージ35、52を駆動し、各光検出器34、51の両方により検出される各光量がそれぞれ最も大きくなるように各共焦点ピンホール33、50の両方を自動的にアライメントする。
【0078】
次に、単染色標本を観察する場合、ダイザは分光ダイクロイックミラー45(又は46)から反射ミラー47に切り替わる。この場合でも共焦点ピンホール33で結像位置にずれが生じるので、共焦点ピンホール33のアライメントが必要となる。
【0079】
すなわち、上記同様に分光ダイクロイックミラー切替え認識用センサ53は、反射ミラー47を載置するダイザの移動を検出し、反射ミラー47への切替えの認識信号を出力する。
【0080】
制御部54は、分光ダイクロイックミラー切替え認識用センサ53からの切替えの認識信号を受けると、照明光Lをアライメント光学系41側に導くようなガルバノミラー26の位置決め角度にする回転、停止の指令をガルバノミラー26を駆動するガルバノメータ28に対して発する。これにより照明光Lは、上記第2の実施の形態と同様に、励起用ダイクロイックミラー21で反射後、さらにガルバノミラー26で反射されてアライメント光学系41に導かれ、再び励起用ダイクロイックミラー21に戻り、そして反射ミラー44、45で反射しされコンフォーカル結像レンズ32、共焦点ピンホール33を通過して光検出器34で検出される。
【0081】
制御部54は、光検出器34から出力される光量信号をモニタしながらXY微動ステージ35に対してアライメント指令を発して駆動し、光検出器34により検出される光量が最も大きくなるように共焦点ピンホール33を自動的にアライメントする。
【0082】
このように上記第4の実施の形態においては、分光ダイクロイックミラー45、46を配置すると共に、短波長側として共焦点ピンホール33及び光検出器34を配置し、長波長側として共焦点ピンホール50及び光検出器51を配置したので、上記第3の実施の形態と同様な効果を奏することが出来ると共に、2重染色された標本を分光ダイクロイックミラーを用いて観察して2種類の蛍光を別々に観測する場合においても煩雑な作業が一切なく自動的に各共焦点ピンホール33、50の各アライメントが短時間で確実に行うことができる。
【0083】
なお、上記第4の実施の形態では、2重染色された標本を観察する場合のアライメントについて説明したが、共焦点ピンホール及び光検出器を追加することにより多重染色された標本を観察するときのアライメントについても適用できる。
【0084】
又、上述した実施の形態では、反射ミラー36(又はガルバノミラー26,27)、集光レンズ39及びミラー部材40によりアライメントを行っていたが、これに限られるものでなく集光レンズ39及びミラー部材40をコーナキューブに変更してもアライメント光学系を構成することができる。
【0085】
又、上述した実施の形態では、共焦点ピンホールと光軸との芯出し調整を行う調整手段として、共焦点ピンホールをXYにスライド移動させてアライメントする例を説明したが、これに限られるものでなく、従来の技術で説明した光軸を通る2枚の平行平面板を、それぞれ異なった方向に回転制御させてアライメントするものも調整手段として用いることができる。
【0086】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明の請求項1〜3によれば、ビームスプリッタの切り替え時の共焦点ピンホールへのアライメントを煩わしい作業を必要とせずに簡単な構成で正確にできる走査型レーザ顕微鏡を提供できる。
【0087】
又、本発明の請求項2によれば、多重染色された標本を観察して数種類の蛍光を別々に観測する場合でもこれら蛍光別の各共焦点ピンホールへのアライメントが短時間で確実にできる走査型レーザ顕微鏡を提供できる。
又、本発明の請求項3によれば、自動的に共焦点ピンホールのアライメントが短時間で確実にできる走査型レーザ顕微鏡を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる走査型レーザ顕微鏡の第1の実施の形態を示す構成図。
【図2】本発明に係わる走査型レーザ顕微鏡の第2の実施の形態を示す構成図。
【図3】同走査型レーザ顕微鏡の変形列を示す部分的な構成図。
【図4】本発明に係わる走査型レーザ顕微鏡の第3の実施の形態を示す構成図。
【図5】本発明に係わる走査型レーザ顕微鏡の第4の実施の形態を示す構成図。
【図6】従来の走査型レーザ顕微鏡の構成図。
【符号の説明】
20:レーザ光源、
21:励起用ダイクロイックミラー、
23,24:励起用ダイクロイックミラー、
25:切替え機構、
26,27:ガルバノミラー、
30:瞳投影レンズ、
32,49:コンフォーカル結像レンズ、
33,50:共焦点ピンホール、
34,51:光検出器、
35,52:XY微動ステージ、
36:反射ミラー、
38,41:アライメント光学系、
39:集光レンズ、
40:ミラー部材、
40a,40b,40c:蛍光ガラス、
42:励起用ダイクロイックミラー切替え認識用センサ、
43,54:制御部
45,46:分光ダイクロイックミラー、
47:反射ミラー、
53:分光ダイクロイックミラー切替え認識用センサ。
Claims (3)
- レーザ光を反射又は透過させる切換可能な複数の光分離素子を用い、前記分離素子で反射又は透過させたレーザ光は対物レンズを介して標本上に照射され、この標本からの光は前記光分離素子により透過又は反射され、共焦点ピンホールを通して光検出器に導かれるようにした走査型レーザ顕微鏡において、
前記光分離素子で反射又は透過したレーザ光を入射し、この入射したレーザ光の角度とこの入射したレーザ光を反射して出射する場合のレーザ光の角度とを同一にするアライメント光学系と、
前記光分離素子を反射又は透過した前記レーザ光を前記共焦点ピンホールと光軸とのアライメント時には前記アライメント光学系に導き、かつ前記標本の観察時には前記対物レンズに導くように光路を切り換える光路切替え手段と、
前記アライメント時に前記共焦点ピンホールを通過する光量を前記光検出器で検出し、この光量に基づいて前記共焦点ピンホールを通る光量が最大になるように前記共焦点ピンホールと光軸との芯出し調整を行う調整手段と、
を具備したことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。 - 前記標本からの光を少なくとも2波長に分離する分光光学系を備えると共に、
前記共焦点ピンホール及び前記光検出器を前記分光光学系で分離される波長の数に応じて設け、
前記分光光学系を切り替えた時、前記調整手段は、前記光路切替え手段を制御して前記光分離素子で反射又は透過した前記レーザ光を前記アライメント光学系に導き、前記各共焦点ピンホールを通過する各光量に基づいて前記各共焦点ピンホールと光軸との芯出し調整を行うようにしたことを特徴とする請求項1記載の走査型レーザ顕微鏡。 - 前記走査型レーザ顕微鏡に、
前記光分離素子の切り替えを検出する検出器と、
前記検出器で前記光分離素子の切り替えを検出したときに、前記光路切替え手段で光路をアライメント光学系に導き、前記共焦点ピンホールを通過する光量に基づいて前記共焦点ピンホールと光軸との芯出し調整を自動的に行う制御手段とを備えたことを特徴とする請求項1又は2記載の走査型レーザ顕微鏡。
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