JP4485571B2 - ヘテロダインレーザドップラープローブ及びそれを用いた測定システム - Google Patents
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Description
本発明は、上記状況に鑑みて、光励振効率と、速度計測効率の両立を実現することができるヘテロダインレーザドップラープローブ及びそれを用いた測定システムを提供することを目的とする。
〔1〕ヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、励振光を導く第1の光路(2)と、計測光を導く第2の光路(4)と、前記第1の光路(2)と前記第2の光路(4)とが並設され、前記第1の光路(2)と前記第2の光路(4)とが光学的に結合されるとともに、構造的に一体化されるプローブ本体(1)と、このプローブ本体(1)内に配置される反射ミラー(3)と、前記プローブ本体(1)内に配置されるビームスプリッタ(6)と、前記プローブ本体(1)内に配置される焦点レンズ(7)と、前記プローブ本体(1)内に配置される1/4波長板(5)とを備え、前記第1の光路(2)から出射された励振光は前記プローブ本体(1)内の前記反射ミラー(3)と前記ビームスプリッタ(6)とを経て、前記焦点レンズ(7)から測定対象物(8)へ導かれ、一方、前記第2の光路(4)から出射された計測光は前記プローブ本体(1)内の前記1/4波長板(5)を通過した後、前記ビームスプリッタ(6)と前記焦点レンズ(7)を経て前記測定対象物(8)へ導かれ、この測定対象物(8)で反射した計測光は、前記焦点レンズ(7)、前記ビームスプリッタ(6)を経て、前記1/4波長板(5)を通過した後、前記第2の光路(4)を経てヘテロダインレーザドップラー計測装置へと戻るようにしたことを特徴とする。
〔4〕上記〔1〕、〔2〕または〔3〕の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記ビームスプリッタを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の前記測定対象物上での焦点位置を前記計測光の前記測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とする。
〔6〕上記〔1〕、〔2〕または〔3〕の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記ビームスプリッタ及び前記反射ミラーを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の前記測定対象物上での焦点位置を前記計測光の前記測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とする。
〔8〕上記〔7〕記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムにおいて、前記第1の光路および前記第2の光路に配置される光路調整用ミラーにおいて、前記励振光と前記計測光を重畳して前記プローブ本体に導くことを特徴とする。
図1は本発明の実施例を示す、ヘテロダインレーザドップラープローブ(基本形)の模式図である。
この図に示すように、1は光プローブ(ヘテロダインレーザドップラープローブ本体)、2は光プローブ1に導入される光励振のための第1の光路、3は第1の光路2から導入される光励振のための光(励振光)を受ける反射ミラー、4は光プローブ1に導入されるヘテロダインレーザドップラー計測(速度計測)のための第2の光路、5は第2の光路に配置される1/4波長板、6はビームスプリッタ、7は焦点レンズ、8は測定対象物(ここでは、カンチレバー)であり、第2の光路4から導入される計測光を1/4波長板5で受け、ビームスプリッタ6は反射ミラー3からの励振光を反射し、かつ1/4波長板5からの計測光を透過するとともに、測定対象物8で反射され、焦点レンズ7を経た計測光(信号光)を透過して、1/4波長板5へ導く。
この実施例では、図1における第1の光路2、第2の光路4による伝搬に代えて、個々の波長に適する第1の光ファイバー11と第2の光ファイバー13を用いるようにしている。また、光プローブ(ヘテロダインレーザドップラープローブ本体)10内では、第1の光ファイバー11から導入される励振光を受ける第1のコリメートレンズ12を配置し、第2の光ファイバー13から導入される計測光を受け、かつ、測定対象物8で反射した計測光(信号光)を導出する第2のコリメートレンズ14を配置するようにしている。
この図において、20は光プローブ(ヘテロダインレーザドップラープローブ本体)、21は励振光を導く第1の光路、22は計測光を導く第2の光路、23は1/4波長板、24は焦点レンズ、25は測定対象物(カンチレバー)である。
図4は本発明の第2実施例を示すヘテロダインレーザドップラープローブの模式(その1)図、図5はそのビームスプリッタの調整態様を示す図である。
図5(a)に示すように、調整機構31によって、ビームスプリッタ6の角度をθだけ移動させた場合、1/4波長板5からビームスプリッタ6を通過する計測光は影響されないためカンチレバー8に照射される計測光の照射位置8Aは変わらないが、反射ミラー3で反射され、さらにビームスプリッタ6で反射される励振光は、ビームスプリッタ6の変位(角度)によってカンチレバー8への照射位置が8Aから8Bへと移行する。
このように、計測光とは相対的に励振光の試料に対する照射位置をそれぞれ調整することができる。
この実施例においては、上記実施例(図2)に示した反射ミラー3を変位させる調整機構41を設けるようにしている。
図7(a)に示すように、調整機構41によって、反射ミラー3の角度をαだけ移動させた場合、1/4波長板5からビームスプリッタ6を通過する計測光は影響されないためカンチレバー8に照射される計測光の照射位置8Aは変わらないが、励振光はその反射ミラー3の変位(角度)によってカンチレバー8への照射位置が8Aから8Dへと移行する。
なお、図5のようなビームスプリッタ6の変位による調整と、図7に示すような反射ミラー3の変位による調整との両方を組み合わせて、計測光とは相対的に励振光の試料に対する照射位置を精密に調整するようにしてもよい。
ここで、ヘテロダインレーザドップラープローブは、上記した図2に示したものを用いる。この図において、50は励起レーザ光源(LD)、51は計測装置、52は計測光の光源、53はビームスプリッタ、54は計測部(レーザドップラー干渉計)である。
なお、このヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムにも上記した調整機構を付加することができる。
この図において、光プローブは上記した実施例(図1)と同じものを用いるようにしている。
そこで、この実施例では、計測光の光源71と、ビームスプリッタ72と、計測部(レーザドップラー計)73を有する計測装置70、光励振用光源61のそれぞれの光源から、測定対象物(励振対象物)8までの光路調整の方法を示している。これにより、測定対象物(励振対象物)8と光プローブ1のx,y,z方向への変位に対して励振光と計測光を意図した場所に位置決めすることが可能となる。
この図において、光プローブは上記した第1参考例(図3)と同じものを用いるようにしている。また、81は光励振用光源、82は第1の光路調整用ガラス板、83は第1の光路調整用ミラー、84は第3の光路調整用ミラー(ダイクロイックミラー)、85は第3の光路調整用ガラス板、86はガラス隔壁、90は計測装置、91は計測光の光源、92はビームスプリッタ、93は計測部(レーザドップラー計)、94は第2の光路調整用ガラス板、95は第2の光路調整用ミラー、96は第4の光路調整用ミラーである。
また、上記したように、第1および第2の光路21,22中に、ガラス隔壁66,86を配置するようにしたので、光プローブ1,20を真空、ガス、液中に配置可能にし、光源や光路調整機構は大気中に配置することができる。
Claims (9)
- (a)励振光を導く第1の光路と、
(b)計測光を導く第2の光路と、
(c)前記第1の光路と前記第2の光路とが並設され、前記第1の光路と前記第2の光路とが光学的に結合されるとともに、構造的に一体化されるプローブ本体と、
(d)該プローブ本体内に配置される反射ミラーと、
(e)前記プローブ本体内に配置されるビームスプリッタと、
(f)前記プローブ本体内に配置される焦点レンズと、
(g)前記プローブ本体内に配置される1/4波長板とを備え、
(h)前記第1の光路から出射された励振光は前記プローブ本体内の前記反射ミラーと前記ビームスプリッタとを経て、前記焦点レンズから測定対象物へ導かれ、一方、前記第2の光路から出射された計測光は前記プローブ本体内の前記1/4波長板を通過した後、前記ビームスプリッタと前記焦点レンズを経て前記測定対象物へ導かれ、該測定対象物で反射した計測光は、前記焦点レンズ、前記ビームスプリッタを経て、前記1/4波長板を通過した後、前記第2の光路を経てヘテロダインレーザドップラー計測装置へと戻るようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。 - 請求項1記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記第1の光路は第1の光ファイバーであり、前記第2の光路は第2の光ファイバーであり、前記第1の光ファイバーからの励振光は前記第1の光ファイバーから出射後、第1のコリメートレンズを経て、前記反射ミラーに導かれ、前記第2の光ファイバーからの計測光は前記第2の光ファイバーから出射後、第2のコリメートレンズを経て、前記1/4波長板に導かれるようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
- 請求項1または2に記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記測定対象物がカンチレバーであり、該カンチレバーの速度を計測することを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
- 請求項1、2または3の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記ビームスプリッタを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の前記測定対象物上での焦点位置を前記計測光の前記測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
- 請求項1、2または3の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記反射ミラーを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の前記測定対象物上での焦点位置を前記計測光の前記測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
- 請求項1、2または3の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブにおいて、前記ビームスプリッタ及び前記反射ミラーを変位可能な調整機構を備え、前記励振光の前記測定対象物上での焦点位置を前記計測光の前記測定対象物上での焦点位置に対して調整するようにしたことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブ。
- 請求項1から6の何れか一項記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いて、前記第2の光路から出射し前記測定対象物から反射した計測光をビームスプリッタで反射させて計測部に導くことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システム。
- 請求項7記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムにおいて、前記第1の光路および前記第2の光路に配置される光路調整用ミラーにおいて、前記励振光と前記計測光を重畳して前記プローブ本体に導くことを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システム。
- 請求項7または8記載のヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システムにおいて、前記第1の光路および前記第2の光路中に、ガラス隔壁を配置し、前記プローブ本体を真空、ガス、液中に配置可能にし、光源や光路調整機構を大気中に配置可能にすることを特徴とするヘテロダインレーザドップラープローブを用いた測定システム。
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