JP4694643B2 - インプリントリソグラフィ - Google Patents
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Description
NIL)として知られている。このプロセスでは、より硬いテンプレート、例えば耐摩耗性、耐変形性により優れたシリコンまたはニッケル製のものが使用される。このプロセスは、例えば米国特許第6,482,742号に記載されており、図1bにも示されている。通常の熱インプリントプロセスでは、固体テンプレート(solid template)14が、基板12の表面に配された熱硬化性または熱可塑性ポリマー樹脂15にインプリントされる。この樹脂は、基板表面、または、より一般的には(図の例を参照)平坦化および転写層12’上にスピンコートされ、焼成され得る。なお、インプリントテンプレートについて述べる場合、「硬い」とは、通常「硬い」と「軟らかい」の中間にあると考えられる材料、例えば「硬質」ゴム等、を含むものとする。アプリケーションの要件によってインプリントテンプレートとして使用するのに適した材料が異なる。
Claims (14)
- 複数のテンプレートホルダを備えるインプリントリソグラフィ装置であって、
それぞれのテンプレートホルダは、アレイ状に高密度に配列する複数のパターンから成るパターンアレイを基板上にインプリントするために使用されるテンプレートを保持するように配され、
それぞれのテンプレートホルダは、パターンのサイズより大きく且つパターンに隣接するパターンの半分を超えて延在しないフットプリントの範囲に入る、インプリントリソグラフィ装置。 - 請求項1に記載のインプリントリソグラフィ装置であって、
前記複数のテンプレートホルダは、二次元アレイに配列されている、インプリントリソグラフィ装置。 - 請求項1に記載のインプリントリソグラフィ装置であって、
それぞれのテンプレートホルダは、少なくともアライメントシステムの部分を有する、インプリントリソグラフィ装置。 - 複数のテンプレートホルダアレイと、
前記複数のテンプレートホルダアレイのうちの一つのテンプレートホルダアレイから他のテンプレートホルダアレイに移動してインプリントされるべき基板を支持するように配列された基板テーブルと、を備え、
それぞれのテンプレートホルダアレイは、アレイ状に高密度に配列する複数のパターンから成るパターンアレイを基板上にインプリントするために使用されるテンプレートを保持するように配され、
それぞれのテンプレートホルダアレイは、パターンのサイズより大きく且つパターンに隣接するパターンの半分を超えて延在しないフットプリントの範囲に入る、インプリントリソグラフィ装置。 - 請求項4に記載のインプリントリソグラフィ装置であって、
前記複数のテンプレートホルダアレイは、第一のテンプレートホルダアレイと第二のテンプレートホルダアレイとを含み、
第一のテンプレートホルダアレイによってインプリントされたパターンの間にその後第二のテンプレートホルダアレイによってパターンをインプリントするように構成される、インプリントリソグラフィ装置。 - 請求項4に記載のインプリントリソグラフィ装置であって、
前記複数のテンプレートホルダアレイは、少なくとも四つのテンプレートホルダアレイを有する、インプリントリソグラフィ装置。 - 請求項4に記載のインプリントリソグラフィ装置であって、
前記複数のテンプレートホルダアレイは、二次元アレイに配列されている、インプリントリソグラフィ装置。 - 複数のテンプレートホルダアレイを備えるインプリントリソグラフィ装置であって、
それぞれのテンプレートホルダアレイは、アレイ状に高密度に配列する複数のパターンから成るパターンアレイを基板上にインプリントするために使用されるテンプレートを保持するように配され、
それぞれのテンプレートホルダアレイは、同一基板の別の領域にパターンをインプリントするように配され、
それぞれのテンプレートホルダアレイは、少なくともアライメントシステムの部分を有し、
それぞれのテンプレートホルダアレイは、パターンのサイズより大きく且つパターンに隣接するパターンの半分を超えて延在しないフットプリントの範囲に入る、インプリントリソグラフィ装置。 - アレイ状に高密度に配列する複数の第1のパターンから成る第1パターンアレイを第1テンプレートホルダアレイにより基板上にインプリントするステップと、
基板を第1テンプレートホルダアレイから第2テンプレートホルダアレイに移動させ、又は第2テンプレートホルダアレイを基板に移動させ、又は基板及び第2テンプレートホルダアレイの両方を移動させるステップと、
アレイ状に高密度に配列する複数の第2のパターンから成る第2パターンアレイを第2テンプレートホルダアレイにより基板上にインプリントするステップと、を備え、
第2テンプレートホルダアレイによってインプリントされた第2のパターンは、第1テンプレートホルダアレイによってインプリントされた第1のパターンの間に形成され、
第1テンプレートホルダアレイは、第1のパターンのサイズより大きく且つ第1のパターンに隣接する第2のパターンの半分を超えて延在しないフットプリントの範囲に入り、
第2テンプレートホルダアレイは、第2のパターンのサイズより大きく且つ第2のパターンに隣接する第1のパターンの半分を超えて延在しないフットプリントの範囲に入る、インプリントリソグラフィ方法。 - アレイ状に高密度に配列する複数のパターンから成るパターンアレイを基板上にインプリントするために使用されるテンプレートアレイを保持するテンプレートホルダアレイを用いてパターンアレイを基板にインプリントするステップを備え、
テンプレートアレイは、パターンのサイズより大きく且つパターンに隣接する少なくとも一つのパターンの半分を超えて延在しないフットプリントの範囲に入る、インプリントリソグラフィ方法。 - テンプレートのアレイを保持するテンプレートホルダのアレイを用いてテンプレートのアレイを基板にインプリントするステップを備え、
テンプレートのアレイのそれぞれのテンプレートをインプリントするテンプレートホルダは、少なくとも一つの隣接のインプリントエリアに延在するが少なくとも一つの隣接するインプリントエリアの中心点を越えて延在しないフットプリントの範囲内にある、インプリントリソグラフィ方法。 - アレイ状に高密度に配列する複数のパターンから成るパターンアレイを基板上にインプリントするために使用されるテンプレートアレイを保持するテンプレートホルダアレイを用いてパターンアレイを基板にインプリントするステップを備え、
テンプレートアレイは、パターンのサイズより大きく且つパターンに隣接するパターンの半分を超えて延在しないフットプリントの範囲に入る、インプリントリソグラフィ方法。 - アレイ状に高密度に配列する複数のパターンから成るパターンアレイを基板上にインプリントするために使用されるテンプレートアレイを保持するテンプレートホルダアレイを用いてパターンアレイを基板にインプリントし、4回以下の回数で基板をパターンアレイで実質的に全て覆うステップを備え、
テンプレートホルダアレイは、パターンのサイズより大きく且つパターンに隣接するパターンの半分を超えて延在しないフットプリントの範囲に入る、インプリントリソグラフィ方法。 - アレイ状に高密度に配列する複数の第1のパターンから成る第1パターンアレイを第1テンプレートホルダアレイにより基板上にインプリントするステップと、
第2テンプレートホルダアレイを第1のパターンの対角線上に移動させるステップと、
アレイ状に高密度に配列する複数の第2のパターンから成る第2パターンアレイを第2テンプレートホルダアレイにより基板上にインプリントするステップと、を備え、
第2テンプレートホルダアレイによってインプリントされた第2のパターンは、第1テンプレートホルダアレイによってインプリントされた第1のパターンの間に形成され、
第2テンプレートホルダアレイによってインプリントされた第2のパターンと、第1テンプレートホルダアレイによってインプリントされた第1のパターンは、互い違いに配列しており、
第2テンプレートホルダアレイによってインプリントされた第2のパターンは、第1テンプレートホルダアレイによってインプリントされた第1のパターンの対角線上に位置しており、
第1テンプレートホルダアレイは、第1のパターンのサイズより大きく且つ第1のパターンに隣接する第2のパターンの半分を超えて延在しないフットプリントの範囲に入り、
第2テンプレートホルダアレイは、第2のパターンのサイズより大きく且つ第2のパターンに隣接する第1のパターンの半分を超えて延在しないフットプリントの範囲に入る、インプリントリソグラフィ方法。
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