JP2005116022A - 磁気記録媒体の製造方法、製造装置、インプリントスタンパ及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法、製造装置、インプリントスタンパ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005116022A JP2005116022A JP2003346898A JP2003346898A JP2005116022A JP 2005116022 A JP2005116022 A JP 2005116022A JP 2003346898 A JP2003346898 A JP 2003346898A JP 2003346898 A JP2003346898 A JP 2003346898A JP 2005116022 A JP2005116022 A JP 2005116022A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- imprint
- substrate
- magnetic recording
- recording medium
- stamper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
【解決手段】 磁気記録媒体に対応する凹凸パターンを基板の表面に転写するインプリント工程を含む磁気記録媒体の製造方法であって、第1のインプリント領域に属する凹凸パターンを基板に転写する工程と、前記第1のインプリント領域を取り囲む第2のインプリント領域に属し、ほぼ同心円状に配置された複数の凹凸パターンを基板に転写する工程と、を備えたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【選択図】 図1
Description
すなわち、スタンパ20の表面には、複数の媒体パターンが略同心円状に設けられている。本具体例の場合、中心に媒体パターン22C、その外側に媒体パターン22B、さらに最外周に媒体パターン22Aが設けられている。媒体パターン22A〜22Cのそれぞれはディスク状の磁気記録媒体のそれぞれに対応し、例えば、数10〜数100ナノメータの微細な凹凸パターンを有する。
後に詳述するように、基板10としては、例えば、単結晶シリコンやガラスなどの表面に磁性層とレジスト膜などが塗布されたものが用いられる。そして、この基板10の表面には、スタンパ20の形態に対応して、略同心円状に配置された複数の媒体パターン12A〜12Cがインプリントによって形成される。同図において、一点鎖線により区分されるインプリント領域10A、10B、10Cは、それぞれスタンパ20のインプリント領域20A、20B、20Cに対応する。このようにして複数の媒体パターン12A〜12Cをインプリントした後、それぞれを切り出すことにより、複数の磁気記録媒体が得られる。
図7乃至図9は、インプリント領域20A〜20Cに対するインプリントの順番を入れ替えた具体例を表す模式図である。
すなわち、図7に表したように、中心側から外側に向けて順番にインプリントを実施してもよく、また、図8及び図9に例示したように、中心部と最外周部との間のインプリント領域からインプリントを実施してもよい。
図11は、予め分割した基板を用いるインプリントプロセスを表す模式図である。
すなわち、図示しないプレス台の上に、媒体パターンのサイズあるいはそれよりもやや大きいサイズの複数の基板10を載置する。この時に、それぞれの基板10は、スタンパ20に設けられた媒体パターン22の位置と対応させて配置する。そして、これらの上にスタンパ20を配置し、プレス部32、34、36によりプレスする。このようにしても、一度のプレスにより複数の媒体パターンのインプリントを実行でき、また、図4に関して前述したように、均一なインプリントが可能である。
図12は、スタンパを分割したインプリントプロセスを表す模式図である。
すなわち、同図(a)乃至(c)に表したように、インプリント領域に対応したサイズのスタンパ20A〜20Cをそれぞれ形成し、これらスタンパと合致したサイズのプレス部32、34、36によりそれぞれインプリントを実施してもよい。
すなわち、まず、図13(a)に表したように、ファーザー(father)スタンパの原盤200を形成する。後に実施例として詳述するように、ファーザースタンパの原盤200としては、シリコン基板上に電子線描画用レジスト膜を形成したものを用いることができる。そして、このレジスト膜に、電子線300によって所定のパターン250を形成する。このパターン250は基板インプリントする凹凸パターンに対応するパターンである。
まず、図10(a)に表したように、媒体サイズよりも大きなサイズの結晶シリコン基板510の上にインプリント用レジスト膜520を約100nmの膜厚でスピンコート塗布した。
次に、図15(b)に表したように、得られたレジスト基板上に於いて図2の媒体パターン22A〜22Cに対応する位置に、ナノインプリント法によりファーザースタンパ400を押しつけてその表面の凹凸形状を複数箇所転写した。
最後に、図15(d)に表したように、マザースタンパの原盤500の表面にニッケル電鋳処理を行い、厚さ0.3mmのマザースタンパ20を得た。この時、マザースタンパ20の凹凸深度はおよそ100ナノメータであった。つまり、図14(c)に関して前述した原盤200の凹凸深度をほぼそのまま維持することができた。
まず、図16(a)に表したように、マザースタンパ20とほぼ同じサイズの基板600を準備する。基板600の材料は、磁気記録媒体の基板材料であり、結晶シリコン、ガラス、アルミなどの各種の材料を用いることができる。本実施例では、ガラス基板を用いた。ガラス基板600を洗浄後、その表面に磁気記録媒体に必要とされる磁性層610を積層した。磁性層610は、長手記録用の磁性材料でもよいし、下層に軟磁性層を備えた垂直記録用の磁性材料でもよい。さらにこの磁性層610の上に、インプリント用レジスト膜620をスピンコートにより約100ナノメータの厚みに塗布した。
続いて、図16(c)に表したように、レジスト付き磁性基板10とマザースタンパ20とを対面させた状態で、インプリント用プレス機内に配置し、図1及び図2に表したインプリント領域20A、20B、20C毎にプレスを行い、マザースタンパ20の表面の媒体パターン22A、22B、22Cの凹凸構造をインプリント用レジスト膜620に転写した。
すなわち、同図(a)〜(c)に表したように、スタンパサイズが、各インプリント領域20A〜20Cと等しいサイズで、媒体パターン22A〜22Cが各インプリント領域に形成された、各インプリント領域用のマザースタンパ20A〜20Cを第2実施例と同様の手法により形成した。
この状態からまず、図19(b)に表したように、アルゴン(Ar)ガスを用いたイオンミリングによるエッチング処理を行い、レジスト膜620の凹凸パターンを基板表面の磁性層610に転写した。その結果、磁性トラック間の磁性材料610が削られ、各トラックが、隣接する他のトラックから孤立したディスクリートトラック媒体の構造が得られた。この状態では、得られたディスクリートトラック媒体は、トラック間に何もなく、表面の凹凸はおよそ100ナノメータであった。
すなわち、本実施例においては、図11に関して前述した如く予め1枚のディスクサイズにカットされている、複数のレジスト付き磁性基板10を、本発明のマザースタンパ20の媒体パターン22と合致する位置に置いた。その後、図11(a)〜(c)に表したように各インプリント領域毎にインプリントプロセスを実施することにより、マザースタンパ20A〜20Cの全ての媒体パターンがレジスト付き磁性基板10の表面に転写された。このようにして、図20(a)に表したように、インプリント済みの複数の基板10が形成された。
図21は、本実施例の磁気記録媒体の完成までのプロセスの一部を表す工程断面図である。
続いて、図21(c)に表したように、アルゴンイオンミリング処理を行い、レジスト膜620の凹凸パターンを磁性層610に転写した。
続いて、図21(d)に表したように、スピンオングラス650を基板全面にスピンコート塗布し、トラック間の空隙を埋めた。この結果、媒体表面は平坦化され、複数のディスクリートトラック媒体700を得た。
続いて、図22(c)に表したように、この基板から一枚ずつディスクリートトラック媒体をパンチングにより打ち抜いた。
続いて、図22(d)に表したように、スピンオングラス650を基板全面にスピンコート塗布し、トラック間の空隙を埋めた。この結果、媒体表面は平坦化され、複数のディスクリートトラック媒体700を得た。
10A〜10C インプリント領域
12A〜12C 媒体パターン
20 スタンパ(マザースタンパ)
20A〜20C インプリント領域
22A〜22C 媒体パターン
32〜38 プレス部
200 ファーザースタンパの原盤
220 シリコン基板
230 レジスト膜
250 パターン
300 電子線
400 ファーザースタンパ
500 マザースタンパの原盤
510 シリコン基板
520 レジスト膜
540 凹凸ディスクパターン
600 基板
610 磁性層
620 レジスト膜
650 スピンオングラス
700 磁気記録媒体
Claims (8)
- 磁気記録媒体に対応する凹凸パターンを基板の表面に転写するインプリント工程を含む磁気記録媒体の製造方法であって、
第1のインプリント領域に属する凹凸パターンを基板に転写する工程と、
前記第1のインプリント領域を取り囲む第2のインプリント領域に属し、ほぼ同心円状に配置された複数の凹凸パターンを基板に転写する工程と、
を備えたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 磁気記録媒体に対応する凹凸パターンを複数備えるスタンパについて、少なくともいずれかが複数の前記凹凸パターンを含み、互いに径が異なる略同心円状の複数のインプリント領域に区分けし、前記複数のインプリント領域のそれぞれに対応する複数のプレス部により、前記インプリント領域毎に前記スタンパを基板に対して順次プレスすることによって、前記基板の表面に前記複数の凹凸パターンを転写することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
- 前記基板に転写された前記凹凸パターンに基づき、前記基板上に形成された磁性層をパターニングする工程をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記基板に転写された前記凹凸パターンに基づき、前記基板上に形成された非磁性層をパターニングし、前記パターニングされて前記非磁性層に形成された開口に磁性材料を埋め込む工程をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 磁気記録媒体に対応する凹凸パターンを基板の表面に転写するインプリント装置であって、
第1のインプリント領域に属する前記凹凸パターンを基板に転写する第1のプレス部と、
前記第1のインプリント領域を取り囲む第2のインプリント領域に属し、略同心円状に並んだ複数の前記凹凸パターンを基板に転写する第2のプレス部と、
を備えたことを特徴とするインプリント装置。 - 磁気記録媒体に対応する凹凸パターンを基板の表面に転写するインプリント装置であって、
第1のプレス部と、
前記第1のプレス部を取り囲み、前記第1のプレス部と略同心円状に設けられた第2のプレス部と、
を備えたことを特徴とするインプリント装置。 - それぞれが磁気記録媒体に対応する複数の凹凸パターンが、略同心円状に設けられたことを特徴とするインプリントスタンパ。
- ひとつの磁気記録媒体に対応する凹凸パターンが設けられたファーザースタンパを形成する工程と、
前記ファーザースタンパを略同心円状に複数回インプリントし、複数の前記凹凸パターンが設けられたマザースタンパを形成する工程と、
を備えたことを特徴とするインプリントスタンパの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003346898A JP4020850B2 (ja) | 2003-10-06 | 2003-10-06 | 磁気記録媒体の製造方法、製造装置、インプリントスタンパ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003346898A JP4020850B2 (ja) | 2003-10-06 | 2003-10-06 | 磁気記録媒体の製造方法、製造装置、インプリントスタンパ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005116022A true JP2005116022A (ja) | 2005-04-28 |
JP4020850B2 JP4020850B2 (ja) | 2007-12-12 |
Family
ID=34539669
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003346898A Expired - Fee Related JP4020850B2 (ja) | 2003-10-06 | 2003-10-06 | 磁気記録媒体の製造方法、製造装置、インプリントスタンパ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4020850B2 (ja) |
Cited By (64)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007227890A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-09-06 | Asml Netherlands Bv | インプリントリソグラフィ |
JP2008055908A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Samsung Electro Mech Co Ltd | スタンパーの製造方法 |
US7636475B2 (en) | 2004-12-23 | 2009-12-22 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
US7686970B2 (en) | 2004-12-30 | 2010-03-30 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
JP2012059329A (ja) * | 2010-09-10 | 2012-03-22 | Toshiba Corp | 磁気記録装置 |
US8231987B2 (en) | 2007-01-02 | 2012-07-31 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic domain data storage devices and methods of manufacturing the same |
US8339829B2 (en) | 2006-12-22 | 2012-12-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Information storage devices using movement of magnetic domain walls and methods of manufacturing the same |
JP2013522681A (ja) * | 2010-03-17 | 2013-06-13 | ペリカン イメージング コーポレーション | 結像レンズアレイのマスタを作製する方法 |
US8999218B2 (en) | 2005-06-06 | 2015-04-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing member having pattern, pattern transfer apparatus, and mold |
US9041829B2 (en) | 2008-05-20 | 2015-05-26 | Pelican Imaging Corporation | Capturing and processing of high dynamic range images using camera arrays |
US9100586B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-08-04 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for photometric normalization in array cameras |
US9100635B2 (en) | 2012-06-28 | 2015-08-04 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for detecting defective camera arrays and optic arrays |
US9124815B2 (en) | 2008-05-20 | 2015-09-01 | Pelican Imaging Corporation | Capturing and processing of images including occlusions captured by arrays of luma and chroma cameras |
US9128228B2 (en) | 2011-06-28 | 2015-09-08 | Pelican Imaging Corporation | Optical arrangements for use with an array camera |
US9185276B2 (en) | 2013-11-07 | 2015-11-10 | Pelican Imaging Corporation | Methods of manufacturing array camera modules incorporating independently aligned lens stacks |
US9210392B2 (en) | 2012-05-01 | 2015-12-08 | Pelican Imaging Coporation | Camera modules patterned with pi filter groups |
US9214013B2 (en) | 2012-09-14 | 2015-12-15 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for correcting user identified artifacts in light field images |
US9235900B2 (en) | 2012-08-21 | 2016-01-12 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for estimating depth and visibility from a reference viewpoint for pixels in a set of images captured from different viewpoints |
US9253380B2 (en) | 2013-02-24 | 2016-02-02 | Pelican Imaging Corporation | Thin form factor computational array cameras and modular array cameras |
US9264610B2 (en) | 2009-11-20 | 2016-02-16 | Pelican Imaging Corporation | Capturing and processing of images including occlusions captured by heterogeneous camera arrays |
US9412206B2 (en) | 2012-02-21 | 2016-08-09 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for the manipulation of captured light field image data |
US9426361B2 (en) | 2013-11-26 | 2016-08-23 | Pelican Imaging Corporation | Array camera configurations incorporating multiple constituent array cameras |
US9438888B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-06 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for stereo imaging with camera arrays |
US9497370B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-11-15 | Pelican Imaging Corporation | Array camera architecture implementing quantum dot color filters |
US9497429B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-11-15 | Pelican Imaging Corporation | Extended color processing on pelican array cameras |
US9516222B2 (en) | 2011-06-28 | 2016-12-06 | Kip Peli P1 Lp | Array cameras incorporating monolithic array camera modules with high MTF lens stacks for capture of images used in super-resolution processing |
US9521319B2 (en) | 2014-06-18 | 2016-12-13 | Pelican Imaging Corporation | Array cameras and array camera modules including spectral filters disposed outside of a constituent image sensor |
US9536166B2 (en) | 2011-09-28 | 2017-01-03 | Kip Peli P1 Lp | Systems and methods for decoding image files containing depth maps stored as metadata |
US9578259B2 (en) | 2013-03-14 | 2017-02-21 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for reducing motion blur in images or video in ultra low light with array cameras |
US9633442B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-04-25 | Fotonation Cayman Limited | Array cameras including an array camera module augmented with a separate camera |
US9733486B2 (en) | 2013-03-13 | 2017-08-15 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for controlling aliasing in images captured by an array camera for use in super-resolution processing |
US9741118B2 (en) | 2013-03-13 | 2017-08-22 | Fotonation Cayman Limited | System and methods for calibration of an array camera |
US9749568B2 (en) | 2012-11-13 | 2017-08-29 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for array camera focal plane control |
US9766380B2 (en) | 2012-06-30 | 2017-09-19 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for manufacturing camera modules using active alignment of lens stack arrays and sensors |
US9774789B2 (en) | 2013-03-08 | 2017-09-26 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for high dynamic range imaging using array cameras |
US9794476B2 (en) | 2011-09-19 | 2017-10-17 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for controlling aliasing in images captured by an array camera for use in super resolution processing using pixel apertures |
US9800856B2 (en) | 2013-03-13 | 2017-10-24 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for synthesizing images from image data captured by an array camera using restricted depth of field depth maps in which depth estimation precision varies |
US9813616B2 (en) | 2012-08-23 | 2017-11-07 | Fotonation Cayman Limited | Feature based high resolution motion estimation from low resolution images captured using an array source |
US9866739B2 (en) | 2011-05-11 | 2018-01-09 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for transmitting and receiving array camera image data |
US9888194B2 (en) | 2013-03-13 | 2018-02-06 | Fotonation Cayman Limited | Array camera architecture implementing quantum film image sensors |
US9898856B2 (en) | 2013-09-27 | 2018-02-20 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for depth-assisted perspective distortion correction |
US9936148B2 (en) | 2010-05-12 | 2018-04-03 | Fotonation Cayman Limited | Imager array interfaces |
US9942474B2 (en) | 2015-04-17 | 2018-04-10 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for performing high speed video capture and depth estimation using array cameras |
US9955070B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-04-24 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for synthesizing high resolution images using image deconvolution based on motion and depth information |
US9986224B2 (en) | 2013-03-10 | 2018-05-29 | Fotonation Cayman Limited | System and methods for calibration of an array camera |
US10009538B2 (en) | 2013-02-21 | 2018-06-26 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for generating compressed light field representation data using captured light fields, array geometry, and parallax information |
US10089740B2 (en) | 2014-03-07 | 2018-10-02 | Fotonation Limited | System and methods for depth regularization and semiautomatic interactive matting using RGB-D images |
US10122993B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-11-06 | Fotonation Limited | Autofocus system for a conventional camera that uses depth information from an array camera |
US10119808B2 (en) | 2013-11-18 | 2018-11-06 | Fotonation Limited | Systems and methods for estimating depth from projected texture using camera arrays |
US10250871B2 (en) | 2014-09-29 | 2019-04-02 | Fotonation Limited | Systems and methods for dynamic calibration of array cameras |
US10366472B2 (en) | 2010-12-14 | 2019-07-30 | Fotonation Limited | Systems and methods for synthesizing high resolution images using images captured by an array of independently controllable imagers |
US10390005B2 (en) | 2012-09-28 | 2019-08-20 | Fotonation Limited | Generating images from light fields utilizing virtual viewpoints |
US10482618B2 (en) | 2017-08-21 | 2019-11-19 | Fotonation Limited | Systems and methods for hybrid depth regularization |
US11270110B2 (en) | 2019-09-17 | 2022-03-08 | Boston Polarimetrics, Inc. | Systems and methods for surface modeling using polarization cues |
US11290658B1 (en) | 2021-04-15 | 2022-03-29 | Boston Polarimetrics, Inc. | Systems and methods for camera exposure control |
US11302012B2 (en) | 2019-11-30 | 2022-04-12 | Boston Polarimetrics, Inc. | Systems and methods for transparent object segmentation using polarization cues |
US11525906B2 (en) | 2019-10-07 | 2022-12-13 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for augmentation of sensor systems and imaging systems with polarization |
US11580667B2 (en) | 2020-01-29 | 2023-02-14 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for characterizing object pose detection and measurement systems |
US11689813B2 (en) | 2021-07-01 | 2023-06-27 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for high dynamic range imaging using crossed polarizers |
US11792538B2 (en) | 2008-05-20 | 2023-10-17 | Adeia Imaging Llc | Capturing and processing of images including occlusions focused on an image sensor by a lens stack array |
US11797863B2 (en) | 2020-01-30 | 2023-10-24 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for synthesizing data for training statistical models on different imaging modalities including polarized images |
US11954886B2 (en) | 2021-04-15 | 2024-04-09 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for six-degree of freedom pose estimation of deformable objects |
US11953700B2 (en) | 2020-05-27 | 2024-04-09 | Intrinsic Innovation Llc | Multi-aperture polarization optical systems using beam splitters |
US12022207B2 (en) | 2023-10-13 | 2024-06-25 | Adeia Imaging Llc | Capturing and processing of images including occlusions focused on an image sensor by a lens stack array |
-
2003
- 2003-10-06 JP JP2003346898A patent/JP4020850B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (155)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012049569A (ja) * | 2004-12-23 | 2012-03-08 | Asml Netherlands Bv | インプリント・リソグラフィ |
US7636475B2 (en) | 2004-12-23 | 2009-12-22 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
US7676088B2 (en) | 2004-12-23 | 2010-03-09 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
JP2015128190A (ja) * | 2004-12-23 | 2015-07-09 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | インプリント・リソグラフィ |
US8571318B2 (en) | 2004-12-23 | 2013-10-29 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
JP2012227555A (ja) * | 2004-12-23 | 2012-11-15 | Asml Netherlands Bv | インプリント・リソグラフィ |
US8131078B2 (en) | 2004-12-23 | 2012-03-06 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
US9341944B2 (en) | 2004-12-30 | 2016-05-17 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
US7686970B2 (en) | 2004-12-30 | 2010-03-30 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
US8999218B2 (en) | 2005-06-06 | 2015-04-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing member having pattern, pattern transfer apparatus, and mold |
JP2010114473A (ja) * | 2005-12-21 | 2010-05-20 | Asml Netherlands Bv | インプリントリソグラフィ |
US9610727B2 (en) | 2005-12-21 | 2017-04-04 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
US8100684B2 (en) | 2005-12-21 | 2012-01-24 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
JP2007227890A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-09-06 | Asml Netherlands Bv | インプリントリソグラフィ |
JP4694643B2 (ja) * | 2005-12-21 | 2011-06-08 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | インプリントリソグラフィ |
US8753557B2 (en) | 2005-12-21 | 2014-06-17 | Asml Netherlands B.V. | Imprint lithography |
JP4694463B2 (ja) * | 2005-12-21 | 2011-06-08 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | インプリントリソグラフィ |
JP2008055908A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Samsung Electro Mech Co Ltd | スタンパーの製造方法 |
US8339829B2 (en) | 2006-12-22 | 2012-12-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Information storage devices using movement of magnetic domain walls and methods of manufacturing the same |
US8411481B2 (en) | 2006-12-22 | 2013-04-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Information storage devices using magnetic domain wall movement and methods of manufacturing the same |
US8231987B2 (en) | 2007-01-02 | 2012-07-31 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Magnetic domain data storage devices and methods of manufacturing the same |
US11792538B2 (en) | 2008-05-20 | 2023-10-17 | Adeia Imaging Llc | Capturing and processing of images including occlusions focused on an image sensor by a lens stack array |
US9055213B2 (en) | 2008-05-20 | 2015-06-09 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for measuring depth using images captured by monolithic camera arrays including at least one bayer camera |
US9060121B2 (en) | 2008-05-20 | 2015-06-16 | Pelican Imaging Corporation | Capturing and processing of images captured by camera arrays including cameras dedicated to sampling luma and cameras dedicated to sampling chroma |
US9077893B2 (en) | 2008-05-20 | 2015-07-07 | Pelican Imaging Corporation | Capturing and processing of images captured by non-grid camera arrays |
US9049390B2 (en) | 2008-05-20 | 2015-06-02 | Pelican Imaging Corporation | Capturing and processing of images captured by arrays including polychromatic cameras |
US9749547B2 (en) | 2008-05-20 | 2017-08-29 | Fotonation Cayman Limited | Capturing and processing of images using camera array incorperating Bayer cameras having different fields of view |
US9712759B2 (en) | 2008-05-20 | 2017-07-18 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for generating depth maps using a camera arrays incorporating monochrome and color cameras |
US9124815B2 (en) | 2008-05-20 | 2015-09-01 | Pelican Imaging Corporation | Capturing and processing of images including occlusions captured by arrays of luma and chroma cameras |
US9576369B2 (en) | 2008-05-20 | 2017-02-21 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for generating depth maps using images captured by camera arrays incorporating cameras having different fields of view |
US10142560B2 (en) | 2008-05-20 | 2018-11-27 | Fotonation Limited | Capturing and processing of images including occlusions focused on an image sensor by a lens stack array |
US9188765B2 (en) | 2008-05-20 | 2015-11-17 | Pelican Imaging Corporation | Capturing and processing of images including occlusions focused on an image sensor by a lens stack array |
US9191580B2 (en) | 2008-05-20 | 2015-11-17 | Pelican Imaging Corporation | Capturing and processing of images including occlusions captured by camera arrays |
US11412158B2 (en) | 2008-05-20 | 2022-08-09 | Fotonation Limited | Capturing and processing of images including occlusions focused on an image sensor by a lens stack array |
US9041829B2 (en) | 2008-05-20 | 2015-05-26 | Pelican Imaging Corporation | Capturing and processing of high dynamic range images using camera arrays |
US9235898B2 (en) | 2008-05-20 | 2016-01-12 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for generating depth maps using light focused on an image sensor by a lens element array |
US10027901B2 (en) | 2008-05-20 | 2018-07-17 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for generating depth maps using a camera arrays incorporating monochrome and color cameras |
US9485496B2 (en) | 2008-05-20 | 2016-11-01 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for measuring depth using images captured by a camera array including cameras surrounding a central camera |
US9264610B2 (en) | 2009-11-20 | 2016-02-16 | Pelican Imaging Corporation | Capturing and processing of images including occlusions captured by heterogeneous camera arrays |
US10306120B2 (en) | 2009-11-20 | 2019-05-28 | Fotonation Limited | Capturing and processing of images captured by camera arrays incorporating cameras with telephoto and conventional lenses to generate depth maps |
JP2013522681A (ja) * | 2010-03-17 | 2013-06-13 | ペリカン イメージング コーポレーション | 結像レンズアレイのマスタを作製する方法 |
US9936148B2 (en) | 2010-05-12 | 2018-04-03 | Fotonation Cayman Limited | Imager array interfaces |
US10455168B2 (en) | 2010-05-12 | 2019-10-22 | Fotonation Limited | Imager array interfaces |
JP2012059329A (ja) * | 2010-09-10 | 2012-03-22 | Toshiba Corp | 磁気記録装置 |
US11423513B2 (en) | 2010-12-14 | 2022-08-23 | Fotonation Limited | Systems and methods for synthesizing high resolution images using images captured by an array of independently controllable imagers |
US10366472B2 (en) | 2010-12-14 | 2019-07-30 | Fotonation Limited | Systems and methods for synthesizing high resolution images using images captured by an array of independently controllable imagers |
US11875475B2 (en) | 2010-12-14 | 2024-01-16 | Adeia Imaging Llc | Systems and methods for synthesizing high resolution images using images captured by an array of independently controllable imagers |
US10742861B2 (en) | 2011-05-11 | 2020-08-11 | Fotonation Limited | Systems and methods for transmitting and receiving array camera image data |
US10218889B2 (en) | 2011-05-11 | 2019-02-26 | Fotonation Limited | Systems and methods for transmitting and receiving array camera image data |
US9866739B2 (en) | 2011-05-11 | 2018-01-09 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for transmitting and receiving array camera image data |
US9516222B2 (en) | 2011-06-28 | 2016-12-06 | Kip Peli P1 Lp | Array cameras incorporating monolithic array camera modules with high MTF lens stacks for capture of images used in super-resolution processing |
US9128228B2 (en) | 2011-06-28 | 2015-09-08 | Pelican Imaging Corporation | Optical arrangements for use with an array camera |
US9578237B2 (en) | 2011-06-28 | 2017-02-21 | Fotonation Cayman Limited | Array cameras incorporating optics with modulation transfer functions greater than sensor Nyquist frequency for capture of images used in super-resolution processing |
US10375302B2 (en) | 2011-09-19 | 2019-08-06 | Fotonation Limited | Systems and methods for controlling aliasing in images captured by an array camera for use in super resolution processing using pixel apertures |
US9794476B2 (en) | 2011-09-19 | 2017-10-17 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for controlling aliasing in images captured by an array camera for use in super resolution processing using pixel apertures |
US9864921B2 (en) | 2011-09-28 | 2018-01-09 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for encoding image files containing depth maps stored as metadata |
US20180197035A1 (en) | 2011-09-28 | 2018-07-12 | Fotonation Cayman Limited | Systems and Methods for Encoding Image Files Containing Depth Maps Stored as Metadata |
US11729365B2 (en) | 2011-09-28 | 2023-08-15 | Adela Imaging LLC | Systems and methods for encoding image files containing depth maps stored as metadata |
US9536166B2 (en) | 2011-09-28 | 2017-01-03 | Kip Peli P1 Lp | Systems and methods for decoding image files containing depth maps stored as metadata |
US10019816B2 (en) | 2011-09-28 | 2018-07-10 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for decoding image files containing depth maps stored as metadata |
US9811753B2 (en) | 2011-09-28 | 2017-11-07 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for encoding light field image files |
US10984276B2 (en) | 2011-09-28 | 2021-04-20 | Fotonation Limited | Systems and methods for encoding image files containing depth maps stored as metadata |
US10430682B2 (en) | 2011-09-28 | 2019-10-01 | Fotonation Limited | Systems and methods for decoding image files containing depth maps stored as metadata |
US10275676B2 (en) | 2011-09-28 | 2019-04-30 | Fotonation Limited | Systems and methods for encoding image files containing depth maps stored as metadata |
US9754422B2 (en) | 2012-02-21 | 2017-09-05 | Fotonation Cayman Limited | Systems and method for performing depth based image editing |
US10311649B2 (en) | 2012-02-21 | 2019-06-04 | Fotonation Limited | Systems and method for performing depth based image editing |
US9412206B2 (en) | 2012-02-21 | 2016-08-09 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for the manipulation of captured light field image data |
US9706132B2 (en) | 2012-05-01 | 2017-07-11 | Fotonation Cayman Limited | Camera modules patterned with pi filter groups |
US9210392B2 (en) | 2012-05-01 | 2015-12-08 | Pelican Imaging Coporation | Camera modules patterned with pi filter groups |
US9807382B2 (en) | 2012-06-28 | 2017-10-31 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for detecting defective camera arrays and optic arrays |
US10334241B2 (en) | 2012-06-28 | 2019-06-25 | Fotonation Limited | Systems and methods for detecting defective camera arrays and optic arrays |
US9100635B2 (en) | 2012-06-28 | 2015-08-04 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for detecting defective camera arrays and optic arrays |
US9766380B2 (en) | 2012-06-30 | 2017-09-19 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for manufacturing camera modules using active alignment of lens stack arrays and sensors |
US11022725B2 (en) | 2012-06-30 | 2021-06-01 | Fotonation Limited | Systems and methods for manufacturing camera modules using active alignment of lens stack arrays and sensors |
US10261219B2 (en) | 2012-06-30 | 2019-04-16 | Fotonation Limited | Systems and methods for manufacturing camera modules using active alignment of lens stack arrays and sensors |
US12002233B2 (en) | 2012-08-21 | 2024-06-04 | Adeia Imaging Llc | Systems and methods for estimating depth and visibility from a reference viewpoint for pixels in a set of images captured from different viewpoints |
US9235900B2 (en) | 2012-08-21 | 2016-01-12 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for estimating depth and visibility from a reference viewpoint for pixels in a set of images captured from different viewpoints |
US9858673B2 (en) | 2012-08-21 | 2018-01-02 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for estimating depth and visibility from a reference viewpoint for pixels in a set of images captured from different viewpoints |
US10380752B2 (en) | 2012-08-21 | 2019-08-13 | Fotonation Limited | Systems and methods for estimating depth and visibility from a reference viewpoint for pixels in a set of images captured from different viewpoints |
US10462362B2 (en) | 2012-08-23 | 2019-10-29 | Fotonation Limited | Feature based high resolution motion estimation from low resolution images captured using an array source |
US9813616B2 (en) | 2012-08-23 | 2017-11-07 | Fotonation Cayman Limited | Feature based high resolution motion estimation from low resolution images captured using an array source |
US9214013B2 (en) | 2012-09-14 | 2015-12-15 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for correcting user identified artifacts in light field images |
US10390005B2 (en) | 2012-09-28 | 2019-08-20 | Fotonation Limited | Generating images from light fields utilizing virtual viewpoints |
US9749568B2 (en) | 2012-11-13 | 2017-08-29 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for array camera focal plane control |
US10009538B2 (en) | 2013-02-21 | 2018-06-26 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for generating compressed light field representation data using captured light fields, array geometry, and parallax information |
US9774831B2 (en) | 2013-02-24 | 2017-09-26 | Fotonation Cayman Limited | Thin form factor computational array cameras and modular array cameras |
US9743051B2 (en) | 2013-02-24 | 2017-08-22 | Fotonation Cayman Limited | Thin form factor computational array cameras and modular array cameras |
US9253380B2 (en) | 2013-02-24 | 2016-02-02 | Pelican Imaging Corporation | Thin form factor computational array cameras and modular array cameras |
US9374512B2 (en) | 2013-02-24 | 2016-06-21 | Pelican Imaging Corporation | Thin form factor computational array cameras and modular array cameras |
US9917998B2 (en) | 2013-03-08 | 2018-03-13 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for measuring scene information while capturing images using array cameras |
US9774789B2 (en) | 2013-03-08 | 2017-09-26 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for high dynamic range imaging using array cameras |
US10225543B2 (en) | 2013-03-10 | 2019-03-05 | Fotonation Limited | System and methods for calibration of an array camera |
US9986224B2 (en) | 2013-03-10 | 2018-05-29 | Fotonation Cayman Limited | System and methods for calibration of an array camera |
US11570423B2 (en) | 2013-03-10 | 2023-01-31 | Adeia Imaging Llc | System and methods for calibration of an array camera |
US11985293B2 (en) | 2013-03-10 | 2024-05-14 | Adeia Imaging Llc | System and methods for calibration of an array camera |
US11272161B2 (en) | 2013-03-10 | 2022-03-08 | Fotonation Limited | System and methods for calibration of an array camera |
US10958892B2 (en) | 2013-03-10 | 2021-03-23 | Fotonation Limited | System and methods for calibration of an array camera |
US9800856B2 (en) | 2013-03-13 | 2017-10-24 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for synthesizing images from image data captured by an array camera using restricted depth of field depth maps in which depth estimation precision varies |
US9733486B2 (en) | 2013-03-13 | 2017-08-15 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for controlling aliasing in images captured by an array camera for use in super-resolution processing |
US10127682B2 (en) | 2013-03-13 | 2018-11-13 | Fotonation Limited | System and methods for calibration of an array camera |
US9888194B2 (en) | 2013-03-13 | 2018-02-06 | Fotonation Cayman Limited | Array camera architecture implementing quantum film image sensors |
US9741118B2 (en) | 2013-03-13 | 2017-08-22 | Fotonation Cayman Limited | System and methods for calibration of an array camera |
US9100586B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-08-04 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for photometric normalization in array cameras |
US9787911B2 (en) | 2013-03-14 | 2017-10-10 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for photometric normalization in array cameras |
US9578259B2 (en) | 2013-03-14 | 2017-02-21 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for reducing motion blur in images or video in ultra low light with array cameras |
US10412314B2 (en) | 2013-03-14 | 2019-09-10 | Fotonation Limited | Systems and methods for photometric normalization in array cameras |
US10547772B2 (en) | 2013-03-14 | 2020-01-28 | Fotonation Limited | Systems and methods for reducing motion blur in images or video in ultra low light with array cameras |
US10091405B2 (en) | 2013-03-14 | 2018-10-02 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for reducing motion blur in images or video in ultra low light with array cameras |
US9497429B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-11-15 | Pelican Imaging Corporation | Extended color processing on pelican array cameras |
US10122993B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-11-06 | Fotonation Limited | Autofocus system for a conventional camera that uses depth information from an array camera |
US10455218B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-10-22 | Fotonation Limited | Systems and methods for estimating depth using stereo array cameras |
US9633442B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-04-25 | Fotonation Cayman Limited | Array cameras including an array camera module augmented with a separate camera |
US10182216B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-01-15 | Fotonation Limited | Extended color processing on pelican array cameras |
US9800859B2 (en) | 2013-03-15 | 2017-10-24 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for estimating depth using stereo array cameras |
US9497370B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-11-15 | Pelican Imaging Corporation | Array camera architecture implementing quantum dot color filters |
US10542208B2 (en) | 2013-03-15 | 2020-01-21 | Fotonation Limited | Systems and methods for synthesizing high resolution images using image deconvolution based on motion and depth information |
US9438888B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-06 | Pelican Imaging Corporation | Systems and methods for stereo imaging with camera arrays |
US9955070B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-04-24 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for synthesizing high resolution images using image deconvolution based on motion and depth information |
US10638099B2 (en) | 2013-03-15 | 2020-04-28 | Fotonation Limited | Extended color processing on pelican array cameras |
US10674138B2 (en) | 2013-03-15 | 2020-06-02 | Fotonation Limited | Autofocus system for a conventional camera that uses depth information from an array camera |
US9898856B2 (en) | 2013-09-27 | 2018-02-20 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for depth-assisted perspective distortion correction |
US10540806B2 (en) | 2013-09-27 | 2020-01-21 | Fotonation Limited | Systems and methods for depth-assisted perspective distortion correction |
US9924092B2 (en) | 2013-11-07 | 2018-03-20 | Fotonation Cayman Limited | Array cameras incorporating independently aligned lens stacks |
US9185276B2 (en) | 2013-11-07 | 2015-11-10 | Pelican Imaging Corporation | Methods of manufacturing array camera modules incorporating independently aligned lens stacks |
US10119808B2 (en) | 2013-11-18 | 2018-11-06 | Fotonation Limited | Systems and methods for estimating depth from projected texture using camera arrays |
US10767981B2 (en) | 2013-11-18 | 2020-09-08 | Fotonation Limited | Systems and methods for estimating depth from projected texture using camera arrays |
US11486698B2 (en) | 2013-11-18 | 2022-11-01 | Fotonation Limited | Systems and methods for estimating depth from projected texture using camera arrays |
US10708492B2 (en) | 2013-11-26 | 2020-07-07 | Fotonation Limited | Array camera configurations incorporating constituent array cameras and constituent cameras |
US9426361B2 (en) | 2013-11-26 | 2016-08-23 | Pelican Imaging Corporation | Array camera configurations incorporating multiple constituent array cameras |
US9813617B2 (en) | 2013-11-26 | 2017-11-07 | Fotonation Cayman Limited | Array camera configurations incorporating constituent array cameras and constituent cameras |
US10574905B2 (en) | 2014-03-07 | 2020-02-25 | Fotonation Limited | System and methods for depth regularization and semiautomatic interactive matting using RGB-D images |
US10089740B2 (en) | 2014-03-07 | 2018-10-02 | Fotonation Limited | System and methods for depth regularization and semiautomatic interactive matting using RGB-D images |
US9521319B2 (en) | 2014-06-18 | 2016-12-13 | Pelican Imaging Corporation | Array cameras and array camera modules including spectral filters disposed outside of a constituent image sensor |
US11546576B2 (en) | 2014-09-29 | 2023-01-03 | Adeia Imaging Llc | Systems and methods for dynamic calibration of array cameras |
US10250871B2 (en) | 2014-09-29 | 2019-04-02 | Fotonation Limited | Systems and methods for dynamic calibration of array cameras |
US9942474B2 (en) | 2015-04-17 | 2018-04-10 | Fotonation Cayman Limited | Systems and methods for performing high speed video capture and depth estimation using array cameras |
US11562498B2 (en) | 2017-08-21 | 2023-01-24 | Adela Imaging LLC | Systems and methods for hybrid depth regularization |
US11983893B2 (en) | 2017-08-21 | 2024-05-14 | Adeia Imaging Llc | Systems and methods for hybrid depth regularization |
US10818026B2 (en) | 2017-08-21 | 2020-10-27 | Fotonation Limited | Systems and methods for hybrid depth regularization |
US10482618B2 (en) | 2017-08-21 | 2019-11-19 | Fotonation Limited | Systems and methods for hybrid depth regularization |
US11270110B2 (en) | 2019-09-17 | 2022-03-08 | Boston Polarimetrics, Inc. | Systems and methods for surface modeling using polarization cues |
US11699273B2 (en) | 2019-09-17 | 2023-07-11 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for surface modeling using polarization cues |
US11525906B2 (en) | 2019-10-07 | 2022-12-13 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for augmentation of sensor systems and imaging systems with polarization |
US11982775B2 (en) | 2019-10-07 | 2024-05-14 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for augmentation of sensor systems and imaging systems with polarization |
US11842495B2 (en) | 2019-11-30 | 2023-12-12 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for transparent object segmentation using polarization cues |
US11302012B2 (en) | 2019-11-30 | 2022-04-12 | Boston Polarimetrics, Inc. | Systems and methods for transparent object segmentation using polarization cues |
US11580667B2 (en) | 2020-01-29 | 2023-02-14 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for characterizing object pose detection and measurement systems |
US11797863B2 (en) | 2020-01-30 | 2023-10-24 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for synthesizing data for training statistical models on different imaging modalities including polarized images |
US11953700B2 (en) | 2020-05-27 | 2024-04-09 | Intrinsic Innovation Llc | Multi-aperture polarization optical systems using beam splitters |
US12020455B2 (en) | 2021-03-10 | 2024-06-25 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for high dynamic range image reconstruction |
US11683594B2 (en) | 2021-04-15 | 2023-06-20 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for camera exposure control |
US11954886B2 (en) | 2021-04-15 | 2024-04-09 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for six-degree of freedom pose estimation of deformable objects |
US11290658B1 (en) | 2021-04-15 | 2022-03-29 | Boston Polarimetrics, Inc. | Systems and methods for camera exposure control |
US11689813B2 (en) | 2021-07-01 | 2023-06-27 | Intrinsic Innovation Llc | Systems and methods for high dynamic range imaging using crossed polarizers |
US12022207B2 (en) | 2023-10-13 | 2024-06-25 | Adeia Imaging Llc | Capturing and processing of images including occlusions focused on an image sensor by a lens stack array |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4020850B2 (ja) | 2007-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4020850B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法、製造装置、インプリントスタンパ及びその製造方法 | |
JP4478164B2 (ja) | 微細構造転写装置、スタンパおよび微細構造の製造方法 | |
CN101609692B (zh) | 磁记录盘、用于纳米压印其的母模和制造母模的方法 | |
JP4718946B2 (ja) | 板状構造体の製造装置 | |
US7850441B2 (en) | Mold structure | |
JP2008162101A (ja) | モールド構造体の製造方法 | |
JP4482047B2 (ja) | インプリント方法 | |
JP2009006619A (ja) | ナノインプリント用モールドおよび記録媒体 | |
CN100433135C (zh) | 磁记录介质,磁记录介质的基底和磁记录装置 | |
CN1873786A (zh) | 磁记录介质及其制造方法、磁记录再现装置、压模及其制造方法 | |
JP4304139B2 (ja) | インプリント装置 | |
JP4093574B2 (ja) | インプリントスタンパの製造方法、および磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2012119051A (ja) | パターン化磁気記録ディスクの製作方法 | |
JP5033003B2 (ja) | モールド構造体及びそれを用いたインプリント方法、並びに磁気記録媒体及びその製造方法 | |
US20100289183A1 (en) | Manufacturing method and manufacturing apparatus for patterned media | |
JP5053140B2 (ja) | インプリント用モールド構造体、及び該インプリント用モールド構造体を用いたインプリント方法、並びに、磁気記録媒体、及びその製造方法 | |
CN1371092A (zh) | 磁复制用源载体 | |
US20130082029A1 (en) | Stamper, imprint device, product processed by imprint device, device for manufacturing product processed by imprint device, and method for manufacturing product processed by imprint device | |
JP2005099605A (ja) | マスク形成方法、マスク形成用機能層、ドライエッチング方法および情報記録媒体製造方法 | |
JP2005071467A (ja) | 磁気記録媒体とその製造方法 | |
JP2010080010A (ja) | 情報記録媒体基板の製造方法 | |
JP2009072980A (ja) | 微細構造作製方法 | |
JP2010077476A (ja) | スタンパの製造方法 | |
JP2005122853A (ja) | ナノインプリント方法 | |
JP2010055672A (ja) | インプリント用モールド構造体、並びに磁気記録媒体及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20070921 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070925 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101005 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101005 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111005 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111005 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121005 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131005 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |