JP2013522681A - 結像レンズアレイのマスタを作製する方法 - Google Patents

Abstract

【課題】レンズアレイの複製製造用のマスタレンズアレイを作製する工程および方法を提供する。
【解決手段】本明細書において開示する作製方法によれば、マスタレンズアレイの品質を効率的かつ低コストで最大化できるため、マスタレンズを用いて形成したウエハ規模のレンズアレイにおける誤差伝播を低減することができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、リソグラフィー手段では作製不可能な、大規模な結像レンズアレイのマスタを作製する方法に関するものである。

ロバート・フック（Robert Hooke）とアントニ・ファン・レーウェンフック（Antonie van Leeuwenhoek）の両者が顕微鏡用の小さなガラスレンズの製作技術開発した１７世紀以降、微小レンズ製造技術は極めて大きな進歩を遂げた。当時の技術では、フックは細いガラスフィラメントを慎重に溶融し、溶融ガラスの表面張力によって、レンズに必須の平滑な球状表面を形成した（開示により本明細書に援用する、Hooke R.: Preface to Micrographia, The Royal Society of London (1665)参照）。

技術進歩により、精密公差のマイクロレンズを種々の方法で設計および作製できるようになった。回折レンズの光学的効率はその溝形状によって決まるが、連続した段差部すなわち階段形状によってその理想形状を近似することができるのであれば、集積回路産業用に開発された技術を用いて各形状を作製することも可能である。この分野はバイナリー・オプティクスとして知られている。（例えば、開示により本明細書に援用する、Veldkamp W. B. and McHugh T. J.: Scientific American, Vol. 266 No. 5 pp 50-55, (May 1992)参照。）多くの場合、大規模なレンズアレイにおいては、これらのレンズを多数複製したものを用いることが要求される。また、これらのレンズアレイは、１つのマスタレンズアレイからモールド加工またはエンボス加工により形成することができる。非常に多数のレンズを正確に等間隔で配置したアレイを作製することができるようになったことにより、その用途はさらに広がった。（例えば、N.F.Borrelli: Microoptics technology: fabrication and applications of lens arrays and devices (Marcel Dekker, New York, 1999)参照。）

実際に、最近のイメージングチップにおけるマイクロレンズのサイズはますます小さくなっている。キヤノン製のEOS-1Ds Mark IIIは、そのＣＭＯＳイメージングチップ上に２１１０万枚ものマイクロレンズを搭載しており、各マイクロレンズはそれぞれ１つの受光素子（photosite）に対応し、その直径はわずか６．４マイクロメートルである。ソニー製DSLR 24.6MPイメージセンサは、それよりもさらに小さいマイクロレンズを搭載することが公表されている。しかしながら、これらのマイクロレンズは高フィルファクターのレンズ（fill factor enhancing lenses）であり、非常に小さい（例えば、幅数ミクロン）ものの標準的なリソグラフ手段により作製できる。マイクロレンズよりも数桁大きい結像レンズ（例えば、携帯電話カメラの対物レンズ等）を作製する際には、同様の技術を用いることはできない。なぜなら、これらのレンズのレンズサグ量は、例えば約数百ミクロンと非常に大きいからである。したがって、これらのレンズ形成に現在利用可能な唯一の技術はダイヤモンドターニング加工である。現在、これらの結像レンズの大規模アレイは、全ウエハを一括してダイヤモンドターニングするか、または、いわゆるステップアンドリピート技術により同一のレンズをウエハ全体にわたって複製することにより、作製している。

必要とされる個々のレンズ素子の数が増えるにつれ、これらの標準的な技術を用いた場合に適切な品質管理を確実に行うことが難しくなってきた。具体的には、マスタレンズのテンプレートを製造する際に、ダイヤモンドターニング等の最先端技術をもってしても、各レンズ形状にばらつきが生じ、従って、同一のレンズを作製することを意図したにもかかわらず、各レンズの光学特性が本質的に異なるものとなってしまう。このように、レンズ形状が理想とするレンズプロファイルから逸脱した結果、波面誤差が生じ、最終的には画像の解像度が低下する。さらに、上記の製造方法によりレンズ素子のウエハ全体を加工した場合、ピッチ制御（例えば、ｘｙ面内における各レンズの相対的な配置）を担保することが困難である。その結果、理想に近いマスタレンズアレイ、すなわち、（形状誤差のない）適切な形状のレンズを有し、各レンズをその他のレンズに対して適切に位置決め配置した（良好なピッチ精度を有する）マスタレンズアレイを製造することは非常に困難である。
さらに、上記の標準的な技術はそれぞれ、同一レンズの大規模アレイを製造（produce）することを目的とするものであるが、最新鋭のコンピュータ制御のアレイカメラにおいては、不規則形状のレンズアレイ（すなわち、１つのアレイ内の各レンズの表面形状が異なるもの）が不可欠であり、それによって、例えば、それぞれ異なる狭いスペクトル波長帯に感度を有する種々のチャネルにおける色収差を補正している。現在の製造技術においては、複製元とする（unique）レンズ素子を個別にダイヤモンドターニング加工するほかなく、この場合も、非理想的なマスタアレイ、すなわち、形状誤差またはピッチ誤差を少なからず有するマスタアレイが形成されてしまう可能性がある。

したがって、規則形状はもとより、主に不規則形状の高精度大規模レンズアレイを効率的かつ正確に得ることのできる作製方法が必要とされている。ここで、レンズアレイにおける各結像レンズは、レンズサグ量が大きいために、一番の「原型」または「第一次」のマスタ構造は、理想的なレンズに加工する場合であっても、ダイヤモンドターニング加工でしか形成できないものである。

本発明は、複数の独立したレンズを備えたマスタレンズアレイを作製する方法を提供するものである。

一実施形態によれば、本方法は、個別の複数のレンズ素子からなるレンズのサブアレイを作製する作製ステップにおいて、サブアレイ上の個別のレンズ素子の数は、ウエハ規模のレンズアレイに含まれる個々のレンズ素子の数のサブセットであることを特徴とする、作製ステップと、続いて、マスタとなるウエハ規模のレンズアレイが形成されるまで、サブアレイを基板上に何度も複製する、複製ステップと、を含むことを特徴とする方法である。

別の実施形態によれば、本方法は、サブアレイの各レンズの形状誤差およびピッチ誤差について品質検査を行う品質検査ステップと、実質的に形状誤差およびピッチ誤差のない最終サブアレイが形成されるまで繰り返される作製ステップをさらに含むことを特徴とする方法である。

さらに別の実施形態において、サブアレイは表面形状の異なる複数のレンズ素子からなる。

またさらに別の実施形態によれば、本方法は、それぞれ異なるレンズプロファイルを有する複数のマスタレンズピンを作製する作製ステップと、続いて、マスタとなるウエハ規模のレンズアレイが形成されるまで、マスタレンズピンをレンズ素子として基板上に何度も複製する、複製ステップとを含むことを特徴とする方法である。このような実施形態においては、各マスタレンズピンの形状誤差について品質検査を行うことができ、形状誤差が許容範囲内のマスタレンズピンのセットが形成されるまで前記作製ステップを繰り返す。

またさらに別の実施形態において、本方法は、レンズ形状の異なる複数のマスタレンズピンを作製および複製してレンズのサブアレイを形成する、作製複製ステップを含み、その後、マスタとなるウエハ規模のレンズアレイが形成されるまで、前記最終サブアレイを基板上に何度も複製する、複製ステップを含むことを特徴とする方法である。このような実施形態においては、マスタレンズピンおよびサブアレイ両方の形状誤差（およびピッチ精度）について品質検査をすることができ、実質的に形状誤差（およびピッチ不整合）のないマスタレンズピンのセットおよびサブアレイが形成されるまで作製ステップを繰り返す。

上記の実施形態のいずれかにおいて、各レンズ素子または各レンズピンは複数の異なるレンズプロファイルを有することができる。このような実施形態においては、レンズ素子またはレンズピンのレンズプロファイルは、少なくとも曲率半径および非球面係数のいずれかにおいて異ならせることができる。

上記の実施形態のいずれかにおいて、サブアレイの各レンズ素子は同一のレンズプロファイルを有することができる。

上記の実施形態のいずれかにおいて、各サブアレイの各レンズ素子の数および配置は、所望のアレイカメラモジュールにおいて必要とされるものと等しくすることができる。

上記の実施形態のいずれかにおいて、複製ステップは、ステップアンドリピート手段により行うことができる。

上記の実施形態のいずれかにおいて、サブアレイの各レンズ素子および／または各レンズピンは、それぞれダイヤモンドターニングにより作製することができる。

本発明の上記およびその他の特徴および利点は、添付の図面を参照した以下の詳細な説明により、さらによく理解されるであろう。

ウエハ規模のレンズアレイの一例を示す模式図である。 本発明によるレンズアレイのマスタ作製技術の第１の実施形態を示す模式図である。 本発明によるレンズアレイのマスタ作製技術の第２の実施形態を示す模式図である。 本発明によるレンズアレイのマスタ作製技術の第３の実施形態を示す模式図である。

本発明は、例えばレンズサグ量が大きすぎるために標準的なリソグラフィー技術では加工不能な、マスタ結像レンズアレイの作製工程および方法であって、結像レンズの複製レンズアレイの作製に用いる工程および方法に関するものである。マスタレンズアレイは、その後最終的な大規模レンズアレイを複製するための道具（または、それ自体が道具として用いられる場合もある）の作製に用いるテンプレートとなるため、極めて重要な要素である。本発明の最終目的は、コンピュータ制御のアレイカメラ作製用に最終的に用いることのできる高品質のウエハ規模のマスタを得ることである。

実際の運用では、本発明により作製したウエハ規模のマスタを用いてウエハ規模のレンズアレイを複製する。ついで、複製した各レンズアレイをスペーサとともに積層して、レンズアレイの多層構造を構成する。その後、ダイシング等の公知の技術を用いて、この多層構造のレンズアレイを１つずつに分割するか、またはそれをさらに再分割して、所望の大きさのサブアレイとし、最終的なレンズモジュールを構成する。この最終的なレンズモジュールをイメージセンサアレイと組み合わせて、最終的にコンピュータ制御のアレイカメラモジュールとしてもよい。本発明の各方法によれば、特にマスタレンズアレイが形状の異なる複数のレンズを有することが必要な場合に、マスタレンズアレイの品質を効率的かつ低コストで最大化することができるため、マスタレンズを用いて形成したウエハ規模のレンズアレイにおける誤差伝播を低減できる。

本発明の方法（process）を理解するためには、まず、本願が目的とするところのレンズアレイの性質について理解しなければならない。図１に示すように、ウエハ規模のレンズアレイ（１）は、多数のレンズ素子を任意に配置したものであると規定することができる。これらのレンズ素子は、サブアレイ（２）状に配置することができ、各サブアレイ自体は個々に独立した複数のレンズ素子（３）から形成されている。これらのマスタレンズアレイの個々のレンズ素子は、同一の表面形状を有していてもよく、異なる表面形状を有するように製造することもできる（４〜６)。例えば、マスタレンズアレイ内の各レンズは、その曲率半径や非球面係数の変更等により、焦点距離が異なるように設計することや、それぞれ異なる狭いスペクトル波長帯に感度を有する種々のチャネルにおける色収差を様々に補正することが可能となるように設計することができる。

従来のマスタ作製工程（mastering process）においては、マスタレンズアレイの個々のレンズ素子は、基礎となる基板用ウエハをダイヤモンドターニング加工する等の作製工程によって、それぞれ別個に製造される。背景技術の説明において述べたように、個々のレンズをマスタから複製せずに新規に製造するたびに、マスタアレイにおいて、レンズ形成する際の形状誤差またはアレイ上の他のレンズに対して位置決めする際のピッチ誤差が生じる危険性がある。同一のレンズでアレイを構成する場合、現行の製造技術では、ダイヤモンドターニングにより１つのマスタレンズピンをいったん製造し、このピンを何回も複製することによりウエハ規模のアレイを形成する、ステップアンドリピート法を用いる。一方、表面形状の異なるレンズのアレイ等、不規則なレンズアレイを従来方法により製造する場合は、マスタアレイの個々のレンズ素子を１つずつ作製するしかない。当然ながら、大規模なレンズアレイを形成するには、このプロセスを数百万回とはいかないまでも数千回繰り返してマスタアレイを完成させる必要があり、したがってこのマスタアレイにおいて欠陥が生じる可能性、およびこれらの欠陥がその後マスタから作成したアレイにおいて複製されてしまう可能性が高い。

本発明は、このような誤差伝播の危険性を低減するマスタレンズアレイの作製方法（methods for fabricating）を提供するものである。特に、本発明においては、マスタレンズアレイにおける形状誤差およびピッチ誤差の危険性をできるだけ低減するには、マスタレンズアレイ作製工程において作成する、複製元となる（unique）レンズ素子の作製回数を制限する必要があることがわかっている。よって、本発明は、新規な複製方式を用いることにより、より大規模なマスタレンズアレイを製造する際に必要となる「複製元の（unique）」レンズ素子の形成回数を最小限にし、また、その位置決めステップの回数をも制限したものである。

図２に、本発明の第１の実施形態を模式的に示す。本実施形態においては、まず、個々のレンズ素子（１１）からなるサブアレイ（１０）を形成し、ついでこのサブアレイを基板ウエハ（１２）全体にわたり複製して、最終的なウエハ規模のレンズアレイ（１３）とする。より具体的には、第１のステップにおいて、サブアレイ（１０）の各レンズ素子（１１）、この場合は縦横にそれぞれ５列ずつ並んだ個々のレンズ素子を、例えば、ダイヤモンドターニング等の従来の製造技術により形成する。第２のステップにおいて、このサブアレイ（１０）の品質検査を行って、個々のレンズ素子のそれぞれについて、表面形状が正しいことおよび他レンズと相対的に正しく位置決めされていることを確認する。ステップ３においては、品質検査が完了したサブアレイをマスタとして、サブアレイと同一のコピーを全基板にわたり複製して、マスタアレイ（１３）を完成させる。本実施形態においては、ｘｙ面内において要求される配置の正確さについては、この目的に特化したステップアンドリピート手段を用いているため、位置決め誤差の生じる可能性は少ない。さらに、各レンズ素子を個々に位置決めする手段を必要とする手法に比べ、個々の位置決めステップの回数を低減している。

上述したように、サブアレイ上のレンズ素子は異なる表面形状を有するものであっても、本実施形態に示したように、それぞれ異なる表面形状を有するものであっていてもよい。さらに、例として縦横各５配列のマスタサブアレイをテンプレートとして使用したが、本発明の方法においては、対象となる特定のカメラ用途に適した任意のサイズのサブアレイを使用できることが理解されよう。しかしながら、サブアレイを形成する際にも、同様の製造上の制約、すなわち、新しいレンズを形成する度に形成誤差または位置決め誤差のいずれにおいても欠陥が生じる可能性が増大するという制約があるため、複製元として形成すべき素子の数を制限することはやはり有利である。さらに、アレイのサイズが小さいほど、各レンズ素子の製造欠陥をより容易にチェックできるようになる。

図３に模式的に示す第２の実施形態においては、マスタレンズピンを個々に形成する。これらのレンズピンは、表面形状がそれぞれ異なる個別のレンズ素子（２０）として構成するか、または同一の表面形状を有するレンズピン（２１〜２３）の小アレイとして構成することができる（ステップ１）。続いて、第２のステップにおいて、これらのマスタレンズピンを繰り返し用いて、ウエハの正しい位置（すなわち、後に任意のカメラアレイとして構成したときの正しいチャネル）に所望のレンズプロファイルを製造する。マスタアレイ（２４）全体にわたって第１のレンズピンにおける全てのレンズを複製したら（例えば、本実施形態においては、各サブアレイを４回ずつウエハ上に複写したら）、そのピンを交換し、第２のレンズピンを用いて第２のレンズプロファイルを有する全てのレンズの複製を行い、以後も同様とする。

本方法の利点は、同一に形成することを意図したレンズは同じマスタピンから形成するため、すべて同一になることである。さらに、このピンの品質検査を行い、完璧な光学特性が得られるまでダイヤモンドターニングによる製造工程を繰り返し行うこともできる。不利点を１つ挙げるとすれば、必要な配置ステップ数が多いことである。このことは、配置（ピッチ）誤差を生じる原因となる可能性があり、特に、ステップアンドリピート法の各工程間でマスタピンを交換するたびにピッチ誤差が生じうるため、異なる種類のレンズ間で誤差を生じることが懸念される。

本発明の第３の実施形態では（図４にその模式図を示す）、先に説明した２つの方法（アプローチ）を組み合わせることにより、上述の作製手法のいずれよりも品質管理の面でさらに有利な複合型技術とした。具体的には、本製法の第１のステップにおいて、異なるレンズプロファイル（３０〜３２）を、（例えばダイヤモンドターニング法により）それぞれ別個にいったんピンとして作製する。第２のステップにおいて、これらのピン（３０〜３２）を用いて、図２に示す例示的な実施形態と同様に、サブアレイ（３３）を構成する。例えば、図４に示す模式図において、３種類の交換用レンズピン（３０〜３２）をダイヤモンドターニングによりいったん作成する。そして、これらのピンを用いて、ステップアンドリピート法により、各種類のレンズをそれぞれ形成するが、ここで形成したレンズは、サブアレイ（例えば、この場合は縦横各５配列のサブアレイ）を構成するためだけに用いられ、図３を参照して説明したような技術とは異なり、マスタアレイ全体用に用いるものではない。そして、完成したサブアレイ（３３）の品質検査を行い、後続の処理を行うのに十分良好な品質であると判断したら、今度は、図２を参照して説明した例示的な実施形態において提案したように、こんどはこのサブアレイ自体を用いてステップアンドリピート法により全ウエハマスタ（３４）に実装する。

図２および図４に示す方法（アプローチ）による利点は、サブアレイを直接ダイヤモンドターニングにより数回にわたり試行的に加工すること、または、あらかじめ種々のプロファイルにダイヤモンドターニング加工した個々のレンズピンを有するサブアレイをステップアンドリピート加工することにより、所望のレンズプロファイルおよびピッチ精度（またはピッチの所定の（サブピクセル）変化量）が得られるまでサブアレイを作成する手順を繰り返し行うことができ、より手間と費用がかかるプロセス、すなわち第２のステップアンドリピート法によりレンズのサブアレイを多数複製して行う全ウエハマスタ実装プロセスはその後に行うことができる点である。したがって、最終的なレンズアレイはより高い光学精度を有し、また、最終的なレンズアレイの製造コストを大幅に削減できる可能性が高い。

以上、ダイヤモンドターニングを利用した作製方法を主に説明したが、本発明の作製方式は任意の適切なレンズ製造技術に用いることができる。さらに、レンズ素子を縦横それぞれ５列ずつ配置したサブアレイについて説明したが、特定のカメラ用途に適した任意のサイズのサブアレイを用いることができる。サブアレイを作成する際は、サブアレイのレンズ素子の数と配置を、後にカメラモジュールとして使用される際とできれば同一にすることが望ましい。例えば、作成予定のカメラモジュールのレンズ素子配列が４×４または６×６であった場合に、サブアレイのレンズ素子配列を５×５とすることは現実的ではないであろう。このようなレンズ素子の不一致によって、本発明を適用することにより得られるはずのピッチ精度の向上度が低下してしまう。最後に、上記の実施形態では、複製元とする（unique）レンズとして３種類のみを挙げたが、本発明の作製工程により形成するレンズアレイには、複製元とするレンズを何種類でも実装できることを理解されたい。

［均等論］
本発明の上記実施例および種々の好ましい実施形態は、本発明の概要の例示に過ぎず、本発明の精神および範囲を逸脱しない範囲で本発明の工程に変更を加えることができることを当業者は理解されたい。例えば、本発明の作製工程により期待される改良がなされ、意図した目的に適さない作製工程とならない限り、別の品質検査ステップの実施や、作製工程の各ステップの順番を変更すること可能であることは当業者にとって明らかである。したがって、本発明は本明細書の特定の実施形態により限定されるものではなく、むしろ、添付の請求の範囲により規定される。

Claims (20)

1. ウエハ規模の結像レンズアレイのマスタを作製する方法であって、
   個別の複数のレンズ素子からなるレンズのサブアレイを作製する作製ステップにおいて、前記サブアレイ上の個別のレンズ素子の数は、ウエハ規模のレンズアレイに含まれる個々のレンズ素子の数のサブセットであることを特徴とする、作製ステップと、
   前記サブアレイの形状誤差およびピッチ誤差について品質検査を行う検査ステップと、実質的に形状誤差およびピッチ誤差のない最終サブアレイが形成されるまで前記作製ステップを繰り返すステップと、
   マスタとなるウエハ規模のレンズアレイが形成されるまで、前記最終サブアレイを基板上に何度も複製する、複製ステップと、
   を含むことを特徴とする方法。
2. 前記サブアレイの前記レンズ素子は、異なる複数のレンズプロファイルを有することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
3. 前記サブアレイの前記レンズ素子の前記レンズプロファイルは、少なくとも曲率半径および非球面係数のいずれかにおいて異なっていることを特徴とする、請求項２に記載の方法。
4. 前記サブアレイの前記レンズ素子は、同一のレンズプロファイルを有することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
5. 前記サブアレイのレンズ素子の数および配置は、所望のアレイカメラモジュールにおいて必要となるものと同様であることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
6. 前記複製ステップは、ステップアンドリピート手段により行うことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
7. 前記サブアレイの前記各レンズ素子は、それぞれダイヤモンドターニングにより作製することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
8. ウエハ規模の結像レンズアレイのマスタを作製する方法であって、
   それぞれ異なるレンズプロファイルを有する複数のマスタレンズピンを作製する作製ステップと、
   前記複数のマスタレンズピンのそれぞれの形状誤差について品質検査を行う検査ステップと、実質的に形状誤差のない最終マスタレンズピンのセットが形成されるまで前記作製ステップを繰り返すステップと、
   マスタとなるウエハ規模のレンズアレイが形成されるまで、前記マスタレンズピンをレンズ素子として基板上に何度も複製する、複製ステップと、
   を含むことを特徴とする方法。
9. 前記レンズピンの前記レンズプロファイルは、少なくとも曲率半径および非球面係数のいずれかにおいて異なっていることを特徴とする、請求項８に記載の方法。
10. 前記レンズアレイにおけるレンズ素子の数および配置は、所望のアレイカメラモジュールにおいて必要となるものと同様であることを特徴とする、請求項８に記載の方法。
11. 前記複製ステップは、ステップアンドリピート手段により行うことを特徴とする、請求項８に記載の方法。
12. 前記各レンズピンは、それぞれダイヤモンドターニングにより作製することを特徴とする、請求項８に記載の方法。
13. ウエハ規模の結像レンズアレイのマスタを作製する方法であって、
    それぞれ異なるレンズプロファイルを有する複数のマスタレンズピンを作製する作製ステップと、
    前記複数のマスタレンズピンのそれぞれの形状誤差について品質検査を行う検査ステップと、実質的に形状誤差のない最終マスタレンズピンのセットが形成されるまで前記作製ステップを繰り返すステップと、
    複数の個々のレンズ素子からなるレンズのサブアレイが形成されるまで、前記マスタレンズピンをレンズ素子として基板上に何度も複製する、複製ステップにおいて、該サブアレイ上の該個々のレンズ素子の数は、ウエハ規模のレンズアレイに含まれる個別のレンズ素子の数のサブセットであることを特徴とする、複製ステップと、
    前記サブアレイのピッチ誤差について品質検査を行う検査ステップと、実質的にピッチ誤差のない最終サブアレイが形成されるまで前記作製ステップを繰り返すステップと、
    マスタとなるウエハ規模のレンズアレイが形成されるまで、前記最終サブアレイを基板上に何度も複製する、複製ステップと
    を含むことを特徴とする方法。
14. 前記サブアレイの前記レンズ素子は、異なる複数のレンズプロファイルを有することを特徴とする、請求項１３に記載の方法。
15. 前記サブアレイの前記レンズ素子の前記レンズプロファイルは、少なくとも曲率半径および非球面係数のいずれかにおいて異なっていることを特徴とする、請求項１４に記載の方法。
16. 前記サブアレイの前記レンズ素子は、同一のレンズプロファイルを有することを特徴とする、請求項１３に記載の方法。
17. 前記サブアレイのレンズ素子の数および配置は、所望のアレイカメラモジュールにおいて必要になるものと同様であることを特徴とする、請求項１３に記載の方法。
18. 前記サブアレイの複製ステップは、ステップアンドリピート手段により行うことを特徴とする、請求項１３に記載の方法。
19. 前記サブアレイの前記個々のレンズ素子は、それぞれダイヤモンドターニングにより作製することを特徴とする、請求項１３に記載の方法。
20. 前記個々のマスタレンズピンは、それぞれダイヤモンドターニングにより作製することを特徴とする、請求項１３に記載の方法。

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