JPH11223708A - 圧子およびマイクロ光学素子アレイの製造方法 - Google Patents
圧子およびマイクロ光学素子アレイの製造方法Info
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- JPH11223708A JPH11223708A JP10027302A JP2730298A JPH11223708A JP H11223708 A JPH11223708 A JP H11223708A JP 10027302 A JP10027302 A JP 10027302A JP 2730298 A JP2730298 A JP 2730298A JP H11223708 A JPH11223708 A JP H11223708A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 多数の圧痕をより短時間に形成することでき
る圧子の提供。 【解決手段】 一回の押圧で被加工部材5の表面に各々
独立した圧痕を形成する単位圧子11a〜11dを具備
する。各単位圧子11a〜11dの位置決めをする治具
を設けるようにしても良い。
る圧子の提供。 【解決手段】 一回の押圧で被加工部材5の表面に各々
独立した圧痕を形成する単位圧子11a〜11dを具備
する。各単位圧子11a〜11dの位置決めをする治具
を設けるようにしても良い。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被加工部材の表面
に圧痕を形成するときに用いられる圧子、および、その
圧子を用いたマイクロ光学素子アレイの製造方法に関す
る。
に圧痕を形成するときに用いられる圧子、および、その
圧子を用いたマイクロ光学素子アレイの製造方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】光学部材に微少光学素子を複数形成して
成るマイクロ光学素子アレイとしては、マイクロレンズ
を多数配列して光学機器(例えば、一眼レフカメラ)の
拡散板として用いられるものや、マイクロプリズムを多
数配列して映写機器の焦点板として用いられるもの等が
従来から知られている。ところで、これらのマイクロ光
学素子アレイの製造方法としては、被加工部材である光
学材料の被加工面に多数の圧痕を形成する方法や、金型
母材に多数の圧痕を形成し、それを金型としてアクリル
等の光学用樹脂を用いた射出成形,圧縮成形,注型成形
等により製造する方法などがある。
成るマイクロ光学素子アレイとしては、マイクロレンズ
を多数配列して光学機器(例えば、一眼レフカメラ)の
拡散板として用いられるものや、マイクロプリズムを多
数配列して映写機器の焦点板として用いられるもの等が
従来から知られている。ところで、これらのマイクロ光
学素子アレイの製造方法としては、被加工部材である光
学材料の被加工面に多数の圧痕を形成する方法や、金型
母材に多数の圧痕を形成し、それを金型としてアクリル
等の光学用樹脂を用いた射出成形,圧縮成形,注型成形
等により製造する方法などがある。
【0003】図9は金型を用いてマイクロ光学素子アレ
イを製造する方法を説明する図である。まず、図9
(a)に示すように金型母材80に圧子81を繰り返し
押圧して金型母材表面に多数の圧痕82を所定間隔で形
成することにより、マイクロ光学素子アレイの金型を作
製する。金型母材80にはマルテンサイト系ステンレス
鋼等が用いられ、先端がマイクロ光学素子と同一形状を
有する圧子81を所定の圧力で押圧することによりマイ
クロ光学素子1個分の圧痕82が形成される。図9
(b)はこのようにして作製された金型の一部を示す斜
視図であり、この金型を用いてアクリル等の光学用樹脂
による成形(例えば、射出成形)を行うことによって、
図9(c)に示すようなマイクロ光学素子アレイ83が
形成される。
イを製造する方法を説明する図である。まず、図9
(a)に示すように金型母材80に圧子81を繰り返し
押圧して金型母材表面に多数の圧痕82を所定間隔で形
成することにより、マイクロ光学素子アレイの金型を作
製する。金型母材80にはマルテンサイト系ステンレス
鋼等が用いられ、先端がマイクロ光学素子と同一形状を
有する圧子81を所定の圧力で押圧することによりマイ
クロ光学素子1個分の圧痕82が形成される。図9
(b)はこのようにして作製された金型の一部を示す斜
視図であり、この金型を用いてアクリル等の光学用樹脂
による成形(例えば、射出成形)を行うことによって、
図9(c)に示すようなマイクロ光学素子アレイ83が
形成される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法では、XYテーブル等を用いて押圧方向と直交する
X方向およびY方向に金型母材80を移動させながら、
圧痕1個分の圧子81で複数の圧痕82を一つずつ形成
しているため、圧痕82の数が数百以上にもおよぶ場合
には、全ての圧痕82を加工するのに多大な時間を要す
るという問題があった。例えば、一眼レフカメラの焦点
板では、光学材料に全ての圧痕82を形成するのに40
〜50時間もかかっている。
方法では、XYテーブル等を用いて押圧方向と直交する
X方向およびY方向に金型母材80を移動させながら、
圧痕1個分の圧子81で複数の圧痕82を一つずつ形成
しているため、圧痕82の数が数百以上にもおよぶ場合
には、全ての圧痕82を加工するのに多大な時間を要す
るという問題があった。例えば、一眼レフカメラの焦点
板では、光学材料に全ての圧痕82を形成するのに40
〜50時間もかかっている。
【0005】本発明の目的は、多数の圧痕をより短時間
に形成することができる圧子、およびその圧子を用いた
マイクロ光学素子アレイの製造方法をを提供することに
ある。
に形成することができる圧子、およびその圧子を用いた
マイクロ光学素子アレイの製造方法をを提供することに
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】発明の実施の形態を示す
図1,2、4,5および8に対応付けて説明する。 (1)図1,2に対応付けて説明すると、請求項1の発
明に係る圧子は、一回の押圧で被加工部材5の表面に複
数の圧痕を形成する圧子1であって、被加工部材5の表
面に各々独立した圧痕を形成する単位圧子11a〜11
dを具備することによって上述の目的を達成する。 (2)図4,5に対応付けて説明すると、請求項2の発
明は、請求項1に記載の圧子1において、圧子1を構成
する各単位圧子11a〜11dの軸芯を所定の位置に位
置決めする治具40,13を設けた。 (3)図8に対応付けて説明すると、請求項3の発明
は、請求項1または2に記載の圧子において、各単位圧
子111a〜111dの押圧凸面(単位圧子111a〜
111dの図8の平面図で示される面)の形状を、隣接
する2つの単位圧子111a,111bに形成された押
圧凸面の先端同士の距離2Pが2つの単位圧子111
a,111bの軸芯間距離dより小さくなるように形成
した。 (4)図2に対応付けて説明すると、請求項4の発明
は、圧子1を被加工部材5の被加工面に押圧し、被加工
面に複数の微小凹面を形成するマイクロ光学素子アレイ
の製造方法に適用され、請求項1〜3のいずれかに記載
の圧子1を用いて微小凹面を形成する。 (5)請求項5の発明は、圧子1を金型母材5の表面に
押圧して複数の圧痕を形成し、金型母材5の表面に形成
された圧痕の形状を光学部材に転写して複数の微小凸面
を形成するマイクロ光学素子アレイの製造方法に適用さ
れ、請求項1〜3のいずれかに記載の圧子1を用いて複
数の圧痕を形成する。
図1,2、4,5および8に対応付けて説明する。 (1)図1,2に対応付けて説明すると、請求項1の発
明に係る圧子は、一回の押圧で被加工部材5の表面に複
数の圧痕を形成する圧子1であって、被加工部材5の表
面に各々独立した圧痕を形成する単位圧子11a〜11
dを具備することによって上述の目的を達成する。 (2)図4,5に対応付けて説明すると、請求項2の発
明は、請求項1に記載の圧子1において、圧子1を構成
する各単位圧子11a〜11dの軸芯を所定の位置に位
置決めする治具40,13を設けた。 (3)図8に対応付けて説明すると、請求項3の発明
は、請求項1または2に記載の圧子において、各単位圧
子111a〜111dの押圧凸面(単位圧子111a〜
111dの図8の平面図で示される面)の形状を、隣接
する2つの単位圧子111a,111bに形成された押
圧凸面の先端同士の距離2Pが2つの単位圧子111
a,111bの軸芯間距離dより小さくなるように形成
した。 (4)図2に対応付けて説明すると、請求項4の発明
は、圧子1を被加工部材5の被加工面に押圧し、被加工
面に複数の微小凹面を形成するマイクロ光学素子アレイ
の製造方法に適用され、請求項1〜3のいずれかに記載
の圧子1を用いて微小凹面を形成する。 (5)請求項5の発明は、圧子1を金型母材5の表面に
押圧して複数の圧痕を形成し、金型母材5の表面に形成
された圧痕の形状を光学部材に転写して複数の微小凸面
を形成するマイクロ光学素子アレイの製造方法に適用さ
れ、請求項1〜3のいずれかに記載の圧子1を用いて複
数の圧痕を形成する。
【0007】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本
発明が発明の実施の形態に限定されるものではない。
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本
発明が発明の実施の形態に限定されるものではない。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、図1〜図8を参照して本発
明の実施の形態を説明する。図2は本発明に係るマイク
ロ光学素子アレイの製造に用いられる圧子押圧装置の概
略構成を示す斜視図であり、本発明者が特開平9−32
7860号で提案した装置と同様の装置である。なお、
マイクロ光学素子アレイの製造方法としては、上述した
ように圧子で光学部材に直接複数の圧痕を形成する方法
と、複数の圧痕が形成された金型を用いて成形により製
作する方法とがあるが、以下では光学部材に圧痕を形成
してマイクロ光学素子アレイを構成するマイクロ光学素
子(以下では、マイクロレンズ)を形成する方法につい
て説明する。
明の実施の形態を説明する。図2は本発明に係るマイク
ロ光学素子アレイの製造に用いられる圧子押圧装置の概
略構成を示す斜視図であり、本発明者が特開平9−32
7860号で提案した装置と同様の装置である。なお、
マイクロ光学素子アレイの製造方法としては、上述した
ように圧子で光学部材に直接複数の圧痕を形成する方法
と、複数の圧痕が形成された金型を用いて成形により製
作する方法とがあるが、以下では光学部材に圧痕を形成
してマイクロ光学素子アレイを構成するマイクロ光学素
子(以下では、マイクロレンズ)を形成する方法につい
て説明する。
【0009】図2において、被加工部材5は機械式ある
いは接着等の固定方法によりXYステージ6上に載置さ
れる。なお、被加工部材5はマイクロレンズアレイの素
材である光学部材や成形に用いる金型の母材であるが、
以下では光学部材として説明する。XYステージ6はス
テージ駆動回路20により制御されるステージ移動用モ
ータ7X,7Yによって駆動されるとともに、その位置
はデジタルマイクロメータ8X,8Yによって検出され
る。21はデジタルマイクロメータ8X,8Yの出力に
基づいてXYステージ6の移動量を検出するステージ移
動量検知回路21である。
いは接着等の固定方法によりXYステージ6上に載置さ
れる。なお、被加工部材5はマイクロレンズアレイの素
材である光学部材や成形に用いる金型の母材であるが、
以下では光学部材として説明する。XYステージ6はス
テージ駆動回路20により制御されるステージ移動用モ
ータ7X,7Yによって駆動されるとともに、その位置
はデジタルマイクロメータ8X,8Yによって検出され
る。21はデジタルマイクロメータ8X,8Yの出力に
基づいてXYステージ6の移動量を検出するステージ移
動量検知回路21である。
【0010】2は圧子押圧装置の臥体4に固定されてい
るムービングコイル装置であり、ムービングコイル装置
2のシャフト(不図示)には圧子1が取り付けられてい
る。ムービングコイル装置2は、圧子1が取り付けられ
たシャフトを回転するためのモータ3を備えている。モ
ータ3はステッピングモータであり、回転角割り出し回
路23からのパルス数によりシャフトの回転角が制御さ
れる。22はムービングコイル装置2のシャフトを上下
方向に駆動するためのムービングコイル駆動回路、24
は各回路20,21,22,23に対して所定の指示を
与えるコンピュータである。コンピュータ24には入力
装置により、作業条件(回転角度や圧痕ピッチ等)を入
力することができる。なお、ムービングコイル装置2の
詳細構造については省略する(特開平9−327860
号を参照)。
るムービングコイル装置であり、ムービングコイル装置
2のシャフト(不図示)には圧子1が取り付けられてい
る。ムービングコイル装置2は、圧子1が取り付けられ
たシャフトを回転するためのモータ3を備えている。モ
ータ3はステッピングモータであり、回転角割り出し回
路23からのパルス数によりシャフトの回転角が制御さ
れる。22はムービングコイル装置2のシャフトを上下
方向に駆動するためのムービングコイル駆動回路、24
は各回路20,21,22,23に対して所定の指示を
与えるコンピュータである。コンピュータ24には入力
装置により、作業条件(回転角度や圧痕ピッチ等)を入
力することができる。なお、ムービングコイル装置2の
詳細構造については省略する(特開平9−327860
号を参照)。
【0011】次に、図1を用いて圧子1について説明す
る。図1(a)は圧子1の先端部分の拡大図であり、ホ
ルダ15内に4個の単位圧子11a〜11dから成る圧
子束11を固定したものである。ホルダ15と圧子束1
1との隙間には接着剤等の充填材16が充填される。こ
の圧子1を用いることによって、図2(b)に示すよう
なマイクロレンズアレイ25を形成する。P1,P2は
マイクロレンズ25aのx方向およびy方向のピッチで
あり、26はマイクロレンズ25aの内接円を表してい
る。
る。図1(a)は圧子1の先端部分の拡大図であり、ホ
ルダ15内に4個の単位圧子11a〜11dから成る圧
子束11を固定したものである。ホルダ15と圧子束1
1との隙間には接着剤等の充填材16が充填される。こ
の圧子1を用いることによって、図2(b)に示すよう
なマイクロレンズアレイ25を形成する。P1,P2は
マイクロレンズ25aのx方向およびy方向のピッチで
あり、26はマイクロレンズ25aの内接円を表してい
る。
【0012】図3(a)は単位圧子11aを示す図であ
り、単位圧子11aには微粒子超硬合金が用いられ、そ
の押圧凸面110aは被加工部材5に形成される圧痕形
状(すなわち、マイクロレンズの形状)に対応した形状
に創成される。マイクロレンズ25a同士の中心間距離
とマイクロレンズ25aの内接円26とが比較的大きい
場合(例えば、ピッチ0.1mm以上)には、2倍ピッ
チサイズ、すなわち0.2mm×0.2mmの正方形断
面を有する角柱が用いられる。なお、マイクロレンズア
レイのパターンと単位圧子11a〜11dの配置との関
係については後述する。
り、単位圧子11aには微粒子超硬合金が用いられ、そ
の押圧凸面110aは被加工部材5に形成される圧痕形
状(すなわち、マイクロレンズの形状)に対応した形状
に創成される。マイクロレンズ25a同士の中心間距離
とマイクロレンズ25aの内接円26とが比較的大きい
場合(例えば、ピッチ0.1mm以上)には、2倍ピッ
チサイズ、すなわち0.2mm×0.2mmの正方形断
面を有する角柱が用いられる。なお、マイクロレンズア
レイのパターンと単位圧子11a〜11dの配置との関
係については後述する。
【0013】単位圧子11a〜11dの素材である角柱
の形状精度は、断面の各辺で±1μm、各側面の真直度
0.5μm以下とした。稜線には幅2〜5μm程度の面
取りが施される。押圧凸面110aを形成するときに
は、図3(b)に示すように、ワーク軸30に固定され
て回転する圧子11aの先端に、凹面の砥石31を当接
させて研削加工を行う。その際に、砥石31を回転させ
つつ揺動させる。砥石31には形状精度を考慮してダイ
ヤモンド電着砥石(砥粒は#500や#2000等が用
いられる)が用いられ、研削後には弾性ポリシャを用い
て研磨仕上げを行う。このような方法で加工することに
より、曲率半径Rの圧子先端の形状誤差は0.1μm、
表面粗さは0.02μmRyであった。
の形状精度は、断面の各辺で±1μm、各側面の真直度
0.5μm以下とした。稜線には幅2〜5μm程度の面
取りが施される。押圧凸面110aを形成するときに
は、図3(b)に示すように、ワーク軸30に固定され
て回転する圧子11aの先端に、凹面の砥石31を当接
させて研削加工を行う。その際に、砥石31を回転させ
つつ揺動させる。砥石31には形状精度を考慮してダイ
ヤモンド電着砥石(砥粒は#500や#2000等が用
いられる)が用いられ、研削後には弾性ポリシャを用い
て研磨仕上げを行う。このような方法で加工することに
より、曲率半径Rの圧子先端の形状誤差は0.1μm、
表面粗さは0.02μmRyであった。
【0014】図4,5は各単位圧子11a〜11dを所
定の位置関係に位置決めする治具の一例を示す図であ
る。図4に示す治具40の爪40a〜40dの中心部分
に束ねた単位圧子11a〜11dを装着し、単位圧子1
1a〜11dが装着された治具40にホルダ15(図
5)を外挿する。なお、このホルダ15には4個の押し
ねじ13が設けられており、押しネジ13のねじ込み量
を変えることによって爪40a〜40cを変形させ、圧
子束11における単位圧子11a〜11cの配列を変え
る。すなわち、各押しネジ13のねじ込み量を調整する
ことによって、マイクロレンズアレイの配列パターンに
応じた単位圧子配列とすることができる。例えば、図5
(a)のように押しネジ13のねじ込み量を均等にして
正方形の配列としたり、図5(b)のように各押しネジ
13のねじ込み量を調整して斜めにずれた配列としたり
することができる。
定の位置関係に位置決めする治具の一例を示す図であ
る。図4に示す治具40の爪40a〜40dの中心部分
に束ねた単位圧子11a〜11dを装着し、単位圧子1
1a〜11dが装着された治具40にホルダ15(図
5)を外挿する。なお、このホルダ15には4個の押し
ねじ13が設けられており、押しネジ13のねじ込み量
を変えることによって爪40a〜40cを変形させ、圧
子束11における単位圧子11a〜11cの配列を変え
る。すなわち、各押しネジ13のねじ込み量を調整する
ことによって、マイクロレンズアレイの配列パターンに
応じた単位圧子配列とすることができる。例えば、図5
(a)のように押しネジ13のねじ込み量を均等にして
正方形の配列としたり、図5(b)のように各押しネジ
13のねじ込み量を調整して斜めにずれた配列としたり
することができる。
【0015】図6および図7は、図5(a)および図5
(b)に示す圧子により形成されるマイクロレンズアレ
イパターンの一例を示す図である。図6(a)は各単位
圧子11a〜11dによって被加工部材5に形成される
圧痕の平面図であり、圧痕60のXおよびY方向ピッチ
は2Pとなっている。図6(b)はマイクロレンズアレ
イパターンの一部を示す図であり、圧痕の配列はスクェ
アパターンを形成している。加工サイズ(圧痕が形成さ
れる範囲)はX方向がL、Y方向がHであり、X方向ピ
ッチP1とY方向ピッチP2は共に等しくP1=P2=
Pである。
(b)に示す圧子により形成されるマイクロレンズアレ
イパターンの一例を示す図である。図6(a)は各単位
圧子11a〜11dによって被加工部材5に形成される
圧痕の平面図であり、圧痕60のXおよびY方向ピッチ
は2Pとなっている。図6(b)はマイクロレンズアレ
イパターンの一部を示す図であり、圧痕の配列はスクェ
アパターンを形成している。加工サイズ(圧痕が形成さ
れる範囲)はX方向がL、Y方向がHであり、X方向ピ
ッチP1とY方向ピッチP2は共に等しくP1=P2=
Pである。
【0016】図6(b)の圧痕形成手順の一例を図を用
いて説明する。初めに、範囲L×Hに含まれる全ての圧
痕A(A1,A2,…)を4個ずつA1,A2,…の順
で形成する。このとき、A1の圧痕を形成したら図2の
XYステージ6をマイナスX方向に4Pだけ移動し、次
いで、圧痕A2を形成する。このように、XYステージ
6をX方向にピッチ4Pでステップ移動させながらX方
向に並んだ2列の圧痕Aの全てを形成する。その後、X
Yステージ6をY方向に4P移動した後、同様にして続
く2列の圧痕AをA3,…の順に形成する。
いて説明する。初めに、範囲L×Hに含まれる全ての圧
痕A(A1,A2,…)を4個ずつA1,A2,…の順
で形成する。このとき、A1の圧痕を形成したら図2の
XYステージ6をマイナスX方向に4Pだけ移動し、次
いで、圧痕A2を形成する。このように、XYステージ
6をX方向にピッチ4Pでステップ移動させながらX方
向に並んだ2列の圧痕Aの全てを形成する。その後、X
Yステージ6をY方向に4P移動した後、同様にして続
く2列の圧痕AをA3,…の順に形成する。
【0017】上述のようにして範囲L×H内の全ての圧
痕Aの形成が終了したならば、XYステージ6を圧痕A
形成開始時位置からX方向にピッチP1=Pだけ移動し
た後、圧痕B(B1,B2,…)を圧痕Aの場合と同様
に形成する。さらに、同様にして圧痕C,圧痕Dを形成
することにより、範囲L×H内の全ての圧痕が形成され
ることになる。
痕Aの形成が終了したならば、XYステージ6を圧痕A
形成開始時位置からX方向にピッチP1=Pだけ移動し
た後、圧痕B(B1,B2,…)を圧痕Aの場合と同様
に形成する。さらに、同様にして圧痕C,圧痕Dを形成
することにより、範囲L×H内の全ての圧痕が形成され
ることになる。
【0018】一方、図7(a)は図5(b)に示した圧
子で形成される圧痕70を示したもので、図7(b)に
示すマイクロレンズアレイでは圧痕の配列はハニカムパ
ターンとなっている。このハニカムパターンでは2つの
同一パターン(X方向ピッチP、Y方向ピッチ2Wのパ
ターン)をX方向およびY方向にずらしたパターン構造
となっている。すなわち、図7(b)のハニカムパター
ンは、(1)X方向に並ぶ圧痕の列の内で奇数番の列の
圧痕から成るパターンと(2)偶数番の列の圧痕から成
るパターンとから構成され、後者のパターンを前者に対
してX方向に3P/2およびY方向にWだけ移動したも
のである。
子で形成される圧痕70を示したもので、図7(b)に
示すマイクロレンズアレイでは圧痕の配列はハニカムパ
ターンとなっている。このハニカムパターンでは2つの
同一パターン(X方向ピッチP、Y方向ピッチ2Wのパ
ターン)をX方向およびY方向にずらしたパターン構造
となっている。すなわち、図7(b)のハニカムパター
ンは、(1)X方向に並ぶ圧痕の列の内で奇数番の列の
圧痕から成るパターンと(2)偶数番の列の圧痕から成
るパターンとから構成され、後者のパターンを前者に対
してX方向に3P/2およびY方向にWだけ移動したも
のである。
【0019】なお、図7(a)の圧痕70は、図7
(b)では、例えば、4つの圧痕A1に対応しており、
4つの圧痕70の位置関係は図7(a)に示すような関
係にある。図7(b)に示すパターンを形成する場合に
は、圧痕A(A1,A2,…),B(B1,B2,
…),C(C1,C2,…)の順に形成する。この場
合、圧痕形成時のXYステージ6のステップ移動量は、
x方向に3P、y方向に4Wである。
(b)では、例えば、4つの圧痕A1に対応しており、
4つの圧痕70の位置関係は図7(a)に示すような関
係にある。図7(b)に示すパターンを形成する場合に
は、圧痕A(A1,A2,…),B(B1,B2,
…),C(C1,C2,…)の順に形成する。この場
合、圧痕形成時のXYステージ6のステップ移動量は、
x方向に3P、y方向に4Wである。
【0020】例えば、ハニカムパターンの構成が加工範
囲L×H=26.6mm×38.06mm,P=20μ
m,W=17.3μmで、図7(b)に示すピッチずら
し量P3=10μmであるハニカムパターンのマイクロ
レンズアレイを従来方法(一回の押圧で一個の圧痕しか
形成できない圧子用いた場合)で作製すると、圧子1を
上下に駆動するムービングコイル装置2(図2参照)の
打痕周波数を20Hzとしたとき、圧痕形成に約45時
間を要した。一方、図5(b)に示す圧子1を用いた場
合には約11時間で形成することができた。一般的に、
圧子が4個の単位圧子で構成される場合には圧痕形成時
間は約1/4となり、3×3=9個の単位圧子を用いる
場合には圧痕形成時間は約1/9となる。
囲L×H=26.6mm×38.06mm,P=20μ
m,W=17.3μmで、図7(b)に示すピッチずら
し量P3=10μmであるハニカムパターンのマイクロ
レンズアレイを従来方法(一回の押圧で一個の圧痕しか
形成できない圧子用いた場合)で作製すると、圧子1を
上下に駆動するムービングコイル装置2(図2参照)の
打痕周波数を20Hzとしたとき、圧痕形成に約45時
間を要した。一方、図5(b)に示す圧子1を用いた場
合には約11時間で形成することができた。一般的に、
圧子が4個の単位圧子で構成される場合には圧痕形成時
間は約1/4となり、3×3=9個の単位圧子を用いる
場合には圧痕形成時間は約1/9となる。
【0021】また、圧子による押圧回数が多くなるにつ
れて、摩耗等による圧子の押圧凸面の変形が生じ、形成
される圧痕の形状が経時的に変化する。そのため、マイ
クロレンズアレイを構成するマイクロレンズの形状安定
性が低下するという問題があった。しかし、本実施の形
態では、一回の押圧で複数の圧痕が形成される圧子1を
用いているため、従来より少ない押圧回数(上述した4
個の単位圧子を用いる場合には従来の1/4)でマイク
ロレンズアレイを製作することができる。そのため、圧
子1の寿命が長くなり、マイクロレンズ形状の安定した
マイクロレンズアレイを得ることができる。
れて、摩耗等による圧子の押圧凸面の変形が生じ、形成
される圧痕の形状が経時的に変化する。そのため、マイ
クロレンズアレイを構成するマイクロレンズの形状安定
性が低下するという問題があった。しかし、本実施の形
態では、一回の押圧で複数の圧痕が形成される圧子1を
用いているため、従来より少ない押圧回数(上述した4
個の単位圧子を用いる場合には従来の1/4)でマイク
ロレンズアレイを製作することができる。そのため、圧
子1の寿命が長くなり、マイクロレンズ形状の安定した
マイクロレンズアレイを得ることができる。
【0022】−変形例− 図8は上述した圧子1の変形例を示す図である。図8
(a)において、単位圧子111a〜111dの先端部
分に示した円弧50および円51は、干渉縞を用いた非
接触顕微鏡による観測結果を模式的の表したものであ
る。図5に示した圧子1では、単位圧子11a〜11d
の圧子先端部分の曲率中心はそれぞれ各単位圧子11a
〜11dの軸芯上となるように形成されているが、図8
に示す単位圧子111a〜111dでは曲率中心を圧子
束11の中心方向に偏心させている。このように曲率中
心を偏心させることにより、曲率中心間のピッチ2P
(図6(a)の圧痕のピッチ2P)を単位圧子111a
〜111dの軸芯間距離dより小さくすることが可能と
なり、よりピッチの小さなマイクロレンズアレイを製作
することが可能となる。図8(b)は図5(b)に示し
た圧子と同様に、単位圧子111a〜111dの軸芯を
ずらして配列したものである。
(a)において、単位圧子111a〜111dの先端部
分に示した円弧50および円51は、干渉縞を用いた非
接触顕微鏡による観測結果を模式的の表したものであ
る。図5に示した圧子1では、単位圧子11a〜11d
の圧子先端部分の曲率中心はそれぞれ各単位圧子11a
〜11dの軸芯上となるように形成されているが、図8
に示す単位圧子111a〜111dでは曲率中心を圧子
束11の中心方向に偏心させている。このように曲率中
心を偏心させることにより、曲率中心間のピッチ2P
(図6(a)の圧痕のピッチ2P)を単位圧子111a
〜111dの軸芯間距離dより小さくすることが可能と
なり、よりピッチの小さなマイクロレンズアレイを製作
することが可能となる。図8(b)は図5(b)に示し
た圧子と同様に、単位圧子111a〜111dの軸芯を
ずらして配列したものである。
【0023】上述した実施の形態では、マイクロレンズ
アレイを例に説明したが、単位圧子11a〜11d,1
11a〜111dの圧子形状を変えることによって種々
のマイクロ光学素子アレイに適用することができる。ま
た、圧子1を構成する単位圧子の数は4個に限らない。
さらにまた、上述した治具40では、爪40a〜40d
を押しネジ13で変形させることによって単位圧子11
a〜11d,111a〜111dの配列を変更したり、
位置の微調整ができる構造としたが、このような調整機
構を設けないで、治具40に単位圧子を11a〜11
d,111a〜111dを固定するだけで所定の位置関
係に位置決めされるような構造としても良い。
アレイを例に説明したが、単位圧子11a〜11d,1
11a〜111dの圧子形状を変えることによって種々
のマイクロ光学素子アレイに適用することができる。ま
た、圧子1を構成する単位圧子の数は4個に限らない。
さらにまた、上述した治具40では、爪40a〜40d
を押しネジ13で変形させることによって単位圧子11
a〜11d,111a〜111dの配列を変更したり、
位置の微調整ができる構造としたが、このような調整機
構を設けないで、治具40に単位圧子を11a〜11
d,111a〜111dを固定するだけで所定の位置関
係に位置決めされるような構造としても良い。
【0024】上述した実施の形態と特許請求の範囲の要
素との対応において、治具40および押しネジ13は治
具を、被加工部材5は金型母材をそれぞれ構成する。
素との対応において、治具40および押しネジ13は治
具を、被加工部材5は金型母材をそれぞれ構成する。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よれば、一回の押圧で被加工部材の表面に複数の圧痕を
形成することができるため、多数の圧痕を従来より短時
間で形成することができる。請求項2の発明によれば、
治具によって各単位圧子の軸芯位置が位置決めされるた
め、圧痕の配列精度が向上する。請求項3の発明によれ
ば、圧痕配列のピッチをより小さくすることができる。
請求項4の発明によれば、圧子を被加工部材に一回押圧
するだけで複数の微小凹面が形成されるため、マイクロ
光学素子アレイ製造に要する時間を短縮することができ
る。請求項5の発明によれば、圧子を金型母材に一回押
圧するだけで複数の圧痕が形成されるため、マイクロ光
学素子アレイを製造する際の金型製造時間を短縮するこ
とができる。
よれば、一回の押圧で被加工部材の表面に複数の圧痕を
形成することができるため、多数の圧痕を従来より短時
間で形成することができる。請求項2の発明によれば、
治具によって各単位圧子の軸芯位置が位置決めされるた
め、圧痕の配列精度が向上する。請求項3の発明によれ
ば、圧痕配列のピッチをより小さくすることができる。
請求項4の発明によれば、圧子を被加工部材に一回押圧
するだけで複数の微小凹面が形成されるため、マイクロ
光学素子アレイ製造に要する時間を短縮することができ
る。請求項5の発明によれば、圧子を金型母材に一回押
圧するだけで複数の圧痕が形成されるため、マイクロ光
学素子アレイを製造する際の金型製造時間を短縮するこ
とができる。
【図1】本発明による圧子を説明する図であり、(a)
は圧子1の先端部分の拡大図、(b)は(a)の圧子1
で形成されるマイクロレンズアレイ斜視図。
は圧子1の先端部分の拡大図、(b)は(a)の圧子1
で形成されるマイクロレンズアレイ斜視図。
【図2】マイクロ光学素子アレイの製造に用いられる圧
子押圧装置。
子押圧装置。
【図3】単位圧子を説明する図であり、(a)は単位圧
子11aの斜視図、(b)は押圧凸面110aの形成方
法を示す図。
子11aの斜視図、(b)は押圧凸面110aの形成方
法を示す図。
【図4】治具40の斜視図。
【図5】圧子1の断面図であり、(a)スクウェアパタ
ーン形成時の単位圧子配列を示し、(b)はハニカムパ
ターン形成時の単位圧子配列を示す。
ーン形成時の単位圧子配列を示し、(b)はハニカムパ
ターン形成時の単位圧子配列を示す。
【図6】図5(a)に示す圧子1により形成される圧痕
パターンを説明する図であり、(a)は一回の押圧で形
成される圧痕パターンを示し、(b)は圧痕形成手順を
示す図。
パターンを説明する図であり、(a)は一回の押圧で形
成される圧痕パターンを示し、(b)は圧痕形成手順を
示す図。
【図7】図5(b)に示す圧子1により形成される圧痕
パターンを説明する図であり、(a)は一回の押圧で形
成される圧痕パターンを示し、(b)は圧痕形成手順を
示す図。
パターンを説明する図であり、(a)は一回の押圧で形
成される圧痕パターンを示し、(b)は圧痕形成手順を
示す図。
【図8】図5に示す圧子の変形例を示す図であり、
(a)スクウェアパターン形成時の単位圧子配列を示
し、(b)はハニカムパターン形成時の単位圧子配列を
示す。
(a)スクウェアパターン形成時の単位圧子配列を示
し、(b)はハニカムパターン形成時の単位圧子配列を
示す。
【図9】マイクロ光学素子アレイ製造手順を示す図であ
り、(a)は圧子81による金型作製の行程を示し、
(b)は金型の斜視図、(c)は金型を用いてマイクロ
光学素子アレイ成形の行程を示す。
り、(a)は圧子81による金型作製の行程を示し、
(b)は金型の斜視図、(c)は金型を用いてマイクロ
光学素子アレイ成形の行程を示す。
1 圧子 5 被加工部材 6 XYステージ 11 圧子束 11a〜11d,111a〜111d 単位圧子 13 押しネジ 15 ホルダ 25 マイクロレンズアレイ 25a マイクロレンズ 40 治具 40a〜40d 爪 110a 押圧凸面 60,70,A1〜A4,B1,B2,C1,C2,D
1 圧痕
1 圧痕
Claims (5)
- 【請求項1】 一回の押圧で被加工部材の表面に複数の
圧痕を形成する圧子であって、 前記被加工部材の表面に各々独立した圧痕を形成する単
位圧子を複数具備することを特徴とする圧子。 - 【請求項2】 請求項1に記載の圧子において、 前記圧子を構成する各単位圧子の軸芯を所定の位置に位
置決めする治具を設けたことを特徴とする圧子。 - 【請求項3】 請求項1または2に記載の圧子におい
て、 前記各単位圧子の押圧凸面の形状を、隣接する2つの単
位圧子に形成された押圧凸面の先端同士の距離が前記2
つの単位圧子の軸芯間距離より小さくなるように形成し
たことを特徴とする圧子。 - 【請求項4】 圧子を被加工部材の被加工面に押圧し、
前記被加工面に複数の微小凹面を形成するマイクロ光学
素子アレイの製造方法において、 請求項1〜3のいずれかに記載の圧子を用いて前記微小
凹面を形成することを特徴とするマイクロ光学素子アレ
イの製造方法。 - 【請求項5】 圧子を金型母材の表面に押圧して複数の
圧痕を形成し、前記金型母材の表面に形成された圧痕の
形状を光学部材に転写して複数の微小凸面を形成するマ
イクロ光学素子アレイの製造方法において、 請求項1〜3のいずれかに記載の圧子を用いて前記複数
の圧痕を形成することを特徴とするマイクロ光学素子ア
レイの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10027302A JPH11223708A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | 圧子およびマイクロ光学素子アレイの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10027302A JPH11223708A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | 圧子およびマイクロ光学素子アレイの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11223708A true JPH11223708A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12217306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10027302A Pending JPH11223708A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | 圧子およびマイクロ光学素子アレイの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11223708A (ja) |
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