JP3148357B2 - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子の製造方法Info
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- JP3148357B2 JP3148357B2 JP13605092A JP13605092A JP3148357B2 JP 3148357 B2 JP3148357 B2 JP 3148357B2 JP 13605092 A JP13605092 A JP 13605092A JP 13605092 A JP13605092 A JP 13605092A JP 3148357 B2 JP3148357 B2 JP 3148357B2
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- Japan
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- electrode
- ceramic plate
- piezoelectric ceramic
- piezoelectric vibrator
- manufacturing
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波モータ等に用いら
れる表裏に対応した所定の電極パターンを有する円板状
の圧電振動子の製造方法に係り、特に電極形成方法に関
係する。
れる表裏に対応した所定の電極パターンを有する円板状
の圧電振動子の製造方法に係り、特に電極形成方法に関
係する。
【０００２】
【従来の技術】従来超音波モータ等に使用される円板状
の圧電振動子は両面に複数の電極を、正電極、負電極、
アース極等として、その目的により所定のパターンで表
裏に配置し使用されている。効率的に動作するために
は、表裏の電極が所定の位置に精度よく対応して配置さ
れている必要がある。従来の製造方法では、図１（ｅ）
及び図１（ｆ）に示すような電極配置の超音波モータに
用いられる円環状の圧電振動子を作成する場合、円環状
のセラミックス板に、上下面にわたるマークを付け、こ
れを基準に両面に電極パターンを印刷していたので、位
置決め時間がかかり作業性が悪く、表裏のパターンの対
応精度が悪いため、特性も低いと云う問題があった。
の圧電振動子は両面に複数の電極を、正電極、負電極、
アース極等として、その目的により所定のパターンで表
裏に配置し使用されている。効率的に動作するために
は、表裏の電極が所定の位置に精度よく対応して配置さ
れている必要がある。従来の製造方法では、図１（ｅ）
及び図１（ｆ）に示すような電極配置の超音波モータに
用いられる円環状の圧電振動子を作成する場合、円環状
のセラミックス板に、上下面にわたるマークを付け、こ
れを基準に両面に電極パターンを印刷していたので、位
置決め時間がかかり作業性が悪く、表裏のパターンの対
応精度が悪いため、特性も低いと云う問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本考案の課題は、上述
の問題を解消し、作業性がよく、表裏の電極パターンを
精度よく対応させて描画でき、寸法精度のよい電極パタ
ーンを持つ円板状の圧電振動子が得られる圧電振動子の
製造方法を供する。
の問題を解消し、作業性がよく、表裏の電極パターンを
精度よく対応させて描画でき、寸法精度のよい電極パタ
ーンを持つ円板状の圧電振動子が得られる圧電振動子の
製造方法を供する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決するため、円板状の圧電セラミックス板を素材とし
て、製品の目標寸法より内径または外径、又は両方を広
げたものを準備し、その外周又は内周にスリットを設
け、電極形成時の治具に、このスリットに対応する位置
合わせ用ピンと圧電セラミックス板の外周又は内周によ
り位置を規定するガイドを設け、この位置合わせ用ピン
にこのスリットを合わせ、圧電セラミックス板の外周
（又は内周）の１点または２点を位置合わせ用ガイドに
当てることにより、上下面の電極の位置を簡単に合わせ
られると共に、電極形成後にこのスリットを研削して除
去し、同時に電極の外径及び内径の若干広く印刷加工さ
れた分も含めて研磨し所定の寸法に仕上げることで電極
のずれを低減し、寸法精度のよい製品が得られる製造方
法である。
解決するため、円板状の圧電セラミックス板を素材とし
て、製品の目標寸法より内径または外径、又は両方を広
げたものを準備し、その外周又は内周にスリットを設
け、電極形成時の治具に、このスリットに対応する位置
合わせ用ピンと圧電セラミックス板の外周又は内周によ
り位置を規定するガイドを設け、この位置合わせ用ピン
にこのスリットを合わせ、圧電セラミックス板の外周
（又は内周）の１点または２点を位置合わせ用ガイドに
当てることにより、上下面の電極の位置を簡単に合わせ
られると共に、電極形成後にこのスリットを研削して除
去し、同時に電極の外径及び内径の若干広く印刷加工さ
れた分も含めて研磨し所定の寸法に仕上げることで電極
のずれを低減し、寸法精度のよい製品が得られる製造方
法である。
【０００５】即ち、本発明は、両面に各々１ヶ又は複数
の電極が配置された円板又は円環の圧電セラミックス板
より成り、両面の電極パターンが所定の配置で対応して
いる円板状の圧電振動子の製造方法において、製品寸法
より大きい外径、又は大きい外径でかつ小さい内径を有
する円板又は円環の圧電セラミックス板の外周で、製品
寸法位置の外側の部分に、位置案内用のスリットを設
け、このスリットと圧電セラミックス板の外周の１点あ
るいは２点又は内周の１点あるいは２点を基準として、
表面、裏面に各々電極パターンを形成し、その後、所定
の製品寸法に少なくとも外径を研磨する圧電振動子の製
造方法である。
の電極が配置された円板又は円環の圧電セラミックス板
より成り、両面の電極パターンが所定の配置で対応して
いる円板状の圧電振動子の製造方法において、製品寸法
より大きい外径、又は大きい外径でかつ小さい内径を有
する円板又は円環の圧電セラミックス板の外周で、製品
寸法位置の外側の部分に、位置案内用のスリットを設
け、このスリットと圧電セラミックス板の外周の１点あ
るいは２点又は内周の１点あるいは２点を基準として、
表面、裏面に各々電極パターンを形成し、その後、所定
の製品寸法に少なくとも外径を研磨する圧電振動子の製
造方法である。
【０００６】
【作用】スリットと外周の一点又は２点を治具のピンと
合わせることにより相対的位置が簡単に確実に決めるこ
とができるので、表面裏面の各々のパターンをこのピン
及びガイドを基準として準備しておけば表裏のパターン
を確実に対応させて簡単に印刷描画できる。圧電セラミ
ックス板の内周及び外周の余白部と大きめに印刷された
電極部を研削除去することで、対応がよく、しかも寸法
精度の高い製品が簡単に得られる。
合わせることにより相対的位置が簡単に確実に決めるこ
とができるので、表面裏面の各々のパターンをこのピン
及びガイドを基準として準備しておけば表裏のパターン
を確実に対応させて簡単に印刷描画できる。圧電セラミ
ックス板の内周及び外周の余白部と大きめに印刷された
電極部を研削除去することで、対応がよく、しかも寸法
精度の高い製品が簡単に得られる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は、本発明の実施例の超音波モータ用
振動子の製造工程を説明する平面図で、図１（ａ）図１
（ｂ）は素材の圧電セラミックス板の平面図で、図１
（ａ）は表面、図１（ｂ）は裏面を示し、図１（ｃ）図
１（ｄ）は電極パターンを印刷加工した状態を示す平面
図で、図１（ｃ）表面、図１（ｄ）は裏面を示し、図１
（ｅ）図１（ｆ）は印刷されたパターンを焼付け後、内
外周の余白部とスリット部を研削した仕上がり状態を示
す平面図で、図１（ｅ）は表面、図１（ｆ）は裏面を示
す。図２は本発明の超音波モータ用振動子の製造方法に
おいて、電極印刷に用いる電極形成用治具を示し、図２
（ａ）は平面図、図２（ｂ）は側面図である。
て説明する。図１は、本発明の実施例の超音波モータ用
振動子の製造工程を説明する平面図で、図１（ａ）図１
（ｂ）は素材の圧電セラミックス板の平面図で、図１
（ａ）は表面、図１（ｂ）は裏面を示し、図１（ｃ）図
１（ｄ）は電極パターンを印刷加工した状態を示す平面
図で、図１（ｃ）表面、図１（ｄ）は裏面を示し、図１
（ｅ）図１（ｆ）は印刷されたパターンを焼付け後、内
外周の余白部とスリット部を研削した仕上がり状態を示
す平面図で、図１（ｅ）は表面、図１（ｆ）は裏面を示
す。図２は本発明の超音波モータ用振動子の製造方法に
おいて、電極印刷に用いる電極形成用治具を示し、図２
（ａ）は平面図、図２（ｂ）は側面図である。
【０００８】図１（ｅ）及び図１（ｆ）の形状を最終形
状とする超音波モータ用圧電振動子に用いる圧電振動子
の製造を実施例として説明する。図１において、図１
（ａ）及び図１（ｂ）は素材の圧電セラミックス板の平
面図で、外径Ａ及び内径Ｄは図１（ｅ）及び図１（ｆ）
に示す製品の外径Ｃ及び内径Ｆより広くしてあり、本実
施例では外周にスリット２が上下面に貫通して設けら
れ、電極形成用の治具のピン３（図２の３参照）に嵌め
合せられる大きさの幅にダイヤモンド砥石で加工してあ
る。次に図２に示す様な電極を印刷するため電極形成用
の治具１３が準備される。治具１３は平板の一端に円柱
状のピン３が位置合せ用に設けられ、その両端に、円板
の外周を接触させて、前記ピン３と共に、この治具１３
に圧電セラミックス板１の相対的位置を固定する棒状の
固定用ガイド１２が設けてある。図１（ａ）に示す円環
状の圧電セラミックス板１のスリット２をこの治具のピ
ン３嵌め合せて、ガイドに合せて固定し、電極パターン
を両面に印刷して、図１（ｃ）及び図１（ｄ）の圧電セ
ラミックス板１を作成する。この時点のパターンの外径
Ｂ及び内径Ｅは図１（ａ）に示す製品寸法の外径Ａ及び
内径Ｄより広く印刷されている。この電極を各々所定の
極性に分極し、その後、図１（ｅ）及び図１（ｆ）の製
品寸法に外径及び内径を研削して仕上げ、必要により金
属板等に貼りつけて超音波モータに使用される圧電振動
子を完成する。
状とする超音波モータ用圧電振動子に用いる圧電振動子
の製造を実施例として説明する。図１において、図１
（ａ）及び図１（ｂ）は素材の圧電セラミックス板の平
面図で、外径Ａ及び内径Ｄは図１（ｅ）及び図１（ｆ）
に示す製品の外径Ｃ及び内径Ｆより広くしてあり、本実
施例では外周にスリット２が上下面に貫通して設けら
れ、電極形成用の治具のピン３（図２の３参照）に嵌め
合せられる大きさの幅にダイヤモンド砥石で加工してあ
る。次に図２に示す様な電極を印刷するため電極形成用
の治具１３が準備される。治具１３は平板の一端に円柱
状のピン３が位置合せ用に設けられ、その両端に、円板
の外周を接触させて、前記ピン３と共に、この治具１３
に圧電セラミックス板１の相対的位置を固定する棒状の
固定用ガイド１２が設けてある。図１（ａ）に示す円環
状の圧電セラミックス板１のスリット２をこの治具のピ
ン３嵌め合せて、ガイドに合せて固定し、電極パターン
を両面に印刷して、図１（ｃ）及び図１（ｄ）の圧電セ
ラミックス板１を作成する。この時点のパターンの外径
Ｂ及び内径Ｅは図１（ａ）に示す製品寸法の外径Ａ及び
内径Ｄより広く印刷されている。この電極を各々所定の
極性に分極し、その後、図１（ｅ）及び図１（ｆ）の製
品寸法に外径及び内径を研削して仕上げ、必要により金
属板等に貼りつけて超音波モータに使用される圧電振動
子を完成する。
【０００９】以上説明したように圧電振動子の表面のパ
ターンの対応も簡単な治具により簡単に装着固定できる
ので、生産性がよく、又製品の電極パターンの寸法精
度、表裏の対応もよいものが得られた。
ターンの対応も簡単な治具により簡単に装着固定できる
ので、生産性がよく、又製品の電極パターンの寸法精
度、表裏の対応もよいものが得られた。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
円板状の圧電セラミックス板を用いて両面に精度よく対
応した電極パターンを加工した高い品質の圧電振動子が
作業性よく作成でき、経済的な圧電振動子の製造方法が
提供できる。
円板状の圧電セラミックス板を用いて両面に精度よく対
応した電極パターンを加工した高い品質の圧電振動子が
作業性よく作成でき、経済的な圧電振動子の製造方法が
提供できる。
【図１】本発明の実施例の超音波モータ用振動子の製造
工程を説明する平面図で、図１（ａ）図１（ｂ）は素材
の圧電セラミック板の平面図で、図１（ａ）は表面、図
１（ｂ）は裏面を示し、図１（ｃ）図１（ｄ）は電極パ
ターンを印刷加工した状態を示す平面図で、図１（ｃ）
は表面、図１（ｄ）は裏面を示し、図１（ｅ）図１
（ｆ）は印刷されたパターンを焼付けた後、内外周の余
白部とスリット部を研削した仕上がり状態を示す平面図
で、図１（ｅ）は表面、図１（ｆ）は裏面を示す。
工程を説明する平面図で、図１（ａ）図１（ｂ）は素材
の圧電セラミック板の平面図で、図１（ａ）は表面、図
１（ｂ）は裏面を示し、図１（ｃ）図１（ｄ）は電極パ
ターンを印刷加工した状態を示す平面図で、図１（ｃ）
は表面、図１（ｄ）は裏面を示し、図１（ｅ）図１
（ｆ）は印刷されたパターンを焼付けた後、内外周の余
白部とスリット部を研削した仕上がり状態を示す平面図
で、図１（ｅ）は表面、図１（ｆ）は裏面を示す。
【図２】本発明の実施例の超音波モータ用振動子の製造
方法において、電極印刷に用いる電極形成用治具を示
し、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は側面図。
方法において、電極印刷に用いる電極形成用治具を示
し、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は側面図。
１ 圧電セラミックス板 ２ スリット ３ ピン ４ 電極（イ） ５ 電極（ロ） ６ 電極（ハ） ７ 電極（ニ） ８ 電極（ホ） ９ 電極（ヘ） １０ 内側余白 １１ 外側余白 １２ （固定用）ガイド １３ 治具
Claims (1)
- 【請求項１】 両面に各々１ヶ又は複数の電極が配置さ
れた円板又は円環の圧電セラミックス板より成り、両面
の電極パターンが所定の配置で対応している円板状の圧
電振動子の製造方法において、製品寸法より大きい外
径、又は大きい外径でかつ小さい内径を有する円板又は
円環の圧電セラミックス板の外周で、製品寸法位置の外
側の部分に、位置案内用のスリットを設け、このスリッ
トと圧電セラミックス板の外周の１点あるいは２点又は
内周の１点あるいは２点を基準として、表面、裏面に各
々電極パターンを形成し、その後、所定の製品寸法に少
なくとも外径を研磨する圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13605092A JP3148357B2 (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13605092A JP3148357B2 (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | 圧電振動子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05304788A JPH05304788A (ja) | 1993-11-16 |
| JP3148357B2 true JP3148357B2 (ja) | 2001-03-19 |
Family
ID=15166011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13605092A Expired - Lifetime JP3148357B2 (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | 圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3148357B2 (ja) |
-
1992
- 1992-04-27 JP JP13605092A patent/JP3148357B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05304788A (ja) | 1993-11-16 |
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