JPH01288102A - 水晶振動子用水晶ウエハ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、水晶ウェハからフォトリソグラフィー加工で
同時に多数個の水晶振動子を製造する手段を対象とする
ものであり、特に水晶ウェハを結晶原石から効果的に切
り出し、その大型化したウェハを研磨加工するのに好適
な形状を得るものである。

〔発明の概要〕

本発明は水晶振動子を水晶ウェハがら得るに際し、管理
されるべき結晶方位に沿った基準面を水晶原石のランバ
ード面から得るものである。従って、円形に切り出され
た水晶ウェハの外周の一部に直線状をなすランバード面
を備えて薄板状に加工される。これにより大型ウェハ故
の多ｆＶ！ｉ個同時処理のみならず円形であるため研磨
加工を容易にするものである。

〔従来の技術〕

従来から水晶振動子を連装する水晶ウェハは、そこから
フォトリソグラフィー技術によってエノヂングで形成さ
れるに際し、その振動子の形状に沿って周枠を設けてい
た。そのためウェハ形状は周枠にならって角形をなし、
その−辺は結晶方位の基準面を表現していた。このよう
に従来がら水晶ウェハは角形とされていたため多くの問
題があった・ 〔発明が解決しようとする課題〕 この角形ウェハに起因して、フラットな薄板に研磨する
工程で、ホールキャリヤの中に素板を収容し、自転しな
がら全体的なＭＬ運動により回転され両面が研にされる
。このときホールキャリヤ内のウェハは、その角部に局
部的な負荷がかかりカケ易い欠点があり、これを防止す
るため角部の面取りなど不要な工数や、周枠の縁が細く
なるなど問題があった。この角形であるために発生する
不具合のため、ウェハサイズは危険分散のため大型化で
きず適正規模で処理され、生産性において不充分であっ
た。そこで本発明は、この角形の概念を排除して、水晶
原石から直接ウェハの原料となるブランクを円形にして
採出し、大型化したウェハを得るもので結果として収率
を向上させるものである。

〔課題を解決するための手段］ 本発明は上記問題を解決するため、水晶原石にあらかし
め示された基準面（ランバード面）を残して円形のブラ
ンクを切り出し、そのまま多段階の研磨の工程を経て薄
板状のウェハを得るものである。この研磨の工程で、円
形であるためにホールキャリヤ内では自由な回転が与え
られ、ホールキャリヤの丸穴にウェハの外周が周接しな
がら回転し局部応力は発生せずカケが出ない。そのため
に大型化したウェハであっても実用に供し得るものであ
る。

〔実施例］ 以下に本発明の実施例を図面により説明する。

第１図はＺ仮の水晶原石ｌの２面２を紙面に表現してい
る断面図である。Ｘ面は基準面として面指定のために加
工されたランバード面３である。このような水晶原石１
からまず円板状のブランクを切り出すのに２つの方法が
ある。その１つは原石１をＸ軸方向に円筒状に研削し、
研削部５を除いて周内部４を残す。この時、周内部４は
全周にわたるのではなく、図示のようにＸ軸方向のラン
バード面３　（図示は２面）が周内部４の直線部として
形成される。従ってこの場合は２面がカントされた円筒
状となる。この略円筒状のフラットなランバード面３を
基台に載置し、必要な切り出し角でスライスし略円板状
のブランクを得る。もう一つの切り出し方法として上述
とは逆に、先に必要な角度でスライスしたブランクを、
ランバード面３を一致させて積み重ねて接着し、この状
態で研削部５を切削し周内部４を残し接着剤を溶解して
略円板状のブランクを得る。この二つの方法は任意に採
用すればよい。

次に本発明に係わる研磨について説明をする。

上述したブランクではその表面に加工キズが多くあるの
で複数段階の研磨工程を経て水晶ウェハに至る。それは
第２図に示すようにホールキャリヤ６の中の円形の穴フ
の中にウェハ８が回動自在にすきまを持って収容される
。図示はしてないがこのホールキャリヤは外周にギヤを
持ち矢示ａの回転が与えられるとともに、ホールキャリ
ヤ６自体も矢示すの方向に移動する。そしてこのホール
キャリヤ６を複数枚を千載して上下から挟んで回転する
研磨板があり、これによりウェハ８は両面同時に研磨さ
れる。このとき、ホールキャリヤ６の自転に伴ってウェ
ハ８は移動し研磨板の内、外の周速の差によりウェハ８
も穴７の中で矢示Ｃのように自転する。この運動は従来
の角型ウェハには見られないスムーズなものである。こ
の運動により多数のウェハ８は均一な厚みに制御され、
加工歪の除去された良質の水晶ウェハが得られる。

〔発明の効果〕

本発明により、水晶原石を無駄なく利用できるとともに
、丸型ウェハのためカケがなくなり、スムーズな回転運
動により加工精度が向上した。このため、水晶ウェハを
大型化したにもかかわらず不良率は減少し、水晶原石か
ら最終の水晶振動子を１）るまでの収率は大幅に向上し
たもので、特にウェハの一部に基準面として備えられた
ランバード面はその後のウェハごとの工程で有効に機能
するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わる水晶原石から素材となる板を採
出する部分を示す断面図、第２図は本発明に係わる水晶
ウェハが研磨加工される時の運動を示す平面図である。 ■・・・水晶原石 ２・・・７面 ３・・・ランバード面 ４・・・周内部 ５・・・研削部 ６・・・ホールキャリヤ ７・・・穴部 ８・・・ウェハ 以上 出願人　セイコー電子部品株式会社 代理人　弁理士　　林　　　敬　之　助ネ完明に係り（
晶見石「面図 第　１　図 杢完明１て侃う厨冴刑工の平面図 躬　２　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　水晶振動子をフォトリソグラフィー加工で得る水晶ウ
   ェハであって、該ウェハはランバード面を有する水晶原
   石から薄切りされるものにおいて、前記水晶ウェハの外
   周は円形であり、少なくともその一部に直線部分を備え
   、かつ該直線部分は前記ランバード面から得られた面で
   あることを特徴とする水晶振動子用水晶ウェハ。