JPH0230687A - グレーズドセラミック基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はグレーズドセラミック基板の製造方法に関し、
さらに詳しくはその上に発熱抵抗体と該発熱抵抗体に給
電するリード部（電極膜）等からなる薄膜回路が形成さ
れるサーマルプリントヘッド等に使用されるグレーズド
セラミック基板の製造方法に関する。

［従来技術および発明が解決しようとする課題］従来、
感熱記録方式のプリンタ装置の基幹部品であるサーマル
ヘッドにおいては、発熱抵抗体と感熱紙との接触を改善
するために基板表面にグレーズの凸部を形成することが
望まれており、この凸部の形成方法としては、エツチン
グ法および印刷法等が採用されてきた。

しかし、エツチング法にあっては、エツチング深さとの
関係でグレーズ層以外の部分までエツチングされ、表面
平滑性が悪く、またグレーズ層の一部分が完全にエツチ
ングされ、セラミック基板が露出してしまい、微細な配
線の形成が困難なことがあり、一方、凸部上部に微細な
薄膜リード線を形成する際、凸部先端エツジ部分が鋭利
だとその部分で断線が生じるため、凸部断面形状を台形
または円弧形とする必要があるが、台形または円弧形を
得ることは容易ではない等の問題点があり、得られる製
品形状、生産性、作業工程の簡略さ等から印刷法が賞月
されている。

しかし、この印刷法にあっても次に示す課題がある。

すなわち、グレーズ焼成時にガラスが流動するため、■
凸部の直線性を保持することが難しい、■同一基板上に
複数の凸部を形成する場合、それぞれの凸部の間隔を正
確に制御することが難しい等である。

本発明は前記のような状況に鑑み、高精度な断面形状の
凸部を有するグレーズドセラミック基板の製造方法を提
供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明者らは前記目的を達成するために鋭意研究を行な
ったところ、セラミック基板の表面にグレーズペースト
を印刷し、グレーズ焼成することによってグレーズ層を
形成し、次いで該グレーズ層を電着砥石を用いて研削加
工した後、熱処理することにより、グレーズ層の任意の
断面形状の凸部を寸法精度良くつくることができるとい
う知見を得て、本発明に至ったものである。

すなわち本発明はセラミック基板上にグレーズペースト
を印刷し、グレーズの軟化点以上の温度でグレーズ焼成
することによってグレーズ層を形成し、外周面にＲ状の
凹部を有する電着砥石で前記グレーズ層を研削加工して
Ｒ状の凸部を形成し、しかる後にグレーズの軟化点以上
でグレーズ焼成温度以下の温度で熱処理することを特徴
とするグレーズドセラミック基板の製造方法である。

まず本発明は絶縁性セラミック基板上にグレーズ層を形
成する。グレーズの好ましい組成は５ｉＯ２５０〜６０
重量％、ＡｊｚＯｉ５〜ｌＯ重量％、ＣａＯ４〜１２重
量％、ＢａＯ３〜２５重量％、ＳｒＯ０〜２４重量％お
よびその他゛の成分０〜２０重量％である。

この組成のグレーズペーストを印刷し、グレーズ焼成を
行なう。

次に、形成されたグレーズ層を電着砥石で研削加工を行
なう。具体的には第１図に示すような円盤状の保持体の
外周面に電着法によりダイヤモンド、立方晶窒化硼素等
の砥粒を定着させた電着砥石車を用いる。同図において
、１は保持体、２は電着砥粒層、３は電着砥石車をそれ
ぞれ示す。また、被研削物であるグレーズ層を研削加工
する電着砥石車３の研削面（外周面）の断面形状は第２
図に示すような深さ８１幅すのＲ状の凹部を有している
。なお、同図のｒはＲ状の凹部の曲率半径を示す。

この電着砥石車を回転させ、外周面に被研削物であるグ
レーズ層を接触させることによって研削加工を行ない、
被研削物表面（グレーズ層）に第３図に示すような断面
形状がＲ状の凸部を形成する。同図において、４はグレ
ーズ層、５はセラミック基板を示し、またＡはＲ状の凸
部の高さ、ＢはＲ状の凸部の幅、ＣはＲ状の凸部以外の
平面部のグレーズ層の厚み、ＲはＲ状の凸部の曲率半径
をそれぞれ示す。

この研削加工されたグレーズ層をグレーズの軟化点以上
の温度で熱処理を行う。熱処理温度がグレーズの軟化点
未満では研削によって荒れた面の回復ができない。また
、グレーズ焼成温度以上ではグレーズが流動してしまっ
て研削加工によって形成した凸部の形状がくずれてしま
う。この際の熱処理時間は５〜３０分が適当である。

このような本発明のグレーズドセラミック基板の製造方
法によれば、寸法精度の優れたＲ状の凸部を形成するこ
とが可能である。さらに同一基板状に複数のＲ状の凸部
を形成する場合、それぞれの間隔を正確に制御すること
が可能である。

［実施例］ 以下、本発明を実施例に基づき具体的に説明する。

実施例１ セラミック基板上に、５ｉＯ２５０重量％、ＡＪ２０ｓ
８重量％、ＣａＯ１２重量％、Ｂａ０２４重量％および
その他の成分８重量％からなるグレ−ズペースト（軟化
点８５０℃）をスクリーン印刷し、１２２０℃で１５分
グレーズ焼成することによって１２０μｍのグレーズ層
を形成する。そして第１〜２図に示すような人工ダイヤ
モンド＃８００を定着させたニッケル電着砥石車で研削
加工を行なった。

但し、電着砥石車のＲ状の四部は、ａ−８０μｍ１ｂ−
２，６８ｓＳｒ　Ｃ曲率半径）　−１１ｍである。

研削加工後、９００℃で５分間熱処理をして、第３図に
示すような断面形状がＲ状の凸部を有するグレーズドセ
ラミック基板を得た。グレーズ層のＲ状の凸部は、Ａ−
８０μｍ、　Ｂ−２，８６ｍ、Ｒ（曲率半径）　＝ＩＬ
ｍｒＩｌ、　Ｃ−２０μｍであった。

実施例２ セラミック基板上に、５ｉＯ２５５重量％、Ａ１２０３
８重量％、ＣａＯ５重量％、Ｂａ０　３重量％、５ｒ０
２２重量％およびその他の成分１０重量％からなるグレ
ーズペースト（軟化点９４０℃）をスクリーン印刷し、
１３００℃で３０分グレーズ焼成することによって１２
０μｍのグレーズ層を形成する。そして第１〜２図に示
すような人工グイヤモンド＃８００を定着させたニッケ
ル電着砥石車で研削加工をを行なった。但し、電着砥石
車のＲ状の凹部は、ａ−４０μｍ、　ｂ　−１，１３ｍ
！Ｒｓ　ｒ−４ｇである。

研削加工後、１０００℃で５分間熱処理をして、第３図
に示すような断面形状がＲ状の凸部を有するグレーズド
セラミック基板を得た。グレーズ層のＲ状の凸部は、Ａ
−４０μｍ５Ｂ−１，１３＃、Ｒ−４ｍ５Ｃ＝Ｌ５ｕｒ
ｎであった。

以上の結果から明らかなように、本発明の製造方法によ
り、電着砥石車外周面のＲ状の凹部形状に一致するＲ状
の凸部を有するグレーズ層を形成することができた。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の製造方法によれば、高精度
な断面形状のＲ状の凸部を有するグレーズ層をセラミッ
ク基板上に形成することができる。

また同一基板上に複数のＲ状の凸部を設けた場合それぞ
れのＲ状の凸部の間隔を正確に制御することができる。

従って、本発明の製造方法は、グレーズドセラミック基
板の製造方法として好適である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明で用いられる電着砥石車の概略図、 第２図は、第１図の電着砥石車の研削部分の拡大図、そ
して、 第３図は、本発明により得られるグレーズドセラミック
基板の断面図。 １：保持体 ２：電着砥粒層 ３：電着砥石車 ４：グレーズ層 ５：セラミック基板 特許出願人　株式会社　ノリタケ カンパニーリミテド

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、セラミック基板上にグレーズ層を形成してなるグレ
   ーズドセラミック基板において、基板上にグレーズペー
   ストを形成し、グレーズの軟化点以上の温度でグレーズ
   焼成することによってグレーズ層を形成し、外周面にＲ
   状の凹部を有する電着砥石によって前記グレーズ層を研
   削加工してＲ状の凸部を形成し、しかる後にグレーズの
   軟化点以上でグレーズ焼成温度以下の温度で再度熱処理
   することを特徴とするグレーズドセラミック基板の製造
   方法。 ２、前記グレーズの化学組成がＳｉＯ＿２５０〜６０重
   量％、Ａｌ＿２Ｏ＿３５〜１０重量％、ＣａＯ４〜１量
   ％、ＢａＯ３〜２重量％、ＳｒＯ０〜２４重量％および
   その他の成分０〜２０重量％である請求項１に記載のグ
   レーズドセラミック基板の製造方法。