JPH1120215A - サーマルヘッドの製造方法 - Google Patents

サーマルヘッドの製造方法

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JPH1120215A
JPH1120215A JP17501497A JP17501497A JPH1120215A JP H1120215 A JPH1120215 A JP H1120215A JP 17501497 A JP17501497 A JP 17501497A JP 17501497 A JP17501497 A JP 17501497A JP H1120215 A JPH1120215 A JP H1120215A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic substrate
heating element
substrate body
thermal head
section
Prior art date
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Pending
Application number
JP17501497A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenji Nakai
健治 中井
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】サーマルヘッドが弓形に湾曲し、印画の歪みや
印画のカスレが生じていた。 【解決手段】セラミック基板素体1を、複数の長方形状
の区画A,B,Cに、各区画A,B,Cの長辺側が互い
に接するように区分するとともに、各区画A,B,Cに
複数個の発熱素子から成る発熱素子列2A,2B,2C
を長辺に沿って設け、しかる後、前記セラミック基板素
体1を各区画A,B,Cに分割して複数のサーマルヘッ
ドを同時に得るサーマルヘッドの製造方法において、前
記セラミック基板素体1の中心点Xが位置する区画Bに
対し外方に位置する区画A,Cの発熱素子列2A,2C
の中央域を、中心点X側に近づくように変位させて設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はファクシミリや画像
記録装置等に用いられるサーマルヘッドの製造方法に関
し、より詳細には、1枚のセラミック基板素体から複数
のサーマルヘッドを同時に得るサーマルヘッドの製造方
法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、サーマルヘッドは、グレーズ層が
被着されたセラミック基板の上面に、複数個の発熱素子
からなる発熱素子列と該各発熱素子に電気的に電力を供
給する回路パターンとをそれぞれ被着させ、これらを窒
化珪素等から成る保護膜によって被覆した構造を有して
おり、前記発熱素子を外部からの印画信号に基づいて選
択的にジュール発熱させるとともに、該発熱した熱を感
熱記録媒体に伝導させ、感熱記録媒体に印画を形成する
ことによってサーマルヘッドとして機能する。
【0003】そして、このような従来のサーマルヘッド
は、1個ずつ製造していたのでは生産効率が悪いことか
ら、複数個を同時に製造するようにしている。具体的に
は、例えば図4に示す如く、まず1枚のセラミック基板
素体11を複数の区画A,B,Cに区分し、次に各区画
A,B,Cに発熱素子列12と回路パターン(図示せ
ず)とを各々形成し、最後にセラミック基板素体11を
各区画A,B,Cに分割することによって複数個のサー
マルヘッドを同時に製造するようにしている。
【0004】尚、前記セラミック基板素体11は、アル
ミナ,シリカ,マグネシア等のセラミックス原料粉末に
適当な有機溶剤、溶媒を添加混合して泥漿状に成すとと
もに、これを従来周知のドクターブレード法やカレンダ
ーロール法等を採用することによってセラミックグリー
ンシートを形成し、しかる後、該グリーンシートを所定
形状に打ち抜き、高温で焼成することによって製作され
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のサーマルヘッドの製造方法によれば、セラミ
ック基板素体11が上述のような製法によって製作され
ており、基板素体11の内部にはグリーンシート焼成時
の収縮応力が蓄積されている。このため、セラミック基
板素体11を各区画A,B,Cに分割すると、基板素体
11内に蓄積された収縮応力が分割によって一部開放さ
れることにより、いくつかのサーマルヘッドTHが弓形
に湾曲していた。このようなサーマルヘッドTHは、当
然、発熱素子列12も同様に湾曲しており、これを用い
て印画を行うと、発熱素子列12の湾曲度合いに応じた
印画の歪みが形成されたり、或いは、プラテン等の圧接
力が不均一になって印画のカスレ等が生じ、いずれの場
合においても所期の印画を形成することが不可となる欠
点を有していた。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は上記欠点に鑑み
案出されたもので、本発明のサーマルヘッドの製造方法
は、セラミック基板素体を、複数の長方形状の区画に、
各区画の長辺側が互いに接するように区分するととも
に、各区画に複数個の発熱素子から成る発熱素子列を長
辺に沿って設け、しかる後、前記セラミック基板素体を
各区画に分割して複数のサーマルヘッドを同時に得るサ
ーマルヘッドの製造方法において、前記セラミック基板
素体の中心点が位置する区画に対し外方に位置する区画
の発熱素子列の中央域が中心点側に近づくように変位さ
せてあることを特徴とするものである。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明を添付図面に基づい
て詳細に説明する。図1は本発明の一形態を模式的に示
す平面図であり、図2は本形態の製法によって製作した
サーマルヘッドの平面図、図3は図2のサーマルヘッド
の断面図であり、1はセラミック基板素体、2aは発熱
素子、2は複数個の発熱素子2aにより構成される発熱
素子列、Xはセラミック基板素体1の中心点である。
【0008】本発明の製法によって製作されるサーマル
ヘッドは、ガラス等から成る帯状のグレーズ層3が被着
されたセラミック基板1Aの上面に、前記グレーズ層3
の頂部付近に配設される発熱素子列2Aと、各発熱素子
2aに電気的に接続される共通電極,個別電極等の回路
パターン4と、これら発熱素子列2及び回路パターン4
を被覆する保護膜6と、前記発熱素子2aを選択的に発
熱・駆動させるためのドライバーIC5とを取着させた
構造を有している。
【0009】かかる構造のサーマルヘッドを本発明の製
造方法により製作するには、 (1)先ず、長方形状のセラミック基板素体1を製作す
る。前記セラミック基板素体1はアルミナセラミックス
等から成り、アルミナ、シリカ、マグネシア等のセラミ
ックス原料粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合して
泥漿状に成すとともにこれを従来周知のドクターブレー
ド法やカレンダーロール法等を採用することによってセ
ラミックグリーンシートを形成し、しかる後、前記セラ
ミックグリーンシートを所定形状に打ち抜き加工すると
ともに高温で焼成することによって製作される。
【0010】(2)次に、前記セラミック基板素体1を
複数の長方形状の区画A,B,Cに、各区画A〜Cの長
辺側が互いに接するように区分するとともに、これらの
各区画A,B,Cに、グレーズ層3(高さ:約50μ
m、幅:約1mm)を断面が円弧状を成すように区画
A,B,Cの長辺に沿って帯状に被着させ、更に各グレ
ーズ層3上に複数個の発熱素子2aから成る発熱素子列
2A,2B,2Cをそれぞれ配設する。
【0011】前記グレーズ層3は、ガラス等から成り、
ガラス粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合して得た
ガラスペーストをセラミック基板素体1の上面に従来周
知のスクリーン印刷法等を採用することによって印刷・
塗布し、しかる後、これを所定温度で焼き付けることに
よってセラミック基板素体1の上面に断面が円弧状を成
すように被着される。ここでセラミック基板素体1の中
心点Xが位置する区画Bに対し外方に位置する区画A,
Cのグレーズ層3は、その中央域が両端域よりも中心点
X側に近づくように変位させておく。
【0012】そして発熱素子列2A,2B,2Cは、ま
ず窒化タンタル等から成る抵抗層(厚さ:200〜10
00Å)を従来周知のスパッタリング法等を採用するこ
とによってセラミック基板素体1及びグレーズ層3上に
所定の厚みをもって被着させ、しかる後、前記抵抗層を
従来周知のフォトリソグラフィー技術によって所定パタ
ーンに加工することにより形成される。
【0013】このとき、セラミック基板素体1の中心点
Xが位置する区画Bに対し外方に位置する区画A,Cの
発熱素子列2A,2Cも、グレーズ層3と同様に、その
中央域が両端域よりも中心点X側に近づくように変位さ
せる。この変位量wは、セラミック基板素体1を分割し
た際のサーマルヘッドの湾曲量sと略等しい大きさ、例
えば、30〜70μmの範囲に設定され、これによって
区画A,Cの発熱素子列2A,2Cは弓形に湾曲した形
に、一方、区画Bの発熱素子列2Bは直線状に形成され
る。尚、前記湾曲量sは、セラミック基板素体1と同様
の工程を経て製作したセラミック基板素体をサンプルと
して別途、準備しておき、これを前記セラミック基板素
体1と同様の区画数、区画寸法にて分割し、得られたセ
ラミック基板の湾曲量sを個々に測定することで容易に
知ることができる。セラミック基板素体1の中央の区
画、即ち、中心点Xが位置する区画Bの発熱素子列2を
全く変位させずに直線状に形成したのは、セラミック基
板素体のサンプルを分割した際に中央のセラミック基板
が殆ど湾曲しなかったからである。
【0014】このように、セラミック基板素体1の中心
点Xが位置する区画Bに対し外方に位置する区画A,C
の発熱素子列2A,2Cの中央域を中心点X側に近づく
ように変位させて設けたことから、後の工程においてセ
ラミック基板素体1を分割する際、サーマルヘッドTH
−A,TH−Cの湾曲に伴い発熱素子列2A,2Cが直
線形状に変形し、これにより、分割によって得られる全
てのサーマルヘッドの発熱素子列2A,2B,2Cを略
直線状に形成することができる。よって、いずれのサー
マルヘッドを用いて印画を行っても、歪みやカスレ等の
ない、良好な印画が得られる。
【0015】(3)次に、セラミック基板素体1の各区
画A,B,Cに回路パターン4を形成する。前記回路パ
ターン4は、セラミック基板素体1及びグレーズ層3上
に、アルミニウムや銅等から成る導電層(厚み:約1μ
m)を従来周知のスパッタリング法等によって被着さ
せ、これを従来周知のフォトリソグラフィー技術によっ
てエッチングし、各区画A,B,Cに共通電極,個別電
極等をパターニングすることにより形成される。
【0016】(4)次に、セラミック基板素体1の各区
画A,B,Cに設けた発熱素子列2A,2B,2Cや回
路パターン4の上面に保護膜6を被着させる。前記保護
膜6は窒化珪素やサイアロン等から成り、従来周知のス
パッタリング法等によって約2〜5μmの厚みをもって
被着される。
【0017】(5)次に、セラミック基板素体1の所定
位置に外力を印加し、セラミック基板素体1を複数個の
サーマルヘッドTH−A,TH−B,TH−Cに分割す
る。
【0018】このとき、分割によって得られる複数個の
サーマルヘッドのうち中心点Xが位置する区画Bに対し
外方に位置する区画A,CのサーマルヘッドTH−A,
TH−Cは、セラミック基板素体1内に蓄積されている
収縮応力の開放によって外側に突出するように弓形に湾
曲するが、サーマルヘッドTH−A,TH−Cの発熱素
子列2A,2Cは中央域を中心点X側に近づけるように
変位させてあり、これによって発熱素子列2A,2Cは
セラミック基板素体1の分割前に予め逆向きに湾曲して
いることから、発熱素子列2A,2Cはセラミック基板
素体1の分割に伴い略直線状に変形し、分割によって得
られるサーマルヘッドの発熱素子列2A,2B,2Cを
全て略直線状に形成することができる。従って、いずれ
のサーマルヘッドTH−A,TH−B,TH−Cを用い
て印画を行っても感熱記録媒体に歪みやカスレ等が形成
されることはなく、高品質のサーマルヘッドを極めて効
率良く製造することが可能となる。
【0019】(6)最後に、各サーマルヘッドTH−
A,TH−B,TH−Cの回路パターン4に発熱素子2
aを選択的に発熱・駆動させるためのドライバーIC5
を半田等のロウ材を介して搭載し、該ドライバーIC5
を保護樹脂等によって被覆する。前記ドライバーIC5
はフェイスダウンボンディング法等によって各サーマル
ヘッドTH−A,TH−B,TH−Cの個別電極等に接
続され、しかる後、ドライバーIC5を従来周知の厚膜
手法を採用し保護樹脂で被覆することによってサーマル
ヘッドが完成する。
【0020】尚、本発明は上述の形態に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々
の変更、改良等が可能であり、例えば、上述の形態にお
いてはセラミック基板素体を3つの区画に区分して3個
のサーマルヘッドを同時に得るようにしたが、セラミッ
ク基板素体を2以上の区画に区分して複数個のサーマル
ヘッドを得る場合であれば、その区画数や取り数に関係
なく、本発明の製造方法を適用することができる。
【0021】また、上述の形態においてはセラミック基
板素体の中心点Xが中央の区画に位置する場合について
説明したが、セラミック基板素体の中心点Xが分割ライ
ン上に位置する場合は全ての区画の発熱素子列の中央域
を中心点X側に近づけるようにしても良いし、或いは、
中心点Xが位置する分割ラインの両側に位置する2つの
区画の発熱素子列を直線状に形成するようにしても良
く、いずれにしてもセラミック基板素体のサンプルを分
割した際のセラミック基板の個々の湾曲量sに応じて発
熱素子列の中央域をどのように配置させるか決定すれば
良い。
【0022】更に、上述の形態においてはグレーズ層が
セラミック基板上に部分的に設けられた部分グレーズタ
イプのサーマルヘッドの製法について説明したが、本発
明はグレーズ層がセラミック基板の上面全体に形成され
ている全面グレーズタイプのサーマルヘッドにも適用可
能であり、この場合も上述の形態と同様の効果が得られ
る。
【0023】また更に、上述の形態においては発熱素子
や回路パターンを薄膜形成技術によって形成したが、こ
れに代えて厚膜形成技術によって形成しても良く、この
場合も上述の形態と同様の効果が得られることは勿論で
ある。
【0024】
【発明の効果】本発明のサーマルヘッドの製造方法によ
れば、セラミック基板素体の中心点が位置する区画に対
し外方に位置する区画の発熱素子列の中央域を中心点側
に近づくように変位させて設けたことから、分割によっ
て湾曲するサーマルヘッドの発熱素子列は該分割後に略
直線状に変形し、感熱記録媒体に良好な所期の印画を形
成し得るようになる。これにより、高品質のサーマルヘ
ッドを極めて効率良く製造することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のサーマルヘッドの製法を模式的に示す
平面図である。
【図2】本発明の製法によって製作されたサーマルヘッ
ドの平面図である。
【図3】図2のサーマルヘッドの断面図である。
【図4】従来のサーマルヘッドの製法を模式的に示す平
面図である。
【符号の説明】
1 セラミック基板素体 A,B,C 区画 2A,2B,2C 発熱素子列 2a 発熱素子 X 中心点

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】セラミック基板素体を、複数の長方形状の
    区画に、各区画の長辺側が互いに接するように区分する
    とともに、各区画に複数個の発熱素子から成る発熱素子
    列を長辺に沿って設け、しかる後、前記セラミック基板
    素体を各区画に分割して複数のサーマルヘッドを同時に
    得るサーマルヘッドの製造方法において、 前記セラミック基板素体の中心点が位置する区画に対し
    外方に位置する区画の発熱素子列の中央域が中心点側に
    近づくように変位させてあることを特徴とするサーマル
    ヘッドの製造方法。
JP17501497A 1997-06-30 1997-06-30 サーマルヘッドの製造方法 Pending JPH1120215A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010005897A (ja) * 2008-06-26 2010-01-14 Kyocera Corp 記録ヘッドおよびその製造方法、ならびに記録ヘッドを備える記録装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010005897A (ja) * 2008-06-26 2010-01-14 Kyocera Corp 記録ヘッドおよびその製造方法、ならびに記録ヘッドを備える記録装置

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